特許第6908246号(P6908246)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6908246ＣＭＯＳオシレーターから出力されたＲＦ信号を熱エネルギーに転換する温度制御装置と加熱システム
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