特許6914978試料交換装置及び荷電粒子線装置

発明の名称　試料交換装置及び荷電粒子線装置

出願人　日本電子株式会社　（識別番号 4271）

　　　　特許公開件数ランキング 631 位（43件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 685 位（36件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6914978

公報発行日　2021年8月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6914978

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