特許 6926610 可撓膜機構、流路部材及び液体噴射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6926610

(24)【登録日】2021年8月10日

(45)【発行日】2021年8月25日

(54)【発明の名称】可撓膜機構、流路部材及び液体噴射装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/175 20060101AFI20210812BHJP

【ＦＩ】

   B41J2/175 501

【請求項の数】11

【全頁数】36

(21)【出願番号】特願2017-76725(P2017-76725)

(22)【出願日】2017年4月7日

(65)【公開番号】特開2018-176485(P2018-176485A)

(43)【公開日】2018年11月15日

【審査請求日】2020年3月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100116665

【弁理士】

【氏名又は名称】渡辺 和昭

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100101236

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 浩之

(74)【代理人】

【識別番号】100166914

【弁理士】

【氏名又は名称】山▲崎▼ 雄一郎

(72)【発明者】

【氏名】山岸 健

【審査官】 亀田 宏之

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−１１０８５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１８８９２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００７／００５２７７５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ４１Ｊ ２／０１−２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

弁機構に用いる可撓膜機構であって、
蓋部材と、
前記蓋部材との間で空間を形成する可撓膜と、
前記空間と連通する流体流路と、
前記可撓膜に対して、前記蓋部材とは反対側に規制部と、
を備え、
前記可撓膜は、
当該可撓膜の変形により前記弁機構の弁を開閉させ、
前記蓋部材側に凸となり、前記凸の反対側に凹となる突出部を有し、
前記弁機構と当接する部分の外側に、変形し易い領域と変形し難い領域とを有し、
前記規制部は、前記可撓膜の端部において前記可撓膜の変形を規制することを特徴とす
る可撓膜機構。

【請求項2】

前記可撓膜のうち、前記変形し難い領域は、前記変形し易い領域よりも、厚いことを特
徴とする請求項１記載の可撓膜機構。

【請求項3】

前記可撓膜のうち、前記変形し難い領域に設けられた前記突出部は、前記変形し易い領
域に設けられた前記突出部よりも前記蓋部材側への突出量が小さいことを特徴とする請求
項１又は２記載の可撓膜機構。

【請求項4】

前記可撓膜の変形し易い領域と変形し難い領域とは、互いにヤング率の異なる材料で形
成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の可撓膜機構。

【請求項5】

前記可撓膜と前記蓋部材との積層方向から平面視した際に、前記空間は長尺形状を有し
、
前記変形し難い領域は、前記長尺形状の長手方向の端部であることを特徴とする請求項
１〜４の何れか一項に記載の可撓膜機構。

【請求項6】

弁機構に用いる可撓膜機構であって、
蓋部材と、
前記蓋部材との間で空間を形成する可撓膜と、
前記空間と連通する流体流路と、を備え、
前記可撓膜は、
当該可撓膜の変形により前記弁機構の弁を開閉させ、
前記蓋部材側に凸となり、前記凸の反対側に凹となる突出部を有し、
前記弁機構と当接する部分の外側に、変形し易い領域と変形し難い領域とを有し、
前記可撓膜と前記蓋部材との積層方向から平面視した際に、前記空間は長尺形状を有し
、
前記変形し難い領域は、前記長尺形状の長手方向の端部であることを特徴とする可撓膜
機構。

【請求項7】

前記空間は、前記空間の短手方向に複数並設されていることを特徴とする請求項５又は
６記載の可撓膜機構。

【請求項8】

前記弁機構は、前記弁に連通する部屋と、前記部屋の少なくとも一部を規定するフィル
ムであって、変形により前記弁を開閉させるフィルムと、を具備し、
前記フィルムと前記可撓膜との間の距離を一定に保つためのスペーサーを具備すること
を特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の可撓膜機構。

【請求項9】

弁機構に用いる可撓膜機構であって、
蓋部材と、
前記蓋部材との間で空間を形成する可撓膜と、
前記空間と連通する流体流路と、を備え、
前記可撓膜は、
当該可撓膜の変形により前記弁機構の弁を開閉させ、
前記蓋部材側に凸となり、前記凸の反対側に凹となる突出部を有し、
前記弁機構と当接する部分の外側に、変形し易い領域と変形し難い領域とを有し、
前記弁機構は、前記弁に連通する部屋と、前記部屋の少なくとも一部を規定するフィル
ムであって、変形により前記弁を開閉させるフィルムと、を具備し、
前記フィルムと前記可撓膜との間の距離を一定に保つためのスペーサーを具備すること
を特徴とする可撓膜機構。

【請求項10】

請求項１〜９の何れか一項に記載の可撓膜機構と、
弁機構と、
を具備することを特徴とする流路部材。

【請求項11】

請求項１〜９の何れか一項に記載の可撓膜機構と、
液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
を具備することを特徴とする液体噴射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、弁機構に用いられて弁の開閉に用いられる可撓膜機構、可撓膜機構を有する流路部材、可撓膜機構を有する液体噴射装置、弁機構に用いる可撓膜の制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

液体噴射装置は、インクタンクなどの液体貯留手段から供給されたインク等の液体を圧力発生手段の圧力変化によって複数のノズルから液滴として噴射する液体噴射ヘッドを具備する。また、液体貯留手段から供給されたインク等の液体が液体噴射ヘッドに所定の圧力で供給されるように、流路の途中に下流側の流路が負圧になることで開弁する圧力調整弁が設けられた構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

また、特許文献１では、下流側の流路の圧力に関わらず、弁を外部から押圧することで開弁させる可撓膜機構が設けられた構成が開示されている。

【0004】

また、空気等の流体を加圧して供給することによって、圧力調整弁を押圧して開弁させる構成が開示されている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１２−１１１０４４号公報

【特許文献2】特開２０１５−１８９２０１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、弁を外部から押圧する際に、受圧部の全面を押圧すると、受圧部から受ける反力が大きくなるため、受圧部を押圧する圧力を高くする必要がある。このため、受圧部を押圧する液体を加圧するためのポンプ等の圧送手段として、加圧能力の高いものや大型なものが必要となり、大型化すると共に高コストになってしまうという問題がある。

【0007】

なお、このような問題は、液体噴射装置に代表される流路部材に用いられる可撓膜機構に限定されず、弁機構を有する他のデバイスに用いられる可撓膜機構においても同様に存在する。

【0008】

本発明はこのような事情に鑑み、弁機構の弁を比較的小さい力で押圧して機能させることができる可撓膜機構、流路部材、液体噴射装置及び制御方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決する本発明の態様は、弁機構に用いる可撓膜機構であって、蓋部材と、前記蓋部材との間で空間を形成する可撓膜と、前記空間と連通する流体流路と、を備え、前記可撓膜は、当該可撓膜の変形により前記弁機構の弁を開閉させ、前記蓋部材側に凸となり、前記凸の反対側に凹となる突出部を有し、前記弁機構と当接する部分の外側に、変形し易い領域と変形し難い領域とを有することを特徴とする可撓膜機構にある。
かかる態様では、突出部を有する可撓膜を設けることで、可撓膜が流体流路からの圧力を受ける面積を増大させて、可撓膜を比較的低い圧力で動作させることができる。特に、可撓膜の凹凸となる突出部を広げるように変形させることができるため、可撓膜を厚さが薄くなるように伸長させて変形させるのに比べて比較的低い圧力で変形させることができる。また、空間を加圧した際に可撓膜の変形し易い領域を裏返るように変形させて、変形し難い領域を裏返らないように変形させることができ、可撓膜を弁機構に確実に当接させることができると共に、加圧を解除した際に変形し難い領域をきっかけとして変形し易い領域の裏返るような変形を元の姿勢に容易に戻すことができる。

【0010】

ここで、前記可撓膜のうち、前記変形し難い領域は、前記変形し易い領域よりも、厚いことが好ましい。これによれば、可撓膜の厚みを変更するだけで変形し易い領域と変形し難い領域とを容易に形成することができると共に、変形のし易さを容易に制御することができる。

【0011】

ここで、前記可撓膜のうち、前記変形し難い領域に設けられた前記突出部は、前記変形し易い領域に設けられた前記突出部よりも前記蓋部材側への突出量が小さいことが好ましい。これによれば、突出部の突出量を変更するだけで変形し易い領域と変形し難い領域とを容易に形成することができると共に、変形のし易さを容易に制御することができる。

【0012】

また、前記可撓膜に対して、前記蓋部材とは反対側に規制部を備え、前記規制部は、前記可撓膜の端部において前記可撓膜の変形を規制することが好ましい。これによれば、規制部によって可撓膜に変形し易い領域と変形し難い領域とを容易に形成することができる。また、可撓膜の形状を変更する必要がないため、可撓膜を容易に製造することができると共に、可撓膜の変形量を把握し易い。

【0013】

また、前記可撓膜の変形し易い領域と変形し難い領域とは、互いにヤング率の異なる材料で形成されていることが好ましい。これによれば、可撓膜に変形し易い領域と変形し難い領域とを容易に形成することができる。

【0014】

また、前記可撓膜と前記蓋部材との積層方向から平面視した際に、前記空間は長尺形状を有し、前記変形し難い領域は、前記長尺形状の長手方向の端部であることが好ましい。これによれば、特に可撓部の空間の長手方向の端部に対応する領域は、変形のしわ寄せが大きくなり易く、可撓膜の裏返りが元に戻り難いため、元に戻り難い領域に変形し難い領域を設けることで、効果的に裏返りを抑制することができる。

【0015】

また、前記空間は、前記空間の短手方向に複数並設されていることが好ましい。これによれば、空間の容積を確保しつつ小型化を図ることができる。

【0016】

また、前記弁機構は、前記弁に連通する部屋と、前記部屋の少なくとも一部を規定するフィルムであって、変形により前記弁を開閉させるフィルムと、を具備し、前記フィルムと前記可撓膜との間の距離を一定に保つためのスペーサーを具備することが好ましい。これによれば、スペーサーによってフィルムと可撓膜との距離を一定に保つことで、可撓膜が動作しない状態で、可撓膜がフィルムの変形を阻害するのを抑制することができる。

【0017】

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の可撓膜機構と、弁機構と、を具備することを特徴とする流路部材にある。
かかる態様では、弁機構の弁を比較的小さい力で押圧して機能させることができる流路部材を実現できる。

【0018】

また、本発明の他の態様は、上記態様の可撓膜機構と、液体を噴射する液体噴射ヘッドと、を具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、弁機構の弁を比較的小さい力で押圧して機能させることができる液体噴射装置を実現できる。

【0019】

また、本発明の他の態様は、弁機構に用いる可撓膜の制御方法であって、前記可撓膜を変形させる変形工程と、前記可撓膜を前記弁機構に当接させる当接工程と、を備え、前記変形工程において、前記可撓膜のうち前記弁機構と当接する部分の外側に、裏返る領域と裏返らない領域とがあるように、前記可撓膜を変形させることを特徴とする制御方法にある。
かかる態様では、空間を加圧した際に可撓膜の変形し易い領域を裏返るように変形させて、変形し難い領域を裏返らないように変形させることができ、可撓膜を弁機構に確実に当接させることができると共に、加圧を解除した際に変形し難い領域をきっかけとして変形し易い領域の裏返るような変形を元の姿勢に容易に戻すことができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の構成図である。

【図2】液体噴射ヘッドの分解斜視図である。

【図3】液体噴射ユニットの断面図である。

【図4】液体噴射部の断面図である。

【図5】可撓膜の平面図である。

【図6】流路ユニットの要部断面図である。

【図7】流路ユニットの要部断面図である。

【図8】流路ユニットの要部断面図である。

【図9】流路ユニットの要部断面図である。

【図10】流路ユニットの要部断面図である。

【図11】流路ユニットの要部断面図である。

【図12】脱泡空間および逆止弁の説明図である。

【図13】初期充填時における液体噴射ヘッドの状態の説明図である。

【図14】通常使用時における液体噴射ヘッドの状態の説明図である。

【図15】脱泡動作時における液体噴射ヘッドの状態の説明図である。

【図16】空間及び可撓膜の変形例を示す平面図である。

【図17】実施形態２に係る流路ユニットの要部断面図である。

【図18】実施形態３に係る流路ユニットの要部断面図である。

【図19】可撓膜の変形例を示す平面図である。

【図20】可撓膜の変形例を示す平面図である。

【図21】可撓膜の変形例を示す流路ユニットの要部断面図である。

【図22】可撓膜の変形例を示す流路ユニットの要部断面図である。

【図23】可撓膜の変形例を示す流路ユニットの要部断面図である。

【図24】可撓膜の変形例を示す流路ユニットの要部断面図である。

【図25】可撓膜の変形例を示す平面図である。

【図26】流路ユニットの変形例を示す要部断面図である。

【図27】流路ユニットの変形例を示す要部断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の構成を示す図である。本実施形態の液体噴射装置１００は、液体であるインクを媒体１２に噴射するインクジェット方式記録装置である。媒体１２としては、例えば、紙や樹脂フィルム、布等が挙げられる。

【0022】

液体噴射装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が固定されている。液体容器１４としては、例えば液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。また、特に図示していないが、液体容器１４には、色や種類の異なる複数種類のインクが貯留されている。

【0023】

また、液体噴射装置１００は、制御部である制御ユニット２０と搬送機構２２と液体噴射ヘッド２４とを具備する。
制御ユニット２０は、特に図示していないが、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と半導体メモリ等の記録装置とを含んで構成され、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで液体噴射装置１００の各要素を統括的に制御する。

【0024】

搬送機構２２は、制御ユニット２０によって制御されて媒体１２をＹ方向に搬送するものであり、例えば、搬送ローラーを有する。なお、媒体１２を搬送する搬送機構は、搬送ローラーに限らず、ベルトやドラムによって媒体１２を搬送するものであってもよい。

【0025】

移動機構２６は、制御ユニット２０によって制御されて液体噴射ヘッド２４をＸ方向に往復させる。移動機構２６によって液体噴射ヘッド２４が往復するＸ方向は、媒体１２が搬送されるＹ方向に交差する方向である。また、Ｘ方向及びＹ方向の双方に交差する方向を本実施形態では、Ｚ方向と称する。本実施形態では、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるものではない。

【0026】

具体的には、本実施形態の移動機構２６は、搬送体２６２と搬送ベルト２６４とを具備する。搬送体２６２は、液体噴射ヘッド２４を支持する略箱形の構造体、所謂、キャリッジであり、搬送ベルト２６４に固定される。搬送ベルト２６４は、Ｘ方向に沿って架設された無端ベルトである。制御ユニット２０による制御のもとで搬送ベルト２６４が回転することで液体噴射ヘッド２４が搬送体２６２と共にＸ方向に沿って往復する。なお、液体容器１４を液体噴射ヘッド２４と共に搬送体２６２に搭載することも可能である。

【0027】

液体噴射ヘッド２４は、液体容器１４から供給されたインクを制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２に液滴として噴射する。なお、液体噴射ヘッド２４からのインク滴の噴射は、Ｚ方向の正側に向かって行われる。そして、搬送機構２２によって媒体１２がＹ方向に搬送されると共に移動機構２６によって液体噴射ヘッド２４がＸ方向に搬送される際に、液体噴射ヘッド２４が媒体１２にインク滴を噴射することで、媒体１２には所望の画像が形成される。

【0028】

ここで、本実施形態の液体噴射ヘッド２４について図２を参照してさらに詳細に説明する。なお、図２は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
図２に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッド２４は、第１支持体２４２と複数の組立体２４４とを具備する。第１支持体２４２は、複数の組立体２４４を支持する板状部材である。複数の組立体２４４は、Ｘ方向に並設された状態で第１支持体２４２に固定されている。

【0029】

複数の組立体２４４の各々は、接続ユニット３２と第２支持体３４と分配流路３６と複数、本実施形態では６個の液体噴射モジュール３８とを具備する。なお、液体噴射ヘッド２４を構成する組立体２４４の数や組立体２４４を構成する液体噴射モジュール３８の数は上述したものに限定されるものではない。

【0030】

接続ユニット３２のＺ方向の正側に位置する第２支持体３４に複数の液体噴射モジュール３８がＹ方向に並設された列がＸ方向に２列で配置され、複数の液体噴射モジュール３８のＸ方向の側方に分配流路３６が配置される。分配流路３６は、液体容器１４から供給されるインクを複数の液体噴射モジュール３８の各々に分配する流路が内部に形成された構造体であり、複数の液体噴射モジュール３８に亘ってＹ方向に長尺に構成される。

【0031】

このような液体噴射モジュール３８は、液体噴射ユニット４０と連結ユニット５０とを具備する。液体噴射ユニット４０は、液体容器１４から分配流路３６を介して供給されるインクを媒体１２にインク滴として噴射する。

【0032】

本実施形態の液体噴射ユニット４０についてさらに図３を参照して説明する。なお、図３は、本実施形態の流路ユニットを示す断面図である。
図３に示すように、本実施形態の液体噴射ユニット４０は、流路部材である流路ユニット４１と脱泡流路ユニット４２と液体噴射部４４とを具備する。

【0033】

ここで、液体噴射部４４についてさらに図４を参照して説明する。なお、図４は、液体噴射ヘッドのうち任意の１個のノズルＮに対応した部分の断面図である。
図４に示すように、本実施形態の液体噴射部４４は、圧力室基板４８２と振動板４８３と圧電アクチュエーター４８４と筐体部４８５と保護基板４８６とが流路基板４８１の一方側に配置されると共に、他方側にノズル板４８７および緩衝板４８８が配置された構造体である。

【0034】

流路基板４８１と圧力室基板４８２とノズル板４８７とは例えばシリコンの平板材で形成され、筐体部４８５は例えば樹脂材料の射出成形で形成される。複数のノズルＮはノズル板４８７に形成される。ノズル板４８７のうち流路基板４８１とは反対側の表面が噴射面となっている。

【0035】

流路基板４８１には、開口部４８１Ａと絞り流路である分岐流路４８１Ｂと連通流路４８１Ｃとが形成される。分岐流路４８１Ｂおよび連通流路４８１ＣはノズルＮ毎に形成された貫通孔であり、開口部４８１Ａは複数のノズルＮに亘って連続する開口である。緩衝板４８８は、流路基板４８１のうち圧力室基板４８２とは反対側の表面に設置されて開口部４８１Ａを閉塞する平板材からなるコンプライアンス基板である。開口部４８１Ａ内の圧力変動は緩衝板４８８が可撓変形することによって吸収される。

【0036】

筐体部４８５には、流路基板４８１の開口部４８１Ａに連通する共通液室であるマニホールドＳRが形成される。マニホールドＳRは、複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する空間であり、複数のノズルＮに亘って連続して設けられている。また、マニホールドＳRには、上流側から供給されるインクが流入する流入口Ｒinが形成される。

【0037】

圧力室基板４８２には、ノズルＮ毎に開口部４８２Ａが形成されている。振動板４８３は、圧力室基板４８２のうち流路基板４８１とは反対側の表面に設置された弾性変形可能な平板材である。圧力室基板４８２の各開口部４８２Ａの内側で振動板４８３と流路基板４８１とに挟まれた空間は、マニホールドＳRから分岐流路４８１Ｂを介して供給されるインクが充填される圧力室（キャビティ）ＳCとして機能する。各圧力室ＳCは、流路基板４８１の連通流路４８１Ｃを介してノズルＮに連通する。

【0038】

振動板４８３の圧力室基板４８２とは反対側の表面には、ノズルＮ毎に圧電アクチュエーター４８４が形成される。各圧電アクチュエーター４８４は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた駆動素子である。圧電アクチュエーター４８４は、駆動信号に基づいて変形することで振動板４８３を振動させて、圧力室ＳC内のインクの圧力を変動させることで、圧力室ＳC内のインクがノズルＮから噴射される。また、保護基板４８６は、複数の圧電アクチュエーター４８４を保護する。

【0039】

ここで、液体噴射ユニット４０の流路ユニット４１についてさらに図５〜図８を参照して説明する。なお、図５は、可撓膜の平面図であり、図６は、図３のうち流路ユニットの加圧動作を解除した状態を示す要部断面図であって図５のＡ−Ａ′線に準ずる断面図であり、図７は、流路ユニットの加圧動作を解除した状態を示す要部断面図であって、図５のＢ−Ｂ′線に準ずる断面図であり、図８は、流路ユニットの加圧動作を解除した状態を示す要部断面図であって、図５のＣ−Ｃ′線に準ずる断面図である。また、図９〜図１１は、図６〜図８のそれぞれの加圧動作を示す断面図である。

【0040】

図３及び図６に示すように、流路ユニット４１は、弁機構７０と可撓膜機構８０とを内包する。流路ユニット４１の内部には、空間Ｒ1と空間Ｒ2と制御室ＲCと空間Ｒ3とが形成される。本実施形態では、弁機構７０に空間Ｒ1と空間Ｒ2とが形成され、可撓膜機構８０に空間Ｒ3が形成され、弁機構７０と可撓膜機構８０との間に制御室ＲCが形成されている。

【0041】

弁機構７０は、弁機構筐体７１と開閉弁Ｂ[1]とフィルム７２とを有する。弁機構筐体７１には、液体圧送機構１６に接続された空間Ｒ1が設けられている。液体圧送機構１６は、液体容器１４に貯留されたインクを加圧状態で液体噴射ユニット４０に供給、すなわち、圧送する機構である。また、弁機構筐体７１には、脱泡流路ユニット４２と接続された空間Ｒ2が設けられている。弁機構筐体７１の可撓膜機構８０側、すなわち、Ｚ方向の負側には、可動膜であるフィルム７２が設けられており、空間Ｒ2の壁面の一部はフィルム７２によって構成されている。また、空間Ｒ1と空間Ｒ2との間に開閉弁Ｂ[1]が設置されている。

【0042】

開閉弁Ｂ[1]は、弁座７２１と弁体７２２と受圧板７２３とバネ７２４とを具備する。弁座７２１は、弁機構筐体７１の一部であって空間Ｒ1と空間Ｒ2とを仕切る平板状の部分である。弁座７２１には、空間Ｒ1と空間Ｒ2とを連通させる連通孔ＨAが形成される。受圧板７２３は、フィルム７２のうち弁座７２１との対向面に設置された略円形状の平板材である。すなわち、受圧板７２３は、フィルム７２上に設けられている。このようにフィルム７２に受圧板７２３を設けることで、弁体７２２が直接フィルム７２に当接する場合に比べてフィルム７２の破れや変形を抑制することができる。なお、受圧板７２３は、フィルム７２と接合されていてもよく、また、接合されていなくてもよい。つまり、受圧板７２３がフィルム７２上に設けられているとは、フィルム７２に接合された状態も、接合されずに接触可能に配置された状態も含むものである。受圧板７２３がフィルム７２と接合されている場合には、詳しくは後述する可撓膜８３がフィルム７２を介してインクから受ける圧力は、受圧板７２３の面積に依存する。また、受圧板７２３がフィルム７２と接合されていない場合には、可撓膜８３の先端がフィルム７２を介してインクから受ける圧力は可撓膜８３の先端の面積となる。本実施形態では、受圧板７２３は、フィルム７２と接合されていない。

【0043】

弁体７２２は、基部７２５と弁軸７２６と封止部７２７とを包含する。基部７２５の表面から弁軸７２６が垂直に突起し、平面視で弁軸７２６を包囲する円環状の封止部７２７が基部７２５の表面に設置される。弁体７２２は、連通孔ＨAに弁軸７２６が挿入された状態で空間Ｒ1内に配置され、バネ７２４により弁座７２１側、すなわち、Ｚ方向の負側に付勢される。弁軸７２６の外周面と連通孔ＨAの内周面との間には隙間が形成される。

【0044】

可撓膜機構８０は、蓋部材８１とスペーサー８２と可撓膜８３とを有する。蓋部材８１には、弁機構７０側、すなわち、Ｚ方向の正側に開口する凹部８１１が設けられており、凹部８１１の開口は可撓膜８３によって覆われることで内部に空間Ｒ3が形成されている。凹部８１１は、Ｚ方向からの平面視において長尺形状を有する。本実施形態では、凹部８１１は、Ｚ方向からの平面視において、Ｙ方向が長手方向となり、Ｘ方向が短手方向となる長手方向の両端部を半円形状とした形状となっている。なお、凹部８１１は、長尺形状を有するものであれば、特に限定されず、楕円形状やこれに似た形状等であってもよい。もちろん、凹部８１１は、長尺形状ではない形状、例えば、円形状や正方形状などのアスペクト比が１となる形状であってもよい。ちなみに、凹部８１１を長尺形状とすることで、複数の凹部８１１を短手方向に並設した際に、凹部８１１の容積を確保しつつ、小型化を図ることができる。

【0045】

スペーサー８２は蓋部材８１のフィルム７２側に設けられている。すなわち、スペーサー８２は、弁機構７０のフィルム７２側において蓋部材８１との間に設けられている。スペーサー８２には、Ｚ方向において空間Ｒ3に重なる位置に、Ｚ方向に亘って貫通した貫通部８２１が設けられており、貫通部８２１の内部に制御室ＲCが形成されている。すなわち、制御室ＲCと空間Ｒ3との間には、可撓膜８３が介在する。また、制御室ＲCの壁面の一部はフィルム７２と可撓膜８３とによって構成されている。空間Ｒ3は、流体供給源である圧力調整機構１８に接続された流体流路である脱泡経路７５に接続されている。本実施形態では、脱泡経路７５は、空間Ｒ3のＺ方向において可撓膜８３に対向する壁に開口する開口部７５ａによって接続されている。

【0046】

可撓膜８３は、ゴムやエラストマー等の弾性材料で形成されている。可撓膜８３は、本実施形態では、圧力調整機構１８の加圧動作によって脱泡経路７５を介して空間Ｒ3が加圧された際に制御室ＲCの内側に、すなわち、フィルム７２側に向かって凸状に突出するように弾性変形する。

【0047】

このような可撓膜８３は、図６、図７及び図８に示すように、蓋部材８１とこの蓋部材８１の凹部８１１が開口する面側に設けられた部材、本実施形態では、スペーサー８２との間で挟まれて固定された固定部８４と固定部８４から空間Ｒ3内に延設された可撓部８５とを有する。そのため、固定部８４は空間Ｒ3外で固定される。また、可撓部８５は、図６〜図８に示すように、加圧動作が行われていない場合において、空間Ｒ3側に凸となり、凸の反対側であるフィルム７２側に凹となる突出部８５０を有する。

【0048】

本実施形態では、可撓部８５は、当接部８５１と第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４と第２接続部８５５とを有する。可撓部８５を構成する当接部８５１と第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４と第２接続部８５５とは略同じ厚さを有し、固定部８４は可撓部８５よりも厚くなっている。

【0049】

当接部８５１は、本実施形態では、可撓膜８３が弾性変形した際に、開閉弁Ｂ[1]に当接する部分であり、受圧板７２３にＺ方向で対向する位置、すなわち、Ｚ方向からの平面視において受圧板７２３に重なる位置に設けられている。本実施形態では、Ｚ方向から平面視した際に制御室ＲCの中心に受圧板７２３の中心が位置するように設けられているため、当接部８５１は制御室ＲCの中心となる位置に配置されている。このような当接部８５１は、本実施形態では、Ｘ方向及びＹ方向を含む方向に沿って延設されている。また、当接部８５１は、受圧板７２３の面積よりも小さな面積を有する。当接部８５１が、受圧板７２３の面積よりも小さな面積を有するとは、Ｘ方向及びＹ方向の両方向において、当接部８５１が受圧板７２３よりも狭い幅を有することをいう。このように、当接部８５１を受圧板７２３の面積よりも小さな面積とすることで、当接部８５１の位置ずれが生じた場合であっても、当接部８５１によって受圧板７２３を確実に押圧することができる。

【0050】

また、当接部８５１は、図５に示すように、Ｚ方向からの平面視において、凹部８１１の長尺形状に合わせた長尺形状を有する。すなわち、当接部８５１は、Ｚ方向からの平面視において、Ｙ方向が長手方向となり、Ｘ方向が短手方向となる長手方向の両端部を半円形状とした形状となっている。なお、当接部８５１は、長尺形状を有するものであれば、特に限定されず、楕円形状やこれに似た形状等であってもよい。もちろん、当接部８５１は、長尺形状ではない形状、例えば、円形状や正方形状などのアスペクト比が１となる形状であってもよい。ちなみに、当接部８５１を長尺形状とすることで、長尺形状を有する凹部８１１に対して、当接部８５１を広く形成することができる。

【0051】

第１壁部８５２は、図５に示すように、当接部８５１の周囲に亘って連続した環状に設けられている。第１壁部８５２は、図６〜図８に示すように、当接部８５１よりもフィルム７２とは反対側に立設されている。具体的には、第１壁部８５２は、一端が当接部８５１に接続され、他端が当接部８５１よりもフィルム７２とは反対側である蓋部材８１側に位置するようにＺ方向に沿って延設されている。

【0052】

第１接続部８５３は、図５に示すように、第１壁部８５２の周囲に亘って連続した環状に設けられている。第１接続部８５３は、図６〜図８に示すように、一端が第１壁部８５２の蓋部材８１側に位置する他端に接続されており、他端が第１壁部８５２よりも外側にＸ方向及びＹ方向を含む方向に延設されている。

【0053】

第２壁部８５４は、図５に示すように、第１接続部８５３の周囲に亘って連続した環状に設けられている。第２壁部８５４は、図６〜図８に示すように、第１接続部８５３よりもフィルム７２側に立設されている。具体的には、第２壁部８５４は、一端が第１接続部８５３に接続され、他端が第１接続部８５３よりもフィルム７２側で、且つ当接部８５１よりも蓋部材８１側の位置となるようにＺ方向に沿って延設されている。

【0054】

第２接続部８５５は、図５に示すように、第２壁部８５４の周囲に亘って連続した環状に設けられている。第２接続部８５５は、図６〜図８に示すように、一端が第２壁部８５４の他端に接続されており、他端が第２壁部８５４よりも外側に第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向に延設されている。また、第２接続部８５５は、第２壁部８５４に接続された一端とは反対側の他端において、固定部８４に接続されている。すなわち、第２接続部８５５は固定部８４と第２壁部８５４とを接続する。

【0055】

このように当接部８５１の周囲には、中心が同一である環状の第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４と第２接続部８５５とによって蛇腹が形成されている。すなわち、本実施形態の可撓部８５には、当接部８５１と当接部８５１の周囲に設けられた第１壁部８５２とによって蓋部材８１側に開口する第１凹部８６１が設けられている。また、第１凹部８６１の周囲には、第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４とによってフィルム７２側に開口する第２凹部８６２が周方向に亘って連続した環状に設けられている。さらに、第２凹部８６２の周囲には、第２壁部８５４と第２接続部８５５と固定部８４とによって蓋部材８１側に開口する第３凹部８６３が周方向に亘って連続した環状に設けられている。これら第１凹部８６１と第２凹部８６２と第３凹部８６３とは、Ｚ方向から平面視した際に互いに重ならない位置に設けられており、これにより蛇腹が形成されている。つまり、本実施形態では、可撓部８５の第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４とが蓋部材８１側に凸となりフィルム７２側に凹（第２凹部８６２）となる突出部８５０となっている。ちなみに、可撓膜において蓋部材８１側が凸となり、フィルム７２側が凹となっていないものは突出部が形成されているとはいわない。つまり、板状の可撓膜の一部の厚みを変えることで、可撓膜の蓋部材８１側に凸が形成されていても、フィルム７２側が平坦面となっている場合には、突出部が形成されているとはいわない。同様に、可撓膜のフィルム７２側に凹となる溝が形成されており、蓋部材８１側が平坦面となっている場合には、突出部が形成されているとはいわない。

【0056】

このような可撓膜８３は、弁機構７０と当接する部分の外側、すなわち、当接部８５１の外側に、変形し易い領域と変形し難い領域とを有する。本実施形態では、図５に示すように、突出部８５０において、長手方向であるＹ方向の両端部を変形し難い領域とし、長手方向であるＹ方向の両端部以外の領域、すなわち、中央部を変形し易い領域とした。なお、突出部８５０の変形し易さとは、Ｚ方向に同じ圧力で押圧した際の変形量の違いのことをいう。つまり、Ｚ方向に同じ圧力で押圧した際の変形により突出した量が大きい部分が変形し易い部分となり、変形により突出した量が小さい部分が変形し難い部分となる。また、変形し難い領域と変形し易い領域とは、両者を比較した際の相対的な変形のし易さを示すものである。本実施形態では、突出部８５０のＹ方向の両端部の変形し難い領域を第１領域８７０と称し、両端部以外の中央部の変形し易い領域を第２領域８７１と称する。また、本実施形態では、図６及び図７に示すように、Ｘ方向の端部の突出部８５０の蓋部材８１側への突出量Ｈ1を、中央部の突出部８５０の蓋部材８１側への突出量Ｈ2よりも小さくすることで、Ｙ方向の両端部に第１領域８７０を形成し、Ｙ方向の両端部以外の中央部に第２領域８７１を形成した。すなわち、第１領域８７０の突出部８５０の突出量Ｈ1は、第２領域８７１の突出部８５０の突出量Ｈ2よりも小さい。なお、本実施形態の突出部８５０の突出量Ｈ1、Ｈ2とは、第２接続部８５５からの第２壁部８５４及び第１壁部８５２のＺ方向における蓋部材８１側への長さのことである。第１領域８７０では、第２壁部８５４及び第１壁部８５２のＺ方向の長さは、第２領域８７１の第２壁部８５４及び第１壁部８５２の長さよりも短い。したがって、第１領域８７０の突出部８５０の突出量Ｈ1は、第２領域８７１の突出部８５０の突出量Ｈ2よりも小さい。

【0057】

このように、第１領域８７０の突出部８５０の突出量Ｈ1を、第２領域８７１の突出部８５０の突出量Ｈ2よりも小さくすることで、第１領域８７０は、第２領域８７１よりも変形し難くなっている。つまり、詳しくは後述するが、圧力調整機構１８の加圧動作によって、可撓膜８３の可撓部８５が弾性変形する際に、第２壁部８５４及び第１壁部８５２の長さが短い第１領域８７０では、第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４とで形成された第２凹部８６２が浅いため、第２凹部８６２が広がるように弾性変形し難いのに対し、第２領域８７１では、第２凹部８６２が深く、第２凹部８６２が広がるように弾性変形し易いからである。

【0058】

ここで空間Ｒ3に接続された脱泡経路７５は、図３に示すように、分配流路３６内の流路を介して流体供給源である圧力調整機構１８に接続される。圧力調整機構１８は、当該圧力調整機構１８に接続された流路に流体である空気を供給する加圧動作と、当該流路から流体である空気を排出して流路内を大気圧とする大気開放動作と、流路から流体である空気を吸引する減圧動作とを、制御ユニット２０からの指示に応じて選択的に実行可能である。圧力調整機構１８から内部空間に空気が供給されること（すなわち加圧）で可撓膜８３はフィルム７２側に突出するように変形し、大気開放動作によって空気が排出されることで可撓膜８３の変形が解除されて元の状態、すなわち、図６〜図８に示す元の姿勢に戻る。また、圧力調整機構１８による空気の吸引（すなわち減圧）により可撓膜８３は、元の姿勢から蓋部材８１側に変形する。なお、減圧動作によって加圧動作による可撓膜８３の変形が解除されて元の姿勢に戻ってもよい。

【0059】

ここで、圧力調整機構１８の加圧動作が行われると、可撓膜８３の可撓部８５の第２領域８７１では、図９に示すように当接部８５１がフィルム７２に向かって移動するように弾性変形する。すなわち、可撓部８５は、蛇腹に形成された第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４とが第２凹部８６２を広げるように弾性変形して、当接部８５１が開閉弁Ｂ[1]に向かって移動する。なお、第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４とで形成された第２凹部８６２が広がるように弾性変形するとは、第２接続部８５５からＺ方向の負側に延設された第２壁部８５４が、Ｚ方向の正側に屈曲して広がるように弾性変形することをいう。つまり、第２凹部８６２が裏返ることで当該第２凹部８６２がなくなるように弾性変形する。このような可撓部８５の第２領域８７１の弾性変形によって、本実施形態では、第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４と第２接続部８５５とが、固定部８４と可撓部８５との境界、すなわち、可撓部８５の根元からフィルム７２に向かって略一直線上に配置されて、当接部８５１をフィルム７２側に移動させる。そして、フィルム７２側に移動した当接部８５１がフィルム７２に当接してフィルム７２をＺ方向の正側に押圧することで開閉弁Ｂ[1]が開弁される。

【0060】

また、圧力調整機構１８の加圧動作が行われると、可撓膜８３の可撓部８５の第１領域８７０では、図１０に示すように、第１領域８７０は変形し難いことから、第２凹部８６２が裏返ることなく弾性変形する。すなわち、圧力調整機構１８の加圧動作によって空間ＲC内が同じ圧力で加圧されても、変形し易い第２領域８７１は、図９に示すように第２凹部８６２が裏返るように弾性変形し、変形し難い第１領域８７０は、図１０に示すように第２凹部８６２が裏返ることなく弾性変形する。つまり、図１１に示すように、加圧動作が行われると、Ｙ方向の両端部の第１領域８７０は、第２凹部８６２が裏返ることなく、Ｙ方向の中央部の第２領域８７１が第２凹部８６２を裏返すように変形して、当接部８５１がフィルム７２を押圧することができる。

【0061】

つまり、本実施形態では、可撓膜８３を変形させる変形工程と、可撓膜８３を弁機構７０に当接させる当接工程と、を具備し、変形工程では、可撓膜８３のうち弁機構７０と当接する部分である当接部８５１の外側に、裏返る第２領域８７１と裏返らない第１領域８７０とがあるように、可撓膜８３を変形させるように制御する。なお、可撓膜８３の制御は、本実施形態では、圧力調整機構１８の加圧動作における流路の圧力を調整することで行われる。つまり、圧力調整機構１８の加圧動作によって加圧した流路の圧力が低すぎると、変形し易い第２領域８７１も裏返ることなく変形する虞があり、加圧した流路の圧力が高すぎると、変形し難い第１領域８７０も裏返るように変形してしまう虞があるからである。本実施形態では、変形し難い第１領域８７０と変形し易い第２領域８７１とを設けることで、圧力調整機構１８による加圧動作の圧力を適宜調整するだけで、第１領域８７０を裏返るように変形させることができると共に第２領域８７１を裏返らないように変形させる制御を容易に行うことができる。

【0062】

そして、圧力調整機構１８による加圧動作を解除した際に、可撓膜８３は、第１領域８７０をきっかけとして第２領域８７１を図６〜図８に示す元の姿勢に戻すことができる。つまり、加圧動作時に第１領域８７０が第２領域８７１と同じように裏返るように変形してしまうと、加圧動作を解除した際に第２領域８７１だけが元の姿勢に戻り、第１領域８７０が裏返ったままになってしまう虞がある。これは、第１領域８７０は、空間Ｒ3の長尺方向であるＹ方向の端部に近い位置に配置されているため、第１領域８７０の周方向から固定部８４が蓋部材８１とスペーサー８２との間で挟持された際の変形のしわ寄せが大きく、復元力を阻害することが原因の一つであると考えられる。そして、加圧動作を解除しても、第１領域８７０が裏返ったように変形した状態が維持されると、可撓膜８３がフィルム７２を押圧し続けることになり、開閉弁Ｂ[1]の開弁状態が維持されてしまう。このように加圧動作を解除した際に可撓膜８３が裏返った状態が維持されたとしても、開閉弁Ｂ[1]を閉弁させるためには、可撓膜８３とフィルム７２とのＺ方向における間隔を大きくとる必要がある。すなわち、可撓膜８３が裏返ったままで可撓膜８３にかかる圧力が解除された際に、可撓膜８３が裏返ったままで開閉弁Ｂ[1]を開弁しない位置まで蓋部材８１側に後退するように変形させるには、可撓膜８３とフィルム７２とのＺ方向における間隔を大きくとる必要があり、可撓膜機構８０がＺ方向に大型化してしまう。また、可撓膜８３の裏返りを元の姿勢に戻すには、加圧動作を解除した後に、空間ＲCを大気開放して大気圧に戻す（加圧動作の解除）だけではなく、空間ＲCを大気圧よりも負圧となるように減圧、特に大きく減圧する減圧動作が必要になり、開閉弁Ｂ[1]の閉弁までに時間がかかってしまう。本実施形態では、加圧動作時に第１領域８７０が裏返らないため、加圧動作を解除するだけで、すなわち、空間ＲCを大気開放して大気圧とする大気開放動作を行うだけで、可撓膜８３を元の姿勢に戻すことができるため、可撓膜８３とフィルム７２とのＺ方向における間隔を大きくとる必要がなく、可撓膜機構８０をＺ方向に小型化することができる。また、減圧動作を行うことなく開閉弁Ｂ[1]の閉弁までの時間を短縮することができるため、開閉弁Ｂ[1]の開弁から閉弁に至る反応性を向上することができる。もちろん、本実施形態においても、加圧動作を解除した後、大気開放動作を行うだけではなく、減圧動作を行うことで、可撓膜８３を元の姿勢に戻すようにしてもよい。減圧動作を行う場合であっても、可撓膜８３は、第１領域８７０をきっかけとして第２領域８７１が元の姿勢に戻るため、減圧動作に大きな負圧が不要となり、短時間で可撓膜８３を元の姿勢に戻すことができる。

【0063】

また、上述したように、加圧動作時において、可撓膜８３の可撓部８５の当接部８５１がフィルム７２側に移動することによって、当接部８５１のみがフィルム７２に当接して開閉弁Ｂ[1]を開弁する。このため、可撓部８５のフィルム７２を押す先端、すなわち、当接部８５１のフィルム７２に当接する部分の面積は、供給圧を受ける可撓部８５の空間Ｒ3側の後端の面積より小さい。このように、可撓部８５の供給圧を受ける脱泡経路７５側の後端面の面積を大きくすることで、圧力調整機構１８からの圧力を比較的広い面積で受けて圧力を受け易くし、可撓部８５のフィルム７２に当接する当接部８５１の面積を小さくすることで、フィルム７２を押圧する空間Ｒ2内のインクの圧力による反発を小さくすることができる。例えば、可撓部８５のフィルム７２に当接する当接部８５１の面積と後端面の面積とを１：５とした場合、圧力調整機構１８による空気の圧力Ｐａ（Ｐａ）、インク圧力Ｐｉ（Ｐａ）、バネ力Ｆｓ（Ｎ）、フィルム７２の反力Ｆ（Ｎ）、可撓部８５の後端面の受圧面積Ａ（ｍ^２）、可撓部８５の当接部８５１のフィルム７２から受ける受圧面積Ａｆ（ｍ^２）（＝１／５・Ａ）、可撓部８５のゴム反力Ｆｇ（Ｎ）とすると、開閉弁Ｂ[1]を開くために必要な条件はＰａ・Ａ−Ｆｇ＞Ｐｉ（１／５・Ａ）＋Ｆｓ＋Ｆとなり、Ｐａ＞（１／５）Ｐｉ＋（Ｆｓ＋Ｆ＋Ｆｇ）／Ａで表される。この式に表されるように、本実施形態の当接部８５１を設けた場合に開閉弁Ｂ[1]を開くのに必要な圧力調整機構１８の圧力Ｐａは、フィルム７２によって区切られた空間Ｒ2内のインクの圧力Ｐｉの影響を１／５に低減したものとすることができる。したがって、当接部８５１がフィルム７２によって反発される力が弱くなることから、圧力調整機構１８による脱泡経路７５の圧力が小さくても、可撓部８５の変形を維持することができる。このため、圧力調整機構１８が脱泡経路７５に大きな圧力を供給する必要がなく、圧力調整機構１８が脱泡経路７５を高い圧力に加圧するまでの時間が不要となって加圧動作に必要な時間を短縮することができると共に、圧力調整機構１８の耐久性を向上することができる。また、圧力調整機構１８として大きな圧力を出力可能な装置が不要となり、圧力調整機構１８を小型化することができると共にコストを低減することができる。また、開閉弁Ｂ[1]を開くために必要な圧力調整機構１８の圧力は、空間Ｒ2内のインクの圧力変化に対する影響が小さいため、圧力調整機構１８の設計を簡便化することができる。

【0064】

また、本実施形態では、図６に示すように、加圧動作を解除した状態では、突出部８５０の凹である第２凹部８６２の相対向する内壁面同士は、互いに当接することなく間隔を空けて配置されている。すなわち、第１壁部８５２と第２壁部８５４とは、互いに当接することなく、所定の間隔を空けて配置されている。このように、第２凹部８６２の相対向する内壁面同士を互いに当接させずに間隔を空けて配置することで、図９に示すように、加圧動作を行って可撓膜８３を弾性変形させる際に、可撓部８５の変形、特に第２壁部８５４の変形が阻害されるのを抑制することができる。例えば、第２凹部８６２の内壁面同士が当接している場合、すなわち、第２壁部８５４の第２接続部８５５側の端部（第２接続部８５５の端部）が、第１壁部８５２に当接している場合には、当接部８５１が開閉弁Ｂ[1]側に向かってＺ方向に移動する際に、第２接続部８５５からＺ方向の負側に延設された第２壁部８５４がＺ方向の正側に屈曲するように変形する際のスペースが少なくなり、第２壁部８５４の変形が阻害されてしまうからである。なお、第１壁部８５２の当接部８５１側の端部が第２壁部８５４の側面に当接している場合であっても、可撓膜８３の変形が阻害される。本実施形態では、第１壁部８５２と第２壁部８５４との側面を、互いに当接することなく所定の間隔を空けて配置することで、可撓膜８３の変形が阻害されるのを抑制することができ、比較的低い圧力で可撓膜８３を変形させることが可能である。

【0065】

なお、本実施形態では、第１凹部８６１においても同様に、相対向する内壁面同士が互いに当接することなく所定の間隔を空けて配置されている。すなわち、当接部８５１のＸ方向及びＹ方向の両側に設けられた第１壁部８５２の内壁面同士が互いに当接することなく所定の間隔を空けて配置されている。これにより、加圧動作時に可撓膜８３が、第２接続部８５５からＺ方向の負側に延設された第２壁部８５４がＺ方向の正側に屈曲するように変形する際のスペースを確保することができ、可撓膜８３の変形を容易に行わせることができる。
また、本実施形態では、第３凹部８６３においても同様に、相対向する内壁面同士が互いに当接することなく所定の間隔を空けて配置されている。

【0066】

なお、図６に示すように、大気開放動作や減圧動作等によって加圧動作が解除されて可撓膜８３の変形が解除された状態では、空間Ｒ2内の圧力が所定の範囲内に維持されている場合には、弁体７２２をバネ７２４が付勢することで封止部７２７が弁座７２１の表面に密着する。したがって、空間Ｒ1と空間Ｒ2とは遮断される。他方、液体噴射部４４によるインクの噴射や外部からの吸引に起因して空間Ｒ2内の圧力が所定の閾値を下回る数値まで低下すると、フィルム７２が弁座７２１側に変位することで受圧板７２３が弁軸７２６を押圧し、弁体７２２がバネ７２４による付勢に対抗して移動することで封止部７２７が弁座７２１から離間する。したがって、空間Ｒ1と空間Ｒ2とが連通孔ＨAを介して相互に連通する。すなわち、フィルム７２は、貯留室である空間Ｒ2内の第１圧力と、貯留室外である制御室ＲCの第２圧力との差に応じて動く。なお、制御室ＲCは、大気開放されていてもよい。これにより、フィルム７２を、大気圧と空間Ｒ2内の圧力との差に応じて動かすことができる。

【0067】

また、上述のように圧力調整機構１８による加圧で可撓膜８３が変形すると、可撓膜８３による押圧でフィルム７２が弁座７２１側に変位する。したがって、受圧板７２３による押圧で弁体７２２が移動して開閉弁Ｂ[1]が開放される。すなわち、空間Ｒ2内の圧力の高低に関わらず、圧力調整機構１８による加圧で強制的に開閉弁Ｂ[1]を開放することが可能である。すなわち、フィルム７２は、貯留室である空間Ｒ2内の第１圧力と、制御室ＲCの第２圧力との差に応じて動き、且つ可撓膜８３に押されることで動く。

【0068】

本実施形態では、圧力調整機構１８による加圧で可撓膜８３を変形させて、可撓膜８３によってフィルム７２を変形させるようにしたため、可撓膜８３は圧力調整機構１８の圧力を受け易く、圧力調整機構１８による加圧を比較的小さくしても可撓膜８３を動作させることができる。

【0069】

ちなみに、可撓膜８３を設けずに、制御室ＲC内の空気を加圧して直接フィルム７２を押圧する場合、制御室ＲCの圧力を、空間Ｒ2内のインクの圧力よりも大きくしないとフィルム７２によって弁体７２２を押圧することができない。また、空間Ｒ2内のインクの圧力が変化すると、必要な圧力調整機構１８の圧力の変化も大きく、圧力調整機構１８の設計が困難になってしまう。ここで、圧力調整機構１８による空気の圧力Ｐａ（Ｐａ）、インク圧力Ｐｉ（Ｐａ）、バネ力Ｆｓ（Ｎ）、フィルム７２の反力Ｆ（Ｎ）、フィルム７２の受圧面積Ａ（ｍ^２）とすると、開閉弁Ｂ[1]を開くために必要な条件はＰａ・Ａ＞Ｐｉ×Ａ＋Ｆｓ＋Ｆ、すなわち、Ｐａ＞Ｐｉ＋（Ｆｓ＋Ｆ）／Ａで表される。この式に表されるように、フィルム７２を直接圧力調整機構１８の圧力によって変形させるには、圧力調整機構１８の圧力Ｐａをインクの圧力Ｐｉよりも大きくする必要があった。

【0070】

これに対して、本実施形態では、突出部８５０を有する可撓膜８３を設けることで、可撓膜８３の圧力調整機構１８からの供給圧を受ける空間Ｒ3側の面積を広くすることができ、可撓膜８３を比較的小さな圧力で動作させることができる。したがって、圧力調整機構１８が脱泡経路７５及び空間Ｒ3に大きな圧力を供給する必要がなく、圧力調整機構１８が脱泡経路７５及び空間Ｒ3を高い圧力に達するまで加圧する時間が不要となって加圧動作に必要な時間を短縮することができると共に、圧力調整機構１８の耐久性を向上することができる。また、圧力調整機構１８として大きな圧力を出力可能な装置が不要となり、圧力調整機構１８を小型化することができると共にコストを低減することができる。

【0071】

一方、図３に示すように、脱泡流路ユニット４２は、流路ユニット４１を経由したインクを液体噴射部４４に供給する流路が内部に形成された構造体である。
具体的には、本実施形態の脱泡流路ユニット４２は、脱泡空間ＱとフィルターＦ[1]と鉛直空間ＲVと逆止弁７４とを包含する。脱泡空間Ｑは、インクから抽出された気泡が一時的に滞留する空間である。

【0072】

フィルターＦ[1]は、液体噴射部４４にインクを供給するための内部流路を横断するように設置され、インクに混入した気泡や異物を捕集する。具体的には、フィルターＦ[1]は、空間ＲF1と空間ＲF2とを仕切るように設置される。上流側の空間ＲF1は流路ユニット４１の空間Ｒ2に連通し、下流側の空間ＲF2は鉛直空間ＲVに連通する。

【0073】

空間ＲF1と脱泡空間Ｑとの間には気体透過膜ＭC（第２気体透過膜の例示）が介在する。具体的には、空間ＲF1の天井面が気体透過膜ＭCで構成される。気体透過膜ＭCは、気体（空気）は透過させるがインク等の液体は透過させない気体透過性の膜体（気液分離膜）であり、例えば公知の高分子材料で形成される。フィルターＦ[1]で捕集された気泡は、浮力による上昇で空間ＲF1の天井面に到達し、気体透過膜ＭCを透過することで脱泡空間Ｑに排出される。すなわち、インクに混入した気泡が分離される。

【0074】

鉛直空間ＲVは、インクを一時的に貯留するための空間である。第１実施形態の鉛直空間ＲVには、フィルターＦ[1]を通過したインクが空間ＲF2から流入する流入口Ｖinと、インクがノズルＮ側に流出する流出口Ｖoutとが形成される。すなわち、空間ＲF2内のインクは、流入口Ｖinを介して鉛直空間ＲVに流入し、鉛直空間ＲV内のインクは流出口Ｖoutを介して液体噴射部４４（マニホールドＳR）に流入する。図３に例示される通り、流出口Ｖoutと比較して鉛直方向の上方（Ｚ方向の負側）に流入口Ｖinが位置する。

【0075】

鉛直空間ＲVと脱泡空間Ｑとの間には気体透過膜ＭA（第１気体透過膜の例示）が介在する。具体的には、鉛直空間ＲVの天井面が気体透過膜ＭAで構成される。気体透過膜ＭAは、前述の気体透過膜ＭCと同様に気体透過性の膜体である。したがって、フィルターＦ[1]を通過して鉛直空間ＲVに進入した気泡は浮力により上昇し、鉛直空間ＲVの天井面の気体透過膜ＭAを透過して脱泡空間Ｑに排出される。前述の通り、流入口Ｖinは流出口Ｖoutと比較して鉛直方向の上方に位置するから、鉛直空間ＲV内での浮力を利用して気泡を効果的に天井面の気体透過膜ＭAに到達させることが可能である。

【0076】

液体噴射部４４のマニホールドＳRには、前述の通り、鉛直空間ＲVの流出口Ｖoutから供給されるインクが流入する流入口Ｒinが形成される。すなわち、鉛直空間ＲVの流出口Ｖoutから流出したインクは流入口Ｒinを介してマニホールドＳRに流入し、開口部４８１Ａを経由して各圧力室ＳCに供給される。また、第１実施形態のマニホールドＳRには排出口Ｒoutが形成される。排出口Ｒoutは、マニホールドＳRの天井面４９に形成された流路である。図３に例示される通り、マニホールドＳRの天井面４９は、流入口Ｒin側から排出口Ｒout側にかけて高くなる傾斜面（平面または曲面）である。したがって、流入口Ｒinから進入した気泡は浮力の作用で天井面４９に沿って排出口Ｒout側に誘導される。

【0077】

マニホールドＳRと脱泡空間Ｑとの間には気体透過膜ＭB（第１気体透過膜の例示）が介在する。気体透過膜ＭBは、気体透過膜ＭAや気体透過膜ＭCと同様に気体透過性の膜体である。したがって、マニホールドＳRから排出口Ｒoutに進入した気泡は浮力により上昇し、気体透過膜ＭBを透過して脱泡空間Ｑに排出される。前述の通り、マニホールドＳR内の気泡は天井面４９に沿って排出口Ｒoutに誘導されるから、例えばマニホールドＳRの天井面４９を水平面とした構成と比較してマニホールドＳR内の気泡を効果的に排出することが可能である。なお、気体透過膜ＭAと気体透過膜ＭBと気体透過膜ＭCとを単一の膜体で形成することも可能である。

【0078】

以上に説明した通り、本実施形態では、鉛直空間ＲVと脱泡空間Ｑとの間に気体透過膜ＭAが介在し、マニホールドＳRと脱泡空間Ｑとの間に気体透過膜ＭBが介在し、空間ＲF1と脱泡空間Ｑとの間に気体透過膜ＭCが介在する。すなわち、気体透過膜ＭAと気体透過膜ＭBと気体透過膜ＭCとの各々を透過した気泡が共通の脱泡空間Ｑに到達する。したがって、液体噴射ユニット４０の各部にて抽出された気泡が別個の空間に供給される構成と比較して、気泡の排出のための構造が簡素化されるという利点がある。

【0079】

図３に例示される通り、脱泡空間Ｑは脱泡経路７５に連通する。脱泡経路７５は、脱泡空間Ｑに滞留した空気を装置外部に排出するための経路である。脱泡空間Ｑと脱泡経路７５との間には逆止弁７４が介在する。逆止弁７４は、脱泡空間Ｑから脱泡経路７５に向かう空気の流通を許可する一方、脱泡経路７５から脱泡空間Ｑに向かう空気の流通を阻害する弁機構である。

【0080】

図１２は、脱泡流路ユニット４２のうち逆止弁７４の近傍に着目した説明図である。図１２に例示される通り、第１実施形態の逆止弁７４は、弁座７４１と弁体７４２とバネ７４３とを包含する。弁座７４１は、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とを仕切る平板状の部分である。弁座７４１には、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とを連通させる連通孔ＨBが形成される。弁体７４２は、弁座７４１に対向するとともにバネ７４３により弁座７４１側に付勢される。脱泡経路７５内の圧力が脱泡空間Ｑ内の圧力以上に維持された状態（脱泡経路７５内が大気開放または加圧された状態）では、バネ７４３からの付勢により弁体７４２が弁座７４１に密着することで連通孔ＨBが閉塞される。したがって、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とは遮断される。他方、脱泡経路７５内の圧力が脱泡空間Ｑ内の圧力を下回る状態（脱泡経路７５内が減圧された状態）では、弁体７４２がバネ７４３による付勢に対抗して弁座７４１から離間する。したがって、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とが連通孔ＨBを介して相互に連通する。

【0081】

本実施形態の脱泡経路７５は、圧力調整機構１８と流路ユニット４１の制御室ＲCとを連結する経路に接続される。すなわち、圧力調整機構１８に接続された経路が２系統に分岐し、一方が制御室ＲCに接続されるとともに他方が脱泡経路７５に接続される。

【0082】

図３に示すように、液体噴射ユニット４０から流路ユニット４１を経由して分配流路３６の内部に至る排出経路７６が形成される。排出経路７６は、液体噴射ユニット４０の内部流路（具体的には液体噴射部４４にインクを供給するための流路）に連通する経路である。具体的には、排出経路７６は、各液体噴射部４４のマニホールドＳRの排出口Ｒoutと鉛直空間ＲVとに連通する。

【0083】

排出経路７６のうち液体噴射ユニット４０とは反対側の端部は閉塞弁７８に接続される。閉塞弁７８が設置される位置は任意であるが、分配流路３６内に閉塞弁７８を設置した構成が図３では例示されている。閉塞弁７８は、通常状態では排出経路７６を閉塞し（ノーマリークローズ）、一時的に排出経路７６を大気に開放可能な弁機構である。

【0084】

内部流路からの気泡の排出に着目した液体噴射ユニット４０の動作を説明する。図１３に例示される通り、液体噴射ユニット４０に最初にインクを充填（以下「初期充填」という）する段階では、圧力調整機構１８が加圧動作を実行する。すなわち、弁機構７０の脱泡経路７５内が空気の供給により加圧される。したがって、制御室ＲC内の可撓膜８３がフィルム７２側に弾性変形してフィルム７２および受圧板７２３が変位し、受圧板７２３からの押圧により弁体７２２が移動して空間Ｒ1と空間Ｒ2とが連通する。脱泡経路７５が加圧された状態では逆止弁７４により脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とが遮断されるため、脱泡経路７５内の空気は脱泡空間Ｑには流入しない。他方、初期充填の段階では閉塞弁７８が開放される。

【0085】

以上の状態において、液体圧送機構１６は、液体容器１４に貯留されたインクを液体噴射ユニット４０の内部流路に圧送する。具体的には、液体圧送機構１６から圧送されたインクは、開放状態にある開閉弁Ｂ[1]を介して鉛直空間ＲVに供給され、鉛直空間ＲVからマニホールドＳRおよび各圧力室ＳCに供給される。前述の通り閉塞弁７８は開放されているため、初期充填の実行前に内部流路に存在していた空気は、内部流路および排出経路７６に対するインクの充填とともに排出経路７６と閉塞弁７８とを通過して装置外部に排出される。したがって、液体噴射ユニット４０のマニホールドＳRと各圧力室ＳCとを含む内部流路の全体にインクが充填され、圧電アクチュエーター４８４の動作によりノズルＮからインクを噴射可能な状態となる。以上に例示した通り、第１実施形態では、液体圧送機構１６から液体噴射ユニット４０にインクが圧送されるときに閉塞弁７８が開放されるから、液体噴射ユニット４０の内部流路にインクを効率的に充填することが可能である。以上に説明した初期充填が完了すると、圧力調整機構１８による加圧動作が停止するとともに閉塞弁７８が閉塞される。

【0086】

図１４に例示される通り、初期充填が完了して液体噴射装置１００が使用可能な状態では、液体噴射ユニット４０の内部流路に存在する気泡が常時的に脱泡空間Ｑに排出される。具体的には、空間ＲF1内の気泡は気体透過膜ＭCを介して脱泡空間Ｑに排出され、鉛直空間ＲV内の気泡は気体透過膜ＭAを介して脱泡空間Ｑに排出され、マニホールドＳR内の気泡は気体透過膜ＭBを介して脱泡空間Ｑに排出される。他方、開閉弁Ｂ[1]は、空間Ｒ2内の圧力が所定の範囲内に維持された状態では閉塞され、空間Ｒ2内の圧力が所定の閾値を下回ると開放される。開閉弁Ｂ[1]が開放されると、液体圧送機構１６から供給されるインクが空間Ｒ1から空間Ｒ2に流入し、結果的に空間Ｒ2の圧力が上昇することで開閉弁Ｂ[1]は閉塞される。

【0087】

図１４に例示した動作状態で脱泡空間Ｑに滞留した空気は、脱泡動作により装置外部に排出される。脱泡動作は、例えば液体噴射装置１００の電源投入の直後や印刷動作の間等の任意の時期に実行される。図１５は、脱泡動作の説明図である。図１５に例示される通り、脱泡動作を開始すると、圧力調整機構１８は減圧動作を実行する。すなわち、空間Ｒ3と脱泡経路７５とが空気の吸引により減圧される。

【0088】

脱泡経路７５が減圧されると、逆止弁７４の弁体７４２がバネ７４３による付勢に対抗して弁座７４１から離間し、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とが連通孔ＨBを介して相互に連通する。したがって、脱泡空間Ｑ内の空気は脱泡経路７５を介して装置外部に排出される。他方、内部空間の減圧により可撓膜８３はフィルム７２とは反対側に変形するが、制御室ＲC内の圧力（ひいてはフィルム７２）には影響しないから、開閉弁Ｂ[1]は閉塞した状態に維持される。

【0089】

以上説明したように、本実施形態では、弁機構７０に用いる可撓膜機構８０として、蓋部材８１と、蓋部材８１との間で空間Ｒ3を形成する可撓膜８３と、空間Ｒ3に連通する流体流路である脱泡経路７５と、を備え、可撓膜８３は、当該可撓膜８３の変形により弁機構７０の開閉弁Ｂ[1]を開閉させ、可撓膜８３は凹部８１１側に凸となり、凸の反対側に凹（第２凹部８６２）となる突出部８５０を有し、弁機構７０と当接する部分である当接部８５１の外側に、変形し易い第２領域８７１と変形し難い第２領域８７１とを有する。このように、可撓膜８３に突出部８５０を設けることで、可撓膜８３が流体流路である脱泡経路７５からの圧力を受ける面積を増大させて、可撓膜８３を比較的低い圧力で動作させることができる。特に、可撓膜８３の凹凸となる突出部８５０を広げるように変形させることができるため、可撓膜８３を厚さが薄くなるように伸長させて変形させるのに比べて、比較的低い圧力で変形させて、開閉弁Ｂ[1]を動作させることができる。したがって、供給圧として比較的高い圧力が不要となり、圧力調整機構１８が脱泡経路７５及び空間Ｒ3を高い圧力に達するまで加圧する時間が不要となって加圧動作に必要な時間を短縮することができると共に、圧力調整機構１８の耐久性を向上することができる。

【0090】

また、可撓膜８３の当接部８５１の外側に、変形し易い第２領域８７１と変形し難い第１領域８７０とを設けることで、加圧動作時に第２領域８７１を裏返るように変形させて、第１領域８７０を裏返らせないように変形させることができる。これにより、可撓膜８３の第２領域８７１によって確実に弁機構７０を動作させることができる。また、加圧動作を解除した際に、可撓膜８３は、第１領域８７０をきっかけとして第２領域８７１を元の姿勢に戻すことができる。したがって、加圧動作によって可撓膜８３の裏返った状態が加圧動作を解除した後も維持されるのを抑制することができる。このため、可撓膜８３とフィルム７２とのＺ方向における間隔を大きくとる必要がなく、可撓膜機構８０をＺ方向に小型化することができると共に、減圧動作を行わずに、または、減圧動作を行う時間を短縮して、開閉弁Ｂ[1]の閉弁までの時間を短縮することができ、開閉弁Ｂ[1]の開弁から閉弁に至る反応性を向上することができる。

【0091】

また、本実施形態では、可撓膜８３のうち、変形し難い第１領域８７０に設けられた突出部８５０は、変形し易い第２領域８７１に設けられた突出部８５０よりも蓋部材８１側への突出量が小さい。このように、突出部８５０の突出量Ｈ1、Ｈ2によって第１領域８７０と第２領域８７１とを容易に形成することができる。また、突出部８５０の突出量Ｈ1、Ｈ2を調整することで、第１領域８７０と第２領域８７１との変形し易さを容易に制御することができる。

【0092】

また、本実施形態では、可撓膜８３と蓋部材８１との積層方向であるＺ方向から平面視した際に、空間Ｒ3は長尺形状を有し、変形し難い第１領域８７０は、長尺形状の長手方向の端部である。可撓膜８３の空間Ｒ3の長手方向であるＹ方向の端部は、固定部８４が蓋部材８１とスペーサー８２とによって挟まれた際の変形のしわ寄せが集まりやすく、Ｙ方向の端部において加圧動作時に裏返ると、加圧動作を解除した際に裏返ったままになり易い部分となっているが、このように裏返ったままになり易い部分に変形し難い第１領域８７０を設けることで、裏返りを抑制すると共に、裏返ったままになるのを抑制することができる。

【0093】

また、本実施形態では、可撓膜８３は、空間Ｒ3外で固定された固定部８４と固定部８４から空間Ｒ3内に延設された可撓部８５とを具備し、可撓部８５の固定部８４側の根元から可撓部８５と弁機構７０の開閉弁Ｂ[1]との当接位置までの長さＬ2は、可撓膜８３の可撓部８５の固定部８４側の根元から可撓部８５が開閉弁Ｂ[1]に当接する位置までの最短距離Ｌ1よりも長い。すなわち、本実施形態では、可撓部８５のうち固定部８４から当接部８５１までの長さ、すなわち、第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４と第２接続部８５５とを合計した長さＬ2が、最短距離Ｌ1よりも長くなるようにした（図６参照）。このように、可撓部８５の固定部８４側の根元から可撓部８５と弁機構７０の開閉弁Ｂ[1]との当接位置までの長さＬ2を、最短距離Ｌ1よりも長くすることで、可撓膜８３の可撓部８５の突出部８５０が広がるように変形した際に、可撓部８５によって開閉弁Ｂ[1]を確実に押圧して動作させることができる。また、可撓部８５の突出部８５０が広がるように変形するだけで開閉弁Ｂ[1]を動作させることができるため、可撓部８５を厚さが薄くなるように伸長させる場合に比べて低い圧力で動作させることができる。もちろん、可撓膜８３の長さＬ2は、最短距離Ｌ1よりも短くてもよいが、可撓膜８３を変形させて開閉弁Ｂ[1]を動作させるためには、突出部８５０を広げるように変形させると共に、可撓膜８３を伸長するように変形させる必要があり、動作圧力が高くなってしまう。ただし、可撓膜８３の長さＬ2が、最短距離Ｌ1よりも短い場合であっても、平板状の可撓膜を用いた場合に比べて、低い圧力で弾性変形させることができる。

【0094】

また、本実施形態では、可撓膜８３は、蓋部材８１とこの蓋部材８１の凹部８１１が開口する側に設けられた部材、本実施形態では、スペーサー８２との間で設けられた部材との間で挟まれて固定されており、可撓膜８３の凹である第２凹部８６２の相対向する内壁面同士が互いに当接することなく間隔を空けて配置されている。これにより、可撓膜８３の突出部８５０が広がるように変形する際に、第２凹部８６２の内壁面同士が当接することによって変形が阻害されるのを抑制することができ、比較的低い圧力で可撓膜８３を変形させることができる。

【0095】

もちろん、第２凹部８６２の相対向する内壁面同士が互いに当接していてもよいが、可撓膜８３を変形させるには、第２凹部８６２の相対向する内壁面同士が互いに当接していない場合に比べて比較的高い圧力が必要になる。

【0096】

また、本実施形態では、可撓膜機構８０は開閉弁Ｂ[1]に連通する部屋である空間Ｒ2と部屋Ｒ2の一部を規定するフィルム７２であって、変形により開閉弁Ｂ[1]を開閉させるフィルム７２を具備し、可撓膜機構８０は、弁機構７０のフィルム７２と可撓膜８３との距離を一定に保つためのスペーサー８２を有する。このようにスペーサー８２によってフィルム７２と可撓膜８３との距離を一定に保つことで、可撓膜８３が動作しない状態で、可撓膜８３がフィルム７２の機能を阻害するのを抑制することができる。また、可撓膜８３が変形した際に、フィルム７２を確実に押圧することができる。

【0097】

なお、本実施形態では、可撓膜機構８０にスペーサー８２を設けるようにしたが、スペーサー８２は、弁機構７０側に設けられていてもよい。また、スペーサー８２は、弁機構筐体７１や蓋部材８１に一体的に設けられていてもよい。

【0098】

また、本実施形形態では、開閉弁Ｂ[1]の開閉と逆止弁７４の開閉とに圧力調整機構１８が共用されるため、開閉弁Ｂ[1]と逆止弁７４とを別個の機構により制御する構成と比較して、開閉弁Ｂ[1]および逆止弁７４を制御するための構成を簡素化することができる。

【0099】

さらに、本実施形態では、フィルム７２には受圧板７２３を設けるようにした。このため、可撓膜８３がフィルム７２を押圧した際にフィルム７２が延びてしまうことや破れてしまうなどの変形を抑制することができる。また、受圧板７２３を弁体７２２側に設けることで、弁体７２２が直接フィルム７２に接触するのを抑制して、フィルム７２の弁体７２２に接触することによる変形や破損を抑制することができる。もちろん、受圧板７２３は、設けられていなくてもよい。

【0100】

さらに、本実施形態の液体噴射ユニット４０は、流路構造体である流路ユニット４１と、貯留室である空間Ｒ2内のインクを吐出して第１圧力を変更する液体噴射部４４とを備える。液体噴射部４４が空間Ｒ2内のインクを吐出することで、空間Ｒ2内のインクが消費されても、空間Ｒ2内の圧力に基づいてフィルム７２が動作して開閉弁Ｂ[1]を開弁して空間Ｒ1から空間Ｒ2内にインクを供給することができる。したがって、液体噴射部４４に一定の圧力でインクを供給することができる。

【0101】

また、本実施形態では、１つの空間Ｒ3に対する可撓膜８３について説明したが、特に限定されず、複数の空間Ｒ3と空間Ｒ3に対する可撓膜８３を設けるようにしてもよい。このような例を図１６に示す。なお、図１６は、空間及び可撓膜を示す平面図である。

【0102】

図１６に示すように、空間Ｒ3が、Ｚ方向からの平面視においてＹ方向が長手方向となり、Ｘ方向が短手方向となる場合には、複数の空間Ｒ3を短手方向であるＸ方向に並設すればよい。このとき、可撓膜８３としては、図１７に示すように、複数の空間Ｒ3に対して共通する１枚の可撓膜８３を設けるようにしてもよく、特に図示していないが、空間Ｒ3毎に独立して分割された可撓膜８３を設けるようにしてもよい。つまり、可撓膜８３は、空間Ｒ3毎に設けられていてもよく、空間Ｒ3が２つ以上で構成される群毎に設けられていてもよい。

【0103】

（実施形態２）
図１７は、本発明の実施形態２に係る流路ユニットの要部断面図であって、図５のＢ−Ｂ′線に準ずる断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
本実施形態では、可撓膜８３のＹ方向の中央部は、実施形態１の図６と同様に第２領域８７１が形成されている。

【0104】

これに対して、図１７に示すように、可撓膜８３のＹ方向の両端部には、第１接続部８５３の厚さｔ1を図６に示す中央部の厚さｔ2よりも厚くすることで第１領域８７０が形成されている。すなわち、本実施形態では、突出部８５０は、当接部８５１の周方向に亘って同じ突出量となるように設けられている。つまり、突出部８５０を形成する第１壁部８５２と第２壁部８５４とは、当接部８５１の周方向に亘ってＺ方向に同じ長さで形成されている。そして、第１接続部８５３のＺ方向の厚さが、Ｙ方向の両端部において中央部よりも厚く形成されている（ｔ1＞ｔ2）。これにより、第１接続部８５３の厚さｔ2が厚く変形し難い第１領域８７０と、第１領域８７０よりも第１接続部の厚さｔ2が薄く変形し易い第２領域８７１とが形成されている。すなわち、本実施形態では、実施形態１のように突出部８５０の蓋部材８１側への突出量Ｈ1、Ｈ2を変更することなく、第１接続部８５３の厚さｔ1、ｔ2を変更することで第１領域８７０と第２領域８７１とが形成されている。なお、第１領域８７０において、第１接続部８５３の厚さｔ1が厚いと、第１接続部８５３が屈曲するように変形し難くなると共に、結果的に第１壁部８５２及び第２壁部８５４によって形成される第２凹部８６２の深さが浅くなるため、第１領域８７０は第２領域８７１に比べて変形し難くなる。

【0105】

このように、可撓膜８３の当接部８５１の外側に変形し難い第１領域８７０と変形し易い第２領域８７１とを設けることで、上述した実施形態１と同様に、加圧動作時に第１領域８７０を裏返さずに第２領域８７１のみを裏返させることができるため、加圧動作を解除した際に、第１領域８７０を起点として第２領域８７１を元の姿勢に戻すことができる。

【0106】

なお、本実施形態では、第１接続部８５３の厚さを変えることで、第１領域８７０と第２領域８７１とを形成するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、第２接続部８５５の厚さを変えることで、変形し難い第１領域８７０と変形し易い第２領域８７１とを設けるようにしてもよい。つまり、第２接続部８５５の厚さを厚くすることで変形し難い第１領域８７０を形成してもよい。また、第１接続部８５３及び第２接続部８５５の厚さを変えることなく、第１壁部８５２や第２壁部８５４の厚さを変えて第１領域８７０と第２領域８７１とを形成してもよい。さらに、第１壁部８５２、第１接続部８５３、第２壁部８５４及び第２接続部８５５から選択される２つ以上を組み合わせて厚さの変更を行ってもよい。すなわち、第１壁部８５２、第１接続部８５３、第２壁部８５４及び第２接続部８５５から選択される少なくとも１つの厚さを変えることで、第１領域８７０と第２領域８７１とを形成すればよい。

【0107】

また、本実施形態の第１接続部８５３の厚さの調整と上述した実施形態１の突出部８５０の突出量の調整とを組み合わせて、第１領域８７０と第２領域８７１とを形成するようにしてもよい。

【0108】

（実施形態３）
図１８は、本発明の実施形態３に係る流路ユニットの要部断面図であって、図５のＣ−Ｃ′線に準ずる断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

【0109】

図１８に示すように、スペーサー８２には、貫通部８２１内、すなわち、制御室ＲC内に突出する規制部８２２が設けられている。規制部８２２は、制御室ＲCのＹ方向の両端部からＹ方向の中央部に向かって突出して設けられている。すなわち、規制部８２２は、貫通部８２１のＹ方向の両側の壁面からＹ方向の中央部に向かって突出して設けられており、貫通部８２１のＸ方向の壁面には形成されていない。また、規制部８２２は、当接部８５１に達する位置まで突出して設けられている。

【0110】

このように規制部８２２を設けることによって、当接部８５１の周囲において可撓膜８３が規制部８２２に当接することで開閉弁Ｂ[1]側への変形が規制される。すなわち、当接部８５１の周囲において、Ｙ方向の両端部が規制部８２２によって変形し難い第１領域８７０となっており、規制部８２２によって規制されない部分が変形し易い第２領域８７１となっている。ちなみに、特に図示していないが、第１領域８７０と第２領域８７１とは、突出部８５０の突出量や第１接続部８５３の厚さなどは同じとなるように形成されている。もちろん、規制部８２２に合わせて、上述した実施形態１及び２のように、突出部８５０の突出量の調整や第１接続部８５３の厚さの調整を組み合わせてもよい。

【0111】

つまり、可撓膜８３が変形し難いとは、上述した実施形態１及び２のように可撓膜８３自体の構造によるものだけではなく、本実施形態のスペーサー８２に設けられた規制部８２２のようにその他の部材による影響のものも含まれる。

【0112】

このように規制部８２２によって可撓膜８３に第１領域８７０と第２領域８７１とを設けることで、上述した実施形態１と同様に、加圧動作時に第１領域８７０を裏返さずに第２領域８７１のみを裏返させることができるため、加圧動作を解除した際に、第１領域８７０を起点として第２領域８７１を元の姿勢に戻すことができる。

【0113】

また、本実施形態では、可撓膜８３の突出部８５０の突出量や、可撓膜８３の一部の厚みを調整することなく、第１領域８７０と第２領域８７１とを形成することができるため、可撓膜８３を容易に製造することができると共に、可撓膜８３の変形量を高精度に把握することができる。

【0114】

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した各実施形態では、可撓膜８３の形状を変更すること、及びスペーサー８２に規制部８２２を設けることで、可撓膜８３の当接部８５１の外側に変形し難い第１領域８７０と変形し難い第２領域８７１とを設けるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、可撓膜８３の形状を当接部８５１の周囲に亘って変更することなく、可撓膜８３の変形し易い領域と変形し難い領域とは、互いにヤング率の異なる材料で形成されていてもよい。すなわち、ヤング率が大きい材料で形成された部分が変形し易い第１領域８７０となり、ヤング率が小さい材料で形成された部分が変形し易い第２領域８７１となる。ちなみに、ヤング率の異なる複数の材料からなる可撓膜８３は、例えば、２色成形によって形成することができる。もちろん、上述した各実施形態の可撓膜８３の形状を変更すること、スペーサー８２に規制部８２２を設けること、及び、互いにヤング率の異なる材料を用いることから選択される２つ以上を組み合わせるようにしてもよい。

【0115】

また、上述した各実施形態では、空間Ｒ3は脱泡経路７５を介して圧力調整機構１８と連通しているが、空間Ｒ3内の圧力を調整できれば、脱泡経路７５を介して圧力調整機構１８と連通しなくてもよい。例えば、空間Ｒ3を脱泡経路７５とは連通させず、脱泡経路７５以外の流体流路を介して、圧力調整機構１８とは異なる機構により、空間Ｒ3内の圧力を調整してもよい。

【0116】

また、上述した各実施形態では、空間Ｒ3は、蓋部材８１の凹部８１１が可撓膜８３で覆われることにより形成されたが、凹部８１１を蓋部材８１に設けなくてもよい。例えば、可撓膜８３に凹部を設け、それを蓋部材８１で覆うことにより空間Ｒ3を形成してもよい。

【0117】

また、上述した実施形態１では、可撓膜８３の突出部の突出量を変更することで、第１領域８７０と第２領域８７１とを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、当接部８５１の周囲の一部に突出部８５０を設けない領域を形成することで、第１領域８７０と第２領域８７１とを形成してもよい。このような例を図１９及び図２０に示す。なお、図１９及び図２０は、可撓膜の変形例を示す平面図である。

【0118】

図１９に示すように、第１壁部８５２、第１接続部８５３及び第２壁部８５４は、当接部８５１のＸ方向の両側に設けられており、Ｙ方向の両側に設けられていない。このように当接部８５１の周囲において第１壁部８５２、第１接続部８５３及び第２壁部８５４が設けられていない領域が変形し難い第１領域８７０となり、第１壁部８５２、第１接続部８５３及び第２壁部８５４が設けられた領域が変形し易い第２領域８７１となっている。

【0119】

なお、第１壁部８５２、第１接続部８５３及び第２壁部８５４が設けられていない領域は図１９に示すものに限定されず、例えば、図２０に示すように、第１壁部８５２、第１接続部８５３及び第２壁部８５４は、当接部８５１のＸ方向の両側とＹ方向の両側とに設けられているが、当接部８５１の周囲に周方向で不連続となるように設けられていてもよい。

【0120】

また、突出部８５０の形状は、上述した実施形態１〜３に限定されるものではない。ここで、突出部８５０の変形例について図２１〜図２４を参照して説明する。なお、図２１〜図２４は、可撓膜の変形例を示す流路ユニットの要部断面図であって、図５のＡ−Ａ′線に準ずる断面図であるが、可撓膜は固定部が挟まれた際の応力によって変形されていない状態を模式的に示すものである。

【0121】

図２１に示すように可撓部８５は、当接部８５１と第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４と第２接続部８５５とを有する。可撓部８５を構成する当接部８５１と第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４と第２接続部８５５とは略同じ厚さを有し、固定部８４は可撓部８５よりも厚くなっている。

【0122】

当接部８５１は、上述した実施形態１と同様にＸ方向及びＹ方向を含む面方向に沿って延設されている。

【0123】

第１壁部８５２は、当接部８５１の周囲に亘って連続した環状に設けられている。第１壁部８５２は、当接部８５１よりもフィルム７２側に立設されている。具体的には、第１壁部８５２は、一端が当接部８５１に接続され、他端が当接部８５１よりもフィルム７２側に位置するようにＺ方向に沿って延設されている。

【0124】

第１接続部８５３は、第１壁部８５２の周囲に亘って連続した環状に設けられている。第１接続部８５３は、一端が第１壁部８５２のフィルム７２側に位置する他端に接続されており、他端が第１壁部８５２よりも外側にＸ方向及びＹ方向を含む方向に延設されている。

【0125】

第２壁部８５４は、第１接続部８５３の周囲に亘って連続した環状に設けられている。第２壁部８５４は、第１接続部８５３よりもフィルム７２とは反対側、すなわち蓋部材８１側に立設されている。具体的には、第２壁部８５４は、一端が第１接続部８５３に接続され、他端が第１接続部８５３よりも蓋部材８１側で、且つ当接部８５１よりもフィルム７２側の位置となるようにＺ方向に沿って延設されている。

【0126】

第２接続部８５５は、第２壁部８５４の周囲に亘って連続した環状に設けられている。第２接続部８５５は、一端が第２壁部８５４の他端に接続されており、他端が第２壁部８５４よりも外側に第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向に延設されている。また、第２接続部８５５は、第２壁部８５４に接続された一端とは反対側の他端において、固定部８４に接続されている。すなわち、第２接続部８５５は固定部８４と第２壁部８５４とを接続する。

【0127】

このように当接部８５１の周囲には、中心が同一である環状の第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４と第２接続部８５５とによって蛇腹が形成されている。すなわち、本実施形態の可撓部８５には、当接部８５１と当接部８５１の周囲に設けられた第１壁部８５２とによってフィルム７２側に開口する第１凹部８６１が設けられている。また、第１凹部８６１の周囲には、第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４とによって蓋部材８１側に開口する第２凹部８６２が周方向に亘って連続した環状に設けられている。さらに、第２凹部８６２の周囲には、第２壁部８５４と第２接続部８５５と固定部８４とによってフィルム７２側に開口する第３凹部８６３が周方向に亘って連続した環状に設けられている。これら第１凹部８６１と第２凹部８６２と第３凹部８６３とは、Ｚ方向から平面視した際に互いに重ならない位置に設けられており、これにより蛇腹が形成されている。つまり、本実施形態では、可撓部８５の当接部８５１と第１壁部８５２とが、蓋部材８１側に凸となりフィルム７２側に凹（第２凹部８６２）となる突出部８５０となっている。

【0128】

このような構成であっても、上述した実施形態１〜３と同様に、可撓膜８３の形状を変更すること、または、スペーサー８２に規制部８２２を設けることで、第１領域８７０と第２領域８７１とを形成すればよい。

【0129】

また、図２２に示すように、可撓部８５は、当接部８５１と第１壁部８５２と第１接続部８５３とを有する。すなわち、本実施形態の可撓部８５には、第２壁部８５４と第２接続部８５５とは設けられていない。可撓部８５を構成する当接部８５１と第１壁部８５２と第１接続部８５３とは略同じ厚さを有し、固定部８４は可撓部８５よりも厚くなっている。

【0130】

このような可撓膜８３では、当接部８５１の周囲には、中心が同一である環状の第１壁部８５２と第１接続部８５３とによって蛇腹が形成されている。すなわち、本実施形態の可撓部８５には、当接部８５１と当接部８５１の周囲に設けられた第１壁部８５２とによってフィルム７２側に開口する第１凹部８６１が設けられている。また、第１凹部８６１の周囲には、第１壁部８５２と第１接続部８５３と固定部８４とによって蓋部材８１側に開口する第２凹部８６２が周方向に亘って連続した環状に設けられている。これら第１凹部８６１と第２凹部８６２とは、Ｚ方向から平面視した際に互いに重ならない位置に設けられており、これにより蛇腹が形成されている。つまり、本実施形態では、可撓部８５の当接部８５１と第１壁部８５２とが、蓋部材８１側に凸となりフィルム７２側に凹（第２凹部８６２）となる突出部８５０となっている。

【0131】

このような構成であっても、上述した実施形態１〜３と同様に、可撓膜８３の形状を変更すること、または、スペーサー８２に規制部８２２を設けることで、第１領域８７０と第２領域８７１とを形成すればよい。

【0132】

また、図２３に示すように、可撓部８５は、当接部８５１と第３壁部８５６Ａと第４壁部８５６Ｂと第３接続部８５７と第５壁部８５８と第４接続部８５９とを有する。可撓部８５を構成する当接部８５１と第３壁部８５６Ａと第４壁部８５６Ｂと第３接続部８５７と第５壁部８５８と第４接続部８５９とは略同じ厚さを有し、固定部８４は可撓部８５よりも厚くなっている。

【0133】

第３壁部８５６Ａは、当接部８５１のＸ方向の正側に当接部８５１から蓋部材８１側向かって立設されている。
第４壁部８５６Ｂは、当接部８５１のＸ方向の負側に当接部８５１から蓋部材８１側に向かって立設されている。第４壁部８５６Ｂは、第３壁部８５６ＡよりもＺ方向に短い。なお、第３壁部８５６Ａと第４壁部８５６Ｂとは、Ｙ方向の端部において連続していてもよく、不連続であってもよい。

【0134】

第３接続部８５７は、一端が第４壁部８５６Ｂの蓋部材８１側に位置する端部に接続されており、他端が第４壁部８５６ＢよりもＸ方向の負側に向かって延設されている。
第５壁部８５８は、第３接続部８５７よりもフィルム７２側に向かって立設されている。
第４接続部８５９は、第３壁部８５６Ａの端部と固定部８４とを接続すると共に、第５壁部８５８の端部と固定部８４とを接続するように、第３壁部８５６Ａ、第４壁部８５６Ｂ、第３接続部８５７及び第５壁部８５８の周囲に亘って連続して設けられている。

【0135】

このように可撓膜８３には、第３壁部８５６Ａと第４壁部８５６Ｂと第３接続部８５７と第５壁部８５８とによって蛇腹が形成されている。すなわち、本実施形態の可撓部８５には、当接部８５１と第３壁部８５６Ａと第４壁部８５６Ｂとによって蓋部材８１側に開口する第１凹部８６１が設けられている。また、可撓部８５には、第１凹部８６１のＸ方向の負側に、第４壁部８５６Ｂと第３接続部８５７と第５壁部８５８とによって第２凹部８６２が設けられている。さらに、可撓部８５には、第３壁部８５６Ａと第４接続部８５９と固定部８４とによってフィルム７２側に開口する第３凹部８６３が設けられている。また、可撓部８５には、第４壁部８５６Ｂと第４接続部８５９と固定部８４とによって蓋部材８１側に開口する第４凹部８６４が設けられている。第１壁部８５２と第１接続部８５３と第２壁部８５４とによって蓋部材８１側に開口する第２凹部８６２が周方向に亘って連続した環状に設けられている。これら第１凹部８６１と第２凹部８６２と第３凹部８６３と第４凹部８６４とは、Ｚ方向から平面視した際に互いに重ならない位置に設けられており、これにより蛇腹が形成されている。つまり、本実施形態では、可撓部８５の第４壁部８５６Ｂと第３接続部８５７と第５壁部８５８とが、蓋部材８１側に凸となりフィルム７２側に凹（第２凹部８６２）となる突出部８５０となっている。

【0136】

このような構成であっても、上述した実施形態１〜３と同様に、可撓膜８３の形状を変更すること、または、スペーサー８２に規制部８２２を設けることで、第１領域８７０と第２領域８７１とを形成すればよい。

【0137】

また、図２４に示すように、可撓部８５は、空間Ｒ3側に突出するように湾曲して設けられている。すなわち、可撓膜８３は、フィルム７２側に第１凹部８６１が開口して設けられており、可撓部８５の全体が蓋部材８１側に凸となり、開閉弁Ｂ[1]側に第１凹部８６１が設けられて凹となる突出部８５０となっている。

【0138】

このような構成であっても、上述した実施形態１〜３と同様に、可撓膜８３の形状を変更すること、または、スペーサー８２に規制部８２２を設けることで、第１領域８７０と第２領域８７１とを形成すればよい。

【0139】

また、上述した各実施形態では、第１領域８７０は長尺形状を有する空間Ｒ3の長手方向であるＹ方向の両端部に設けるようにしたが、第１領域８７０は、当接部８５１の外側であれば周方向の何れの位置に設けられていてもよい。すなわち、加圧動作時に第１領域８７０が裏返ることなく、加圧動作を解除した際に、第１領域８７０をきっかけとして第２領域８７１の裏返りを元の姿勢に戻すことができれば、第１領域８７０の位置は特に限定されるものではない。ただし、上述した実施形態１〜３のように、長尺形状を有する空間Ｒ3に対して、長手方向であるＹ方向における可撓部８５の両端部には、固定部８４を挟持することによる変形のしわ寄せが大きく、可撓部８５の裏返りが元に戻り難いため、元に戻り難い領域であるＹ方向の両端部に変形し難い第１領域８７０を設けることで、第１領域８７０の裏返りを生じ難くして、裏返りが元に戻らなくなるのを抑制することができる。

【0140】

また、上述した各実施形態では、可撓膜８３の当接部８５１の外側に、変形し難い第１領域８７０と第２領域８７１とを設け、加圧動作時に第１領域８７０が裏返らないようにしたが、特にこれに限定されるものではない。例えば、可撓膜８３に変形し易い第１領域８７０と変形し難い第２領域８７１とが設けられていれば、加圧動作時に第１領域８７０及び第２領域８７１の両方が裏返るように変形したとしても、加圧動作を解除した際に、変形し易い第２領域８７１が裏返りから元の姿勢に戻り、元の姿勢に戻った第２領域８７１をきっかけとして戻り難い第１領域８７０を元の姿勢に戻すことができる。ちなみに、可撓膜８３は、当接部８５１の外側に当接部８５１の周囲に亘って変形し易さが同じとなるように設けられていると、加圧動作時に当接部８５１の周囲の全てが裏返るように変形してしまうと共に、加圧動作を解除した際に裏返りが元の姿勢に戻り難い。

【0141】

また、例えば、図２５に示すように、可撓部８５のＹ方向の両側の固定部８４にスリット８４１を設けるようにしてもよい。スリット８４１は、固定部８４をＺ方向に貫通してＸ方向に沿って設けられている。このように固定部８４にスリット８４１を設けることで、固定部８４を蓋部材８１とスペーサー８２とで挟んだ際に、可撓部８５のＹ方向の両端部に変形のしわ寄せが大きくなるのを抑制することができる。すなわち、固定部８４を蓋部材８１とで挟んだ際の変形は、スリット８４１側と可撓部８５側との両側に分散されるため、可撓部８５のＹ方向の両端部における変形のしわ寄せが小さくなる。これにより、可撓部８５のＹ方向の両端部において、加圧動作時に裏返るように変形したとしても、加圧動作を解除した際に、しわ寄せによる影響で元の姿勢に戻り難くなるのを抑制することができる。なお、上述した例では、可撓膜８３の固定部８４にスリット８４１を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、蓋部材８１やスペーサー８２にスリットを設けるようにしてもよい。

【0142】

また、上述した各実施形態では、突出部８５０の形状や厚み、または、スペーサー８２に設けられた規制部８２２によって変形し難い第１領域８７０と変形し易い第２領域８７１とを設けるようにしたが、例えば、上述した各実施形態のように、Ｚ方向からの平面視において、Ｙ方向が長手方向となり、Ｘ方向が短手方向となる長手方向の両端部を半円形状とした形状とし、その周囲に突出部８５０を設けた場合には、突出部８５０の形状や厚みを調整しなくても、Ｙ方向の両端部は、変形し難い第１領域となり、その他の領域が変形し易い第２領域となる。つまり、Ｚ方向から平面視した際に、当接部８５１の周方向に沿った突出部８５０の曲率が大きい部分が第２領域８７１となり、突出部８５０の曲率が小さい部分が第１領域８７０となる。このように当接部８５１をＸ方向が短手方向となる長手方向の両端部を半円形状とした形状とし、その周囲に亘って突出部８５０を設けるだけで、変形し難い第１領域８７０と変形し易い第２領域８７１とを形成することができる。そして、圧力調整機構１８が加圧動作を行う際の圧力を適宜調整することで、加圧動作時に、変形し難い第１領域８７０を裏返らせることなく、第２領域８７１のみを裏返らせるように変形させることができ、加圧動作を解除した際に、第１領域８７０をきっかけとして第２領域８７１を元の姿勢とすることができる。

【0143】

なお、当接部８５１の長尺形状は、Ｙ方向が長手方向となり、Ｘ方向が短手方向となる長手方向の両端部を半円形状とした形状に限定されるものではなく、例えば、矩形となる長方形状や多角形状等であってもよい。当接部８５１が何れの長尺形状であっても、当接部８５１の周囲に亘って同一形状の突出部８５０を設けるだけで、長手方向の両端部に第１領域８７０を形成することができる。

【0144】

例えば、上述した各実施形態では、可撓部８５の厚さを略同じ厚さとしたが、特にこれに限定されず、可撓部８５の開閉弁Ｂ[1]に当接する当接部８５１を他の部分よりも厚くしてもよい。また、当接部８５１の開閉弁Ｂ[1]に当接する一部に、開閉弁Ｂ[1]側に突出する凸部を設けるようにしてもよい。

【0145】

また、上述した各実施形態では、第１壁部８５２、第２壁部８５４、第３壁部８５６Ａ、第４壁部８５６Ｂ、第５壁部８５８は、Ｚ方向に沿って設けられるようにしたが、特にこれに限定されず、Ｚ方向に対して傾斜する方向に沿って設けられていてもよい。また、第１接続部８５３、第２接続部８５５、第３接続部８５７、第４接続部８５９は、Ｘ方向及びＹ方向を含む方向が面方向となるように設けたが、特にこれに限定されず、Ｘ方向及びＹ方向の何れか一方又は両方に対して傾斜した方向に沿って設けるようにしてもよい。

【0146】

また、上述した各実施形態の開閉弁Ｂ[1]は、弁体７２２をバネ７２４の付勢力によって付勢することによって閉弁するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、弁体７２２の自重によって閉弁するようにしてもよい。

【0147】

また、上述した各実施形態では、開閉弁Ｂ[1]が設けられた流路が、空間Ｒ2に連通した構成を例示したが、特にこれに限定されず、開閉弁Ｂ[1]が設けられた流路が、貯留室である空間Ｒ2に連通せずに、代わりに貯留室へ液体を圧送するための動力源、つまり、液体圧送機構１６に連通しており、開閉弁Ｂ[1]が開くことで液体圧送機構１６が作動して貯留室である空間Ｒ2にインクを圧送し、その結果としてフィルム７２の一方側の第１圧力が大きくなるようにしてもよい。すなわち、開閉弁Ｂ[1]が開閉する流路は、インク以外の流体の流路であってもよく、開閉弁Ｂ[1]が開閉した結果として、インクが流れるようにしてもよい。

【0148】

また、受圧部であるフィルム７２は、第１圧力と第２圧力との釣り合いに応じて動くものであればよく、材料は、例えば、膜や金属薄板等であってもよい。また、フィルム７２の形状は、平坦なものであってもよく、屈曲が繰り返された、所謂、蛇腹形状であってもよく、さらには袋状体であってもよい。
また、可撓膜８３は、ゴム等の弾性部材としたが、特にこれに限定されず、可撓性を有する樹脂や金属等であってもよい。

【0149】

さらに、上述した各実施形態では、脱泡空間Ｑを減圧することで、脱泡空間Ｑ内の気泡を除去するようにしたが、減圧する用途は特にこれに限定されない。例えば、減圧される空間、一方向弁を介してインクが通過する流路と連通させて、空間の減圧時に一方向弁を開いて流路内のインクを気泡と共に回収するものであってもよい。つまり、減圧される空間は、インクに含まれる気泡を溜める目的に用いることができる。もちろん、減圧される空間は、インクに含まれる気泡を溜める目的に以外の用途にも用いることができる。その他の用途としては、例えば、空間を減圧することで流路内の圧力変動を吸収するためのダンパー室の容積を変更して、ダンパー室の特性を変更するようにしてもよい。さらに、空間をノズルＮに臨むように開口させて、空間を減圧することで、ノズルＮ近傍に付着したゴミを吸引除去するものであってもよい。

【0150】

また、脱泡空間Ｑ内の気泡を除去するために減圧が用いられる場合には、減圧される空間は気体透過性を有するシート状部材（例えば、ポリアセタールやポリプロピレンやポリフェニレンエーテル等の薄膜）や、気体透過性を有する程度の厚さの剛性壁（例えば、透過区画壁を含む脱泡流路ユニット４２の材質をＰＯＭ（ポリアセタール）、ｍ−ＰＰＥ（変性ポリフェニレンエーテル）、又はＰＰ（ポリプロピレン）等のプラスチックまたはこれらのアロイとし、剛性壁の厚さを、一般的には０．５ｍｍ前後とする）により、少なくともその一部が形成されることが望ましい。あるいは、これらのシート状部材や剛性壁により形成された部屋と弁を介して連通する部屋が減圧する空間に相当する場合には、減圧する空間は熱硬化性樹脂や金属等により形成されてもよい。また、空間への減圧によりノズルＮ近傍に付着したゴミを吸引除去するために空間が用いられる場合には、空間は熱硬化性樹脂や金属等により、形成されることが好ましい。

【0151】

また、上述した各実施形態では、流体供給源である圧力調整機構１８からの流体として空気を例示したが、特にこれに限定されず、流体として、不活性ガスや、インクに用いられる液体、インク以外の液体等を用いるようにしてもよい。

【0152】

さらに、上述した各実施形態では、圧力室ＳCに圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電アクチュエーター４８４を用いて説明したが、圧電アクチュエーター４８４としては、例えば、電極及び圧電材料を成膜及びリソグラフィー法により積層形成した薄膜型、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子を用いることができる。また、圧力発生手段として、圧力室ＳC内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆるものなどを使用することができる。

【0153】

また、上述した実施形態では、液体噴射ユニット４０が、流路構造体である流路ユニット４１を具備するものを例示したが、特にこれに限定されず、液体噴射ユニット４０には流路構造体である流路ユニット４１が設けられていなくてもよい。すなわち、流路ユニット４１を液体噴射部４４とは別の場所に設けるようにしてもよい。

【0154】

さらに、上述した各実施形態では、可撓膜機構が、弁機構の開閉弁Ｂ[1]を押圧することにより開弁するようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、流路ユニットの変形例を図２６及び図２７に示す。なお、図２６及び図２７は、流路ユニットの要部断面図であって、図２６は、加圧動作を解除した状態を示す図であり、図２７は、加圧動作を示す図である。

【0155】

図２６に示すように、流路ユニット４１は弁機構７０と可撓膜機構８０とを有する。弁機構７０は、弁機構筐体７１と開閉弁Ｂ[1]とフィルム７２とを有する。弁機構筐体７１には、空間Ｒ1と空間Ｒ2とが形成されている。空間Ｒ1は、下流側の流路、例えば、脱泡流路ユニット４２や液体噴射部４４の流路に接続されており、空間Ｒ2から脱泡流路ユニット４２や液体噴射部４４にインクが供給される。空間Ｒ2は、上流側の流路、例えば、液体容器１４が接続されており、液体容器１４からインクが供給される。

【0156】

開閉弁Ｂ[1]は、弁座７２１と弁体７２２と受圧板７２３とバネ７２４とを具備する。弁座７２１は、弁機構筐体７１の一部であって空間Ｒ1と空間Ｒ2とを仕切る平板状の部分である。弁座７２１には、空間Ｒ1と空間Ｒ2とを連通させる連通孔ＨAが形成される。受圧板７２３は、フィルム７２のうち弁座７２１との対向面に設置された略円形状の平板材である。

【0157】

弁体７２２は、基部７２５と第１弁軸７２８と封止部７２７と第２弁軸７２９とを包含する。基部７２５は、空間Ｒ2内に配置されている。また、第１弁軸７２６は、基部７２５の表面からＺ方向の正側に垂直に突起して設けられている。また、第２弁軸７２９は、基部７２５の表面から受圧板７２３側に向かって垂直に突起して設けられている。このような弁体７２２では、第１弁軸７２８が連通孔ＨAに挿入され、バネ７２４により受圧板７２３側に付勢される。
このような弁機構７０のＺ方向の負側には、上述した実施形態１と同様の可撓膜機構８０が設けられている。

【0158】

そして、図２７に示すように、加圧動作が行われることによって可撓膜８３が変形して、可撓膜８３がフィルム７２及び受圧板７２３をＺ方向の正側に押圧すると、弁体７２２の封止部７２７が弁座７２１に当接して空間Ｒ1と空間Ｒ2とを遮断、いわゆる閉弁する。また、図２５に示すように、減圧動作が行われることによって、可撓膜８３の変形が解除されると、弁体７２２はバネ７２４の付勢力によってフィルム７２側に移動し、空間Ｒ1と空間Ｒ2とは連通孔ＨAを介して連通、すなわち、開弁する。これにより空間Ｒ2に供給されたインクは、空間Ｒ1から下流側に供給される。このような弁機構７０及び可撓膜機構８０は、例えば、流路をチョークした状態でノズルＮからインクと共に気泡を吸引し、一気に流路のチョークを解除する、所謂チョーククリーニングなどで用いることができる。

【0159】

また、本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。

【0160】

また、上述した各実施形態では、液体噴射ヘッドに可撓膜機構８０を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、液体噴射ヘッド以外の液体噴射装置内に可撓膜機構８０を設けるようにしてもよい。
また、本発明は、広く流路部材全般を対象としたものであり、液体噴射装置や液体噴射ヘッド以外のデバイスにも用いることが可能である。

【符号の説明】

【0161】

１２…媒体、１４…液体容器、１６…液体圧送機構、１８…圧力調整機構、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…液体噴射ヘッド、２６…移動機構、３２…接続ユニット、３４…第２支持体、３６…分配流路、３８…液体噴射モジュール、４０…液体噴射ユニット、４１…流路ユニット、４２…脱泡流路ユニット、４４…液体噴射部、４９…天井面、５０…連結ユニット、７０…弁機構、７１…弁機構筐体、７２…フィルム、７４…逆止弁、７５…脱泡経路（流体流路）、７５ａ…開口部、７６…排出経路、７８…閉塞弁、８０…可撓膜機構、８１…蓋部材、８２…スペーサー、８３…可撓膜、８４…固定部、８５…可撓部、１００…液体噴射装置、２４２…第１支持体、２４４…組立体、２６２…搬送体、２６４…搬送ベルト、４８１…流路基板、４８１Ａ…開口部、４８１Ｂ…分岐流路、４８１Ｃ…連通流路、４８２…圧力室基板、４８２Ａ…開口部、４８３…振動板、４８４…圧電アクチュエーター、４８５…筐体部、４８６…保護基板、４８７…ノズル板、４８８…緩衝板、７２１…弁座、７２２…弁体、７２３…受圧板、７２４…バネ、７２５…基部、７２６…弁軸、７２７…封止部、７２８…第１弁軸、７２９…第２弁軸、７４１…弁座、７４２…弁体、７４３…バネ、８１１…凹部、８２１…貫通部、８２２…規制部、８４１…スリット、８５０…突出部、８５１…当接部、８５２…第１壁部、８５３…第１接続部、８５４…第２壁部、８５５…第２接続部、８５６Ａ…第３壁部、８５６Ｂ…第４壁部、８５７…第３接続部、８５８…第５壁部、８５９…第４接続部、８６１…第１凹部、８６２…第２凹部、８６３…第３凹部、８６４…第４凹部、８７０…第１領域、８７１…第２領域、Ｂ[1]…開閉弁、Ｆ[1]…フィルター、ＨA…連通孔、Ｊ…噴射面、ＭA、ＭB、ＭC…気体透過膜、Ｎ…ノズル、Ｑ…脱泡空間、Ｒ1…空間、Ｒ2…空間、Ｒ3…空間、Ｒin…流入口、ＲC…制御室、ＲV…鉛直空間、Ｒout…排出口、ＳR…共通液室、ＳC…圧力室、Ｖin…流入口、Ｖout…流出口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】