6912938 離間装置および離間方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6912938

(24)【登録日】2021年7月13日

(45)【発行日】2021年8月4日

(54)【発明の名称】離間装置および離間方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20210727BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/78 W

【請求項の数】3

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2017-105561(P2017-105561)

(22)【出願日】2017年5月29日

(65)【公開番号】特開2018-200973(P2018-200973A)

(43)【公開日】2018年12月20日

【審査請求日】2020年3月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】岡本 直也

(72)【発明者】

【氏名】山田 忠知

(72)【発明者】

【氏名】田久 真也

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１６−１１１１８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１４３３１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−０２９８５５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

接着シート上の板状部材に４方向の張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、
前記接着シートをそれぞれ複数の保持部材で保持する複数の保持手段と、
前記保持部材を前記４方向のうち前記保持手段ごとに異なる１方向に移動させるとともに、当該保持部材を前記１方向に交差する交差方向に移動させて前記接着シートを伸長させる伸長手段と、
前記伸長手段による前記保持部材の移動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記片状体のサイズと前記片状体の間隔の目標値とを下記式（１）に適用して前記接着シートの伸長量の目標値を算出し、前記伸長手段に前記接着シートの伸長量が当該伸長量の目標値となるように前記保持部材を移動させることを特徴とする離間装置。
［式１］
ＣＤ＝（Ｋ１×ＣＳ＋Ｋ２）×ＥＡ ・・・（１）
ＣＤ：片状体の間隔（μｍ）
ＣＳ：片状体のサイズ（ｍｍ）
ＥＡ：接着シートの伸長量（ｍｍ）
Ｋ１、Ｋ２：定数

【請求項2】

前記片状体の相互間隔を測定する測定手段を有し、
前記制御手段は、前記測定手段の測定結果を基に、前記伸長手段に前記保持部材を移動させることを特徴とする請求項１に記載の離間装置。

【請求項3】

接着シート上の板状部材に４方向の張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、
それぞれ複数の保持部材を備える複数の保持手段で前記接着シートを保持する保持工程と、
前記保持部材を前記４方向のうち前記保持手段ごとに異なる１方向に移動させるとともに、当該保持部材を前記１方向に交差する交差方向に移動させて前記接着シートを伸長させる伸長工程とを備え、
前記伸長工程では、前記片状体のサイズと前記片状体の間隔の目標値とを下記式（１）に適用して前記接着シートの伸長量の目標値を算出し、前記接着シートの伸長量が当該伸長量の目標値となるように前記保持部材を移動させることを特徴とする離間方法。
［式１］
ＣＤ＝（Ｋ１×ＣＳ＋Ｋ２）×ＥＡ ・・・（１）
ＣＤ：片状体の間隔（μｍ）
ＣＳ：片状体のサイズ（ｍｍ）
ＥＡ：接着シートの伸長量（ｍｍ）
Ｋ１、Ｋ２：定数

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、離間装置および離間方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）を所定の形状、所定のサイズに切断して複数の半導体チップ（以下、単に「チップ」という場合がある）に個片化し、個片化した各チップの相互間隔を広げてからリードフレームや基板等の被搭載物上に搭載することが行われている。各チップは、計算で導き出される位置（以下、「理論上の位置」という場合がある）を基準として搬送装置やピックアップ装置等の搬送手段によって搬送され、被搭載物上に搭載される。

【0003】

また、近年、電子機器の小型化、軽量化、及び高機能化が進んでおり、電子機器に搭載される半導体装置にも、小型化、薄型化、及び高密度化が求められている。このため、チップは、そのサイズに近いパッケージに実装されることがある。このようなパッケージは、チップスケールパッケージ（Ｃｈｉｐ Ｓｃａｌｅ Ｐａｃｋａｇｅ；ＣＳＰ）と称されることもある。ＣＳＰを製造するプロセスの一つとして、ウエハレベルパッケージ（Ｗａｆｅｒ Ｌｅｖｅｌ Ｐａｃｋａｇｅ；ＷＬＰ）が挙げられる。ＷＬＰにおいては、ダイシングによりパッケージを個片化する前に、チップ回路形成面に外部電極などを形成し、最終的にはチップを含むパッケージウエハをダイシングして、個片化する。ＷＬＰとしては、ファンイン（Ｆａｎ−Ｉｎ）型とファンアウト（Ｆａｎ−Ｏｕｔ）型が挙げられる。ファンアウト型のＷＬＰ（以下、ＦＯ−ＷＬＰと略記する場合がある。）においては、チップを、チップサイズよりも大きな領域となるように封止部材で覆ってチップ封止体を形成し、再配線層や外部電極を、チップの回路面だけでなく封止部材の表面領域においても形成する。この場合、個片化した各チップを封止部材で囲う前に、エキスパンド用のウエハマウントテープに貼り替え、ウエハマウントテープを展延して複数のチップの間の距離を拡大させる。

【0004】

チップ（片状体）の相互間隔を広げる離間方法としては、ウエハ（板状部材）が貼付された保護テープやウエハマウントテープ等の接着シートを複数の保持手段で保持し、当該保持手段を互いに離間する方向に移動させることが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなチップの相互間隔を広げる方法では、例えば＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向の張力を接着シートに付与する。これにより、接着シートに上記４方向に加え、例えば、それらの合成方向すなわち、＋Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向との合成方向、＋Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向、−Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向との合成方向、−Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向にも張力が付与されることを防止し、各片状体の位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１６−１１１１８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

各片状体を理論上の位置に配置するために必要な接着シートの伸長量は、片状体のサイズや接着シートの種類によって異なるため、片状体のサイズや接着シートを変更する度に、実際に接着シートを伸長させながら各片状体の位置を確認して伸長量を設定する必要がある。この設定には時間が掛かり、設定に伴って単位時間あたりの処理能力が低下してしまうため、簡易な方法で接着シートの伸長量を設定でき、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止することが望まれている。

【0007】

本発明の目的は、簡易な方法で接着シートの伸長量を設定でき、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止できる離間装置および離間方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の離間装置は、接着シート上の板状部材に４方向の張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、前記接着シートをそれぞれ複数の保持部材で保持する複数の保持手段と、前記保持部材を前記４方向のうち前記保持手段ごとに異なる１方向に移動させるとともに、当該保持部材を前記１方向に交差する交差方向に移動させて前記接着シートを伸長させる伸長手段と、前記伸長手段による前記保持部材の移動を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記片状体のサイズと前記片状体の間隔の目標値とに応じて前記接着シートの伸長量の目標値を算出し、前記伸長手段に前記接着シートの伸長量が当該伸長量の目標値となるように前記保持部材を移動させることを特徴とする。

【0009】

本発明の離間装置において、前記制御手段は、前記片状体のサイズと前記片状体の間隔の目標値とを下記式（１）に適用して前記接着シートの伸長量の目標値を算出することが好ましい。
［式１］
ＣＤ＝（Ｋ１×ＣＳ＋Ｋ２）×ＥＡ ・・・（１）
ＣＤ：片状体の間隔（μｍ）
ＣＳ：片状体のサイズ（ｍｍ）
ＥＡ：接着シートの伸長量（ｍｍ）
Ｋ１、Ｋ２：定数

【0010】

本発明の離間装置は、前記片状体の相互間隔を測定する測定手段を有し、前記制御手段は、前記測定手段の測定結果を基に、前記伸長手段に前記保持部材を移動させることが好ましい。

【0011】

本発明の離間方法は、接着シート上の板状部材に４方向の張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、それぞれ複数の保持部材を備える複数の保持手段で前記接着シートを保持する保持工程と、前記保持部材を前記４方向のうち前記保持手段ごとに異なる１方向に移動させるとともに、当該保持部材を前記１方向に交差する交差方向に移動させて前記接着シートを伸長させる伸長工程とを備え、前記伸長工程では、前記片状体のサイズと前記片状体の間隔の目標値とに応じて前記接着シートの伸長量の目標値を算出し、前記接着シートの伸長量が当該伸長量の目標値となるように前記保持部材を移動させることを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

以上のような本発明によれば、片状体のサイズと片状体の間隔の目標値とに応じて接着シートの伸長量の目標値を算出し、接着シートの伸長量が当該伸長量の目標値となるように保持部材を移動させるため、簡易な方法で接着シートの伸長量を設定でき、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止することができる。

【0013】

また、片状体のサイズと片状体の間隔の目標値とを式（１）に適用して接着シートの伸長量の目標値を算出するようにすれば、さらに簡易な方法で接着シートの伸長量を設定でき、単位時間あたりの処理能力が低下することをより効果的に防止することができる。
また、片状体の相互間隔の測定結果を基に、保持部材を目標伸長量に合わせて移動させれば、接着シートに板状部材が仮着された一体物毎に各片状体の位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の第１実施形態に係る離間装置の側面図。

【図2】図１の離間装置の平面図。

【図3】図１の離間装置の動作説明図。

【図4】接着シートの伸長量とチップ間距離との関係を示すグラフ。

【図5】チップサイズとチップ間距離との関係を示すグラフ。

【図6】複数のチップサイズとチップ間距離との関係との関係を示すグラフ。

【図7】図５を接着シートの伸長量とチップ間距離との関係で示したグラフ。

【図8】チップサイズと図７の線形回帰勾配との関係を示すグラフ。

【図9】本発明の第２実施形態に係る離間装置の平面図。

【図10】図９の離間装置の動作説明図。

【図11】図９の離間装置の動作説明図。

【図12】本発明の第３実施形態に係る離間装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向であって図１中紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
また、第２実施形態以降において、第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。

【0016】

［第１実施形態］
図１、図２において、離間装置１０は、接着シートＡＳ上の板状部材としての四角形のウエハＷＦに＋Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｘ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向に張力を付与して当該ウエハＷＦから形成される複数の片状体としてのチップＣＰの相互間隔を広げる装置であって、接着シートＡＳをそれぞれ５体の保持部材２１で保持する４体の保持手段２０と、保持部材２１を前記４方向のうち保持手段２０ごとに異なる１方向に移動させるとともに、当該保持部材２１を前記１方向に交差する交差方向に移動させて接着シートＡＳを伸長させる駆動機器である伸長手段としてのリニアモータ３０Ａ、３０Ｂと、リニアモータ３０Ａ、３０Ｂによる保持部材２１の移動を制御する制御手段４０と、チップＣＰの相互間隔を測定する光学センサやカメラ等の測定手段５０とを備えている。なお、ウエハＷＦは、平面視で正方形状とされ、切断刃、加圧水、ドライエッチング等のウエハ切断手段によりチップＣＰに個片化されているか、レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップＣＰに個片化可能とされ、接着シートＡＳに仮着されて一体物ＷＫとされている。また、接着シートＡＳは、平面視で正方形状に形成されている。

【0017】

保持手段２０は、リニアモータ３０Ｂの複数のスライダ３１Ｂの各々に支持された保持部材２１を備えている。
保持部材２１は、スライダ３１Ｂに支持された下支持部材２２と、下支持部材２２に支持された駆動機器としての回動モータ２３と、回動モータ２３の出力軸２３Ａ（貫通軸）に支持された上支持部材２４とを備えている。

【0018】

保持手段２０およびリニアモータ３０Ａは、中心点ＣＴを中心としてそれぞれ前後左右に４体設けられている。
リニアモータ３０Ｂは、リニアモータ３０Ａのスライダ３１Ａに支持されている。
以上のような構成により、リニアモータ３０Ａが保持手段２０ごとに異なる方向に保持手段２０を移動させるとともに、リニアモータ３０Ｂが保持手段２０の移動方向に交差する交差方向に保持部材２１を移動させることで、接着シートＡＳに張力を付与可能に設けられている。

【0019】

制御手段４０は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等で構成され、リニアモータ３０Ａ、３０Ｂによる保持部材２１の移動を制御するのみならず、離間装置１０全体の動作を制御可能に構成されている。

【0020】

以上の離間装置１０において、ウエハＷＦから形成される複数のチップＣＰの相互間隔を広げる手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示す離間装置１０に対し、当該離間装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、片状体のサイズとしてのチップサイズ、片状体の間隔としてのチップ間距離の目標値、および接着シートＡＳによって決まる後述する定数Ｋ１、Ｋ２の値を入力するとともに、自動運転開始の信号を入力する。なお、チップサイズは、チップＣＰの一辺の長さである。また、チップ間距離は、個片化されて広がったウエハＷＦ（相互間隔が広げられたチップＣＰ群）における対向する２辺の所定の位置（以下、対向する２辺の所定の位置を「基準位置」という場合がある）の間隔である。

【0021】

そして、使用者または、搬送ロボット、多関節ロボット、ベルトコンベア等の図示しない搬送手段が一体物ＷＫを搬送し、当該一体物ＷＫが各下支持部材２２上に配置されるように載置する。このとき、測定手段５０と、一体物ＷＫを移動可能な図示しない位置決め手段とが共動し、ウエハＷＦと各保持部材２１との位置決めを行う。その後、各保持手段２０が回動モータ２３を駆動し、図２に示すように、接着シートＡＳを下支持部材２２と上支持部材２４とで挟み込む。

【0022】

次に、制御手段４０がリニアモータ３０Ａ、３０Ｂを駆動し、図３に示すように、保持手段２０を＋Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｘ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向に移動させながら、保持手段２０を移動させる方向に交差する交差方向に保持部材２１を等間隔で移動させる。この際、制御手段４０は、チップサイズＣＳとチップ間距離ＣＤの目標値とを下記の式（１）に適用して接着シートＡＳの伸長量ＥＡの目標値を算出する。そして、制御手段４０は、接着シートＡＳの伸長量ＥＡが式（１）で得られる目標値となり、かつ各保持手段２０の保持部材２１の間隔が等間隔となるように、リニアモータ３０Ａ、３０Ｂを駆動する。これにより、接着シートＡＳに＋Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｘ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向に張力が付与され、チップＣＰの相互間隔がチップ間距離ＣＤの目標値に広がる。

【0023】

［式１］
ＣＤ＝（Ｋ１×ＣＳ＋Ｋ２）×ＥＡ ・・・（１）
ＣＤ：チップ間距離（μｍ）
ＣＳ：チップサイズ（ｍｍ）
ＥＡ：接着シートＡＳの伸長量（ｍｍ）
Ｋ１、Ｋ２：定数

【0024】

チップ間距離ＣＤには、操作手段を介して入力された目標値が使用され、チップサイズＣＳには、操作手段を介して入力されたサイズ値が使用される。定数Ｋ１、Ｋ２は、接着シートＡＳによって定まる値であり、操作手段を介して入力される。なお、式（１）の根拠については、後述する。

【0025】

その後、搬送装置やピックアップ装置等の図示しない搬送手段が各チップＣＰを保持して搬送し、トレイ、リードフレームや基板等の被搭載物上に搭載する。そして、全てのチップＣＰの搬送が終了すると、制御手段４０が各駆動機器を駆動し、各構成部材を初期位置に復帰させた後、チップＣＰが取り外された一体物ＷＫを搬送手段が回収し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0026】

以上のように、離間装置１０は、接着シートＡＳの伸長量ＥＡを式（１）から得られる値にすることで、チップ間距離ＣＤをその目標値にすることができる。ここで、式（１）は、以下の根拠に基づいて定められている。
先ず、チップＣＰが正方形の場合の接着シートＡＳの伸長量ＥＡとチップ間距離ＣＤとの関係について調べるために、各保持手段２０それぞれを＋Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｘ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向に移動させながら、各保持手段２０の保持部材２１を等間隔に移動させたところ、図４に示す結果が得られた。なお、接着シートＡＳには、表１に示すものを使用した。また、チップ間距離ＣＤは、ウエハＷＦをＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って５列ずつ分割して得られる２５個のチップＣＰのうち、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の各々の中央列に位置する９個のチップＣＰについて、互いに対向する辺の間隔を測定し、その平均値を使用した。

【0027】

【表1】

【0028】

図４に示すように、接着シートＡＳによって伸長量ＥＡに対するチップ間距離ＣＤの値が異なるものの、全ての接着シートＡＳに対して、伸長量ＥＡとチップ間距離ＣＤとの間に線形の関係が成り立った。なお、チップＣＰは、３×３ｍｍの正方形のサイズとした。
さらに、チップサイズＣＳを変えて調べたところ、図５に示すように、接着シートＡＳの伸長量ＥＡが何れの条件下でも、チップサイズＣＳとチップ間距離ＣＤとの間に線形の関係が成り立った。なお、接着シートＡＳには、表１のＡのものを使用した。

【0029】

次に、チップＣＰが長方形の場合のチップサイズＣＳとチップ間距離ＣＤとの関係について調べるために、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のサイズが６×２ｍｍ、６×４ｍｍ、６×６ｍｍの各々のチップＣＰについて、接着シートＡＳをＸ軸方向およびＹ軸方向に同じ量伸長させたところ、図６に示す結果が得られた。なお、接着シートＡＳには、表１のＡのものを使用した。また、接着シートＡＳの伸長量ＥＡは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向とも６０ｍｍとした。

【0030】

図６に示すように、６×６ｍｍの正方形のチップＣＰでは、チップ間距離ＣＤがＸ軸方向およびＹ軸方向で概ね同じ値になった。一方、６×２ｍｍおよび６×４ｍｍの長方形のチップＣＰでは、Ｘ軸方向のチップ間距離ＣＤがチップサイズＣＳに対して線形的に減少し、Ｙ軸方向のチップ間距離ＣＤがチップサイズＣＳに対して線形的に増加した。このため、接着シートＡＳをＸ軸方向とＹ軸方向とでチップサイズＣＳに応じて独立して伸長させるべく、図５のグラフをチップサイズＣＳごとに、接着シートＡＳの伸長量ＥＡとチップ間距離ＣＤとの関係で示したものが図７である。

【0031】

図７に示すように、チップサイズＣＳが異なる場合でも、接着シートＡＳの伸長量ＥＡに対してチップ間距離ＣＤが線形的に増加する。このため、接着シートＡＳの伸長量ＥＡとチップ間距離ＣＤとの間には、下記の式（２）の関係が成り立つ。

【0032】

［式２］
ＣＤ＝Ｋ×ＥＡ ・・・（２）
Ｋ：線形回帰勾配

【0033】

そこで、図７の各グラフの勾配を線形回帰により求めたところ、各チップサイズＣＳに対する式（２）の関係式は、下記の表２のようになった。表２に示すように、各チップサイズＣＳとも相関係数が０．９９であり、良好な線形性を示している。

【0034】

【表2】

【0035】

図８は、表２のチップサイズＣＳと線形回帰勾配Ｋとの関係をグラフ化したものである。図８に示すように、線形回帰勾配Ｋは、チップサイズＣＳに対して線形的に増加する。この場合、チップサイズＣＳと線形回帰勾配Ｋとの間には、下記の式（３）の関係が成り立つ。

【0036】

［式３］
Ｋ＝１．２３×ＣＳ＋３．８１・・・（３）

【0037】

そして、式（３）を式（２）に代入すると、下記の式（４）が得られる。

【0038】

［式４］
ＣＤ＝（１．２３×ＣＳ＋３．８１）×ＥＡ・・・（４）

【0039】

式（４）は、表１のＡの接着シートＡＳに対するチップサイズＣＳ、チップ間距離ＣＤ、および接着シートＡＳの伸長量ＥＡの関係式である。したがって、表１のＡの接着シートＡＳを使用する場合、チップサイズＣＳとチップ間距離ＣＤの目標値とを式（４）に適用すれば、接着シートＡＳの伸長量ＥＡが求まる。チップＣＰが正方形の場合、チップサイズＣＳの値が１つであるため、式（４）を用いた算出式が１つになる。チップＣＰが長方形の場合、チップサイズＣＳがＸ軸方向とＹ軸方向とで異なり、チップサイズＣＳごとに式（４）の算出式を適用するので、式（４）を用いた算出式が２つになる。

【0040】

また、これまでの説明から、接着シートＡＳやチップサイズＣＳが変わっても、チップサイズＣＳ、チップ間距離ＣＤ、および接着シートＡＳの伸長量ＥＡの間に線形の関係が成り立つことになる。そこで、式（４）の定数部分を一般化したものが、上記式（１）である。したがって、接着シートＡＳごとに式（１）の定数Ｋ１、Ｋ２の値が定まっていれば、接着シートＡＳが変わっても、接着シートＡＳに合わせて定数Ｋ１、Ｋ２の値を変えることで、接着シートＡＳの伸長量ＥＡを容易に求めることができる。

【0041】

以上のような実施形態によれば、チップサイズＣＳとチップ間距離ＣＤの目標値とに応じて接着シートＡＳの伸長量ＥＡの目標値を算出し、接着シートＡＳの伸長量ＥＡが当該伸長量ＥＡの目標値となるように保持部材２１を移動させるため、簡易な方法で接着シートＡＳの伸長量ＥＡを設定でき、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止することができる。

【0042】

［第２実施形態］
図９において、離間装置１０は、制御手段４０が測定手段５０の測定結果を基に保持部材２１の移動を制御するように構成されている。なお、接着シートＡＳおよびウエハＷＦは、それぞれ平面視で円形状に形成されている。

【0043】

制御手段４０は、上記と同様に、接着シートＡＳの伸長量ＥＡが式（１）で得られる値となり、かつ各保持手段２０の保持部材２１の間隔が等間隔となるように、リニアモータ３０Ａ、３０Ｂを駆動する。これにより、チップ間距離ＣＤを目標値に近付けることができるが、図１０に示すように、それでもなおチップＣＰの相互間隔に微妙に違いが生じ、各チップＣＰを理論上の位置に配置することができないことがある。

【0044】

そこで、制御手段４０が測定手段５０の測定結果を基にリニアモータ３０Ｂを駆動し、図１１に示すように、保持部材２１を前後方向または左右方向にさらに移動させて各保持部材２１同士の間隔を調整することにより、チップＣＰの相互間隔を調整することができる。これにより、各チップＣＰを理論上の位置に配置させる（各チップＣＰの相互間隔を極力等間隔にする）。
なお、リニアモータ３０Ｂの駆動によりチップＣＰの相互間隔を調整する際、各保持部材２１の少なくとも１つが移動してもよいし、これらの移動距離や移動方向は同じでもよいし、異なっていてもよい。

【0045】

［第３実施形態］
図１２において、離間装置１０は、駆動機器である伸長手段としてのリニアモータ３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃを備え、リニアモータ３０Ｃのスライダで保持部材２１を支持する。
リニアモータ３０Ｃは、リニアモータ３０Ａと平行に延設され、リニアモータ３０Ｂのスライダ３１Ｂに支持されている。

【0046】

以上の離間装置１０において、制御手段４０は、上記と同様に、リニアモータ３０Ａ、３０Ｂを駆動し、チップ間距離ＣＤを目標値に近付ける。それでもなおチップＣＰの相互間隔に微妙に違いが生じ、各チップＣＰを理論上の位置に配置することができない場合、制御手段４０は、リニアモータ３０Ｃを駆動し、図１２に示すように、保持手段２０を移動させる方向と平行な方向に保持部材２１を移動させて各チップＣＰを理論上の位置に配置させる。

【0047】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0048】

保持手段２０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段や、接着剤、磁力等で一体物ＷＫを支持する構成でもよい。
保持手段２０が有する保持部材２１は、２体から４体であってもよいし、６体以上であってもよいし、各保持手段２０での個数が同じでもよいし、異なっていてもよい。
各保持部材２１が移動する交差方向は、リニアモータ３０Ａによって保持手段２０が移動する方向に直交する方向でもよいし、斜めに交差する方向であってもよい。この場合、リニアモータ３０Ｃを設けてもよい。

【0049】

伸長手段は、各保持手段２０の少なくとも１体を固定しておき他の保持手段２０を移動させてもよく、この場合、固定しておく保持手段２０を移動させるリニアモータ３０Ａを設けなくてもよい。
リニアモータ３０Ａに代えてまたは併用して、リニアモータ３０Ｃを設けてもよい。この場合、リニアモータ３０Ｃを保持部材２１毎に設けてもよいし、保持部材２１毎に設けなくてもよい。
リニアモータ３０Ｂは、各保持部材２１の少なくとも１体を固定しておき他の保持部材２１をリニアモータ３０Ａによって保持手段２０が移動する方向に対する直交方向に移動させてもよい。

【0050】

制御手段４０は、接着シートＡＳとその定数Ｋ１、Ｋ２の値とを関連付けて記憶しておき、操作手段を介して接着シートＡＳを選択することで、式（１）に定数Ｋ１、Ｋ２を自動的に適用してもよい。
制御手段４０は、チップサイズＣＳ、チップ間距離ＣＤ、および接着シートＡＳの伸長量ＥＡの間に、式（１）以外の一定の関係が成り立つ場合、当該一定の関係にチップサイズＣＳとチップ間距離ＣＤの目標値とを適用して、接着シートＡＳの伸長量ＥＡの目標値を算出してもよい。

【0051】

測定手段５０は、制御手段４０が測定手段５０の測定結果を基に保持部材２１の移動を制御しない場合なくてもよい。この場合、チップＣＰの相互間隔が同じでないことを認識した使用者が保持手段２０、リニアモータ３０Ｂを操作して、チップＣＰの相互間隔を調整してもよい。

【0052】

接着シートＡＳの形状は、円形であってもよいし五角形以上の多角形であってもよいし、その他の形状であってもよい。
ウエハＷＦは、長方形とされてもよい。
チップＣＰは、円形、正方形、長方形、三角形や五角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。
一体物ＷＫは、円形状のウエハＷＦが正方形状の接着シートＡＳに仮着されたものでもよいし、正方形状または長方形状のウエハＷＦが円形状の接着シートＡＳに仮着されたものでもよい。

【0053】

また、本発明における接着シートＡＳの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や五角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層または複層の中間層を有するものや、中間層のない単層または複層のものであってよい。また、基材や接着剤層の材質、種別、厚さ等は、特に限定されず、例えば、ウレタン材質の基材であってもよい。

【0054】

板状部材や片状体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や五角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。さらに、板状部材としては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品等も対象とすることができ、片状体は、それらが個片化されたものであればよい。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0055】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、接着シートを複数の保持部材で保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0056】

１０…離間装置
２０…保持手段
２１…保持部材
３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ…リニアモータ（伸長手段）
４０…制御手段
５０…測定手段
ＡＳ…接着シート
ＣＤ：チップ間距離（片状体の間隔）
ＣＰ…チップ（片状体）
ＣＳ：チップサイズ（片状体のサイズ）
ＥＡ：接着シートの伸長量
ＷＦ…ウエハ（板状部材）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】