特許6923889基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　ピーエスケー　インコーポレイテッド　（識別番号 519362963）

　　　　特許公開件数ランキング 1347 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6923889

公報発行日　2021年8月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6923889

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