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特許6926225処理チャンバにおける工作物における材料堆積防止
発明の名称 処理チャンバにおける工作物における材料堆積防止
出願人 マットソン テクノロジー インコーポレイテッド （識別番号 502278714）
特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 ベイジン イータウン セミコンダクター テクノロジー カンパニー リミテッド （識別番号 520111187）
特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 4093 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6926225
公報発行日 2021年8月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6926225
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