特許 6922303 超音波デバイスユニット、超音波探触子、及び超音波装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6922303

(24)【登録日】2021年8月2日

(45)【発行日】2021年8月18日

(54)【発明の名称】超音波デバイスユニット、超音波探触子、及び超音波装置

(51)【国際特許分類】

   H04R 17/00 20060101AFI20210805BHJP

   H04R 1/06 20060101ALI20210805BHJP

   A61B 8/14 20060101ALN20210805BHJP

【ＦＩ】

   H04R17/00 330H

   H04R1/06 330

   H04R17/00 330G

   H04R17/00 332B

   !A61B8/14

【請求項の数】8

【全頁数】25

(21)【出願番号】特願2017-55814(P2017-55814)

(22)【出願日】2017年3月22日

(65)【公開番号】特開2018-160739(P2018-160739A)

(43)【公開日】2018年10月11日

【審査請求日】2020年1月23日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100116665

【弁理士】

【氏名又は名称】渡辺 和昭

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(72)【発明者】

【氏名】吉田 一輝

【審査官】 渡邊 正宏

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０５−０５６４９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ａ６１Ｂ ８／００− ８／１５

Ｈ０４Ｒ １／００− １／０２

Ｈ０４Ｒ １／０６

Ｈ０４Ｒ １／２０− １／３４

Ｈ０４Ｒ １／４０

Ｈ０４Ｒ １／４４

Ｈ０４Ｒ ３／００

Ｈ０４Ｒ ９／００

Ｈ０４Ｒ １３／００

Ｈ０４Ｒ １５／００

Ｈ０４Ｒ １７／００

Ｈ０４Ｒ １７／１０

Ｈ０４Ｒ １９／００

Ｈ０４Ｒ ２３／００

Ｈ０４Ｒ ２９／００−３１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

デバイス側端子を有する超音波デバイスと、
前記超音波デバイスを支持する支持部を有する補強板と、
前記超音波デバイスに接続されるフレキシブルプリント基板と、を備え、
前記フレキシブルプリント基板は、
前記デバイス側端子に接続される接続部と、
前記接続部に連続し、前記超音波デバイスから離れる方向に延設され、延出方向に沿う端縁を有する屈曲部と、を備え、
前記補強板は、
前記延出方向に交差する第一方向に沿う第一辺に設けられ、前記支持部から離れる方向に凸となる円弧曲面を有し、前記屈曲部に対向する屈曲案内部と、
前記屈曲案内部の、前記第一方向の端部に設けられ、前記屈曲部の前記端縁を案内するガイド面と、を備える
ことを特徴とする超音波デバイスユニット。

【請求項2】

請求項１に記載の超音波デバイスユニットにおいて、
前記延出方向において、前記ガイド面の前記支持部とは反対側の端部は、前記屈曲案内部の突出先端よりも、前記支持部から離れる側に位置する
ことを特徴とする超音波デバイスユニット。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載の超音波デバイスユニットにおいて、
前記補強板は、前記第一方向に沿う第三辺と、前記第一辺及び前記第三辺に交差して前記延出方向に沿う第二辺及び第四辺を有する矩形状であり、前記第一辺及び前記第三辺と、前記第二辺及び前記第四辺とが交差する角部のうちの少なくとも３つに、前記第一方向に沿った第一基準面及び前記延出方向に沿った第二基準面を備える基準角部が設けられ、
前記基準角部の前記第一辺に交差する面に前記ガイド面が設けられている
ことを特徴とする超音波デバイスユニット。

【請求項4】

請求項３に記載の超音波デバイスユニットにおいて、
前記フレキシブルプリント基板は、前記屈曲部の前記端縁と、当該端縁に対向する対向縁と、を開口縁に含むスリットを備え、
前記スリットの前記端縁から前記対向縁までの前記第一方向に沿った幅寸法は、前記基準角部の前記第一方向の幅寸法以上である
ことを特徴とする超音波デバイスユニット。

【請求項5】

請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の超音波デバイスユニットにおいて、
前記補強板は、樹脂部材により構成され、前記支持部が設けられる面とは反対側の裏面に凹部を備え、
前記凹部に金属板が設けられている
ことを特徴とする超音波デバイスユニット。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の超音波デバイスユニットと、
前記超音波デバイスユニットを格納する筐体と、
を備えることを特徴とする超音波探触子。

【請求項7】

請求項６に記載の超音波探触子において、
前記補強板は、前記第一方向に沿う第三辺と、前記第一辺及び前記第三辺に交差して前記延出方向に沿う第二辺及び第四辺を有する矩形状であり、前記第一辺及び前記第三辺と、前記第二辺及び前記第四辺とが交差する角部のうちの少なくとも３つに、前記第一方向に沿った第一基準面及び前記延出方向に沿った第二基準面を備え、前記第一辺に交差する面に前記ガイド面が設けられる基準角部を備え、
前記筐体は、前記第一基準面及び前記第二基準面に接するユニット保持部を備える
ことを特徴とする超音波探触子。

【請求項8】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の超音波デバイスユニットと、
前記超音波デバイスユニットを制御する制御部と、
を備えることを特徴とする超音波装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、超音波デバイスユニット、超音波探触子、及び超音波装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、電装部材に対してフレキシブルプリント基板（フレキ板）を接続する配線構造が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１の超音波デバイスユニットは、複数の超音波素子のそれぞれに対応する端子を有する超音波デバイスを備え、当該超音波デバイスがフレキシブルプリント基板（フレキ板）を介して、装置端末に接続される。
このフレキ板は、中心線に対して一端側に第一平板部が設けられ、この第一平板部に超音波デバイスが固定される。また、フレキ板は、中心線に対して他端側に第二平板部が設けられ、この第二平板部に超音波デバイスの各端子を接続されるコネクターが設けられる。そして、フレキ板を折り曲げて第二平板部と第一平板部に重ね合せることで、フレキ板のサイズを超音波デバイスのサイズに合わせている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６−９２５９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、超音波の送信又は受信を行う超音波プローブ（超音波探触子）では、超音波デバイスを筐体内の限られたスペースに配置する必要がある。ここで、上記特許文献１に記載のフレキ板では、超音波デバイスにフレキ板を接続して、フレキ板を折り曲げて超音波デバイスに対して重ね合せている。しかしながら、フレキ板の折り曲げ方向が超音波デバイスの端辺の方向に対して傾斜した場合、フレキ板の一部が超音波デバイスと重なり合わず、超音波デバイスの端辺より外側に突出してしまい、フレキ板を限られたスペース内に収納させることが困難となる。

【0005】

本発明は、簡素な構成で小型化を図れる超音波デバイスユニット、超音波探触子、及び超音波装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一適用例に係る超音波デバイスユニットは、デバイス側端子を有する超音波デバイスと、前記超音波デバイスを支持する支持部を有する補強板と、前記超音波デバイスに接続されるフレキシブルプリント基板と、を備え、前記フレキシブルプリント基板は、前記デバイス側端子に接続される接続部と、前記接続部に連続し、前記超音波デバイスから離れる方向に延設され、延出方向に沿う端縁を有する屈曲部と、を備え、前記補強板は、前記延出方向に交差する第一方向に沿う第一辺に設けられ、前記支持部から離れる方向に凸となる円弧曲面を有し、前記屈曲部に対向する屈曲案内部と、前記屈曲案内部の、前記第一方向の端部に設けられ、前記屈曲部の前記端縁を案内するガイド面と、を備えることを特徴とする。

【0007】

本適用例では、超音波デバイスのデバイス側端子に対してフレキシブルプリント基板の接続部を接続した際に、接続部に連続する屈曲部が補強板の第一辺に設けられる屈曲案内部に対向し、かつ屈曲部の端縁が屈曲案内部の端部に設けられたガイド面に当接可能となる。よって、フレキシブルプリント基板の屈曲部を屈曲案内部に沿わせることで、屈曲部における配線の断線を抑制できる。また、屈曲部の端縁をガイド面に沿わせることで、屈曲部が第一辺に対して傾斜する方向に湾曲される不都合を抑制できる。また、フレキシブルプリント基板の一部が補強板の外縁より外側に突出する不都合を抑制でき、超音波デバイスユニットの小型化を図れる。

【0008】

本適用例の超音波デバイスユニットでは、前記延出方向において、前記ガイド面の前記支持部とは反対側の端部は、前記屈曲案内部の突出先端よりも、前記支持部から離れる側に位置することが好ましい。
本適用例では、ガイド面が、屈曲案内部よりも延出方向に突出している。従って、屈曲部を屈曲案内部に沿わせる際に、常に屈曲部の端縁をガイド面に案内させることができる。よって、屈曲部を適切に第一辺に沿って折り曲げることができる。

【0009】

本適用例の超音波デバイスユニットにおいて、前記補強板は、前記第一方向に沿う第三辺と、前記第一辺及び前記第三辺に交差して前記延出方向に沿う第二辺及び第四辺を有する矩形状であり、前記第一辺及び前記第三辺と、前記第二辺及び前記第四辺とが交差する角部のうちの少なくとも３つに、前記第一方向に沿った第一基準面及び前記延出方向に沿った第二基準面を備える基準角部が設けられ、前記基準角部の前記第一辺に交差する面に前記ガイド面が設けられていることが好ましい。
本適用例では、ガイド面が設けられる基準角部を少なくとも３つ備えている。このような構成では、超音波デバイスユニットを、電子機器における所定位置に固定する際に、基準角部の第一基準面及び第二基準面により位置決めすることができる。

【0010】

本適用例の超音波デバイスユニットにおいて、前記フレキシブルプリント基板は、前記屈曲部の前記端縁と、当該端縁に対向する対向縁と、を開口縁に含むスリットを備え、前記スリットの前記端縁から前記対向縁までの前記第一方向に沿った幅寸法は、前記基準角部の前記第一方向の幅寸法以上であることが好ましい。
本適用例では、基準角部の第一方向の幅寸法以上のスリット幅のスリットを有する。このため、屈曲部の端縁をガイド面に案内させた際に、基準角部がスリットに挿通される。よって、フレキシブルプリント基板と基準角部との干渉を抑制できる。

【0011】

本適用例の超音波デバイスユニットにおいて、前記補強板は、樹脂部材により構成され、前記支持部が設けられる面とは反対側の裏面に凹部を備え、前記凹部に金属板が設けられていることが好ましい。
本適用例は、補強板が樹脂部材により構成されているため、フレキシブルプリント基板に形成される配線がショートすることがない。一方、補強板を樹脂部材により構成すると強度が弱くなる。これに対して、本適用例では、補強板の凹部、つまり、フレキシブルプリント基板と接触しない位置に金属板が設けられており、当該金属板により補強板の強度を高めることができる。

【0012】

本発明に係る一適用例の超音波探触子は、上述のような超音波デバイスユニットと、前記超音波ユニットを格納する筐体と、を備えることが好ましい。
本適用例の超音波探触子では、筐体内に上述したような超音波デバイスユニットが収納されており、当該超音波探触子を被検体に接触させることで、被検体に対する超音波測定を実施することができる。そして、上述したように、超音波デバイスユニットは、フレキシブルプリント基板を、配線の断線を抑制しつつ、超音波デバイスの第一辺に沿って折り曲げることができ、省スペース化に適した小型形状に容易に変形させることができる。このため、超音波探触子の限られたスペース内に、超音波デバイスユニットを適切に配置することができ、超音波探触子の小型化をも図れる。

【0013】

本適用例の超音波探触子において、前記補強板は、前記第一方向に沿う第三辺と、前記第一辺及び前記第三辺に交差して前記延出方向に沿う第二辺及び第四辺を有する矩形状であり、前記第一辺及び前記第三辺と、前記第二辺及び前記第四辺とが交差する角部のうちの少なくとも３つに、前記第一方向に沿った第一基準面及び前記延出方向に沿った第二基準面を備え、前記第一辺に交差する面に前記ガイド面が設けられる基準角部を備え、前記筐体は、前記第一基準面及び前記第二基準面に接するユニット保持部を備えることが好ましい。
本適用例では、基準角部の第一基準面及び第二基準面を、ユニット保持部の角部等に接触させることで、筐体のユニット保持部に超音波デバイスユニットを適正に位置決め（嵌合）することができる。

【0014】

本発明に係る一適用例に係る超音波装置は、上述のような超音波デバイスユニットと、前記超音波デバイスユニットを制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
本適用例では、上述のような超音波デバイスユニットを制御することで、超音波測定の測定結果に応じた各種超音波処理（例えば、被検体に対する超音波測定や、被検体に対する超音波治療等）を実施できる。そして、上述のように、超音波デバイスユニットは小型化が可能であるので、超音波装置においても、装置の小型化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の一実施形態に係る超音波測定装置の概略構成を示す斜視図。

【図2】本実施形態の超音波プローブの外観を示す斜視図。

【図3】図２のＡ−Ａ線で切断した超音波プローブの断面図。

【図4】図２のＢ−Ｂ線で切断した超音波プローブの断面図。

【図5】本実施形態の超音波基板の概略構成を示す平面図。

【図6】図５のＣ−Ｃ線で切断した超音波基板の断面図。

【図7】本実施形態の配線基板の概略構成を示す平面図。

【図8】本実施形態のフレキ板の表面の概略構成を示す平面図。

【図9】本実施形態のフレキ板の配線構造を示す図。

【図10】超音波デバイスの各送受信列に対して印加される駆動電圧の電圧値を示す図。

【図11】本実施形態の第一補強板の平面図、正面図、及び側面図。

【図12】本実施形態の第二補強板の平面図、正面図、及び側面図。

【図13】本実施形態において、フレキ板をＸ方向に沿って湾曲させた際の斜視図。

【図14】本実施形態の超音波デバイスユニットを第一屈折部側から見た側面図。

【図15】本実施形態の超音波デバイスユニットを第二屈折部側から見た側面図。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明に係る一実施形態について説明する。
図１は、超音波測定装置１の概略構成を示す斜視図である。
超音波測定装置１は、超音波装置に相当し、図１に示すように、超音波プローブ２と、超音波プローブ２にケーブル３を介して電気的に接続された制御装置１０と、を備える。
この超音波測定装置１は、超音波プローブ２が生体（例えば人体）の表面に接触された状態で、超音波プローブ２から生体内に超音波を送出する。また、生体内の器官にて反射された超音波を超音波プローブ２にて受信し、その受信信号に基づいて、例えば生体内の内部断層画像を取得したり、生体内の器官の状態（例えば血流等）を測定したりする。

【0017】

［１．制御装置の構成］
制御装置１０は、制御部に相当し、例えば、図１に示すように、ボタンやタッチパネル等を含む操作部１１と、表示部１２と、を備える。また、制御装置１０は、図示は省略するが、メモリー等により構成された記憶部と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等により構成された演算部と、を備える。制御装置１０は、記憶部に記憶された各種プログラムを、演算部に実行させることにより、超音波測定装置１を制御する。例えば、制御装置１０は、超音波プローブ２の駆動を制御するための指令を出力したり、超音波プローブ２から入力された受信信号に基づいて、生体の内部構造の画像を形成して表示部１２に表示させたり、血流等の生体情報を測定して表示部１２に表示させたりする。このような制御装置１０としては、例えば、タブレット端末やスマートフォン、パーソナルコンピューター等の端末装置を用いることができ、超音波プローブ２を操作するための専用端末装置を用いてもよい。

【0018】

［２．超音波プローブの構成］
図２は、超音波プローブ２の外観を示す斜視図である。図３は、図２のＡ−Ａ線（平面Ｓ_Ａ）で切断した超音波プローブ２の断面図であり、図４は、図２のＢ−Ｂ線（平面Ｓ_Ｂ）で切断した超音波プローブ２の断面図である。
超音波プローブ２は、超音波探触子に相当し、図１から図４に示すように、筐体２１と、筐体２１の内部に格納される超音波デバイスユニット４と、を備える。また、超音波デバイスユニット４は、超音波デバイス５と、フレキシブルプリント基板（フレキ板６）と、第一補強板７１と、第二補強板７２と、を備えて構成される。
以下、各構成について詳細に説明する。

【0019】

［２−１．超音波デバイス５の構成］
超音波デバイスユニット４を構成する超音波デバイス５は、図３及び図４に示すように、超音波基板５１と、封止板５２と、配線基板５３と、音響レンズ５４と、を含み、配線基板５３、封止板５２、超音波基板５１、及び音響レンズ５４の順に積層されることで構成されている。本実施形態では、超音波デバイス５は、配線基板５３、封止板５２、超音波基板５１、及び音響レンズ５４の積層方向（Ｚ方向）から見た平面視において、例えば矩形状に形成されている。
［２−１−１．超音波基板５１の構成］
図５は、本実施形態の超音波基板５１の概略構成を示す平面図である。
図５に示すように、超音波基板５１には、Ｘ方向（第二方向：スキャン方向）及びＹ方向（第一方向：スライス方向）に沿って、複数の超音波トランスデューサーＴｒが２次元アレイ状に配置されている。本実施形態では、Ｙ方向に配置された複数の超音波トランスデューサーＴｒ（超音波素子）により、１ＣＨ（チャネル）の送受信列Ｃｈ（振動子）が構成される。また、当該１ＣＨの送受信列ＣｈがＹ方向に沿って複数並んで配置されることで、１次元アレイ構造の超音波基板５１が構成される。ここで、超音波基板５１のうち、超音波トランスデューサーＴｒが配置される領域をアレイ領域Ａｒ１とする。
なお、図５は、説明の便宜上、超音波トランスデューサーＴｒの配置数を減らしているが、実際には、より多くの超音波トランスデューサーＴｒが配置されている。

【0020】

図６は、超音波基板５１を図５のＣ−Ｃ線で切断した際の概略断面図である。
超音波基板５１は、図６に示すように、素子基板５１１と、素子基板５１１上に設けられる支持膜５１２と、支持膜５１２上に設けられる圧電素子５１３と、を備えて構成されている。
素子基板５１１は、例えばＳｉ等の半導体基板により構成されている。この素子基板５１１は、各々の超音波トランスデューサーＴｒに対応した基板開口部５１１Ａが設けられている。本実施形態では、各基板開口部５１１Ａは、素子基板５１１の基板厚み方向を貫通した貫通孔であり、当該貫通孔の一端側（封止板５２側）に支持膜５１２が設けられる。
また、基板開口部５１１Ａの支持膜５１２が設けられない側には、生体に近い音響インピーダンスを有する音響層５１５が充填されている。
さらに、素子基板５１１の支持膜５１２と反対側の面には、素子基板５１１及び音響層５１５に接する音響レンズ５４が設けられている。この音響レンズ５４は、超音波デバイスユニット４を筐体２１に格納した際に、筐体２１に設けられたセンサー窓２１１Ｂ（図１等参照）から露出される部分であり、超音波測定の実施時に被検体に接する部分となる。当該音響レンズ５４は、音響層５１５と同様、生体に近い音響インピーダンスを有する例えばシリコーン等により構成されており、Ｘ方向を軸としたシリンドリカル形状に形成されている。

【0021】

支持膜５１２は、例えばＳｉＯ_２及びＺｒＯ_２の積層体等より構成され、素子基板５１１の封止板５２側全体を覆って設けられている。すなわち、支持膜５１２は、基板開口部５１１Ａを構成する隔壁５１１Ｂにより支持され、基板開口部５１１Ａの封止板５２側を閉塞する。この支持膜５１２の厚み寸法は、素子基板５１１に対して十分小さい厚み寸法となる。
なお、本実施形態では、支持膜５１２は、Ｓｉにより構成される素子基板５１１の一面側を熱酸化処理してＳｉＯ_２とし、さらにＺｒＯ_２を積層することで形成されている。この場合、ＳｉＯ_２を含む支持膜５１２をエッチングストッパーとして、素子基板５１１をエッチングすることで、容易に基板開口部５１１Ａ及び隔壁５１１Ｂを形成することが可能となる。

【0022】

圧電素子５１３は、各基板開口部５１１Ａを閉塞する支持膜５１２上にそれぞれ設けられている。この圧電素子５１３は、例えば、支持膜５１２側から下部電極５１３Ａ、圧電膜５１３Ｂ、及び上部電極５１３Ｃを積層した積層体により構成されている。
ここで、支持膜５１２のうち、基板開口部５１１Ａを閉塞する部分は振動部５１２Ａを構成し、この振動部５１２Ａと、圧電素子５１３とにより、１つの超音波トランスデューサーＴｒが構成される。
このような超音波トランスデューサーＴｒでは、下部電極５１３Ａ及び上部電極５１３Ｃの間に所定周波数の矩形波電圧（駆動信号）が印加されることで、圧電膜５１３Ｂが撓んで振動部５１２Ａが振動して超音波が送出される。また、生体から反射された超音波（反射波）により振動部５１２Ａが振動されると、圧電膜５１３Ｂの上下で電位差が発生する。これにより、下部電極５１３Ａ及び上部電極５１３Ｃの間に発生する電位差を検出することで、受信した超音波を検出することが可能となる。
なお、本実施形態の超音波基板５１は、図５における紙面裏側の方向、つまり、図６の＋Ｚ側に向かって超音波を送信する。

【0023】

本実施形態では、図５に示すように、下部電極５１３Ａは、Ｙ方向に沿って直線状に形成されており、１ＣＨの送受信列Ｃｈを構成する複数の超音波トランスデューサーＴｒを接続する。この駆動端子５１３Ｄは、例えば封止板５２に設けられた貫通電極を介して配線基板５３に電気接続されている。

【0024】

また、上部電極５１３Ｃは、Ｘ方向に沿って直線状に形成されており、Ｘ方向に並ぶ超音波トランスデューサーＴｒを接続する。そして、上部電極５１３Ｃの±Ｘ側端部は共通電極線５１４に接続される。この共通電極線５１４は、Ｙ方向に沿って複数配置された上部電極５１３Ｃ同士を結線し、その端部には、配線基板５３に電気接続される共通端子５１４Ａが設けられている。この共通端子５１４Ａは、例えば封止板５２に設けられた貫通電極により、配線基板５３に電気接続されている。

【0025】

［２−１−２．封止板５２の構成］
封止板５２は、厚み方向から見た際の平面形状が例えば超音波基板５１と同形状に形成されている。また、封止板５２は、超音波基板５１の支持膜５１２側で、かつ基板厚み方向から見て隔壁５１１Ｂと重なる位置において、例えば樹脂等の固定部材により接合されて、超音波基板５１を補強する。
この封止板５２には、素子基板５１１の駆動端子５１３Ｄ及び共通端子５１４Ａに対向する位置には、図示略の開口が設けられ、当該開口に、駆動端子５１３Ｄ及び共通端子５１４Ａと配線基板５３とを接続する例えば貫通電極５２１（図７参照）が挿通される。

【0026】

［２−１−３．配線基板５３の構成］
図７は、配線基板５３の概略構成を示す平面図である。
配線基板５３は、図７に示すように、各駆動端子５１３Ｄ及び各共通端子５１４Ａに対向する位置に、デバイス側端子（第一デバイス側端子５３１及び第二デバイス側端子５３２）を備えている。これらのデバイス側端子は、それぞれ、封止板５２に設けられた貫通電極５２１を介して駆動端子５１３Ｄや各共通端子５１４Ａに接続されている。
本実施形態では、駆動端子５１３Ｄ及び共通端子５１４Ａは、Ｙ方向の両端部に設けられている。このため、配線基板５３においても、Ｙ方向の両端部にこれらの駆動端子５１３Ｄ及び共通端子５１４Ａに対応したデバイス側端子が設けられる。ここで、−Ｙ側に設けられるデバイス側端子を、第一デバイス側端子５３１と称し、Ｙ方向の他端側である＋Ｙ側に設けられるデバイス側端子を、第二デバイス側端子５３２と称する。
また、本実施形態では、第一デバイス側端子５３１及び第二デバイス側端子５３２は、それぞれｎ（ｎは２以上の整数）個設けられている。ここで、−Ｘ側端部に配置される第一デバイス側端子を第１の第一デバイス側端子５３１、−Ｘ側端部に配置される第二デバイス側端子を第１の第二デバイス側端子５３２、＋Ｘ側端部に配置される第一デバイス側端子を第ｎの第一デバイス側端子５３１、＋Ｘ側端部に配置される第二デバイス側端子を第ｎの第一デバイス側端子５３１とする。−Ｘ側端部から数えて「ｉ」番目に配置される第一デバイス側端子５３１及び第二デバイス側端子５３２は、第ｉの第一デバイス側端子５３１及び第二デバイス側端子５３２となる。
これらの第一デバイス側端子５３１、及び第二デバイス側端子５３２には、それぞれフレキ板６が接続される。

【0027】

［２−２．フレキシブルプリント基板（フレキ板６）の構成］
図８は、本実施形態のフレキ板６の表面の概略構成を示す平面図である。図９は、フレキ板の配線構造を示す図である。なお、図８は、図３及び図４に示したフレキ板６を平面に展開して、フレキ板６を超音波デバイス５が接続される側の面から見た場合の図である。
フレキ板６は、図８に示すように、例えば平面視矩形状に形成されている。フレキ板６は、Ｘ方向に対して５つの領域に分けられる。
具体的には、フレキ板６は、Ｘ方向の中央部に配置されるデバイス接続部６１と、デバイス接続部６１より−Ｘ側に位置する第一コネクター部６２と、デバイス接続部６１より＋Ｘ側に位置する第二コネクター部６３とを備える。また、デバイス接続部６１と第一コネクター部６２とは、第一屈折部６４を介して連結（接続）され、デバイス接続部６１と第二コネクター部６３とは、第二屈折部６５を介して連結（接続）されている。

【0028】

［２−２−１．デバイス接続部６１の説明］
デバイス接続部６１は、超音波デバイス５が接続される部分であり、音響レンズ５４に対応した略矩形状の開口部６１１を有する。また、デバイス接続部６１は、開口部６１１の−Ｙ側に設けられる第一配線部６１２と、開口部６１１の＋Ｙ側に設けられる第二配線部６１３と、を含んで構成される。

【0029】

第一配線部６１２は、第一デバイス側端子５３１に接続される配線が配置される部分であり、第一接続部６１４と、第一屈曲部６１５と、第一デバイス積層部６１６とを備える。
第一接続部６１４は、開口部６１１に臨むＸ方向に沿った接続辺６１４Ａに設けられ、当該接続辺６１４Ａに沿って、各第一デバイス側端子５３１に接続される接続端子を有する。
第一屈曲部６１５は、第一接続部６１４から−Ｙ側（延出方向）に延設される部分である。詳細は後述するが、この第一屈曲部６１５は、フレキ板６を折り曲げる際に、第一補強板７１に設けられる屈曲案内部７１５（図４等参照）に対向する。
また、第一接続部６１４及び第一屈曲部６１５の−Ｘ側の端縁（第一負側端縁６１２Ａ）は、後述する第一屈折部６４に設けられる第一スリット６４１の開口縁の一部を構成する。さらに、第一接続部６１４及び第一屈曲部６１５の＋Ｘ側の端縁（第一正側端縁６１２Ｂ）は、後述する第二屈折部６５に設けられる第二スリット６５１の開口縁の一部を構成する。

【0030】

第一デバイス積層部６１６は、第一補強板７１に支持された超音波デバイス５にフレキ板６を接続し、第一補強板７１に沿ってフレキ板６を第一屈曲部６１５に沿って折り曲げた際に、第一補強板７１と重なり合う部分である。
本実施形態では、図９に示すように、第一デバイス側端子５３１のうち、第１から第ｋまでの第一デバイス側端子５３１に接続される配線（第一配線６６１）は、第一デバイス積層部６１６において第一コネクター部６２に向かって延設される。一方、第一デバイス側端子５３１のうち、第ｋ＋１から第ｎまでの第一デバイス側端子５３１に接続される配線（第三配線６６３）は、第一デバイス積層部６１６において第二コネクター部６３に向かって延設される。

【0031】

第二配線部６１３は、第二デバイス側端子５３２に接続される配線が配置される部分であり、第一配線部６１２と同様の構成を有する。つまり、第二配線部６１３は、開口部６１１のＹ方向における中心点を通りＸ方向に平行となるＹ中心軸線Ｌ_Ｙに対して、第一配線部６１２とは略線対称に構成される。
具体的には、第二配線部６１３は、第二接続部６１７と、第二屈曲部６１８と、第二デバイス積層部６１９とを備える。
第二接続部６１７は、開口部６１１に臨むＸ方向に沿った接続辺６１７Ａに沿って設けられ、当該接続辺６１７Ａに沿って、各第二デバイス側端子５３２に接続される接続端子を有する。
第二屈曲部６１８は、第二接続部６１７から＋Ｙ側（延出方向）に延設される部分であり、フレキ板６を折り曲げる際に、後述する第一補強板７１の屈曲案内部７１５に対向する。

【0032】

第二接続部６１７及び第二屈曲部６１８の−Ｘ側の端縁（第二負側端縁６１３Ａ）は、後述する第一屈折部６４に設けられる第一スリット６４１の開口縁の一部を構成する。さらに、第二接続部６１７及び第二屈曲部６１８の＋Ｘ側の端縁（第二正側端縁６１３Ｂ）は、後述する第二屈折部６５に設けられる第二スリット６５１の開口縁の一部を構成する。

【0033】

第二デバイス積層部６１９は、第一補強板７１に固定された超音波デバイス５にフレキ板６を接続し、第一補強板７１に沿ってフレキ板６の第二屈曲部６１８を折り曲げた際に、第一デバイス積層部６１６とともに第一補強板７１と重なり合う部分である。
第二デバイス積層部６１９に設けられる配線のうち、第１から第ｋまでの第二デバイス側端子５３２に接続される配線（第二配線６６２）は、第一コネクター部６２に向かって延設される。また、第ｋ＋１から第ｎまでの第二デバイス側端子５３２に接続される配線（第四配線６６４）は、第二コネクター部６３に向かって延設される。

【0034】

［２−２−２．第一コネクター部６２及び第二コネクター部６３の説明］
第一コネクター部６２及び第二コネクター部６３は、デバイス接続部６１の±Ｘ側に設けられ、デバイス接続部６１のＸ方向の幅寸法よりも小さい幅寸法を有する。
これらの第一コネクター部６２及び第二コネクター部６３は、複数の外部接続端子６２２，６３２（図９参照）が設けられる複数のコネクター６２１，６３１を備える。本実施形態では、図８及び図９に示すように、第一コネクター部６２及び第二コネクター部６３にそれぞれ３つのコネクター６２１，６３１が設けられている。また、各コネクター６２１，６３１には、配線６６１，６６２，６６３，６６４の何れかに接続される外部接続端子６２２，６３２が設けられている。
なお、本実施形態では、３つのコネクター６２１，６３１が設けられる例を示すが、これに限定されず、１つ又は２つのコネクター６２１，６３１であってもよく、４つ以上のコネクター６２１，６３１であってもよい。

【0035】

ここで、第一コネクター部６２の３つのコネクター６２１のうち、＋Ｘ側に位置するコネクター６２１Ａには、第１の外部接続端子６２２から、第ｋ_１（ｋ_１＜ｋ）の外部接続端子６２２までが配置される。また、当該コネクター６２１Ａにおいて、＋Ｘ側端部に第１の外部接続端子６２２が配置され、−Ｘ側端部に第ｋ_１の外部接続端子６２２が配置される。
第一コネクター部６２の３つのコネクター６２１のうち、Ｘ方向の中央部に位置するコネクター６２１Ｂには、第ｋ_１＋１の外部接続端子６２２から、第ｋ_２（ｋ_１＜ｋ_２＜ｋ）の外部接続端子６２２までが配置される。また、当該コネクター６２１Ｂにおいて、＋Ｘ側端部に第ｋ_１＋１の外部接続端子６２２が配置され、−Ｘ側端部に第ｋ_２の外部接続端子６２２が配置される。
第一コネクター部６２の３つのコネクター６２１のうち、−Ｘ側に位置するコネクター６２１Ｃには、第ｋ_２＋１の外部接続端子６２２から、第ｋの外部接続端子６２２までが配置される。また、当該コネクター６２１Ｃにおいて、＋Ｘ側端部に第ｋ_２＋１の外部接続端子６２２が配置され、−Ｘ側端部に第ｋの外部接続端子６２２が配置される。
つまり、第一コネクター部６２において、＋Ｘ側から数えて「ｉ（１≦ｉ≦ｋ）」番目の外部接続端子６２２が、第ｉの外部接続端子となる。

【0036】

そして、第ｉの外部接続端子６２２には、第ｉの第一デバイス側端子５３１に接続された第一配線６６１及び、第ｉの第二デバイス側端子５３２に接続された第二配線６６２が接続される。
ここで、第一コネクター部６２において配置される第一配線６６１及び第二配線６６２は、デバイス接続部６１と同様、Ｙ中心軸線Ｌ_Ｙに対して略線対称となる。つまり、第一配線６６１における第一デバイス側端子５３１から外部接続端子６２２までの配線長さと、第二配線６６２における第二デバイス側端子５３２から外部接続端子６２２までの配線長さとは、略同一長さとなる。

【0037】

一方、第二コネクター部６３の３つのコネクター６３１のうち、＋Ｘ側に位置するコネクター６３１Ａには、第ｋ＋１の外部接続端子６３２から、第ｋ_３（ｋ＋１≦ｋ_３＜ｎ）の外部接続端子６３２までが配置される。また、当該コネクター６３１Ａにおいて、＋Ｘ側端部に第ｋ＋１の外部接続端子６３２が配置され、−Ｘ側端部に第ｋ_３の外部接続端子６３２が配置される。
第二コネクター部６３の３つのコネクター６３１のうち、Ｘ方向の中央部に位置するコネクター６３１Ｂには、第ｋ_３＋１の外部接続端子６３２から、第ｋ_４（ｋ_３＜ｋ_４＜ｎ）の外部接続端子６３２までが配置される。また、当該コネクター６３１Ｂにおいて、＋Ｘ側端部に第ｋ_３＋１の外部接続端子６３２が配置され、−Ｘ側端部に第ｋ_４の外部接続端子６３２が配置される。
第二コネクター部６３の３つのコネクター６３１のうち、−Ｘ側に位置するコネクター６３１Ｃには、第ｋ_４＋１の外部接続端子６３２から、第ｎの外部接続端子６３２までが配置される。また、当該コネクター６３１Ｃにおいて、＋Ｘ側端部に第ｋ_４＋１の外部接続端子６３２が配置され、−Ｘ側端部に第ｎの外部接続端子６３２が配置される。
つまり、第二コネクター部６３において、＋Ｘ側から数えて「ｉ（ｋ＋１≦ｉ≦ｎ）」番目の外部接続端子６３２が、第ｉの外部接続端子６３２となる。

【0038】

そして、第ｉの外部接続端子６３２には、第ｉの第一デバイス側端子５３１に接続された第三配線６６３及び、第ｉの第二デバイス側端子５３２に接続された第四配線６６４が接続される。
ここで、第二コネクター部６３において配置される第三配線６６３及び第四配線６６４は、デバイス接続部６１と同様、Ｙ中心軸線Ｌ_Ｙに対して略線対称となる。つまり、第三配線６６３における第一デバイス側端子５３１から外部接続端子６３２までの配線長さと、第四配線６６４における第二デバイス側端子５３２から外部接続端子６２２までの配線長さとは、略同一長さとなる。

【0039】

ここで、第一デバイス側端子５３１のうち、第一コネクター部６２の外部接続端子６２２に接続される第一デバイス側端子５３１の数（ｋ個）と、第一コネクター部６２の外部接続端子６２２に接続される第一デバイス側端子５３１の数（ｎ−ｋ個）とは、｜（ｎ−ｋ）−ｋ｜／ｎ≦０．２の関係を満たすことが好ましい。

【0040】

すなわち、外部接続端子６２２に接続される第一デバイス側端子５３１の数（ｋ個）と、外部接続端子６３２に接続される第一デバイス側端子５３１の数（ｎ−ｋ個）との差が、第一デバイス側端子５３１の総数（ｎ個）の２０％以下となる配線構成とすることが好ましい。また、ｎは偶数であり、ｋ＝ｎ／２であることがより好ましい。
図１０は、各送受信列Ｃｈに対して印加される駆動電圧の電圧値を示す図である。図１０において、一点鎖線は、デバイス接続部に対して１つのコネクター部のみを有するフレキ板（従来例）を用いた場合の電圧値を示し、実線は本実施形態における電圧値を示す。
図１０に示すように、従来は、デバイス側端子のうちコネクター部に近い位置では、コネクター部のデバイス接続部側に位置する外部接続端子に接続され、デバイス側端子のうちコネクター部から離れるに従って、コネクター部のデバイス接続部から離れた位置の外部接続端子に接続される。したがって、デバイス側端子のうち、コネクター部から離れるに従って、配線の長さも長くなり、電圧降下の影響を受けて、デバイス側端子に接続される各送受信列Ｃｈに印加される駆動電圧の電圧値も降下する。
これに対して、本実施形態では、上記のように第一コネクター部６２及び第二コネクター部６３を有し、これらのコネクター部６２，６３に対して同数の配線６６１，６６２，６６３，６６４が配置される。さらに、本実施形態では、超音波デバイス５の中心を通りＹ方向に平行なＸ中心軸線Ｌ_Ｘに対して、第一配線６６１と第三配線６６３とが略線対称となり、第二配線６６２と第四配線６６４とが略線対称となる。つまり、第ｉの第一デバイス側端子５３１に接続される第一配線６６１、第ｉの第二デバイス側端子５３２に接続される第二配線６６２、第（ｎ−ｉ＋１）の第一デバイス側端子５３１に接続される第三配線６６３、第（ｎ−ｉ＋１）の第二デバイス側端子５３２に接続される第四配線６６４は、略同じ長さとなり、図１０に示すように、電圧降下の影響が抑制される。

【0041】

［２−２−３．第一屈折部６４及び第二屈折部６５の構成］
図８に示すように、第一屈折部６４は、デバイス接続部６１と第一コネクター部６２との間に設けられて、デバイス接続部６１に対して第一コネクター部６２を折り曲げ可能に連結する。同様に、第二屈折部６５は、デバイス接続部６１と第二コネクター部６３との間に設けられて、デバイス接続部６１に対して第二コネクター部６３を折り曲げ可能に連結する。
第一屈折部６４は、デバイス接続部６１に設けられる開口部６１１に連結された第一スリット６４１と、第一スリット６４１の±Ｙ側でデバイス接続部６１及び第一コネクター部６２に連結される第一連結部６４２と、を有する。
この第一スリット６４１は、図８に示すように、Ｙ方向（デバイス接続部６１から第一コネクター部６２に向かう方向に交差する方向）に沿って長手となる開口であり、＋Ｘ側の開口縁の一部に、第一接続部６１４及び第一屈曲部６１５の−Ｘ側の端縁である第一負側端縁６１２Ａ、第二接続部６１７及び第二屈曲部６１８の−Ｘ側の端縁である第二負側端縁６１３Ａを含む。本実施形態では、第一負側端縁６１２Ａ及び第二負側端縁６１３Ａは、Ｙ方向に沿う直線上に位置する。第一スリット６４１の第一負側端縁６１２Ａ及び第二負側端縁６１３Ａに対向する開口縁はＹ方向に沿った直線状の第一対向縁６４１Ａとなる。

【0042】

また、第一スリット６４１の−Ｙ側の端縁（第一スリット端縁６４１Ｂ）は、第一対向縁６４１Ａ及び第一負側端縁６１２Ａの−Ｙ側端部間を連結し、第一スリット６４１の＋Ｙ側の端縁（第一スリット端縁６４１Ｃ）は、第一対向縁６４１Ａ及び第二負側端縁６１３Ａの＋Ｙ側端部間を連結する。第一スリット端縁６４１Ｂは、第一接続部６１４から−Ｙ側に寸法Ｄ１となる位置に設けられている。同様に、第一スリット端縁６４１Ｃは、第二接続部６１７から＋Ｙ側に寸法Ｄ１となる位置に設けられている。
ここで、寸法Ｄ１は、後述する第一補強板７１（図１１参照）に支持された超音波デバイス５に対してフレキ板６を接続した際に、配線基板５３から第一補強板７１の第一辺７１Ａ（図１１参照）までの距離よりも大きい寸法となる。

【0043】

第二屈折部６５は、デバイス接続部６１に設けられる開口部６１１に連結された第二スリット６５１と、第二スリット６５１の±Ｙ側に設けられデバイス接続部６１及び第二コネクター部６３に連結される第二連結部６５２と、を有する。
この第二スリット６５１は、第一スリット６４１と略同様の構成を有し、−Ｘ側の開口縁の一部に、第一正側端縁６１２Ｂ及び第二正側端縁６１３Ｂを含んで、開口部６１１に連結される。第二スリット６５１の第一正側端縁６１２Ｂ及び第二正側端縁６１３Ｂに対向する開口縁はＹ方向に沿った直線状の第二対向縁６５１Ａとなる。
また、第二スリット６５１の−Ｙ側の端縁（第二スリット端縁６５１Ｂ）は、第二対向縁６５１Ａ及び第一正側端縁６１２Ｂの−Ｙ側端部間を連結し、第二スリット６５１の＋Ｙ側の端縁（第二スリット端縁６５１Ｃ）は、第二対向縁６５１Ａ及び第二正側端縁６１３Ｂの＋Ｙ側端部間を連結する。第二スリット端縁６５１Ｂは、第一接続部６１４から−Ｙ側に寸法Ｄ１となる位置に設けられ、第二スリット端縁６５１Ｃは、第二接続部６１７から＋Ｙ側に寸法Ｄ１となる位置に設けられている。
ところで、第一接続部６１４が接続される第一デバイス側端子５３１は、超音波デバイス５の−Ｙ側端部に設けられ、第二接続部６１７が接続される第二デバイス側端子５３２は、超音波デバイス５の＋Ｙ側端部に設けられる。第一スリット端縁６４１Ｂ及び第一接続部６１４、第一スリット端縁６４１Ｂ及び第一接続部６１４がそれぞれ寸法Ｄ１だけ離れていることは、第一スリット６４１のＹ方向の幅寸法が超音波デバイス５のＹ方向の幅寸法よりも大きいことを意味する。同様に、第二スリット６５１のＹ方向の幅寸法は、超音波デバイス５のＹ方向の幅寸法よりも大きい。

【0044】

ここで、第一負側端縁６１２Ａから第一対向縁６４１Ａまでの寸法及び第二負側端縁６１３Ａから第一対向縁６４１Ａまでの寸法は同一寸法となり、当該寸法を第一スリット６４１におけるＸ方向の幅寸法Ｗ１とする。また、第一正側端縁６１２Ｂから第二対向縁６５１Ａまでの寸法及び第二正側端縁６１３Ｂから第二対向縁６５１Ａまでの寸法は、同一寸法となり、当該寸法を第二スリット６５１におけるＸ方向の幅寸法Ｗ２とする。本実施形態では、第一スリット６４１の幅寸法Ｗ１と、第二スリット６５１の幅寸法Ｗ２は、異なる寸法であり、Ｗ１＜Ｗ２となる。

【0045】

［２−３．第一補強板７１及び第二補強板７２の構成］
［２−３−１．第一補強板７１の構成］
図１１は、第一補強板７１の平面図、正面図、及び側面図である。なお、図１１におけるＸＹＺ軸の各軸は、図３，４のように、フレキ板６に第一補強板７１を固定して筐体２１に収納した状態での軸を示している。
第一補強板７１は、超音波デバイス５を支持し、筐体２１に対して固定される。また、第一補強板７１は、超音波デバイス５に接続されるフレキ板６と接触した際に、フレキ板６の配線のショートを抑制するために、樹脂部材により構成されている。
この第一補強板７１は、図１１に示すように、基板厚み方向から見た平面図において、例えば略矩形状を有し、Ｘ方向に沿った第一辺７１Ａ（−Ｙ側）及び第三辺７１Ｃ（＋Ｙ側）と、Ｙ方向に沿った第二辺７１Ｂ（−Ｘ側）及び第四辺７１Ｄ（＋Ｘ側）を備える。第二辺７１Ｂ及び第四辺７１Ｄは、超音波デバイス５を第一補強板７１に固定してフレキ板６を接続した際に、第一屈曲部６１５や第二屈曲部６１８の延出方向に沿う辺となる。第一辺７１Ａ及び第三辺７１Ｃは、超音波デバイス５を第一補強板７１に固定してフレキ板６を接続した際に、第一屈曲部６１５や第二屈曲部６１８の延出方向に交差する辺となる。

【0046】

第一補強板７１は、第二辺７１Ｂ及び第四辺７１Ｄに沿って位置決めブロック７１１を備える。つまり、第一辺７１Ａ及び第二辺７１Ｂの角部から、第二辺７１Ｂ及び第三辺７１Ｃの角部に亘って位置する位置決めブロック７１１と、第三辺７１Ｃ及び第四辺７１Ｄの角部から、第四辺７１Ｄ及び第一辺７１Ａとの角部に亘って位置する位置決めブロック７１１と、が設けられている。これらの位置決めブロック７１１は、基準角部に相当し、例えば、第二辺７１Ｂに沿って設けられる位置決めブロック７１１は、第一辺７１Ａと第二辺７１Ｂとの角部に対する基準角部と、第三辺７１Ｃと第二辺７１Ｂとの角部に対する基準角部と、が含まれる。

【0047】

各位置決めブロック７１１は、それぞれ、Ｘ方向に沿った第一基準面７１１Ａ、Ｙ方向に沿った第二基準面７１１Ｂ、第一基準面７１１Ａ及び第二基準面７１１Ｂに交差する第三基準面７１１Ｃ及び第四基準面７１１Ｄを備える。
具体的には、第一基準面７１１Ａは、位置決めブロック７１１の±Ｙ側端面であって、ＸＺ面と平行な平面となる。

【0048】

第二基準面７１１Ｂは、第二辺７１Ｂ側の位置決めブロック７１１における−Ｘ側端面、及び第四辺７１Ｄ側の位置決めブロック７１１における＋Ｘ側端面であり、ＹＺ面と平行な平面となる。

【0049】

第三基準面７１１Ｃは、各位置決めブロック７１１の＋Ｚ側の端面であり、筐体２１に接する。第三基準面７１１Ｃは、第一補強板７１の中央部の＋Ｚ側の面（固定面７１２）に対して、＋Ｚ側に位置する。これにより、第三基準面７１１Ｃと、固定面７１２との間には、段差７１３が設けられ、当該段差７１３により、超音波デバイス５の±Ｘ側端面が位置決めされる。ここで、段差７１３の高さ寸法（Ｚ方向の寸法）は、少なくともフレキ板６の厚み寸法以上とすることが好ましい。なお、固定面７１２は、超音波デバイス５が支持される面であり、支持部に相当する。

【0050】

第四基準面７１１Ｄは、第三基準面７１１Ｃとは裏面をなす面であり、超音波デバイスユニット４を筐体２１内に収納する際に、後述する第二補強板７２が載置される。
なお、本実施形態では、第四基準面７１１Ｄは、図１１に示すように、裏面７１４と同一平面に設けられている。
また、各位置決めブロック７１１のＸ方向に沿った幅寸法Ｗ４は、第一スリット６４１の幅寸法Ｗ１及び第二スリット６５１の幅寸法Ｗ２よりも小さい（図８参照）。

【0051】

さらに、各位置決めブロック７１１のうち、第一辺７１Ａ及び第三辺７１Ｃに交差する面（第二基準面７１１Ｂとは反対側の面）は、ガイド面７１１Ｅを構成する。ガイド面７１１Ｅは、ＹＺ面と平行な面であり、フレキ板６の第一屈曲部６１５、第二屈曲部６１８を屈曲案内部７１５に沿って湾曲させる際に、端縁６１２Ａ，６１２Ｂ，６１３Ａ，６１３Ｂが当接される。

【0052】

そして、第一補強板７１の固定面７１２の±Ｙ側には、第一辺７１Ａ及び第三辺７１Ｃに沿って、屈曲案内部７１５が設けられている。この屈曲案内部７１５は、ＹＺ断面が、固定面７１２から離れる方向に凸となる円弧形状となり、固定面７１２及び裏面７１４に連続する。
ここで、屈曲案内部７１５の突出先端は、第一基準面７１１Ａよりも固定面７１２側に位置する。つまり、第一辺７１Ａの両端側に位置する第一基準面７１１Ａは、第一辺７１Ａに沿った屈曲案内部７１５の−Ｙ側端部より、少なくともフレキ板６の厚み寸法以上、−Ｙ側に位置する。また、第三辺７１Ｃの両端側に位置する第一基準面７１１Ａは、第三辺７１Ｃに沿った屈曲案内部７１５の＋Ｙ側端部より、少なくともフレキ板６の厚み寸法以上、＋Ｙ側に位置する。
また、第一辺７１Ａを挟んで対向する一対のガイド面７１１Ｅの間のＸ方向に沿った距離は、フレキ板６の第一接続部６１４及び第一屈曲部６１５のＸ方向の幅寸法Ｗ３と略同一となる。

【0053】

ところで、上述したように、第一補強板７１は、樹脂部材により構成されているため、例えば金属により構成されている場合に比べて、強度が小さい。このため、第一補強板７１は、基板強度を高めるために、裏面７１４に凹部７１４Ａが設けられており、当該凹部７１４Ａに金属板７１６が設けられている。この金属板７１６は、凹部７１４Ａの底面に設けられ、裏面７１４よりも外側 （−Ｚ側）に突出しない。これにより、フレキ板６を第一補強板７１の裏面７１４側に折り曲げた際でも、フレキ板６と金属板７１６が干渉しない。

【0054】

［２−３−２．第二補強板７２の構成］
第二補強板７２は、図３及び図４に示すように、第二コネクター部６３を支持する。
図１２は、第二補強板７２の平面図、正面図、及び側面図である。なお、図１２におけるＸＹＺ軸の各軸は、図３，４のように、フレキ板６に第二補強板７２を固定して筐体２１に収納した状態での軸を示している。
図１２に示すように、第二補強板７２は、第一補強板７１と同様に、板厚み方向から見た平面視において、第五辺７２Ａ、第六辺７２Ｂ，第七辺７２Ｃ、第八辺７２Ｄを有する略矩形状となる。
第二補強板７２は、第二コネクター部６３の中央部（コネクター６３１が配置される領域）が接するコネクター支持面７２１と、コネクター支持面７２１の反対側の裏面７２２とを備える。そして、第二補強板７２は、第一補強板７１と同様、Ｘ方向に沿う第五辺７２Ａ，第七辺７２Ｃに、円弧状に湾曲する第二屈曲案内部７２３が設けられている。

【0055】

また、第二補強板７２は、第一補強板７１と同様に、±Ｘ側の第六辺７２Ｂ、第八辺７２Ｄに沿って、第二位置決めブロック７２４が設けられている。
第二位置決めブロック７２４は、コネクター支持面７２１とは反対側の面において、凹部７２４Ａを備えている。この凹部７２４Ａは、フレキ板６の第一屈折部６４及び第二屈折部６５の配置スペースとなる。すなわち、−Ｘ側に位置する第二位置決めブロック７２４の凹部７２４ＡのＹ方向の幅寸法Ｄ２は、第一屈折部６４の−Ｙ側端縁から第一スリット端縁６４１Ｂまでの寸法Ｄ３（図８参照）、及び第一屈折部６４の＋Ｙ側端縁から第一スリット端縁６４１Ｃまでの寸法Ｄ４（図８参照）以上であり、好ましくは、Ｄ２＝Ｄ３＝Ｄ４である。
また、図示は省略するが、＋Ｘ側に位置する第二位置決めブロック７２４の凹部７２４ＡのＹ方向の幅寸法は、第二屈折部６５の−Ｙ側端縁から第二スリット端縁６５１Ｂまでの寸法Ｄ６（図８参照）、及び第二屈折部６５の＋Ｙ側端縁から第二スリット端縁６５１Ｃまでの寸法Ｄ７（図８参照）以上であり、好ましくは、寸法Ｄ６及びＤ７と同一寸法である。
つまり、凹部７２４ＡのＹ方向の幅寸法を、第一連結部６４２及び第二連結部６５２のＹ方向の幅寸法と同値とすることで、凹部７２４Ａの内周側面で、第一連結部６４２や第二連結部６５２の±Ｙ側の端縁（第一外縁部６Ａ，第二外縁部６Ｂ、第一スリット端縁６４１Ｂ，６４１Ｃ，第二スリット端縁６５１Ｂ，６５１Ｃ）を支持することができる。

【0056】

また、第二位置決めブロック７２４のコネクター支持面７２１とは反対側の面には、凹部７２４Ａを挟む載置面７２４Ｂが設けられている。この載置面７２４Ｂは、第二補強板７２を筐体２１内に格納する際に、第四基準面７１１Ｄに載置される。
本実施形態では、載置面７２４Ｂは、裏面７２２よりも−Ｚ側（筐体２１内に格納する際には＋Ｚ側）に位置する。これにより、載置面７２４Ｂを第四基準面７１１Ｄに載置した際に、第一補強板７１の裏面７１４と、第二補強板７２の裏面７２２との間に、少なくとも、多重に折り曲げられたフレキ板６と第一コネクター部６２のコネクター６２１の配置スペースＳ以上の空間が形成される。

【0057】

第二位置決めブロック７２４の第五辺７２Ａ及び第七辺７２Ｃ側の面は、フレキ板６の第二スリット６５１の第二対向縁６５１Ａ、及びフレキ板６の−Ｘ側の外周縁を案内する第二ガイド面７２４Ｃとなる。

【0058】

［２−４．筐体２１の構成］
筐体２１は、図２に示すように、格納部２１１と、蓋部２１２とを備える。
格納部２１１は、図３及び図４に示すように、超音波デバイスユニット４を格納する器状部材であり、底部２１１Ａに超音波デバイス５の音響レンズ５４が外部に露出するセンサー窓２１１Ｂを有する。
また、格納部２１１の底部２１１Ａには、センサー窓２１１Ｂを囲うように、デバイス設置部２１３（ユニット保持部）が設けられている。このデバイス設置部２１３は、底部２１１Ａから立ち上がり、第一補強板７１の４角部を嵌合する枠状に形成されている。

【0059】

［２−５．超音波デバイスユニット４の筐体２１への格納］
上述したような超音波プローブ２では、まず、超音波デバイス５を第一補強板７１の固定面７１２に固定する。
次に、フレキ板６の第一接続部６１４を、超音波デバイス５の配線基板５３の−Ｘ側に接続する。これにより、第一接続部６１４の各接続端子と第一デバイス側端子５３１とが導通する。また、第二接続部６１７を、超音波デバイス５の配線基板５３の＋Ｘ側に接続する。これにより、第二接続部６１７の各接続端子と第二デバイス側端子５３２とが導通する。
この際、フレキ板６の第一負側端縁６１２Ａを第一辺７１Ａの−Ｘ側に位置するガイド面７１１Ｅに当接（案内）させ、第一正側端縁６１２Ｂを第一辺７１Ａの＋Ｘ側に位置するガイド面７１１Ｅに当接（案内）させる。また、フレキ板６の第二負側端縁６１３Ａを第三辺７１Ｃの−Ｘ側に位置するガイド面７１１Ｅに当接（案内）させ、第二正側端縁６１３Ｂを第三辺７１Ｃの＋Ｘ側に位置するガイド面７１１Ｅに当接（案内）させる。

【0060】

図１３は、本実施形態において、フレキ板６をＸ方向に沿って湾曲させた際の斜視図である。
この後、フレキ板６を、Ｘ方向に沿った第一屈曲部６１５を含む第一屈曲領域Ａｒ３（図８参照）で湾曲させ、フレキ板６の−Ｙ側の端縁を＋Ｙ側に折り返す。また、フレキ板６を、Ｘ方向に沿った第二屈曲部６１８を含む第二屈曲領域Ａｒ４（図８参照）で湾曲させ、フレキ板６の＋Ｙ側の端縁を−Ｙ側に折り返す。なお、第一屈曲領域Ａｒ３及び第二屈曲領域Ａｒ４のうち、いずれを先に折り返してもよい。

【0061】

ここで、図１３に示すように、第一屈曲部６１５の±Ｘ側の端縁（第一負側端縁６１２Ａ及び第一正側端縁６１２Ｂ）及び第二屈曲部６１８の±Ｘ側の端縁（第二負側端縁６１３Ａ及び第二正側端縁６１３Ｂ）は、ガイド面７１１Ｅにガイドされ、屈曲案内部７１５の円弧に沿って湾曲される。
これにより、フレキ板６は、第一屈曲領域Ａｒ３を、第一補強板７１の第一辺７１Ａに沿って（Ｘ方向に平行に）折り曲げることができ、第一デバイス積層部６１６が、第一補強板７１の裏面７１４側に積層されて重ね合わされる。また、第二屈曲領域Ａｒ４を、第一補強板７１の第三辺７１Ｃに沿って（Ｘ方向に平行に）折り曲げることができ、第二デバイス積層部６１９が、第一補強板７１の裏面７１４側に積層されて重ね合わされる。

【0062】

同様に、第一コネクター部６２、第一屈折部６４、第二屈折部６５のうち、第一屈曲領域Ａｒ３より−Ｙ側の領域が、中央領域Ａｒ５に重ね合わされる。また、第一コネクター部６２、第一屈折部６４、第二屈折部６５のうち、第二屈曲領域Ａｒ４より＋Ｙ側の領域が、中央領域Ａｒ５に重ね合わされる。
さらに、第二コネクター部６３の第一屈曲領域Ａｒ３及び第二屈曲領域Ａｒ４は、第二ガイド面７２４Ｃに案内されて、第二補強板７２の第二屈曲案内部７２３に沿って湾曲され、第二コネクター部６３の第一屈曲領域Ａｒ３より−Ｙ側の領域、及び第二屈曲領域Ａｒ４より＋Ｙ側の領域が、第二補強板７２の裏面に重ね合わされる。

【0063】

上記のように、フレキ板６を湾曲させると、第一スリット６４１の第一スリット端縁６４１Ｂ，６４１Ｃ、第二スリット６５１の第二スリット端縁６５１Ｂ，６５１Ｃが、中央領域Ａｒ５に重ね合わされる位置に移動する。したがって、フレキ板６を第一屈曲領域Ａｒ３及び第二屈曲領域Ａｒ４で折り返して、略筒状形状に変形させた場合でも、第一屈折部６４及び第二屈折部６５においては、第一補強板７１の裏面７１４側のみに２枚の第一連結部６４２（第二屈折部６５では、第二連結部６５２）が重ね合される形状となる。つまり、第一屈折部６４や第二屈折部６５は筒状とならず、第一補強板７１の裏面７１４側に、容易に折り曲げ可能となる。

【0064】

また、本実施形態では、第一屈折部６４における第一スリット６４１のＸ方向の幅寸法Ｗ１が、第二屈折部６５における第二スリット６５１のＸ方向の幅寸法Ｗ２よりも小さい。よって、第一屈折部６４及び第二屈折部６５の折り曲げでは、まず、第一屈折部６４を屈曲させ、第一コネクター部６２を第一補強板７１に重ね合わせる。ここで、第一コネクター部６２のＸ幅寸法は、第一補強板７１のＸ幅寸法よりも小さいため、第二屈折部６５側に突出せず、第二屈折部６５の折り曲げを阻害しない。
また、第一屈折部６４を第一補強板７１の裏面７１４側に折り曲げることで、第一コネクター部６２のコネクター６２１が、−Ｚ側に向かって突出する。

【0065】

次に、第一補強板７１を筐体２１の格納部２１１に固定する。
具体的には、図３及び図４に示すように、第一補強板７１の位置決めブロック７１１の第一基準面７１１Ａ、及び第二基準面７１１Ｂを、筐体２１に設けられたデバイス設置部２１３に当接させて、嵌合する。これにより、第一補強板７１の第三基準面７１１Ｃが筐体２１の底部２１１Ａに当接し、センサー窓２１１Ｂから超音波デバイス５の音響レンズ５４が突出する。
また、この際、第一コネクター部６２の各コネクター６２１が、格納部２１１の底部２１１Ａとは反対側に露出する。そして、コネクター６２１に対してケーブル３の先端に設けられた端子を接続する。

【0066】

図１４は、筐体２１に収納されている超音波デバイスユニット４を第一屈折部６４側から見た側面図であり、図１５は、第二屈折部６５側から見た側面図である。なお、図１４及び図１５において、第二補強板７２の図示は省略している。
この後、第二屈折部６５を折り曲げ、第二コネクター部６３が支持された第二補強板７２を第一補強板７１に重ね合わせる。これにより、第二補強板７２の第二位置決めブロック７２４の載置面７２４Ｂが、第一補強板７１の位置決めブロック７１１の第四基準面７１１Ｄに載置される。
この際、第二屈折部６５における第二スリット６５１の幅寸法Ｗ２は、Ｗ２＞Ｗ１となるため、図１４及び図１５に示すように、第二コネクター部６３が第一コネクター部６２に干渉せず、かつ、第一屈折部６４や第二屈折部６５が外側に突出することがないので、フレキ板６の小型化を促進できる。

【0067】

また、第一補強板７１の第四基準面７１１Ｄに、第二補強板７２の載置面７２４Ｂを載置すると、第一補強板７１の裏面７１４と、第二補強板７２の裏面７２２との間に、フレキ板６及び第一コネクター部６２を配置する配置スペースＳが形成される。この配置スペースＳに、第一デバイス積層部６１６、第二デバイス積層部６１９、折り曲げられることで３重に重なった第一コネクター部６２、第二補強板７２の裏面７２２側に折り曲げられて２重に重なった第二コネクター部６３、第一コネクター部６２のコネクター、及びコネクターに接続されるケーブル３の端子が配置される（図２及び図３では、ケーブル３の端子の図示を省略）。
また、第二補強板７２に支持された第二コネクター部６３のコネクター６３１が−Ｚ側に露出するので、コネクター６３１に対してケーブル３の先端に設けられた端子を接続する。この後、格納部２１１に蓋部２１２を固定し、センサー窓２１１Ｂと音響レンズ５４との間を例えばシリコーン樹脂等の樹脂材によりシールすることで、超音波プローブ２が組み立てられる。

【0068】

［３．本実施形態の作用効果］
本実施形態の超音波デバイスユニット４は、超音波デバイス５と、超音波デバイス５に接続されるフレキ板６と、超音波デバイス５を支持する第一補強板７１と、を備える。フレキ板６は、超音波デバイス５に接続する第一接続部６１４及び第二接続部６１７と、これらの第一接続部６１４及び第二接続部６１７から延設される第一屈曲部６１５及び第二屈曲部６１８を備える。そして、第一補強板７１は、超音波デバイス５を固定面７１２に固定し、超音波デバイス５にフレキ板６を接続した際に、第一屈曲部６１５及び第二屈曲部６１８に対向する屈曲案内部７１５を有する。さらに、第一補強板７１は、この屈曲案内部７１５の両側（±Ｘ側）に、第一屈曲部６１５及び第二屈曲部６１８の端縁（第一負側端縁６１２Ａ，第一正側端縁６１２Ｂ、第二負側端縁６１３Ａ，第二正側端縁６１３Ｂ）を案内するガイド面７１１Ｅを備える。

【0069】

このため、フレキ板６を超音波デバイス５に接続する際、及び、フレキ板６を第一屈曲領域Ａｒ３及び第二屈曲領域Ａｒ４で湾曲させる際、第一屈曲部６１５や第二屈曲部６１８の端縁がガイド面７１１Ｅに接して案内されることができる。これにより、フレキ板６のＸＹ方向と、超音波デバイス５や第一補強板７１のＸＹ方向に合わせることができ、フレキ板６の傾斜が抑制され、適正な位置にフレキ板６を配置できる。
また、第一屈曲部６１５や第二屈曲部６１８を円弧曲面形状の屈曲案内部７１５に沿わせることで、第一屈曲部６１５や第二屈曲部６１８に配置される配線６６１，６６２，６６３，６６４の断線を抑制できる。これに加え、第一屈曲部６１５や第二屈曲部６１８を屈曲案内部７１５に沿って湾曲させることで、フレキ板６が傾斜されることなく、フレキ板６の第一屈曲領域Ａｒ３及び第二屈曲領域Ａｒ４を第一補強板７１の第一辺７１Ａ及び第三辺７１Ｃに沿って折り曲げることができる。
以上により、フレキ板６の一部が第一補強板７１と重なり合わずに、平面視で第一補強板７１の外縁（第一辺７１Ａ，第二辺７１Ｂ、第三辺７１Ｃ、第四辺７１Ｄ）から突出する不都合を抑制でき、超音波デバイスユニット４の小型化を図れる。
これにより、超音波デバイスユニット４を収納する超音波プローブ２や、超音波測定装置１における小型化をも促進できる。

【0070】

本実施形態の超音波デバイスユニット４では、第一辺７１Ａの両端側に位置する第一基準面７１１Ａは、第一辺７１Ａに沿った屈曲案内部７１５の−Ｙ側端部より、少なくともフレキ板６の厚み寸法以上、−Ｙ側に位置する。また、第三辺７１Ｃの両端側に位置する第一基準面７１１Ａは、第三辺７１Ｃに沿った屈曲案内部７１５の＋Ｙ側端部より、少なくともフレキ板６の厚み寸法以上、＋Ｙ側に位置する。つまり、Ｙ方向において、ガイド面７１１Ｅの端部（第一基準面７１１Ａ）が、屈曲案内部７１５の突出先端よりも、フレキ板６の厚み寸法以上突出している。
このため、第一屈曲部６１５や第二屈曲部６１８を屈曲案内部７１５に沿わせる際に、第一屈曲部６１５や第二屈曲部６１８が常にガイド面７１１Ｅに接する。これにより、フレキ板６を第一屈曲領域Ａｒ３及び第二屈曲領域Ａｒ４で適切に湾曲させて折り曲げることができる。また、超音波デバイスユニット４を筐体２１のデバイス設置部２１３に嵌合させた際に、フレキ板６が筐体２１に干渉せず、フレキ板６の破損等も抑制できる。

【0071】

本実施形態では、位置決めブロック７１１が、第一辺７１Ａと第二辺７１Ｂの交差位置から第二辺７１Ｂと第三辺７１Ｃの交差位置まで、及び第三辺７１Ｃと第四辺７１Ｄの交差位置から第四辺７１Ｄと第一辺７１Ａの交差位置まで、に亘って設けられている。つまり、位置決めブロック７１１は、第一補強板７１の４角部のそれぞれに位置している。
このため、超音波デバイスユニット４を筐体２１に格納する際に、これらの位置決めブロック７１１の第一基準面７１１Ａ及び第二基準面７１１Ｂを筐体２１に設けられたデバイス設置部２１３の壁面に当接させて位置決めすることができる。よって、超音波プローブ２に対して超音波デバイスユニット４を適正な位置に固定することができる。

【0072】

本実施形態では、フレキ板６は、第一屈曲部６１５の第一負側端縁６１２Ａ、及び第二屈曲部６１８の第二負側端縁６１３Ａ、第一対向縁６４１Ａを含む第一スリット６４１と、第一屈曲部６１５の第一正側端縁６１２Ｂ、及び第二屈曲部６１８の第二正側端縁６１３Ｂ、第二対向縁６５１Ａを含む第二スリット６５１を備える。そして、第一スリット６４１のＸ方向の幅寸法Ｗ１、及び、第二スリット６５１のＸ方向の幅寸法Ｗ２は、それぞれ、位置決めブロック７１１のＸ方向の幅寸法よりも大きい。
このため、第一屈曲部６１５や第二屈曲部６１８の端縁（第一負側端縁６１２Ａ，第一正側端縁６１２Ｂ、第二負側端縁６１３Ａ，第二正側端縁６１３Ｂ）をガイド面７１１Ｅに案内（当接）させた際に、位置決めブロック７１１が第一スリット６４１や第二スリット６５１に挿通される。このため、フレキ板６と位置決めブロック７１１との干渉を抑制され、例えば、位置決めブロック７１１の上にフレキ板６が被さり、超音波デバイスユニット４のサイズが大きくなる不都合を抑制できる。

【0073】

本実施形態では、第一補強板７１は、樹脂部材により構成されている。これにより、フレキ板６を設置した際の配線６６１，６６２，６６３，６６４のショートを抑制できる。また、第一補強板７１は、超音波デバイス５が固定される固定面７１２とは反対側の裏面７１４に、凹部７１４Ａが設けられ、当該凹部７１４Ａに金属板７１６が配置されている。これにより、第一補強板７１を樹脂部材により構成した場合でも、金属板７１６によって第一補強板７１の強度を向上させることができる。

【0074】

［変形例］
なお、本発明は上述の各実施形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良、及び各実施形態を適宜組み合わせる等によって得られる構成は本発明に含まれるものである。

【0075】

上記実施形態において、第一補強板７１が、第二辺７１Ｂ及び第四辺７１Ｄに亘って位置決めブロック７１１を備える構成としたが、例えば、第二辺７１Ｂの両端、第四辺７１Ｄの両端の４角のそれぞれに、第一基準面７１１Ａや第二基準面７１１Ｂを備えるブロック状の基準角部が設けられる構成としてもよい。また、このような構成では、４角のうちのいずれか３角に位置決めブロックが設けられる構成とすればよい。

【0076】

上記実施形態において、第一スリット６４１及び第二スリット６５１のＸ方向の幅寸法が、位置決めブロック７１１のＸ方向の幅寸法より大きいとしたが、これに限定されない。例えば、第一スリット６４１及び第二スリット６５１のＸ方向の幅寸法が、位置決めブロック７１１のＸ方向の幅寸法より小さくともよい。ただし、第一屈曲領域Ａｒ３及び第二屈曲領域Ａｒ４において、フレキ板６を湾曲させた際に、第一コネクター部６２や第二コネクター部６３の一部が、位置決めブロック７１１の第三基準面７１１Ｃから第四基準面７１１Ｄに亘って被さる。よって、第一屈折部６４及び第二屈折部６５でフレキ板６を折り曲げる際に、上記第三基準面７１１Ｃ側に被さった第一コネクター部６２や第二コネクター部６３をＸ方向に引き出す必要があり、フレキ板６を折り曲げる際に煩雑な作業が伴う。
この場合、位置決めブロック７１１の第三基準面７１１Ｃから第二基準面７１１Ｂに亘って、傾斜面や湾曲面を形成すればよい。これにより、第一屈折部６４及び第二屈折部６５でフレキ板６を折り曲げる際に、第三基準面７１１Ｃ側に被さった第一コネクター部６２や第二コネクター部６３を容易に引き出すことができる。

【0077】

上記実施形態では、第一補強板７１の裏面７１４に凹部７１４Ａが設けられ、当該凹部７１４Ａに金属板７１６が設けられる構成としたが、これに限定されない。
例えば、第一補強板７１に凹部７１４Ａが設けられず、金属板７１６が内部に埋め込まれる構成などとしてもよい。

【0078】

上記実施形態では、位置決めブロック７１１の第一基準面７１１Ａ及び第二基準面７１１Ｂを筐体２１のデバイス設置部２１３に当接させて位置決めする構成を示したが、これに限定されない。例えば位置決めブロック７１１に複数の孔部が設けられ、筐体２１に前記孔部に係合可能なピンが設けられる構成などとしてもよい。

【0079】

上記実施形態において、Ｙ方向において、ガイド面７１１Ｅの端部が、屈曲案内部７１５よりも突出する例を示したが、例えばガイド面７１１Ｅの±Ｙ側端部と、屈曲案内部７１５の±Ｙ端部とが同じ位置であってもよい。

【0080】

上記実施形態では、超音波デバイス５が、基板開口部５１１Ａ側から超音波を送信し、基板開口部５１１Ａに入射する超音波を受信する例を示した。これに対して、封止板５２が、基板開口部５１１Ａ側に設けられ、基板開口部５１１Ａとは反対側に超音波を出力する構成などとしてもよい。
また、超音波デバイス５に設けられる振動子として、超音波トランスデューサーＴｒを複数備えた送受信列Ｃｈを例示したが、これに限定されない。例えば、個々の超音波トランスデューサーＴｒのそれぞれが振動子として構成されてもよい。
また、超音波トランスデューサーＴｒとして、支持膜５１２を圧電素子５１３により振動させることで超音波を送信し、支持膜５１２の振動を圧電素子５１３にて電気信号に変換することで超音波を受信する例を示したが、これに限定されない。例えば、バルク型の圧電体を振動させることで超音波を送受信する構成としてもよく、また、一対の膜材に対向する電極を配置し、電極間に周期駆動電圧を印加することで、静電力によって膜材を振動させる構成などとしてもよい。

【0081】

上記各実施形態では、超音波装置として、生体内の器官を測定対象とする超音波測定装置１を例示したが、これに限定されない。例えば、各種構造物を測定対象として、当該構造物の欠陥の検出や老朽化の検査を行う測定機に、上記実施形態及び各変形例の構成を適用できる。また、例えば、半導体パッケージやウェハ等を測定対象として、当該測定対象の欠陥を検出する測定機についても同様である。

【0082】

その他、本発明の実施の際の具体的な構造は、本発明の目的を達成できる範囲で上記各実施形態及び変形例を適宜組み合わせることで構成してもよく、また他の構造などに適宜変更してもよい。

【符号の説明】

【0083】

１…超音波測定装置（超音波装置）、２…超音波プローブ（超音波探触子）、３…ケーブル、４…超音波デバイスユニット、５…超音波デバイス、６…フレキ板（フレキシブルプリント基板）、１０…制御装置（制御部）、１１…操作部、１２…表示部、２１…筐体、５１…超音波基板、５２…封止板、５３…配線基板、５４…音響レンズ、６１…デバイス接続部、６２…第一コネクター部、６３…第二コネクター部、７１…第一補強板、７１Ａ…第一辺、７１Ｂ…第二辺、７１Ｃ…第三辺、７１Ｄ…第四辺、２１１…格納部、２１１Ａ…底部、２１１Ｂ…センサー窓、２１２…蓋部、２１３…デバイス設置部、６１１…開口部、６１２…第一配線部、６１２Ａ…第一負側端縁、６１２Ｂ…第一正側端縁、６１３…第二配線部、６１３Ａ…第二負側端縁、６１３Ｂ…第二正側端縁、６１４…第一接続部、６１５…第一屈曲部、６１６…第一デバイス積層部、６１７…第二接続部、６１８…第二屈曲部、６１９…第二デバイス積層部、６４１…第一スリット、６４１Ａ…第一対向縁、６４１Ｂ…第一スリット端縁、６４１Ｃ…第一スリット端縁、６４２…第一連結部、６５１…第二スリット、６５１Ａ…第二対向縁、６５１Ｂ…第二スリット端縁、６５１Ｃ…第二スリット端縁、６５２…第二連結部、７１１…位置決めブロック、７１１Ａ…第一基準面、７１１Ｂ…第二基準面、７１１Ｃ…第三基準面、７１１Ｄ…第四基準面、７１１Ｅ…ガイド面、７１２…固定面、７１３…段差、７１４…裏面、７１４Ａ…凹部、７１５…屈曲案内部、７１６…金属板、７２１…コネクター支持面、７２２…裏面、７２３…第二屈曲案内部、７２４…第二位置決めブロック、７２４Ａ…凹部、７２４Ｂ…載置面、７２４Ｃ…第二ガイド面、Ａｒ３…第一屈曲領域、Ａｒ４…第二屈曲領域、Ａｒ５…中央領域。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】