特許 6912909 感光性樹脂組成物

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6912909

(24)【登録日】2021年7月13日

(45)【発行日】2021年8月4日

(54)【発明の名称】感光性樹脂組成物

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/038 20060101AFI20210727BHJP

   G03F 7/004 20060101ALI20210727BHJP

   G03F 7/027 20060101ALI20210727BHJP

   G02B 5/20 20060101ALI20210727BHJP

   C08F 20/10 20060101ALI20210727BHJP

【ＦＩ】

   G03F7/038 501

   G03F7/004 505

   G03F7/004 504

   G03F7/027 511

   G02B5/20 101

   C08F20/10

【請求項の数】8

【全頁数】32

(21)【出願番号】特願2017-52715(P2017-52715)

(22)【出願日】2017年3月17日

(65)【公開番号】特開2018-155924(P2018-155924A)

(43)【公開日】2018年10月4日

【審査請求日】2019年12月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004628

【氏名又は名称】株式会社日本触媒

(74)【代理人】

【識別番号】100122471

【弁理士】

【氏名又は名称】籾井 孝文

(74)【代理人】

【識別番号】100186185

【弁理士】

【氏名又は名称】高階 勝也

(72)【発明者】

【氏名】田中 晋介

【審査官】 川口 真隆

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１２／１４１０００（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 韓国公開特許第１０−２０１６−０１１６７７４（ＫＲ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２８７３６６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０３Ｆ ７／０３８

Ｃ０８Ｆ ２０／１０

Ｇ０２Ｂ ５／２０

Ｇ０３Ｆ ７／００４

Ｇ０３Ｆ ７／０２７

ＣＡｐｌｕｓ／ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

アルカリ可溶性樹脂と、色材と、分散剤と、多官能モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含み、
該アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にビフェニル基を有する構成単位、主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）、および、側鎖に炭素二重結合を有する構成単位を含み、
該側鎖にビフェニル基を有する構成単位が、一般式（１）または（２）で表されるモノマー由来の構成単位であり、
該主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）が、一般式（３）、および（６）〜（９）で表される構成単位から選ばれる少なくとも１種であり、
該分散剤の酸価が、０ｍｇＫＯＨ／ｇである、
感光性樹脂組成物：

【化1】

式（２）中、ｎ１は１〜１０である。

【化2】

【化3】

【請求項2】

前記分散剤のアミン価が、２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項3】

前記アルカリ可溶性樹脂が、（メタ）アクリル系樹脂である、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。

【請求項4】

前記アルカリ可溶性樹脂が、主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）をさらに含む、請求項１から３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。

【請求項5】

前記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖に酸基を有する構成単位をさらに含む、請求項１から４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。

【請求項6】

前記アルカリ可溶性樹脂において、前記側鎖に炭素二重結合を有する構成単位の割合が、炭素二重結合を有する化合物を付加する前のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、１５重量部以上１５０重量部以下である、請求項１から５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。

【請求項7】

請求項１から６のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化してなることを特徴とする、硬化物。

【請求項8】

基板と、該基板上に配置された請求項７に記載の硬化物とを有することを特徴とする、カラーフィルター。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、感光性樹脂組成物に関する。

【背景技術】

【0002】

感光性樹脂組成物は、フォトリソグラフィ法に用いられ、露光の有無により、現像液に対する溶解性が変化する材料であり、これを用いて所定パターンの成形体を得ることができる。フォトリソグラフィ法は、画像表示装置の部材製造、電子機器の回路基板製造、半導体素子製造等に多用される。このような技術分野においては、成形体が微細なパターンで得られること、現像速度が速いこと等が求められる。

【0003】

感光性樹脂組成物の用途のひとつとして、液晶表示装置等の画像表示装置に用いられるカラーフィルターの材料が挙げられる。カラーフィルターは、通常、顔料等の色材と光硬化性の樹脂とを含む感光性樹脂組成物を透明基板に塗布した後、フォトリソグラフィ法等によって製造されている。そして、近年、画像表示装置の高性能化の要求に伴い、輝度、コントラスト等の向上に寄与し得るよう、微細なパターンで形成されたカラーフィルターを形成し得る感光性樹脂組成物が求められている。また、加工性向上のため、適切な現像時間でカラーフィルターを形成し得る感光性樹脂組成物が求められている。

【0004】

輝度およびコントラストの向上に寄与し得るカラーフィルターを形成する方法としては、感光性樹脂組成物中の色材としての顔料を微細化する方法、色材として染料を用いる方法等が挙げられる。しかしながら、このような方法を採用すると、現像マージン（現像時にパターン形成が可能な最短現像時間と、欠損させずにパターンを形成することが可能な最長現像時間との差）が短くなり、加工する上での問題が生じる。また、形成されたパターンの断面視形状が、下部ほど細い逆テーパー型となり、電極材料塗布時に断線を生じたり、液晶材料を適用した場合に気泡が生じたり等の問題が生じる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１０−１６８５８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、現像マージンが長く、かつ、テーパー型（下部ほど太い）の成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂と、色材と、分散剤と、多官能モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含み、該アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含み、該分散剤の酸価が、１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。
１つの実施形態においては、上記分散剤のアミン価が、２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。
１つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂が、（メタ）アクリル系樹脂である。
１つの実施形態においては、上記側鎖にビフェニル基を有する構成単位が、一般式（１）または（２）で表されるモノマー由来の構成単位である。

【化1】

式（２）中、ｎ１は１〜１０である。
１つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂が、主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）をさらに含む。
１つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖に酸基を有する構成単位をさらに含む。
１つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖に炭素二重結合を有する構成単位をさらに含む。
本発明の別の局面によれば、硬化物が提供される。この硬化物は、上記感光性樹脂組成物を硬化してなることを特徴とする。
本発明のさらに別の局面によれば、カラーフィルターが提供される。このカラーフィルターは、基板と上記硬化物を有することを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、現像マージンが長く、かつ、テーパー型（下部ほど太い）の成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を提供することができる。また、該感光性樹脂組成物を用いれば、表面平滑性に優れる成形体を得ることができる。

【発明を実施するための形態】

【0009】

Ａ．感光性樹脂組成物の概要
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂と、色材と、分散剤と、多官能モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含む。上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含む。上記分散剤は、その酸価が１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。本発明においては、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂と、酸価が１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である分散剤とを組み合わせて用いることにより、現像マージンが長く生産性に優れ、かつ、テーパー型の成形体（硬化物ともいう）を形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。また、該感光性樹脂組成物により得られた成形体は、表面平滑性に優れる。本発明の感光性樹脂組成物においては、色材として微細な顔料または染料を用いても、現像マージンを十分に確保することができ、テーパー型の成形体を得ることができる。微細な顔料または染料を用いても、このような性能を発揮することから、本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、微細なパターンで成形体を形成することが可能となる。なお、テーパー型の成形体とは、断面視において、下部より上部の方が細い成形体を意味し、また、高さ方向で実質的に径差のない成形体も含む概念である。

【0010】

１つの実施形態においては、本発明の感光性樹脂組成物は、色材と分散剤とを含む色材分散組成物（ミルベース）と、多官能モノマーと光重合開始剤を含むクリアレジストの混合物として提供される。上記側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂は、色材分散組成物に含まれていてもよく、クリアレジストに含まれていてもよく、色材分散組成物およびクリアレジストの両方に含まれていてもよい。好ましくは、上記アルカリ可溶性樹脂は、色材分散組成物に含まれる。上記アルカリ可溶性樹脂を含む色材分散組成物は、色材（例えば、顔料）の分散安定性が非常に優れ、経時において色材が凝集し難い点で有利である。このような色材分散組成物においては、色材を微細化しても、分散性悪化を抑制することができる。また、上記色材分散組成物および／またはクリアレジストは、任意の適切な溶剤を含む。

【0011】

本発明の感光性樹脂組成物は、主としてネガ型感光性樹脂組成物として用いられ、例えば、カラーフィルター、フォトスペーサー、オーバーコート、ブラックマトリックス、ブラックカラムスペーサー、インク、塗料、シール剤等に好適に用いられ得る。１つの実施形態においては、上記感光性樹脂組成物を硬化することにより硬化物を提供することができる。本発明の感光性樹脂組成物によれば、上記のとおり、微細なパターンで成形体を形成することが可能となるため、例えば、カラーフィルターの材料として該感光性樹脂組成物を用いれば、輝度およびコントラストの向上に寄与し得るカラーフィルターを形成することができる。

【0012】

Ｂ．アルカリ可溶性樹脂
上記のとおり、アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含む。上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）を有することにより、色材の分散安定性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。また、側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）を有するアルカリ可溶性樹脂を用いれば、現像速度に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。また、側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）を有するアルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物を用いて作製された成形体（例えば、カラーフィルター）は、基板との密着性に優れ、かつ、平滑性にも優れる。上記アルカリ可溶性樹脂は、代表的には、（メタ）アクリル系樹脂である。なお、（メタ）アクリル系樹脂とは、（メタ）アクリル酸エステル等の（メタ）アクリル系モノマーを少なくとも１０重量％（質量％）以上含有するモノマー組成物を重合した樹脂であれば特に限定されず、該モノマー組成物は、（メタ）アクリル系モノマーと共重合可能な他のモノマーを含んでいてもよい。

【0013】

１つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂は、主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）をさらに含み得る。また、上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）をさらに含んでいてもよい。また、上記アルカリ可溶性樹脂は、必要に応じて、その他の構成単位（Ｄ）をさらに含んでいてもよい。

【0014】

上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にビフェニル基を有するモノマー（ａ）を含むモノマー組成物Ｉを重合して得ることができる。また、上記アルカリ可溶性樹脂が、主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）を有する場合、該アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にビフェニル基を有するモノマー（ａ）と、主鎖に環構造を有するモノマー（ｂ）および／または環構造を形成し得るモノマー（ｂ’）を含むモノマー組成物Ｉを重合して得ることができる。上記モノマー組成物Ｉは、側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）を構成するモノマー（酸基を有するモノマー（ｃ）、酸基を導入し得るモノマー（ｃ’））および／またはその他の構成単位（Ｄ）を構成するその他のモノマー（ｄ）をさらに含んでいてもよい。１つの実施形態においては、モノマー（ａ）、モノマー（ｃ）、モノマー（ｃ’）および／またはモノマー（ｄ）は（メタ）アクリル系モノマーであり、好ましくはアクリル系モノマーである。

【0015】

Ｂ−１．側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）
上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）を有することにより、色材の分散安定性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。好ましくは、側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）は、（メタ）アクリル系モノマー由来の構成単位である。

【0016】

側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）としては、例えば、ビフェニル（メタ）アクリレート、ｏ−ビフェニルオキシエチル（メタ）アクリレート（エトキシ化ｏ−フェニルフェノール（メタ）アクリレート）、ｏ−ビフェニルオキシエトキシエチル（メタ）アクリレート、ｍ−ビフェニルオキシエチルアクリレート、ｐ−ビフェニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ｏ−ビフェニルオキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ｐ−ビフェニルオキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ｍ−ビフェニルオキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシエチル−o−ビフェニル＝カルバマート、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｐ−ビフェニル＝カルバマート、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｍ−ビフェニル＝カルバマート、ｏ−フェニルフェノールグリシジルエーテルアクリレート、ｏ−ビフェニルオキシプロピル（メタ）アクリレート等の側鎖にビフェニル基を有するモノマー（ａ）由来の構成単位が挙げられる。なかでも好ましくは、アクリル系モノマー由来の構成単位である。二重結合部分にメチル基を有さないアクリル系モノマーを用いれば、現像速度が速い感光性樹脂組成物の材料となり得る感光性樹脂組成物を得ることができる。１つの実施形態において、側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）は、一般式（１）または（２）で表されるモノマー（ａ）由来の構成単位である。より好ましくは、側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）は、一般式（２）で表されるモノマー（ａ）由来の構成単位である。なお、上記モノマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。

【化2】

式（２）中、ｎ１は１〜１０であり、好ましくは１または２である。

【0017】

側鎖にビフェニル基を有する構成単位（Ａ）の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂１００重量部（質量部）に対して、好ましくは１０重量部〜８０重量部であり、より好ましくは１５重量部〜７０重量部であり、さらに好ましくは２０重量部〜６５重量部である。このような範囲であれば、本発明の効果はより顕著となる。

【0018】

アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物Ｉ中、側鎖にビフェニル基を有するモノマー（ａ）の含有割合は、モノマー組成物Ｉ中の全モノマー１００重量部に対して、好ましくは２０重量部〜８０重量部であり、より好ましくは３０重量部〜７０重量部であり、さらに好ましくは４０重量部〜６５重量部である。このような範囲であれば、本発明の効果はより顕著となる。

【0019】

Ｂ−２．主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）
上記アルカリ可溶性樹脂が、主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）を有することにより、アルカリに対する溶解性が高い樹脂を得ることができる。

【0020】

主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）としては、例えば、マレイミド構造、Ｎ−置換マレイミド構造、ラクトン環構造、グルタル酸無水物構造、無水マレイン酸構造等を有する構成単位が挙げられる。なかでも好ましくは、マレイミド構造またはＮ−置換マレイミド構造である。主鎖にマレイミド構造またはＮ−置換マレイミド構造を有する構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることにより、アルカリに対する溶解性が高い樹脂を得ることができる。具体的には、主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）は、一般式（３）〜（５）で表される構成単位から選ばれる少なくとも１種であることが好ましく、一般式（３）で表される構成単位であることがより好ましい。一般式（３）で表される構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂（好ましくは、（メタ）アクリル系樹脂）を用いれば、強度が高い硬化物を形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。

【化3】

【0021】

主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）は、一般式（６）〜（９）で表される構成単位から選ばれる少なくとも１種であってもよい。なかでも好ましくは、一般式（６）または（９）で表される構成単位である。

【化4】

式（６）〜（９）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５およびＲ^６はそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が１〜３０の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、好ましくは水素原子または炭素数が１〜１０の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、より好ましくは水素原子または炭素数が１〜５の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、さらに好ましくはメチル基である。

【0022】

主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）は、主鎖に環構造を有するモノマー（ｂ）により構成され得る。主鎖に環構造を有するモノマー（ｂ）としては、例えば、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、ナフチルマレイミド、Ｎ−ｏ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−クロロフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−クロロフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−クロロフェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−メトキシフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミド類；シクロヘキシルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド等のアルキル置換マレイミド類等が挙げられる。なかでも好ましくは、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、より好ましくはベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、さらに好ましくはベンジルマレイミドである。上記モノマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。

【0023】

主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）を構成するモノマーとして、分子内環化工程によって環構造を形成し得るモノマー（ｂ’）を用いてもよい、モノマー（ｂ’）によれば、一般式（６）〜（９）で表される構成単位が形成される。モノマー（ｂ’）としては、例えば、一般式（１０）または（１１）で表される１，６−ジエン類が挙げられる。

【化5】

式（１０）および（１１）中、Ｒ^１、Ｒ^２およびＲ^３は上記で説明したとおりである。

【0024】

主鎖に環構造を有する構成単位（Ｂ）の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは５重量部〜５０重量部であり、より好ましくは８重量部〜３０重量部であり、さらに好ましくは１０重量部〜２５重量部である。

【0025】

アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物Ｉ中、主鎖に環構造を有するモノマー（ｂ）の含有割合は、モノマー組成物Ｉ中の全モノマー１００重量部に対して、好ましくは５重量部〜５０重量部であり、より好ましくは８重量部〜３０重量部であり、さらに好ましくは１０重量部〜２５重量部である。また、アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物Ｉ中、環構造を形成し得るモノマー（ｂ’）の含有割合は、モノマー組成物Ｉ中の全モノマー１００重量部に対して、好ましくは５重量部〜５０重量部であり、より好ましくは８重量部〜３０重量部であり、さらに好ましくは１０重量部〜２５重量部である。

【0026】

Ｂ−３．側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）
好ましくは、上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）を有する。アルカリ可溶性樹脂が側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）を有していれば、アルカリ現像性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）を構成するモノマー（酸基を有するモノマー（ｃ））としては、例えば、（メタ）アクリル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルコハク酸、イタコン酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート等のカルボキシル基を有するモノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられる。なかでも好ましくは（メタ）アクリル酸である。これらのモノマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。

【0027】

側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）を構成するモノマーとして、酸基を導入し得るモノマー（ｃ’）を用いてもよい。モノマー（ｃ’）は、重合後の酸基付与を可能とするモノマーである。モノマー（ｃ’）としては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、２−イソシアナートエチル（メタ）アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。酸基を付与するための後処理は、用いるモノマー（ｃ’）の種類によって異なるが、水酸基を有するモノマー（ｃ’）を用いた場合には、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させればよい。エポキシ基を有するモノマー（ｃ’）を用いた場合には、例えば、Ｎ−メチルアミノ安息香酸、Ｎ−メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加するか、もしくは、（メタ）アクリル酸等の酸を付加させた後に生じた水酸基に、酸無水物（例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物）を付加させればよい。また、イソシアネート基を有するモノマー（ｃ’）を用いた場合には、例えば、２−ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させればよい。

【0028】

側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは１０重量部〜６０重量部であり、より好ましくは１５重量部〜５０重量部であり、さらに好ましくは１５重量部〜４５重量部である。

【0029】

アルカリ可溶性樹を脂形成する上記モノマー組成物Ｉ中、酸基を有するモノマー（ｃ）の含有割合は、モノマー組成物Ｉ中の全モノマー１００重量部に対して、好ましくは１５重量部〜６０重量部であり、より好ましくは２０重量部〜５０重量部であり、さらに好ましくは２０重量部〜４５重量部である。また、アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物Ｉ中、酸基を導入し得るモノマー（ｃ’）の含有割合は、モノマー組成物Ｉ中の全モノマー１００重量部に対して、好ましくは１５重量部〜６０重量部であり、より好ましくは２０重量部〜５０重量部であり、さらに好ましくは２０重量部〜４５重量部である。

【0030】

Ｂ−４．その他の構成単位（Ｄ）
上記アルカリ可溶性樹脂は、その他の構成単位（Ｄ）をさらに有していてもよい。その他の構成単位としては、側鎖に２以上のオキシアルキレン基を有する構成単位（Ｄ１）、上記モノマー（ａ）、モノマー（ａ’）、モノマー（ｂ）、モノマー（ｃ）および／またはモノマー（ｃ’）と重合可能なその他のモノマー（ｄ２）由来の構成単位（Ｄ２）等が挙げられる。

【0031】

（側鎖に２以上のオキシアルキレン基を有する構成単位（Ｄ１））
上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖に２以上のオキシアルキレン基を有する構成単位（Ｄ１）を有することにより、架橋密度が高く、破壊強度が高いカラーフィルターを形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。また、色材分散性に特に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。構成単位（Ｄ１）を有するアルカリ可溶性樹脂と、後述の多官能モノマー（好ましくは、オキシアルキレン基を有さない多官能モノマー）とを組み合わせて感光性樹脂組成物を構成する場合に、上記効果は特に顕著となる。

【0032】

側鎖に２以上のオキシアルキレン基を有する構成単位（Ｄ１）としては、例えば、一般式（１２）で表される構成単位が挙げられる。

【化6】

式（１２）中、Ｒ^７、Ｒ^８およびＲ^９はそれぞれ独立して、水素原子またはメチル基であり、好ましくは水素原子である。Ｒ^１０は、炭素数が１〜２０の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数が２〜２０の直鎖状もしくは分岐状のアルケニル基または炭素数が６〜２０の芳香族炭化水素基であり、好ましくは水素原子、炭素数が１〜２０の直鎖状のアルキル基、炭素数が２〜２０の直鎖状のアルケニル基または炭素数が６〜２０の芳香族炭化水素基であり、より好ましくは炭素数が１〜１０の直鎖状のアルキル基または炭素数が６〜１２の芳香族炭化水素基であり、さらに好ましくは炭素数が１〜５の直鎖状のアルキル基、フェニル基またはビフェニル基であり、特に好ましくはメチル基、フェニル基またはビフェニル基である。なお、アルキル基、アルケニル基および芳香族炭化水素基は、置換基を有していてもよい。ＡＯは、オキシアルキレン基を表す。ＡＯで表されるオキシアルキレン基の炭素数は２〜２０であり、好ましくは２〜１０であり、より好ましくは２〜５であり、さらに好ましくは２である。構成単位（Ｄ１）は１種または２種以上のオキシアルキレン基を含み得る。ｘは０〜２の整数を表す。ｙは０または１を表す。ｎ２は、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表し、２以上であり、好ましくは２〜１００であり、より好ましくは２〜５０であり、さらに好ましくは２〜１５である。ｎ２がこのような範囲であれば、基材との密着性に優れる成形体（例えば、カラーフィルター）を形成し得る感光性樹脂組成物の材料となり得る感光性樹脂組成物を得ることができる。

【0033】

側鎖に２以上のオキシアルキレン基を有する構成単位（Ｄ１）は、側鎖に２以上のオキシアルキレン基を有するモノマー（ｄ１）により構成される。モノマー（ｄ１）としては、例えば、エトキシ化ｏ−フェニルフェノール（メタ）アクリレート（ＥＯ２モル）、フェノキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート（ＥＯ４モル）、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート（ＥＯ９モル）、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート（ＥＯ１３モル）、メトキシトリエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、ブトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシルジエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシジプロピレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート（ＥＯ４―１７モル）、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート（ＰＯ５モル）、ＥＯ変性クレゾール（メタ）アクリレート（ＥＯ２モル）等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。なお、本明細書において、例えば「ＥＯ２モル」、「ＰＯ５モル」等の表記は、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表す。

【0034】

側鎖に２以上のオキシアルキレン基を有する構成単位（Ｄ１）の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは０．１重量部〜１０重量部であり、より好ましくは０．５重量部〜５重量部である。

【0035】

アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物Ｉ中、側鎖に２以上のオキシアルキレン基を有するモノマー（ｄ１）の含有割合は、モノマー組成物Ｉ中の全モノマー１００重量部に対して、好ましくは１重量部〜１０重量部であり、より好ましくは２重量部〜５重量部である。

【0036】

（その他のモノマー（ｄ２）由来の構成単位（Ｄ２））
上記その他のモノマー（ｄ２）由来の構成単位（Ｄ２）は、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ビフェニル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシルエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシプロピレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ビフェノキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、トリシクロデシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、トリシクロデシルオキシエチル（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシプロピレングリコール、ベンジル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリロイルモルホリン（モルホリノ（メタ）アクリレート）、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｔ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｔ−オクチル（メタ）アクリルアミド、ダイアセトン（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−シクロヘキシル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−フェニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ベンジル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−トリフェニルメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド等の（メタ）アクリル酸アミド類、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物、ブタジエン、イソプレン等のブタジエンまたは置換ブタジエン化合物、エチレン、プロピレン、塩化ビニル、アクリロニトリル等のエチレンまたは置換エチレン化合物；酢酸ビニル等のビニルエステル類等のモノマー（ｄ２）由来の構成単位が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。

【0037】

上記構成単位（Ｄ２）の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは０重量部〜５５重量部であり、より好ましくは５重量部〜５０重量部であり、さらに好ましくは１０重量部〜４５重量部である。

【0038】

Ｂ−５．アルカリ可溶性樹脂の重合
上記アルカリ可溶性樹脂は、上記モノマーを含むモノマー組成物を、任意の適切な方法で重合して得ることができる。重合方法としては、例えば、溶液重合法が挙げられる。

【0039】

上記モノマー組成物は、任意の適切な溶媒を含み得る。溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル類；アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート等のエステル類；メタノール、エタノール等のアルコール類；トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類；クロロホルム；ジメチルスルホキシド等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。上記モノマー組成物を重合する際の重合濃度は、好ましくは５重量％（質量％）〜９０重量％であり、より好ましくは５重量％〜５０重量％であり、さらに好ましくは１０重量％〜５０重量％である。

【0040】

上記モノマー組成物は、任意の適切な重合開始剤を含み得る。重合開始剤としては、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、ｔ−アミルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物；２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）、１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）等のアゾ化合物等が挙げられる。重合開始剤の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー１００重量部に対して、好ましくは０．１重量部〜１５重量部、より好ましくは０．２重量部〜１０重量部である。

【0041】

上記モノマー組成物は、任意の適切な連鎖移動剤を含み得る。連鎖移動剤としては、例えば、ｎ−ドデシルメルカプタン、β―メルカプトプロピオン酸等の単官能チオール化合物；両末端メルカプト変性ポリシロキサン等の２官能チオール化合物；側鎖がメルカプト変性された側鎖多官能メルカプト変性ポリシロキサン等が挙げられる。連鎖移動剤の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー１００重量部に対して、好ましくは０．１重量部〜１５重量部、より好ましくは０．５重量部〜１０重量部である。

【0042】

上記アルカリ可溶性樹脂を溶液重合法により重合する際の重合温度は、好ましくは４０℃〜１５０℃であり、より好ましくは６０℃〜１３０℃である。

【0043】

上記アルカリ可溶性樹脂は、ランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。

【0044】

上記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、好ましくはテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）溶媒によるゲル・パーミエーション・クロマトグラフ法（ＧＰＣ）で測定した値が、好ましくは３，０００〜２００，０００であり、より好ましくは４，０００〜１００，０００であり、さらに好ましくは５，０００〜５０，０００である。このような範囲であれば、耐熱性を確保し、かつ、塗膜形成に適切な粘度を有する感光性樹脂組成物を得ることができる。

【0045】

上記アルカリ可溶性樹脂の酸価は、好ましくは２０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは２５ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、さらに好ましくは３０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである。このような範囲であれば、アルカリ現像性に優れ、現像残渣の発生が少なく、かつ、密着性に優れるカラーフィルターを形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。

【0046】

本発明の感光性樹脂組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量としては、該組成物の全固形分に対して、１重量％〜５０重量％が好ましく、より好ましくは５重量％〜４０重量％である。

【0047】

Ｂ−６．側鎖に炭素二重結合を有する構成単位（Ｅ）を有するアルカリ可溶性樹脂
１つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖に炭素二重結合を有する構成単位（Ｅ）を有する。アルカリ可溶性樹脂が側鎖に炭素二重結合を有する構成単位（Ｅ）を有していれば、強度に優れるカラーフィルターを形成し得、かつ、露光感度が高い感光性樹脂組成物を得ることができる。側鎖に炭素二重結合を有する構成単位（Ｅ）は、側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）の酸基の一部または全部（好ましくは、一部）を反応点として、炭素二重結合を有する化合物を付加することにより、得ることができる。

【0048】

側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）の酸基がカルボキシル基である場合、炭素二重結合を有する化合物として、エポキシ基と二重結合とを有する化合物、イソシアネート基と二重結合とを有する化合物等が用いられ得る。エポキシ基と二重結合とを有する化合物としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、４−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル等が挙げられる。イソシアネート基と二重結合とを有する化合物としては２−イソシアナートエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）の酸基がカルボン酸無水物基である場合、炭素二重結合を有する化合物として、水酸基と二重結合とを有する化合物が用いられ得る。水酸基と二重結合とを有する化合物としては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【0049】

側鎖に炭素二重結合を有する構成単位（Ｅ）を有するアルカリ可溶性樹脂を得る場合、上記モノマー組成物を重合した後、得られた樹脂に上記炭素二重結合を有する化合物を付加する。上記炭素二重結合としてはエチレン性不飽和二重結合が好ましい。炭素二重結合を有する化合物を付加する方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。例えば、重合禁止剤および触媒の存在下で、炭素二重結合を有する化合物を、側鎖に酸基を有する構成単位（Ｃ）の酸基の一部または全部（好ましくは、一部）に反応させて付加することにより、側鎖に炭素二重結合を有する構成単位（Ｅ）を形成させることができる。

【0050】

上記炭素二重結合を有する化合物の付加量は、上記重合後のアルカリ可溶性樹脂（すなわち、炭素二重結合を有する化合物を付加する前のアルカリ可溶性樹脂）１００重量部に対して、好ましくは５重量部以上であり、より好ましくは１０重量部以上であり、さらに好ましくは１５重量部以上であり、特に好ましくは２０重量部以上である。このような範囲であれば、露光感度に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。このような感光性樹脂組成物を用いれば、緻密な硬化塗膜を形成して、基板密着性に優れ、強度が高いカラーフィルターを形成することができる。また、炭素二重結合を有する化合物の付加量が上記範囲であれば、炭素二重結合を有する化合物の付加により水酸基が十分に生成され、アルカリ現像液に対する溶解性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。上記炭素二重結合を有する化合物の付加量の上限は、上記重合後のアルカリ可溶性樹脂（すなわち、炭素二重結合を有する化合物を付加する前のアルカリ可溶性樹脂）１００重量部に対して、好ましくは１５０重量部以下であり、より好ましくは１００重量部以下であり、さらに好ましくは８０重量部以下である。

【0051】

重合禁止剤としては、例えば、６−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−キシレノール等のアルキルフェノール化合物が挙げられる。触媒としては、例えば、ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン等の３級アミンが挙げられる。

【0052】

Ｃ．色材
１つの実施形態においては、色材として、顔料が用いられる。顔料としては、任意の適切な顔料が用いられ得る。顔料は、有機顔料であってもよく、無機顔料であってもよい。有機顔料としては、例えば、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、多環式顔料（キナクリドン系、ペリレン系、ペリノン系、イソインドリノン系、イソインドリン系、ジオキサジン系、チオインジゴ系、アントラキノン系、キノフタロン系、金属錯体系、ジケトピロロピロール系等）、染料レーキ系顔料等が挙げられる。無機顔料としては、例えば、白色・体質顔料（酸化チタン、酸化亜鉛、硫化亜鉛、クレー、タルク、硫酸バリウム、炭酸カルシウム等）、有彩顔料（黄鉛、カドミニウム系、クロムバーミリオン、ニッケルチタン、クロムチタン、黄色酸化鉄、ベンガラ、ジンククロメート、鉛丹、群青、紺青、コバルトブルー、クロムグリーン、酸化クロム、バナジン酸ビスマス等）、黒色顔料（カーボンブラック、ボーンブラック、グラファイト、鉄黒、チタンブラック等）、光輝材顔料（パール顔料、アルミ顔料、ブロンズ顔料等）、蛍光顔料（硫化亜鉛、硫化ストロンチウム、アルミン酸ストロンチウム等）等が挙げられる。顔料は、目的、用途に応じて、ロジン処理、界面活性剤処理、樹脂系分散剤処理、顔料誘導体処理、酸化皮膜処理、シリカコーティング、ワックスコーティングなどの表面処理がなされていてもよい。

【0053】

顔料の数平均１次粒径は、顔料の種類に応じて、任意の適切な粒径とし得る。顔料の数平均１次粒径は、好ましくは１００ｎｍ以下であり、より好ましくは５０ｎｍ以下である。顔料の数平均１次粒径の下限は、例えば、１０ｎｍである。本発明においては、上記アルカリ可溶性樹脂を含有させることにより、顔料分散性が向上し、粒径の小さい顔料を使用することが可能となる。

【0054】

感光性樹脂組成物を調製した直後の顔料の数平均２次粒径（初期粒径）は、好ましくは２００ｎｍ以下であり、より好ましくは１５０ｎｍ以下であり、さらに好ましくは１２０ｎｍ以下であり、特に好ましくは１００ｎｍ以下である。なお、粒径は動的光散乱式粒径分布測定装置を用いて測定することができる。

【0055】

感光性樹脂組成物を調製し、４０℃の環境下で７日間経過した後の顔料の数平均２次粒径の上記初期粒径に対する変化率（７日経過後の粒径／初期粒径）は、好ましくは１５０％以下であり、より好ましくは１３０％以下であり、さらに好ましくは１１０％以下であり、特に好ましくは１０５％以下であり、最も好ましくは１００％未満である。該変化率の下限は、例えば、９０％である。本発明においては、顔料分散の安定性に優れ、経時における顔料の凝集を効果的に抑制することができる。

【0056】

顔料の含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは２０重量部〜５００重量部であり、より好ましくは５０重量部〜４００重量部であり、さらに好ましくは８０重量部〜３００重量部であり、特に好ましくは１００重量部〜２００重量部である。本発明においては、分散性よく顔料を添加することが可能であるため、顔料の含有割合を多くすることができる。顔料含有量が多い感光性樹脂組成物を用いれば、所望の特性を有しながらも、厚みの薄いカラーフィルターを形成することができる。

【0057】

別の実施形態においては、色材として染料が用いられる。染料としては、例えば、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料等が挙げられる。

【0058】

染料の含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは２０重量部〜５００重量部であり、より好ましくは５０重量部〜４００重量部であり、さらに好ましくは８０重量部〜３００重量部であり、特に好ましくは１００重量部〜２００重量部である。

【0059】

上記顔料と染料を併用してもよい、この場合、顔料および染料の合計含有割合（色材の含有割合は）、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは２０重量部〜５００重量部であり、より好ましくは５０重量部〜４００重量部であり、さらに好ましくは８０重量部〜３００重量部であり、特に好ましくは１００重量部〜２００重量部である。

【0060】

Ｄ．分散剤
上記分散剤の酸価は、１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、好ましくは１３ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、より好ましくは１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、さらに好ましくは８ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、最も好ましくは５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。このような範囲であれば、色材の分散安定性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。酸価の測定方法は後述する。

【0061】

上記分散剤のアミン価は、好ましくは２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、より好ましくは２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、さらに好ましくは１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。このような範囲であれば、分散安定性がより優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。アミン価の測定方法は後述する。

【0062】

上記分散剤としては、本発明の効果が得られる限りにおいて、任意の適切な分散剤が用いられ得る。１つの実施形態においては、上記分散剤として、アニオン性分散剤、非イオン性分散剤、カチオン性分散剤、高分子（樹脂型）分散剤等が用いられる。なかでも好ましくは、高分子（樹脂型）分散剤である。

【0063】

高分子（樹脂型）分散剤の具体例としては、例えば、ポリアクリル系ポリマー、ポリエーテル系ポリマー、ポリエステル系ポリマー、ポリウレタン系ポリマー、ポリリン酸エステル系ポリマー、ポリエチレンイミン系ポリマー、ポリアリルアミン系ポリマー、アミノ基を持つモノマーとマクロモノマーとから構成されるポリマー、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系ポリマー、ポリオキシエチレンジエステル系ポリマー、ポリエーテルリン酸系ポリマー、ポリエステルリン酸系ポリマー、ソルビタン脂肪族エステル系ポリマー、脂肪族変性ポリエステル系ポリマー等が挙げられる。また、高分子（樹脂型）分散剤として、ポリウレタン、ポリアクリレートなどのポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水素基含有ポリカルボン酸エステル、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩、（メタ）アクリル酸−スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエステル系、変性ポリアクリレート、エチレンオキサイド／ポリプロピレンオキサイド付加物等を用いてもよい。上記共重合体としては、ブロック共重合体が好ましく用いられる。

【0064】

上記の分散剤のなかでも、アクリル系ポリマー、ブロック共重合体、ウレタン系ポリマーが好ましく用いられる。

【0065】

上記分散剤として市販品を用いてもよい。市販品の具体例としては、ビックケミー・ジャパン社製の商品名「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０３」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０８」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０９」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１２」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１６」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１３０」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６３」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６４」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６６」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６８」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７１」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８２」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８３」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８５」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８４」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２０００」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２０５０」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２０７０」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２０９６」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２１５０」、ＢＹＫ−９０７７」；味の素社製の商品名「アジスパーＰＢ８２２」、「アジスパーＰＮ４１１」；楠本化成社製の商品名「ディスパロンＤＡ−３７５」、「ディスパロンＥＤ−２５１」；エレメンティス社製の商品名「ヌースパース６５７ＮＡ」；ＴＥＧＯ社製の商品名「ＴＥＧ Ｄｉｓｐｅｒ６５０」、「ＴＥＧ Ｄｉｓｐｅｒ６５２」、「ＴＥＧ Ｄｉｓｐｅｒ６６２Ｃ」、「ＴＥＧ Ｄｉｓｐｅｒ６７０」、「ＴＥＧ Ｄｉｓｐｅｒ７１０」、「ＴＥＧ Ｄｉｓｐｅｒ７４０Ｗ」、「ＴＥＧ Ｄｉｓｐｅｒ７５２Ｗ」等が挙げられる。なかでも、耐熱性、電気信頼性、分散性の点から、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６３」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６４」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６６」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６８」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７１」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８２」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８３」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８５」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８４」、「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２０００」または「ディスパロンＥＤ−２５１」が好ましい。

【0066】

また、構造としては、主鎖が色材への相互作用部位を有するアンカー鎖で、グラフト鎖が分散媒への相互作用性を有する相溶性鎖であるようなグラフト構造の樹脂や、アンカー鎖と相溶性鎖がブロック構造になっている樹脂が、特に好ましく用いられる。

【0067】

分散剤の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは５重量部〜１００重量部であり、より好ましくは１０重量部〜７０重量部であり、さらに好ましくは１０重量部〜５０重量部であり、特に好ましくは２０重量部〜４０重量部である。

【0068】

また、分散剤の含有割合は、色材１００重量部に対して、好ましくは１重量部〜８０重量部であり、より好ましくは１重量部〜６０重量部であり、さらに好ましくは１重量部〜５０重量部である。

【0069】

Ｃ．多官能モノマー
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、多官能モノマーを含み得る。多官能モノマーとしては、例えば、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の多官能芳香族ビニル系モノマー；（ジ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、トリス（ヒドロキシエチル）イソシアヌレートのトリ（メタ）アクリレート等の多官能（メタ）アクリレート類；これらのモノマーをカプロラクトン変性またはアルキレンオキサイド変性した多官能モノマー等が挙げられる。なかでも好ましくは、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、トリス（ヒドロキシエチル）イソシアヌレートのトリ（メタ）アクリレート等が好ましい。これらの多官能モノマーを用いれば、官能基数が多いので架橋密度の高いカラーフィルターを得ることができる。本発明では、上記のとおりオキシアルキレン基を有するバインダーポリマーが用いられる一方、上記多官能モノマーについては、オキシアルキレン基を有していてもよく、有していなくてもよい。好ましくは、オキシアルキレン基を有さない多官能モノマーが用いられる。

【0070】

上記多官能モノマーの含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは５重量部〜２００重量部であり、より好ましくは１０重量部〜１５０重量部であり、さらに好ましくは３０重量部〜１２０重量部であり、特に好ましくは３５重量部〜１００重量部である。

【0071】

Ｄ．光重合開始剤
上記光重合開始剤としては、任意の適切な光重合開始剤が用いられ得る。代表的には、ラジカル光重合開始剤が用いられる。光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類；アセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１，１−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類；２−メチルアントラキノン、２−アミルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラキノン等のアントラキノン類；２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン等のチオキサントン類；アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類；ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１等のα―アミノケトン類；２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシー２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］−フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン等のα―ヒドロキシケトン類；１，２−オクタンジオン、１−[４−（フェニルチオ）−,２−,（Ｏ-ベンゾイルオキシム）]、エタノン、１−[９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル]−,１−（Ｏ−アセチルオキシム）、ＩＲＧＡＣＵＲＥＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥＯＸＥ０４（ＢＡＳＦ製）等のオキシム・エステル類；アシルホスフィンオキサイド類およびキサントン類等が挙げられる。これらの光重合開始剤は単独で、または２種類以上組み合わせて用いてもよい。

【0072】

上記光重合開始剤の含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは５重量部〜５０重量部であり、より好ましくは１０重量部〜４０重量部である。

【0073】

また、光重合開始剤に加えて光重合開始助剤を組み合わせて用いてもよい。光重合開始助剤を複数の組み合わせで用いることもできる。光重合開始助剤の具体例としては、１，３，５−トリス（３−メルカプトプロピオニルオキシエチル）−イソシアヌレート、１，３，５−トリス（３−メルカプトブチルオキシエチル）−イソシアヌレート（昭和電工社製、カレンズＭＴ（登録商標）ＮＲ１）、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート等の３官能チオール化合物；ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）（昭和電工社製、カレンズＭＴ（登録商標）ＰＥ１）等の４官能チオール化合物；ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−プロピオネート）等の６官能チオール化合物等の多官能チオールが挙げられる。

【0074】

Ｅ．溶剤
本発明の感光性樹脂組成物は、任意の適切な溶剤を含み得る。溶剤としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート等のエステル類；メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類；トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類；クロロホルム、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。溶剤の量は、所望とする感光性樹脂組成物の粘度に応じて、任意の適切な量に設定され得る。例えば、溶剤は、感光性樹脂組成物中、５０重量％〜９０重量％の割合で含まれることが好ましく、６０重量％〜９０重量％の割合で含まれることがより好ましい。

【0075】

Ｇ．添加剤
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、任意の適切なその他の添加剤をさらに含み得る。その他の添加剤としては、例えば、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、硫酸バリウム等の充填材、消泡剤、カップリング剤、レベリング剤、増感剤、離型剤、滑剤、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、重合抑制剤、増粘剤、有機微粒子、無機微粒子（酸化亜鉛系、酸化ケイ素系、ジルコニア系、チタン系）、シリカ等の多孔質微粒子、シリカ等の中空微粒子等が挙げられる。また、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂以外のその他樹脂を含んでいてもよい。その他の樹脂を含む場合、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂の含有割合は、樹脂の総重量１００重量部に対して、好ましくは３０重量部以上であり、より好ましくは５０重量部以上であり、さらに好ましくは６５重量部以上であり、特に好ましくは６５重量部以上１００重量部未満である。

【0076】

Ｈ．カラーフィルター
上記感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルターを得ることができる。１つの実施形態においては、カラーフィルターは、感光性樹脂組成物の硬化物を含み、基板と該基板上に形成された硬化物とを有する。本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、平滑性に優れ、かつ、基板との密着性にも優れるカラーフィルターを形成することができる。

【0077】

上記カラーフィルターは、フォトリソグラフィにより形成することができる。具体的には、上記感光性樹脂組成物を基板に塗布した後に乾燥させ、得られた塗膜上にフォトマスクを配置して露光し、塗膜を硬化させ、その後、現像することにより、カラーフィルターを形成することができる。フォトリソグラフィによれば、微細なパターンにてカラーフィルターを形成することができる。本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、微細なパターンで形成されていても、基板の密着性に優れるカラーフィルターを得ることができる。

【0078】

１つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂と上記色材とを含む色材分散組成物（以下、ミルベースともいう）、および上記アルカリ可溶性樹脂と上記多官能モノマーとを含むクリアレジストを混合して、上記感光性樹脂組成物が調製される。上記ミルベースは、分散剤をさらに含み得る。また、上記クリアレジストは、光重合開始剤をさらに含み得る。また、ミルベースおよび／またはクリアレジストは、任意の適切な溶剤を含み得る。Ａ項で説明したとおり、側鎖に側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂は、ミルベースまたはクリアレジストの両方、あるいは、いずれか一方に含まれ得る。

【0079】

上記ミルベースにおいて、色材の含有割合は、ミルベース中のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは１５重量部〜５００重量部であり、より好ましくは２０重量部〜４００重量部であり、さらに好ましくは２０重量部〜３５０重量部である。

【0080】

上記ミルベースにおいて、分散剤の含有割合は、ミルベース中のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは２重量部〜８０重量部であり、より好ましくは５重量部〜６０重量部であり、さらに好ましくは１０重量部〜５０重量部である。

【0081】

上記クリアレジストにおいて、多官能モノマーの含有割合は、クリアレジスト中のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは５０重量部〜４００重量部であり、より好ましくは１００重量部〜３５０重量部であり、さらに好ましくは１５０重量部〜３００重量部である。

【0082】

上記クリアレジストにおいて、光重合開始剤の含有割合は、クリアレジスト中のアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは５重量部〜２００重量部であり、より好ましくは１０重量部〜１５０重量部であり、さらに好ましくは１０重量部〜１２０重量部である。

【0083】

上記感光性樹脂組成物の塗布方法としては、例えば、スピンコーター、バーコーター、グラビアコーター、ロールコーター、ナイフコーター、アプリケーター等を用いる方法が挙げられる。乾燥温度は、好ましくは４０℃〜２００℃であり、より好ましくは７０℃〜１２０℃である。乾燥時間は、好ましくは１分間〜３０分間であり、より好ましくは２分間〜１０分間である。

【0084】

上記フォトマスクの配置位置は、所望とするカラーフィルターのサイズに応じて、任意の適切な位置に配置される。フォトマスクは塗膜の上部に配置され、塗膜とフォトマスクとの距離は、好ましくは０μｍ〜５００μｍであり、より好ましく１０μｍ〜４００μｍであり、さらに好ましくは２０μｍ〜３００μｍであり、特に好ましくは３０μｍ〜２００μｍである。

【0085】

上記露光時のＵＶ照射強度（３６５ｎｍ照度換算）は、好ましくは１０ｍＪ／ｃｍ^２〜２００ｍＪ／ｃｍ^２であり、より好ましくは２０ｍＪ／ｃｍ^２〜１５０ｍＪ／ｃｍ^２であり、さらに好ましくは３０ｍＪ／ｃｍ^２〜１００ｍＪ／ｃｍ^２である。

【0086】

上記現像に際しては、アルカリ水溶液を用いることが好ましい。環境への負荷が少なく高感度の現像を行うことができるからである。アルカリ成分としては、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム等が用いられる。アルカリ水溶液のアルカリ濃度は、好ましくは０．０１重量％〜５重量％であり、より好ましくは０．０２重量％〜３重量％であり、さらに好ましくは０．０３重量％〜１重量％である。このような範囲であれば、上記感光性樹脂組成物を適切に溶解して、現像性よくカラーフィルターを形成することができる。アルカリ水溶液には界面活性剤をさらに添加してもよい。

【0087】

現像後に、ポストベークを行ってもよい。ポストベーク時の加熱温度は、好ましくは１５０℃〜３００℃である、より好ましくは１８０℃〜２５０℃である。加熱時間は、好ましくは１０分〜９０分であり、より好ましくは２０分〜６０分である。感光性樹脂組成物が、側鎖に２以上のオキシアルキレン基を有する構成単位（Ｄ１）を有する（メタ）アクリル系樹脂を含んでいれば、ポストベークにより、架橋密度の高いカラーフィルターを形成することができる。

【実施例】

【0088】

以下に、実施例により、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されるものではない。製造例および実施例における各特性値の測定方法は以下のとおりである。

【0089】

（ａ）重量平均分子量：Ｍｗ
ＧＰＣ（ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ、東ソー社製）にてＴＨＦを溶離液とし、カラムにＴＳＫｇｅｌ ＳｕｐｅｒＨＺＭ−Ｎ（東ソー社製）を用いて測定し、標準ポリスチレン換算にて算出した。
（ｂ）固形分
製造例で調製した共重合体溶液をアルミカップに約０．３ｇはかり取り、アセトン約１ｇを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させた。その後、熱風乾燥機（商品名：ＰＨＨ−１０１、エスペック社製）を用い、１４０℃で３時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、重量を測定した。その重量減少量から、ポリマー溶液の固形分（樹脂）の重量を計算した。
（３）酸価、アミン価
アルカリ可溶性樹脂の酸価：製造例で調製したアルカリ可溶性樹脂を１．５ｇ精秤し、アセトン９０ｇと水１０ｇの混合溶媒に溶解させ、０．１ＮのＫＯＨ水溶液で滴定した。滴定は、自動滴定装置（商品名：ＣＯＭ−５５５、平沼産業社製）を用いて行い、固形分濃度から、ポリマー１ｇ当たりの酸価を求めた（ｍｇＫＯＨ／ｇ）。
顔料分散剤の酸価：顔料分散剤を１．５ｇ精秤し、アセトン９０ｇと水１０ｇの混合溶媒に溶解させ、０．１ＮのＫＯＨ水溶液で滴定した。滴定は、自動滴定装置（商品名：ＣＯＭ−５５５、平沼産業社製）を用いて行い、固形分濃度から、顔料分散剤１ｇ当たりの酸価を求めた（ｍｇＫＯＨ／ｇ）。
アミン価：試料（顔料分散剤不揮発分）５ｇを精秤し、エタノール５０ｍｌ及びブロモフェノールブルー試薬１ｍｌを加えて溶かし、０．５ｍｏｌ／Ｌ塩酸で液が緑色を呈するまで滴定した。下記式によりアミン価を算出した（ｍｇＫＯＨ／ｇ）。
アミン価＝２８．０５×ｂ／ｃ
ｂ：滴定で消費された０．５ｍｏｌ／Ｌ塩酸の量（ｍｌ）
ｃ：試料の量（ｇ）

【0090】

［製造例１］
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ベンジルマレイミド（ＢｚＭＩ）１５ｇ、アクリル酸（ＡＡ）３２ｇ、１モルエトキシ化フェニルフェノールアクリレート（商品名「ＨＲＤ−０１」、日本蒸溜社製、以下ＨＲＤ−０１ともいう）５３ｇ、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート（商品名「パーブチル（登録商標）Ｏ」、日本油脂社製、以下ＰＢＯともいう）２ｇ、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）４２ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）１８ｇを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ドデシルメルカプタン（ｎＤＭ）２．０ｇ、ＰＧＭＥＡ１８．２ｇおよびＰＧＭＥ７．８ｇを投入し、撹拌混合した。
反応槽にＰＧＭＥＡ９８ｇとＰＧＭＥ４２ｇを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を９０℃に保ちながら、１８０分間かけて滴下した。滴下が終了してから３０分後にＰＢＯ０．５ｇを加えた。さらに３０分後、反応槽を１１５℃に昇温した。１．５時間、１１５℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝７／９３（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、メタクリル酸グリシジル（ＧＭＡ）４１ｇ、重合禁止剤として６−ｔｅｒｔ−ブチル−２，４−キシレノール（商品名「トパノール」、東京化成工業社製）０．３ｇ、触媒としてジメチルベンジルアミン（ＤＭＢＡ）０．５ｇを仕込み、１１０℃で１時間、１１５℃で７時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂３８．６重量％を含む共重合体溶液（Ａ−１）を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は１５０００、酸価は７０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量（Ｍｗ）および酸価を、製造例２〜９とともに、表１に示す。

【0091】

【表1】

【0092】

［製造例２］
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ＢｚＭＩ１５ｇ、ＡＡ２１ｇ、ＨＲＤ−０１を６４ｇ、ＰＢＯ２ｇ、ＰＧＭＥＡ４０ｇを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ｎＤＭ０．５ｇ、ＰＧＭＥＡ１０ｇを投入し、撹拌混合した。
反応槽にＰＧＭＥＡ１００ｇを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を９０℃に保ちながら、１８０分間かけて滴下した。滴下が終了してから３０分後にＰＢＯ０．５ｇを加えた。さらに３０分後、反応槽を１１５℃に昇温した。１．５時間、１１５℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝７／９３（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、ＧＭＡ１４ｇ、重合禁止剤としてトパノール０．３ｇ、触媒としてＤＭＢＡ０．５ｇ、ＰＧＭＥＡ２１ｇを仕込み、１１０℃で１時間、１１５℃で７時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂３９．４重量％を含む共重合体溶液（Ａ−２）を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は２７０００、酸価は９７ｍｇＫＯＨ／ｇであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量（Ｍｗ）および酸価を表１に示す。

【0093】

［製造例３］
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ＢｚＭＩ１５ｇ、ＡＡ４２ｇ、ＨＲＤ−０を１４３ｇ、ＰＢＯ２ｇ、ＰＧＭＥＡ４２ｇおよびＰＧＭＥ１８ｇを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ｎＤＭ２．０ｇ、ＰＧＭＥＡ１８．２ｇおよびＰＧＭＥ７．８ｇを投入し、撹拌混合した。
反応槽にＰＧＭＥＡ９８ｇとＰＧＭＥ４２ｇを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を９０℃に保ちながら、１８０分間かけて滴下した。滴下が終了してから３０分後にＰＢＯ０．５ｇを加えた。さらに３０分後、反応槽を１１５℃に昇温した。１．５時間、１１５℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝７／９３（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、ＧＭＡ４１ｇ、重合禁止剤としてトパノール０．３ｇ、触媒としてＤＭＢＡ０．５ｇを仕込み、１１０℃で１時間、１１５℃で７時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂３８．５重量％を含む共重合体溶液（Ａ−３）を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は１６０００、酸価は１２５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量（Ｍｗ）および酸価を表１に示す。

【0094】

［製造例４］
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ＢｚＭＩ１５ｇ、ＡＡ４２ｇ、ＨＲＤ−０１を４３ｇ、ＰＢＯ２ｇ、ＰＧＭＥＡ４２ｇおよびＰＧＭＥ１８ｇを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ｎＤＭ２．０ｇ、ＰＧＭＥＡ１８．２ｇおよびＰＧＭＥ７．８ｇを投入し、撹拌混合した。
反応槽にＰＧＭＥＡ９８ｇとＰＧＭＥ４２ｇを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を９０℃に保ちながら、１８０分間かけて滴下した。滴下が終了してから３０分後にＰＢＯ０．５ｇを加えた。さらに３０分後、反応槽を１１５℃に昇温した。１．５時間、１１５℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝７／９３（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、ＧＭＡ６９ｇ、重合禁止剤としてトパノール０．３ｇ、触媒としてＤＭＢＡ０．５ｇ、ＰＧＭＥＡ１９ｇ、ＰＧＭＥ８．５ｇを仕込み、１１０℃で１時間、１１５℃で８時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂３９．０重量％を含む共重合体溶液（Ａ−４）を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は１８２００、酸価は４５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量（Ｍｗ）および酸価を表１に示す。

【0095】

［製造例５］
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ＢｚＭＩ１５ｇ、ＡＡ３２ｇ、ＨＲＤ−０１を５３ｇ、ＰＢＯ２ｇ、ＰＧＭＥＡ４２ｇおよびＰＧＭＥ１８ｇを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ｎＤＭ５．０ｇ、ＰＧＭＥＡ１８．２ｇおよびＰＧＭＥ７．８ｇを投入し、撹拌混合した。
反応槽にＰＧＭＥＡ９８ｇとＰＧＭＥ４２ｇを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を９０℃に保ちながら、１８０分間かけて滴下した。滴下が終了してから３０分後にＰＢＯ０．５ｇを加えた。さらに３０分後、反応槽を１１５℃に昇温した。１．５時間、１１５℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝７／９３（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、ＧＭＡ４１ｇ、重合禁止剤としてトパノール０．３ｇ、触媒としてＤＭＢＡ０．５ｇを仕込み、１１０℃で１時間、１１５℃で７時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂３８．５重量％を含む共重合体溶液（Ａ−５）を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は１０４００、酸価は６９ｍｇＫＯＨ／ｇであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量（Ｍｗ）および酸価を表１に示す。

【0096】

［製造例６］
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ジメチル−２、２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート（ＭＤ）１５ｇ、ＡＡ３２ｇ、ＨＲＤ−０を１５３ｇ、ＰＢＯ２ｇ、ＰＧＭＥＡ４２ｇおよびＰＧＭＥ１８ｇを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ｎＤＭ２．０ｇ、ＰＧＭＥＡ１８．２ｇおよびＰＧＭＥ７．８ｇを投入し、撹拌混合した。
反応槽にＰＧＭＥＡ９８ｇとＰＧＭＥ４２ｇを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を９０℃に保ちながら、１８０分間かけて滴下した。滴下が終了してから３０分後にＰＢＯ０．５ｇを加えた。さらに３０分後、反応槽を１１５℃に昇温した。１．５時間、１１５℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝７／９３（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、ＧＭＡ４１ｇ、重合禁止剤としてトパノール０．３ｇ、触媒としてＤＭＢＡ０．５ｇを仕込み、１１０℃で１時間、１１５℃で７時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂３８．５重量％を含む共重合体溶液（Ａ−６）を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は１５２００、酸価は７０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量（Ｍｗ）および酸価を表１に示す。

【0097】

［製造例７］
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、（α−アリルオキシメチル）アクリル酸メチル（ＡＭＡ）１５ｇ、ＡＡ３２ｇ、ＨＲＤ−０１を５３ｇ、ＰＢＯ２ｇ、ＰＧＭＥＡ４２ｇおよびＰＧＭＥ１８ｇを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ｎＤＭ２．０ｇ、ＰＧＭＥＡ１８．２ｇおよびＰＧＭＥ７．８ｇを投入し、撹拌混合した。
反応槽にＰＧＭＥＡ９８ｇとＰＧＭＥ４２ｇを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を９０℃に保ちながら、１８０分間かけて滴下した。滴下が終了してから３０分後にＰＢＯ０．５ｇを加えた。さらに３０分後、反応槽を１１５℃に昇温した。１．５時間、１１５℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝７／９３（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、ＧＭＡ４１ｇ、重合禁止剤としてトパノール０．３ｇ、触媒としてＤＭＢＡ０．５ｇを仕込み、１１０℃で１時間、１１５℃で７時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂３８．６重量％を含む共重合体溶液（Ａ−７）を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は１４９００、酸価は７１ｍｇＫＯＨ／ｇであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量（Ｍｗ）および酸価を表１に示す。

【0098】

［製造例８］
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ＢｚＭＩ１５ｇ、ＡＡ３２ｇ、ベンジルアクリレート（ＢｚＡ）５３ｇ、ＰＢＯ２ｇ、ＰＧＭＥＡ４２ｇおよびＰＧＭＥ１８ｇを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ｎＤＭ２．０ｇ、ＰＧＭＥＡ１８．２ｇおよびＰＧＭＥ７．８ｇを投入し、撹拌混合した。
反応槽にＰＧＭＥＡ９８ｇとＰＧＭＥ４２ｇを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を９０℃に保ちながら、１８０分間かけて滴下した。滴下が終了してから３０分後にＰＢＯ０．５ｇを加えた。さらに３０分後、反応槽を１１５℃に昇温した。１．５時間、１１５℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝７／９３（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、ＧＭＡ４１ｇ、重合禁止剤としてトパノール０．３ｇ、触媒としてＤＭＢＡ０．５ｇを仕込み、１１０℃で１時間、１１５℃で７時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂３８．７重量％を含む共重合体溶液（Ａ−８）を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は１５６００、酸価は７１ｍｇＫＯＨ／ｇであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量（Ｍｗ）および酸価を表１に示す。

【0099】

［製造例９］
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ＡＡ３２ｇ、シクロヘキシルメタクリレート（ＣＨＭＡ）６８ｇ、ＰＢＯ２ｇ、ＰＧＭＥＡ４２ｇおよびＰＧＭＥ１８ｇを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ｎＤＭ２．０ｇ、ＰＧＭＥＡ１８．２ｇおよびＰＧＭＥ７．８ｇを投入し、撹拌混合した。
反応槽にＰＧＭＥＡ９８ｇとＰＧＭＥ４２ｇを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を９０℃に保ちながら、１８０分間かけて滴下した。滴下が終了してから３０分後にＰＢＯ０．５ｇを加えた。さらに３０分後、反応槽を１１５℃に昇温した。１．５時間、１１５℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝７／９３（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、ＧＭＡ４１ｇ、重合禁止剤としてトパノール０．３ｇ、触媒としてＤＭＢＡ０．５ｇを仕込み、１１０℃で１時間、１１５℃で７時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂３８．８重量％を含む共重合体溶液（Ａ−９）を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は１５５００、酸価は７２ｍｇＫＯＨ／ｇであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量（Ｍｗ）および酸価を表１に示す。

【0100】

［実施例１］
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液（Ａ−１）９．０７ｇ（すなわち、樹脂３．５ｇ）、分散剤としてＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２０００（不揮発分１．３ｇ、酸価：０ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価：４ｍｇＫＯＨ／ｇ；ビックケミー・ジャパン社製、以下ｂｙｋ２０００と表す）３．２５ｇ、色材として顔料のＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４（チバスペシャリティケミカルズ製、以下ＰＲ２５４と表す）８．０ｇを２２５ｍｌマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が２０重量％となるようＰＧＭＥＡで希釈した。これに径１．０ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、フタをした。これをペイントシェーカーで３時間振とうし、３時間後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．５ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．３ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうして、顔料分散組成物ｒ（ミルベース）を得た。
この顔料分散組成物ｒに、多官能モノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（共栄社化学社製、以下ＤＰＨＡと表す）３．５ｇ、アルカリ可溶性樹脂として上記共重合体溶液（Ａ−１）４．６６ｇ（すなわち、樹脂１．８ｇ）、および光重合開始剤として２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−プロパン−１−オン（ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７、ＢＡＳＦジャパン社製、以下Ｉｒｇ９０７と表す）１．９ｇを含むクリアレジストＩを加え、不揮発分濃度が２０重量％となるようにＰＧＭＥＡで希釈した。その後、ジルコニアビーズを除去し、孔径１．０μｍのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物Ｒ１を調製した。

【0101】

［実施例２〜１０、比較例１、２］
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表２に示す樹脂としたこと以外は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物Ｒ２〜Ｒ１２を得た。なお、表中の「ｂｙｋ２００１」は、ビックケミー・ジャパン社製の商品名「ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２００１」であり、当該分散剤の酸価は１９ｍｇＫＯＨ／ｇであり、アミン価は２９ｍｇＫＯＨ／ｇである。

【0102】

【表2】

【0103】

［実施例１１］
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液（Ａ−１）９．０７ｇ（すなわち、樹脂３．５ｇ）、分散剤としてｂｙｋ２０００を３．２５ｇ（不揮発分１．３ｇ）、色材として顔料のＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６（Ｈｅｕｂａｃｈ製、以下ＰＧ３６と表す）４．８ｇとＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０（Ｌａｎｘｅｓｓ製、以下ＰＹ１５０と表す）３．２ｇを２２５ｍｌマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が２０重量％となるようＰＧＭＥＡで希釈した。これに径１．０ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、フタをした。これをペイントシェーカーで３時間振とうし、３時間後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．５ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．３ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうして、顔料分散組成物ｇを得た。
この顔料分散組成物ｇに多官能モノマーとしてＤＰＨＡ３．５ｇ、バインダー樹脂として上記共重合体溶液（Ａ−１）４．６６ｇ（すなわち、樹脂１．８ｇ）、および光重合開始剤として２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１（商品名「ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）３６９」、ＢＡＳＦジャパン社製、以下Ｉｒｇ３６９と表す）１．９ｇを含むクリアレジストＩＩを加え、不揮発分濃度が２０重量％となるようにＰＧＭＥＡで希釈した。ジルコニアビーズを除去した後、孔径１．０μｍのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物Ｇ１を調製した。

【0104】

［実施例１２〜２０、比較例３、４］
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表３に示す樹脂としたこと以外は、実施例１１と同様にして感光性樹脂組成物Ｇ２〜１２を得た。

【0105】

【表3】

【0106】

［実施例２１］
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液（Ａ−１）９．０７ｇ（すなわち、樹脂３．５ｇ）、分散剤としてｂｙｋ２０００を３．２５ｇ（不揮発分１．３ｇ）、色材として顔料のＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３（Ｃｌａｒｉａｎｔ製、以下ＰＶ２３と表す）１．６ｇ、染料のＣ．Ｉ．ソルベントブルー３５（ＭＰ Ｂｉｏｍｎｅｄｉｃａｌｓ製、以下ＳＢ３５と表す）６．４ｇを２２５ｍｌマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が２０重量％となるようＰＧＭＥＡで希釈した。これに径１．０ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、フタをした。これをペイントシェーカーで３時間振とうし、３時間後顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．５ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．３ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうして、顔料分散組成物ｂを得た。
この顔料分散組成物ｂに多官能モノマーとしてＤＰＨＡ３．５ｇ、バインダー樹脂として上記共重合体溶液（Ａ−１）４．６６ｇ（すなわち、樹脂１．８ｇ）、および光重合開始剤（Ｉｒｇ３６９）１．９ｇを含むクリアレジストＩＩを加え、不揮発分濃度が２０重量％となるようにＰＧＭＥＡで希釈した。ジルコニアビーズを除去した後、孔径１．０μｍのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物Ｂ１を調製した。

【0107】

［実施例２２〜３０、比較例５、６］
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表４に示す樹脂としたこと以外は、実施例２１と同様にして感光性樹脂組成物Ｂ２〜１２を得た。

【0108】

【表4】

【0109】

［実施例３１］
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液（Ａ−１）９．０７ｇ（すなわち、樹脂３．５ｇ）、分散剤としてＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６４（不揮発分１．３ｇ、酸価：０ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価：１８ｍｇＫＯＨ／ｇ；ビックケミー・ジャパン社製、以下ｂｙｋ１６４と表す）を２．１７ｇ、色材として顔料のプリンテックス４５（オリオン・エンジニアドカーボンズ製、以下ＰＴ４５と表す）８．０ｇを２２５ｍｌマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が２０重量％となるようＰＧＭＥＡで希釈した。これに径１．０ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーで３時間振とうした。３時間後顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．５ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．３ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうして、顔料分散組成物ｋを得た。
この顔料分散組成物ｋに多官能モノマーとしてＤＰＨＡ３．５ｇ、バインダー樹脂として上記共重合体溶液（Ａ−１）４．６６ｇ（すなわち、樹脂１．８ｇ）、および光重合開始剤としてエタノン,１−[９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル]−,１−（Ｏ−アセチルオキシム）（商品名「ＩＲＧＡＣＵＲＥＯＸＥ０２」、ＢＡＳＦジャパン社製、以下ＯＸＥ０２と表す）１．９ｇを含むクリアレジストＩＩＩを加え、不揮発分濃度が２０重量％となるようにＰＧＭＥＡで希釈した。ジルコニアビーズを除去した後、孔径１．０μｍのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物Ｋ１を調製した。

【0110】

［実施例３２〜４０、比較例７］
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表５に示す樹脂としたこと以外は、実施例３１と同様にして感光性樹脂組成物Ｋ２〜１１を得た。

【0111】

【表5】

【0112】

［実施例４１］
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液（Ａ−１）９．０７ｇ（すなわち、樹脂３．５ｇ）、分散剤としてＤＩＳＰＥＲＢＹＫ-１８２（不揮発分１．３ｇ、酸価：０ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価：１３ｍｇＫＯＨ／ｇ；ビックケミー・ジャパン社製、以下ｂｙｋ１８２と表す）３．０２ｇ、色材として酸化チタンＴＴＯ―５１（石原産業製、以下ＴＴＯ―５１と表す）８．０ｇを２２５ｍｌマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が２０重量％となるようＰＧＭＥＡで希釈した。これに径１．０ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーで３時間振とうした。３時間後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．５ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、０．３ｍｍのジルコニアビーズ６４ｇを加え、ペイントシェーカーでさらに３時間振とうして、顔料分散組成物ｗを得た。
この顔料分散組成物ｗに多官能モノマーとしてＤＰＨＡ３．５ｇ、バインダー樹脂として上記共重合体溶液（Ａ−１）４．６６ｇ（すなわち、樹脂１．８ｇ）、および光重合開始剤（Ｉｒｇ９０７）１．９ｇを含むクリアレジストＩを加え、不揮発分濃度が２０重量％となるようにＰＧＭＥＡで希釈した。ジルコニアビーズを除去した後、孔径１．０μｍのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物Ｗ１を調製した。

【0113】

［実施例４２〜５０、比較例８、９］
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表６に示す樹脂としたこと以外は、実施例４１と同様にして感光性樹脂組成物Ｗ２〜１２を得た。

【0114】

【表6】

【0115】

＜評価＞
実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物を用い、下記現像方法にしたがいラインアンドペースのパターンを形成し、下記（１）〜（４）の評価を行った。結果を表２〜６に示す。
（現像方法）
１０ｃｍ角のガラス基板上に、感光性樹脂組成物をスピンコーターにより塗布し、オーブンで９０℃３分間乾燥した。乾燥後、塗膜から１００μｍの距離に１５μｍのラインアンドスペースを有するフォトマスクを配置して２．０ｋＷの超高圧水銀ランプを装着したＵＶアライナ（商品名「ＴＭＥ−１５０ＲＮＳ」、ＴＯＰＣＯＮ社製）によって１００ｍＪ／ｃｍ^２の強度（３６５ｎｍ照度換算）で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗膜に０．０５％の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で１０秒間水洗することにより現像して、ラインアンドスペースのパターンを形成した。
（１）ブレイク時間
現像時、パターン形成が可能な最短現像時間（水酸化カリウム水溶液散布時間）をブレイク時間として、評価した。
（２）剥がれの生じる時間
現像時、水酸化カリウム水溶液散布の散布を続け、パターンに剥がれの生じ始めるまでの時間を評価した。
（３）現像マージン
上記剥がれの生じ始める現像時間からブレイク時間を引いた時間を現像マージンとして評価した。
（４）パターン断面形状
パターンの形状はＦＥ−ＳＥＭ（商品名「ＪＳＭ−７６００ＦＡ」、日本電子製）を用いて測定した。１５μｍのラインアンドスペースフォトマスクで得られたパターンをガラス面の水平方向から測定を行い、パターン上底幅をＸ、パターン下底幅をＹとしたとき、Ｘ／Ｙが１以上である場合をテーパー型、１未満である場合を逆テーパー型とした。
この評価においては、感光性樹脂組成物Ｒ１〜１２、感光性樹脂組成物Ｇ１〜１２、感光性樹脂組成物Ｂ１〜１２、感光性樹脂組成物Ｗ１〜１２はアルカリ現像時間４０秒後のサンプルを測定し、感光性樹脂組成物Ｋ１〜１１はアルカリ現像時間６０秒後のサンプルを測定した。

【0116】

（５）面内均一性
１０ｃｍ角のガラス基板上に、感光性樹脂組成物をスピンコーターにより塗布し、オーブンで９０℃３分間乾燥した。乾燥後、塗膜全面に２．０ｋＷの超高圧水銀ランプを装着したＵＶアライナ（商品名「ＴＭＥ−１５０ＲＮＳ」、ＴＯＰＣＯＮ社製）によって１００ｍＪ／ｃｍ^２の強度（３６５ｎｍ照度換算）で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗膜に０．０５％の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて２０秒散布後、純水で１０秒間水洗した。その後、オーブンで２３０℃ ３０分加熱した。
上記のようにして得られたサンプルの算術平均表面粗さＲａを、レーザー顕微鏡（商品名「ＶＫ−９７００」、キーエンス社製）を用いて測定し、面内均一性を評価した。測定範囲は、１４００μｍ×１０５０μｍとした。結果を表２〜６に示す。

【0117】

表２〜６から明らかなように、本願発明の感光性樹脂組成物は、現像マージンが長く、かつ、テーパー型の成形体を形成し得る。