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特許第6925370号(P6925370)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6925370電場結合を用いる小型マイクロ波プラズマ照射装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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