特許6929307真空ポンプを駆動するための装置及び方法

発明の名称　真空ポンプを駆動するための装置及び方法

出願人　オーリコン　レイボルド　バキューム　ゲーエムベーハー　（識別番号 508206070）

　　　　特許公開件数ランキング 12314 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3382 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6929307

公報発行日　2021年9月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6929307

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