特許 6931403 両面インプリンティング

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6931403

(24)【登録日】2021年8月17日

(45)【発行日】2021年9月1日

(54)【発明の名称】両面インプリンティング

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20210823BHJP

   B29C 59/02 20060101ALI20210823BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/30 502D

   B29C59/02 Z

【請求項の数】25

【全頁数】60

(21)【出願番号】特願2019-564789(P2019-564789)

(86)(22)【出願日】2018年5月25日

(65)【公表番号】特表2020-522129(P2020-522129A)

(43)【公表日】2020年7月27日

(86)【国際出願番号】US2018034754

(87)【国際公開番号】WO2018218214

(87)【国際公開日】20181129

【審査請求日】2021年5月19日

(31)【優先権主張番号】62/511,172

(32)【優先日】2017年5月25日

(33)【優先権主張国】US

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】514108838

【氏名又は名称】マジック リープ， インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】Ｍａｇｉｃ Ｌｅａｐ，Ｉｎｃ．

(74)【代理人】

【識別番号】100078282

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 秀策

(74)【代理人】

【識別番号】100113413

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 夏樹

(74)【代理人】

【識別番号】100181674

【弁理士】

【氏名又は名称】飯田 貴敏

(74)【代理人】

【識別番号】100181641

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 大輔

(74)【代理人】

【識別番号】230113332

【弁護士】

【氏名又は名称】山本 健策

(72)【発明者】

【氏名】パターソン， ロイ

(72)【発明者】

【氏名】カーデン， チャールズ スコット

(72)【発明者】

【氏名】サダム， サティシュ

(72)【発明者】

【氏名】シャフラン， マシュー エス．

(72)【発明者】

【氏名】フレッケンスタイン， クリストファー ジョン

(72)【発明者】

【氏名】シン， ビクラムジト

(72)【発明者】

【氏名】ミラー， マイケル ネビン

(72)【発明者】

【氏名】ルオ， カン

(72)【発明者】

【氏名】クリスティアンセン， ライアン

【審査官】 田中 秀直

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−１０９４８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１３−５１７６２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１１９１０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１５−５１３７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１１／０８９８３６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１６／１２８４９４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／２７４００４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１６／０３０３８４４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｂ２９Ｃ ５９／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

両面インプリンティング方法であって、
第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って第２のウェブを延伸することであって、前記第１のウェブは、第１のテンプレートを備え、前記第２のウェブは、第２のテンプレートを備える、ことと、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートが相互と整合されるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることと、
第１の方向へ前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸して、前記第１のテンプレートを第１のディスペンサに暴露し、第２の方向へ前記第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸して、前記第２のテンプレートを第２のディスペンサに暴露することと、
前記第１のディスペンサによって前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注し、前記第２のディスペンサによって前記第２のテンプレート上に第２のレジストを分注することと、
前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートおよび前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートが相互に面するように、前記第１の方向と逆の方向へ前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸し、前記第２の方向と逆の方向へ前記第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸することと、
前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートと前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートとの間に基板を挿入することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のテンプレートと関連付けられる第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のテンプレートと関連付けられる第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。

【請求項2】

前記整合させることの後に、圧着された第１のウェブおよび第２のウェブが、相互と整合される前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを伴って移動されるように、前記参照マークに隣接する場所で前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着することと、
前記硬化させることの後に、前記硬化した第１のレジストおよび第２のレジストを伴う前記基板が、前記第１のウェブと前記第２のウェブとの間の間隙を通過することが可能であるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着解除することと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着することは、チャックが前記第１のウェブ上にチャックされ、クランプが前記第２のウェブ上に圧着されるように、前記クランプを用いて前記チャックを作動させることを含む、請求項２に記載の方法。

【請求項4】

前記チャックは、真空を用いて前記第１のウェブ上にチャックするように構成される真空チャックを備える、請求項３に記載の方法。

【請求項5】

前記チャックは、移動可能であり、
前記チャックおよび前記クランプは、前記圧着後に前記第１のウェブおよび前記第２のウェブとともに移動される、
請求項３に記載の方法。

【請求項6】

前記チャックは、一対のガイド上に位置付けられ、前記一対のガイドの各ガイドは、フレームに接続される個別のレール上で移動可能である、請求項５に記載の方法。

【請求項7】

前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の前記参照マークを整合させることは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに前記個別のレール上の前記一対のガイドの相対位置を調節することを含む、請求項６に記載の方法。

【請求項8】

前記第１のローラおよび前記第２のローラは、前記挿入することの後に、前記基板が、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートとともに移動され、前記第１のレジストが、前記基板の第１の側面上に押圧され、前記第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填され、前記第２のレジストが、前記基板の第２の側面上に押圧され、前記第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、配列され、
前記基板の前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴は、前記第１のテンプレート上の前記第１のインプリンティング特徴に対応し、前記基板の前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴は、前記第２のテンプレート上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する、請求項１に記載の方法。

【請求項9】

前記第１のレジストが前記第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第１のウェブ上で第１のスキージローラを移動させ、前記第１のテンプレートを前記第１のレジストの中に押動させることと、
前記第２のレジストが前記第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第２のウェブ上で第２のスキージローラを移動させ、前記第２のテンプレートを前記第２のレジストの中に押動させることと
をさらに含み、
前記基板の前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴は、前記第１のテンプレート上の前記第１のインプリンティング特徴に対応し、前記基板の前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴は、前記第２のテンプレート上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する、請求項１に記載の方法。

【請求項10】

前記第１のスキージローラおよび前記第２のスキージローラは、前記第１のスキージおよび前記第２のスキージがともに移動されるとき、相互と反対に位置付けられる、請求項９に記載の方法。

【請求項11】

前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの第１のものを前記第２のウェブ上の前記参照マークのうちの第２のものと整合させ、前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの第３のものを前記第２のウェブ上の前記参照マークのうちの第４のものと整合させることを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項12】

前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の前記参照マークが整合させられた後、前記参照マークのうちの前記第１のものおよび前記参照マークのうちの前記第３のものによって画定される前記第１のテンプレートの範囲を用いて前記基板をインプリントすることをさらに含む、請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の前記参照マークを整合させることは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに前記第１のローラのうちのｚローラを移動させることを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項14】

前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の前記参照マークを整合させることは、カメラシステムまたはレーザシステムのうちの少なくとも１つを使用することによって、前記参照マークの場所を特定することを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項15】

前記第１のローラは、空気圧を用いて前記第１のウェブを浮動させる少なくとも１つのエアターンローラを備える、請求項１に記載の方法。

【請求項16】

前記第１のローラは、真空を用いて前記第１のウェブをチャックする少なくとも１つのエアターンローラを備える、請求項１に記載の方法。

【請求項17】

前記第１の方向は、反時計回り方向であり、前記第２の方向は、時計回り方向である、請求項１に記載の方法。

【請求項18】

前記第１のローラは、垂直方向に配列される２つの第１のｚローラを備え、前記第２のローラは、前記垂直方向に配列される２つの第２のｚローラを備える、請求項１に記載の方法。

【請求項19】

前記第１のディスペンサによって前記第１のテンプレート上に前記第１のレジストを分注することは、前記第１のテンプレートが水平方向にあるときに前記第１のテンプレート上に前記第１のレジストを分注することを含み、
前記第２のディスペンサによって前記第２のテンプレート上に前記第２のレジストを分注することは、前記第２のテンプレートが前記水平方向にあるときに前記第２のテンプレート上に前記第２のレジストを分注することを含む、
請求項１８に記載の方法。

【請求項20】

前記基板を挿入することは、挿入方向に沿って第１のホルダによって前記基板を挿入することを含み、
前記基板を装填解除することは、
前記挿入方向と逆の方向に沿って、前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、前記第１のホルダによって前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること、および
前記挿入方向に沿って前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、第２の異なるホルダによって前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること
のうちの１つを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項21】

第１の張力センサによって前記第１のウェブの第１の張力を測定することと、
第２の張力センサによって前記第２のウェブの第２の張力を測定することと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。

【請求項22】

少なくとも前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを包囲するチャンバの温度を制御することをさらに含む、請求項１に記載の方法。

【請求項23】

前記第１のローラのうちの１つの前に位置付けられる検出システムを使用して、前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの第１のものの場所を特定することをさらに含み、前記検出システムは、少なくともカメラシステムまたはレーザシステムを備える、請求項１に記載の方法。

【請求項24】

前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの第１のものと、前記基板上の参照マークとの場所を特定することと、
前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの前記第１のものを前記基板上の前記参照マークと整合させることと、
そして、前記第１のテンプレートが前記基板の上に移動されるように、前記第１のウェブを圧着し、前記第１のウェブを移動させることと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。

【請求項25】

前記第１のウェブの縁上に配列される１つ以上のセンサによって、前記第１のウェブの角度を測定することと、
前記第１のウェブの測定された角度に基づいて、前記基板を再配置することと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

（関連出願の相互参照）
本願は、２０１７年５月２５日に出願された米国仮出願第６２／５１１，１７２号の出願日の利益を主張するものである。米国出願第６２／５１１，１７２の内容は、それらの全体を参照することにより本明細書中に援用される。

【0002】

本開示は、概して、特に、両面インプリンティングのためのインプリンティング技術に関する。

【背景技術】

【0003】

基板上に片面インプリントを作成することから、テンプレートからの両方の側面上のインプリントに移行するためのプロセスおよび／またはツールを開発するときに、克服する課題が多くある。課題は、基板およびテンプレートを位置付け、整合させるステップと、参照特徴の場所を特定して整合を支援するステップと、空気の閉じ込めおよび欠陥を伴わずにインプリントを作成するステップと、損傷を伴わずに基板を保持するステップとを含み得る。

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0004】

本開示は、上記に記述される課題に対処している、両面インプリンティングのための方法、デバイス、およびシステムを説明する。

【0005】

本開示の一側面は、第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って第２のウェブを延伸するステップであって、第１のウェブは、第１のテンプレートを備え、第２のウェブは、第２のテンプレートを備える、ステップと、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートが相互と整合されるように、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップと、第１の方向へ第１のローラに沿って第１のウェブを延伸して、第１のテンプレートを第１のディスペンサに暴露し、第２の方向へ第２のローラに沿って第２のウェブを延伸して、第２のテンプレートを第２のディスペンサに暴露するステップと、第１のディスペンサによって第１のテンプレート上に第１のレジストを分注し、第２のディスペンサによって第２のテンプレート上に第２のレジストを分注するステップと、第１のレジストを伴う第１のテンプレートおよび第２のレジストを伴う第２のテンプレートが相互に面するように、第１の方向と逆の方向へ第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２の方向と逆の方向へ第２のローラに沿って第２のウェブを延伸するステップと、第１のレジストを伴う第１のテンプレートと第２のレジストを伴う第２のテンプレートとの間に基板を挿入するステップと、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のテンプレートと関連付けられる第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のテンプレートと関連付けられる第２のインプリントされた特徴を有するように、第１のレジストおよび第２のレジストを硬化させるステップと、第１の側面上の第１のインプリントされた特徴および第２の側面上の第２のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するステップとを含む、両面インプリンティング方法を特徴とする。

【0006】

いくつかの実装では、本方法はさらに、整合させるステップの後に、圧着された第１のウェブおよび第２のウェブが、相互と整合される第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを伴って移動されるように、参照マークに隣接する場所で第１のウェブおよび第２のウェブを圧着するステップと、硬化させるステップの後に、硬化した第１のレジストおよび第２のレジストを伴う基板が、第１のウェブと第２のウェブとの間の間隙を通過することが可能であるように、第１のウェブおよび第２のウェブを圧着解除するステップとを含む。第１のウェブおよび第２のウェブを圧着するステップは、チャックが第１のウェブ上にあり、クランプが第２のウェブ上にあるように、クランプを用いてチャックを作動させるステップを含むことができる。チャックは、真空を用いて第１のウェブ上にチャックするように構成される、真空チャックを含むことができる。いくつかの実施例では、チャックは、第１のローラによって画定される軸と平行なレールに沿って移動可能であるように構成され、チャックおよびクランプは、圧着後に第１のウェブおよび第２のウェブとともに移動される。チャックは、一対のガイド上に位置付けられることができ、ガイドはそれぞれ、フレームに接続される個別のレール上で移動可能であり得る。第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに個別のレール上のガイドの相対位置を調節するステップを含むことができる。

【0007】

第１のローラおよび第２のローラは、挿入するステップの後に、基板が、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートとともに移動され、第１のレジストが、基板の第１の側面上に押圧され、第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填され、第２のレジストが、基板の第２の側面上に押圧され、第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、配列されることができる。

【0008】

本方法はさらに、第１のレジストが第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、第１のウェブ上で第１のスキージローラを移動させ、第１のテンプレートを第１のレジストの中に押動させるステップと、第２のレジストが第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、第２のウェブ上で第２のスキージローラを移動させ、第２のテンプレートを第２のレジストの中に押動させるステップとを含むことができる。第１のスキージローラおよび第２のスキージローラは、第１のスキージおよび第２のスキージをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられることができる。

【0009】

ある場合には、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、第１のウェブ上の第１の参照マークを第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させ、第１のウェブ上の第３の参照マークを第２のウェブ上の第４の参照マークと整合させるステップを含む。第１の参照マークおよび第３の参照マークは、基板が第１のテンプレートを用いてインプリントされるように構成される、範囲を画定することができる。ある場合には、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに第１のローラのうちのｚローラを移動させるステップを含む。ある場合には、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、カメラシステムまたはレーザシステムのうちの少なくとも１つを使用することによって、参照マークの場所を特定するステップを含む。

【0010】

第１の方向は、反時計回り方向であり得、第２の方向は、時計回り方向であり得る。いくつかの実施例では、第１のローラは、空気圧によって第１のウェブを浮動させるように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含む。いくつかの実施例では、第１のローラは、真空によって第１のウェブをチャックするように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含む。

【0011】

いくつかの実施例では、第１のローラは、垂直方向に配列される２つの第１のｚローラを含み、第２のローラは、垂直方向に配列される２つの第２のｚローラを含む。第１のディスペンサによって第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するステップは、第１のテンプレートが水平方向にあるときに第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するステップを含むことができ、第２のディスペンサによって第２のテンプレート上に第２のレジストを分注するステップは、第２のテンプレートが水平方向にあるときに第２のテンプレート上に第２のレジストを分注するステップを含むことができる。

【0012】

いくつかの実施例では、基板を挿入するステップは、挿入方向に沿って第１のホルダによって基板を挿入するステップを含む。ある場合には、基板を装填解除するステップは、挿入方向と逆の方向に沿って、第１および第２のインプリントされた特徴を伴う基板を移動させ、第１のホルダによって第１および第２のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するステップを含む。ある場合には、基板を装填解除するステップは、挿入方向に沿って第１および第２のインプリントされた特徴を伴う基板を移動させ、第２の異なるホルダによって第１および第２のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するステップを含む。本方法はさらに、第１の張力センサによって第１のウェブの第１の張力を測定するステップと、第２の張力センサによって第２のウェブの第２の張力を測定するステップとを含むことができる。本方法はさらに、少なくとも第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを包囲するチャンバの温度および清浄度のうちの少なくとも１つを制御するステップを含むことができる。

【0013】

本方法は、第１のテンプレートをインプリンティング領域の中に延伸する前に、第１のウェブが静的であるときに、第１のローラのうちの１つの上流に位置付けられる検出システムを使用して、第１のウェブ上の第１の参照マークの場所を特定するステップを含むことができる。本方法は、基板上の参照マークを用いて、第１のウェブ上の第１の参照マークの場所を特定するステップと、第１のウェブ上の第１の参照マークを基板上の参照マークと整合させるステップと、整合の後に、第１のテンプレートが基板のインプリンティング開始位置と同期してインプリンティング開始位置まで移動されるように、第１の参照マークを圧着し、第１のウェブを移動させるステップとを含むことができる。本方法はさらに、第１のウェブの縁上に配列される１つ以上のセンサによって、第１のウェブの角度を測定するステップと、第１のウェブの測定された角度に基づいて、基板を再配置するステップとを含む、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップを含むことができる。

【0014】

本開示の別の側面は、第１のテンプレートを含む、第１のウェブを移動させるための第１のローラと、第２のテンプレートを含む、第２のウェブを移動させるための第２のローラと、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートが相互と整合されるように、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるように構成される、整合システムと、第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するように構成される、第１のディスペンサと、第２のテンプレート上に第２のレジストを分注するように構成される、第２のディスペンサと、第１のテンプレートと第２のテンプレートとの間に基板を挿入するように構成される、装填システムと、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のテンプレートと関連付けられる第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のテンプレートと関連付けられる第２のインプリントされた特徴を有するように、第１のレジストおよび第２のレジストを硬化させるように構成される、光源とを含む、両面インプリンティングのためのシステムを特徴とする。動作時、第１のウェブは、第１のテンプレートを第１のディスペンサに暴露するように第１の方向へ第１のローラに沿って延伸され、第２のウェブは、第２のテンプレートを第２のディスペンサに暴露するように第２の方向へ第２のローラに沿って延伸され、次いで、第１のレジストを伴う第１のテンプレートおよび第２のレジストを伴う第２のテンプレートが相互に面するように、第１のウェブは、第１の方向と逆の方向へ第１のローラに沿って延伸され、第２のウェブは、第２の方向と逆の方向へ第２のローラに沿って延伸される。

【0015】

いくつかの実装では、本システムはさらに、第１の側面上の第１のインプリントされた特徴および第２の側面上の第２のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するように構成される、装填解除システムを含む。ある場合には、装填システムは、第１および第２のインプリントされた特徴を伴う基板が、装填システムに戻るように逆に移動されるときに、基板を装填解除するように構成される。

【0016】

いくつかの実装では、本システムはさらに、圧着された第１のウェブおよび第２のウェブが、相互と整合される第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを伴って移動されるように、参照マークに隣接する場所で第１のウェブおよび第２のウェブを圧着し、硬化した第１のレジストおよび第２のレジストを伴う基板が、第１のウェブと第２のウェブとの間の間隙を通過することが可能であるように、第１のウェブおよび第２のウェブを圧着解除するように構成される、圧着システムを含む。圧着システムは、第１のウェブをチャックするように構成されるチャックと、チャックを用いて作動されるときに第２のウェブを圧着するように構成されるクランプとを含むことができる。チャックは、真空を用いて第１のウェブ上にチャックするように構成される真空チャックを含むことができる。チャックは、第１のローラによって画定される軸と平行なレールに沿って移動可能であるように構成されることができ、チャックおよびクランプは、第１のウェブおよび第２のウェブを圧着した後に、第１のウェブおよび第２のウェブとともに移動されることができる。いくつかの実施例では、チャックは、一対のガイド上に位置付けられ、ガイドはそれぞれ、フレームに接続される個別のレール上で移動可能であり、整合システムは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに個別のレール上のガイドの相対位置を調節することによって、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるように構成される。

【0017】

第１のローラおよび第２のローラは、基板が、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートとともに移動され、第１のレジストが、基板の第１の側面上に押圧され、第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填され、第２のレジストが、基板の第２の側面上に押圧され、第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、配列されることができる。整合システムは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに第１のローラのうちのｚローラを移動させることによって、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるように構成されることができる。本システムはさらに、整合のために第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークの場所を特定するように構成される、位置決めシステムを含むことができ、位置決めシステムは、カメラシステムまたはレーザシステムのうちの少なくとも１つを含むことができる。

【0018】

第１の方向は、反時計回り方向であり得、第２の方向は、時計回り方向であり得る。いくつかの実施例では、第１のローラは、空気圧によって第１のウェブを浮動させるように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含む。いくつかの実施例では、第１のローラは、真空によって第１のウェブをチャックするように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含む。いくつかの実施例では、第１のローラは、垂直方向に配列される２つの第１のｚローラを含み、第２のローラは、垂直方向に配列される２つの第２のｚローラを含み、第１のディスペンサは、第１のテンプレートが水平方向にあるときに第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するように構成されることができ、第２のディスペンサは、第２のテンプレートが水平方向にあるときに第２のテンプレート上に第２のレジストを分注するように構成される。

【0019】

本システムはさらに、それぞれ、第１のウェブおよび第２のウェブの張力を測定するように構成される、第１および第２の張力センサを含むことができる。本システムはさらに、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを包囲するように構成されるチャンバと、チャンバの温度および清浄度のうちの少なくとも１つを制御するように構成されるコントローラとを含むことができる。

【0020】

本開示の第３の側面は、第１のローラに沿って第１のウェブを延伸するステップであって、第１のウェブは、第１のインプリンティング特徴を有する、第１のテンプレートを備える、ステップと、第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するステップと、基板の第１の側面が第１のテンプレート上の第１のレジストと接触するように、第１のテンプレート上に基板を装填するステップと、基板が第１のテンプレートとともに移動可能であるように、第１のテンプレート上に基板を圧着するステップと、基板の第２の側面上に第２のレジストを分注するステップと、第２のインプリンティング特徴が第１のインプリンティング特徴と整合されるように、第１のウェブ上の第１の参照マークを、第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させるステップと、整合させるステップの後に、同一の速度で同時に、第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って第２のウェブを延伸するステップと、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、第１のレジストおよび第２のレジストを硬化させるステップと、第１の側面上の第１のインプリントされた特徴および第２の側面上の第２のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するステップとを含む、両面インプリンティング方法を特徴とする。

【0021】

本方法はさらに、第１のレジストが第１のテンプレートの第１のインプリンティング特徴の中に拡散するまで、待機するステップを含むことができる。第１のインプリンティング特徴は、格子特徴を含むことができ、格子特徴は、第１のレジストが格子特徴の中に一様に充填するように構成されることができる。

【0022】

第１の参照マークは、第１のウェブを延伸する方向に沿って、第１のウェブ上の第１のインプリンティング特徴の前に位置付けられることができ、第２の参照マークは、本方向に沿って、第２のウェブ上の第２のインプリンティング特徴の前に位置付けられることができる。いくつかの実施例では、第１のテンプレートは、１つ以上の事前パターン化貫通孔を含み、第１のウェブ上に基板を圧着するステップは、１つ以上の事前パターン化貫通孔を通して、真空チャックによって基板を真空で保持するステップを含む。

【0023】

いくつかの実装では、第１のローラは、水平方向に配列される２つの第１のｚローラを含み、第２のローラは、水平方向に配列される２つの第２のｚローラを含む。２つの第１のｚローラは、第１のウェブのための第１の移動範囲を画定することができ、２つの第２のｚローラは、第２のウェブのための第２の移動範囲を画定することができ、第１の移動範囲は、第２の移動範囲よりも大きくあり得、第２の移動範囲を包囲することができる。ある場合には、第１のローラおよび第２のローラは、第１のテンプレートと第２のテンプレートとの間に垂直距離を画定するように配列され、垂直距離は、第２のレジストが、基板の第２の側面上に押圧され、第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、画定されることができる。

【0024】

本方法はさらに、硬化させるステップの前に、第２のレジストが第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、第２のウェブ上に第２のスキージローラを移動させ、第２のテンプレートを第２のレジストの中に押動させるステップを含むことができる。本方法はさらに、整合させるステップの後に、第２のテンプレートが第２のレジストの中に圧入され、第２のレジストが第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、基板の第２の側面上の第２のレジストと接触するように第２のウェブとともに第２のローラを移動させるステップを含むことができる。

【0025】

いくつかの実施例では、基板を装填解除するステップは、基板から分離するように第２のローラのうちの１つから第２のウェブを引き離すステップと、基板を圧着解除し、第１のウェブから基板を取るステップとを含む。

【0026】

本開示の第４の側面は、第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを含む、第１のウェブを移動させるための第１のローラと、第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む、第２のウェブを移動させるための第２のローラと、第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するように構成される、第１のディスペンサと、基板の第１の側面が第１のテンプレート上の第１のレジストと接触するように、第１のテンプレート上に基板を装填するように構成される、装填システムと、基板が第１のウェブとともに移動可能であるように、第１のウェブ上に基板を圧着するように構成される、圧着システムと、基板の第２の側面上に第２のレジストを分注するように構成される、第２のディスペンサと、第１の参照マークを第２の参照マークと整合させるために、第２のウェブ上に第２の参照マークを伴って、第１のウェブ上の第１の参照マークの場所を特定するように構成される、位置決めシステムと、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、第１のレジストおよび第２のレジストを硬化させるように構成される、光源と、第１の側面上の第１のインプリントされた特徴および第２の側面上の第２のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するように構成される、装填解除システムとを含む、両面インプリンティングのためのシステムを特徴とする。第１の参照マークおよび第２の参照マークが相互と整合された後に、第１のウェブおよび第２のウェブは、同一の速度で同時に延伸される。

【0027】

第１のテンプレートの第１のインプリンティング特徴は、格子特徴を含むことができ、格子特徴は、第１のレジストが格子特徴の中に一様に充填するように構成されることができる。第１の参照マークは、第１のウェブを延伸する方向に沿って、第１のウェブ上の第１のインプリンティング特徴の前に位置付けられることができ、第２の参照マークは、本方向に沿って、第２のウェブ上の第２のインプリンティング特徴の前に位置付けられる。第１のテンプレートは、１つ以上の事前パターン化貫通孔を含むことができ、圧着システムは、１つ以上の事前パターン化貫通孔を通して、基板を真空で保持するように構成される真空チャックを備える。

【0028】

いくつかの実装では、第１のローラは、水平方向に配列される２つの第１のｚローラを含み、第２のローラは、水平方向に配列される２つの第２のｚローラを含む。２つの第１のｚローラは、第１のウェブのための第１の移動範囲を画定することができ、２つの第２のｚローラは、第２のウェブのための第２の移動範囲を画定することができ、第１の移動範囲は、第２の移動範囲よりも大きく、第２の移動範囲を包囲する。第１のローラおよび第２のローラは、第１のテンプレートと第２のテンプレートとの間に垂直距離を画定するように配列されることができ、垂直距離は、第２のレジストが、基板の第２の側面上に押圧され、第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、画定されることができる。

【0029】

第１のディスペンサ、装填システム、第２のディスペンサ、位置決めシステム、光源、および装填解除システムは、第１のローラに沿って第１のウェブを延伸する方向に沿って連続的に配列されることができる。本システムはさらに、第２のレジストが第２のテンプレートの第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、第２のウェブ上に圧力を印加し、第２のテンプレートを第２のレジストの中に押動させるように構成される、スキージローラを含むことができる。

【0030】

第１のローラは、空気圧によって第１のウェブを浮動させるように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含むことができる。第２のローラは、第２のテンプレートが第２のレジストの中に圧入され、第２のレジストが第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、整合させるステップの後に、第２のウェブとともに移動可能であり、基板の第２の側面上の第２のレジストと接触するように構成されることができる。いくつかの実施例では、装填システムは、機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）を含むことができ、装填解除システムは、第２のＥＦＥＭを含むことができる。いくつかの実施例では、位置決めシステムは、カメラシステムまたはレーザシステムのうちの少なくとも１つを含む。本システムはさらに、第１のウェブ上の第１の参照マークを第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させるように構成される、整合システムを含むことができる。

【0031】

本開示の第５の側面は、第１のウェブの第１のテンプレートおよび第２のウェブの第２のテンプレートが、インプリンティングゾーンの中にともに運ばれるまで、第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って第２のウェブを延伸するステップと、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートのための参照マークを整合させるステップと、基板の第１の側面上に第１のレジストを分注し、基板の第２の側面上に第２のレジストを分注するステップと、第１のテンプレートと第２のテンプレートとの間のインプリンティングゾーンの中に基板を送給するステップと、第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のテンプレートの第１のインプリンティング特徴の中に充填し、第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のテンプレートの第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、基板上に第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを押圧するステップと、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、第１のレジストおよび第２のレジストを硬化させるステップと、第１の側面上の第１のインプリントされた特徴および第２の側面上のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するステップとを含む、両面インプリンティング方法を特徴とする。

【0032】

ある場合には、基板上に第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを押圧するステップは、第１のテンプレート上に第１のプレスドームを適用するステップを含むことができる。ある場合には、基板上に第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを押圧するステップは、第２のテンプレート上に第２のプレスドームを適用するステップを含むことができる。

【0033】

いくつかの実装では、基板上に第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを押圧するステップは、第１のレジストが第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、第１のウェブ上に第１のスキージローラを移動させ、第１のテンプレートを第１のレジストの中に押動させるステップと、第２のレジストが第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、第２のウェブ上に第２のスキージローラを移動させ、第２のテンプレートを第２のレジストの中に押動させるステップとを含む。第１のスキージローラおよび第２のスキージローラは、第１のスキージおよび第２のスキージをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられることができる。

【0034】

本方法はさらに、第１のプレスドームを第１のテンプレートと接触させ、第２のプレスドームを第２のテンプレートと接触させるステップと、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートの整合に関して補正を行うステップとを含むことができる。第２のプレスドームは、ガラスドームまたは環状リング真空チャックを含むことができる。第１のプレスドームは、ガラスドームまたは環状リング真空チャックを含むことができる。基板を装填解除するステップは、第１のローラのうちの１つから第１のウェブを引き離し、第２のローラのうちの１つから第２のウェブを引き離して、基板から第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを分離するステップを含むことができる。

【0035】

ある場合には、基板は、剛性であり、基板を送給するステップは、ホルダを使用して基板の縁を握持することによって、基板を提示するステップを含む。ある場合には、基板は、可撓性であり、基板を送給するステップは、ブランク基板のロールから基板を延伸するステップを含む。本方法はさらに、基板が第１のテンプレートから分離された後に、基板の第１の側面上の硬化した第１のレジスト上に第１の保護膜を適用するステップと、基板が第２のテンプレートから分離された後に、基板の第２の側面上の硬化した第２のレジスト上に第２の保護膜を適用するステップとを含むことができる。本方法はさらに、ローラにわたって、第１の側面上の硬化した第１のレジストおよび第２の側面上の硬化した第２のレジストを伴う基板を巻回するステップを含むことができる。

【0036】

本開示の第６の側面は、第１のローラおよび第２のローラに沿って、第１のウェブを延伸するステップであって、第１のウェブは、第１のインプリンティング特徴を有する、第１のテンプレートを備える、ステップと、第３のローラおよび第４のローラに沿って、第２のウェブを延伸するステップであって、第２のウェブは、第２のインプリンティング特徴を有する、第２のテンプレートを備え、第１のローラおよび第３のローラは、相互の反対に位置付けられ、ニップを画定する、ステップと、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートのための参照マークを整合させるステップと、基板の第１の側面および第１のテンプレートのうちの１つの上に第１のレジストを分注するステップと、基板の第２の側面および第２のテンプレートのうちの１つの上に第２のレジストを分注するステップと、第１のレジストが、第１のローラによって、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴の中に圧入され、第２のレジストが、第３のローラによって、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴の中に圧入されるように、同時に、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートをニップの中に延伸し、基板の第１の側面に面する第１のインプリンティング特徴および基板の第２の側面に面する第２のインプリンティング特徴を伴って、ニップの中に基板を送給するステップと、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、第１のレジストおよび第２のレジストを硬化させるステップと、第１の側面上の第１のインプリントされた特徴および第２の側面上の第２のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するステップとを含む、両面インプリンティング方法を特徴とする。

【0037】

ある場合には、基板を装填解除するステップは、第２のローラから第１のウェブを引き離し、第４のローラから第２のウェブを引き離して、基板から第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを分離するステップを含む。ある場合には、基板を装填解除するステップは、第１のローラから第１のウェブを、第３のローラから第２のウェブを逆に延伸し、基板を後退させて、基板から第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを分離するステップを含む。

【0038】

本開示の第７の側面は、第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを含む、第１のウェブを移動させるように構成される、第１のローラと、第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む、第２のウェブを移動させるように構成される、第２のローラと、レジストを分注するように構成される、１つ以上のディスペンサと、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを整合させるための第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークの場所を特定するように構成される、位置決めシステムと、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、レジストを硬化させるように構成される、光源と、第１のテンプレートと第２のテンプレートとの間に基板を送給し、第１の側面上の第１のインプリントされた特徴および第２の側面上の第２のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するように構成される、移動システムとを含む、両面インプリンティングのためのシステムを特徴とする。ディスペンサは、基板の第１の側面および第１のテンプレートのうちの１つの上に第１のレジストを分注し、基板の第２の側面および第２のテンプレートのうちの１つの上に第２のレジストを分注するように構成されることができる。

【0039】

いくつかの実装では、第１のローラのうちの１つおよび第２のローラのうちの１つは、相互の反対に位置付けられ、ニップを画定し、移動システムは、第１のレジストが、第１のローラによって、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴の中に圧入され、第２のレジストが、第３のローラによって、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴の中に圧入されるように、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートが、基板の第１の側面に面する第１のインプリンティング特徴および基板の第２の側面に面する第２のインプリンティング特徴を伴って、ニップの中に延伸されるときに、ニップの中に基板を送給するように構成される。

【0040】

ある場合には、基板が第１のテンプレートおよび第２のテンプレートから分離されるように、第１のウェブは、第１のローラのうちの別のものから引き離され、第２のウェブは、第１のローラのうちの１つと反対に位置付けられる第２のローラのうちの別のものから引き離される。ある場合には、移動システムは、第１のウェブおよび第２のウェブが、それぞれ、第１のローラのうちの１つおよび第２のローラのうちの１つから離れるように逆に延伸されるときに、基板を後退させ、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートから分離させるように構成される。

【0041】

いくつかの実装では、本システムはさらに、第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のテンプレートの第１のインプリンティング特徴の中に充填し、第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のテンプレートの第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、基板上に第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを押圧するように構成される、押圧システムを含む。

【0042】

いくつかの実施例では、押圧システムは、第１のテンプレート上に適用されるように構成される、第１のプレスドームを含む。第１のプレスドームは、ガラスドームまたは環状リング真空チャックを含むことができる。いくつかの実施例では、押圧システムは、第２のテンプレート上に適用されるように構成される、第２のプレスドームを含む。第２のプレスドームは、ガラスドームまたは環状リング真空チャックを含むことができる。本システムはさらに、第１のプレスドームが第１のテンプレートと接触するように押圧され、第２のプレスドームが第２のテンプレートと接触するように押圧されるときに、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートの整合に関して補正を行うように構成される、補正システムを含むことができる。

【0043】

いくつかの実装では、本システムは、第１のレジストが第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、第１のウェブ上に移動され、第１のテンプレートを第１のレジストの中に押動させるように構成される、第１のスキージローラと、第２のレジストが第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、第２のウェブ上に移動され、第２のテンプレートを第２のレジストの中に押動させるように構成される、第２のスキージローラとを含む。第１のスキージローラおよび第２のスキージローラは、第１のスキージおよび第２のスキージをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられることができる。

【0044】

ある場合には、移動システムは、基板の縁を握持するように構成されるホルダを含む。ある場合には、本システムは、ブランク基板のローラを含み、移動システムは、ローラを回転させて基板を送給するように構成される。

【0045】

いくつかの実装では、本システムはさらに、基板の第１の側面上の硬化した第１のレジスト上に適用されるように構成される、第１の保護膜の第１のローラと、基板の第２の側面上の硬化した第２のレジスト上に適用されるように構成される、第２の保護膜の第２のローラとを含む。本システムはさらに、回転され、第１の側面上の硬化した第１のレジストおよび第２の側面上の硬化した第２のレジストを伴う基板を受容するように構成される、ローラを含むことができる。

【0046】

１つ以上の開示される実装の詳細が、付随する図面および下記の説明に記載される。他の特徴、側面、および利点が、説明、図面、および請求項から明白となるであろう。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
（項目１）
両面インプリンティング方法であって、
第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って第２のウェブを延伸することであって、前記第１のウェブは、第１のテンプレートを備え、前記第２のウェブは、第２のテンプレートを備える、ことと、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートが相互と整合されるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることと、
第１の方向へ前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸して、前記第１のテンプレートを第１のディスペンサに暴露し、第２の方向へ前記第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸して、前記第２のテンプレートを第２のディスペンサに暴露することと、
前記第１のディスペンサによって前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注し、前記第２のディスペンサによって前記第２のテンプレート上に第２のレジストを分注することと、
前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートおよび前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートが相互に面するように、前記第１の方向と逆の方向へ前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸し、前記第２の方向と逆の方向へ前記第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸することと、
前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートと前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートとの間に基板を挿入することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のテンプレートと関連付けられる第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のテンプレートと関連付けられる第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。
（項目２）
前記整合させることの後に、圧着された第１のウェブおよび第２のウェブが、相互と整合される前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを伴って移動されるように、前記参照マークに隣接する場所で前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着することと、
前記硬化させることの後に、前記硬化した第１のレジストおよび第２のレジストを伴う前記基板が、前記第１のウェブと前記第２のウェブとの間の間隙を通過することが可能であるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着解除することと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目３）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着することは、チャックが前記第１のウェブ上にあり、クランプが前記第２のウェブ上にあるように、前記クランプを用いて前記チャックを作動させることを含む、項目２に記載の方法。
（項目４）
前記チャックは、真空を用いて前記第１のウェブ上にチャックするように構成される真空チャックを備える、項目３に記載の方法。
（項目５）
前記チャックは、前記第１のローラによって画定される軸と平行なレールに沿って移動可能であるように構成され、
前記チャックおよび前記クランプは、前記圧着後に前記第１のウェブおよび前記第２のウェブとともに移動される、
項目３に記載の方法。
（項目６）
前記チャックは、一対のガイド上に位置付けられ、前記ガイドはそれぞれ、フレームに接続される個別のレール上で移動可能である、項目５に記載の方法。
（項目７）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに前記個別のレール上の前記ガイドの相対位置を調節することを含む、項目６に記載の方法。
（項目８）
前記第１のローラおよび前記第２のローラは、前記挿入することの後に、前記基板が、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートとともに移動され、前記第１のレジストが、前記基板の第１の側面上に押圧され、前記第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填され、前記第２のレジストが、前記基板の第２の側面上に押圧され、前記第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、配列される、項目１に記載の方法。
（項目９）
前記第１のレジストが前記第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第１のウェブ上で第１のスキージローラを移動させ、前記第１のテンプレートを前記第１のレジストの中に押動させることと、
前記第２のレジストが前記第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第２のウェブ上で第２のスキージローラを移動させ、前記第２のテンプレートを前記第２のレジストの中に押動させることと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目１０）
前記第１のスキージローラおよび前記第２のスキージローラは、前記第１のスキージおよび前記第２のスキージをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられる、項目９に記載の方法。
（項目１１）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、前記第１のウェブ上の第１の参照マークを前記第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させ、前記第１のウェブ上の第３の参照マークを前記第２のウェブ上の第４の参照マークと整合させることを含む、項目１に記載の方法。
（項目１２）
前記第１の参照マークおよび前記第３の参照マークは、前記基板が前記第１のテンプレートを用いてインプリントされるように構成される、範囲を画定する、項目１１に記載の方法。
（項目１３）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに前記第１のローラのうちのｚローラを移動させることを含む、項目１に記載の方法。
（項目１４）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、カメラシステムまたはレーザシステムのうちの少なくとも１つを使用することによって、前記参照マークの場所を特定することを含む、項目１に記載の方法。
（項目１５）
前記第１のローラは、空気圧によって前記第１のウェブを浮動させるように構成される少なくとも１つのエアターンローラを備える、項目１に記載の方法。
（項目１６）
前記第１のローラは、真空によって前記第１のウェブをチャックするように構成される少なくとも１つのエアターンローラを備える、項目１に記載の方法。
（項目１７）
前記第１の方向は、反時計回り方向であり、前記第２の方向は、時計回り方向である、項目１に記載の方法。
（項目１８）
前記第１のローラは、垂直方向に配列される２つの第１のｚローラを備え、前記第２のローラは、前記垂直方向に配列される２つの第２のｚローラを備える、項目１に記載の方法。
（項目１９）
前記第１のディスペンサによって前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注することは、前記第１のテンプレートが水平方向にあるときに前記第１のテンプレート上に前記第１のレジストを分注することを含み、
前記第２のディスペンサによって前記第２のテンプレート上に第２のレジストを分注することは、前記第２のテンプレートが前記水平方向にあるときに前記第２のテンプレート上に前記第２のレジストを分注することを含む、
項目１８に記載の方法。
（項目２０）
前記基板を挿入することは、挿入方向に沿って第１のホルダによって前記基板を挿入することを含み、
前記基板を装填解除することは、
前記挿入方向と逆の方向に沿って、前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、前記第１のホルダによって前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること、および
前記挿入方向に沿って前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、第２の異なるホルダによって前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること
のうちの１つを含む、項目１に記載の方法。
（項目２１）
第１の張力センサによって前記第１のウェブの第１の張力を測定することと、
第２の張力センサによって前記第２のウェブの第２の張力を測定することと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２２）
少なくとも前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを包囲するチャンバの温度および清浄度のうちの少なくとも１つを制御することをさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２３）
前記第１のテンプレートをインプリンティング領域の中に延伸する前に、前記第１のウェブが静的であるときに、前記第１のローラのうちの１つの上流に位置付けられる検出システムを使用して、前記第１のウェブ上の第１の参照マークの場所を特定することをさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２４）
前記基板上の参照マークを用いて、前記第１のウェブ上の第１の参照マークの場所を特定することと、
前記第１のウェブ上の前記第１の参照マークを前記基板上の前記参照マークと整合させることと、
前記整合の後に、前記第１のテンプレートが前記基板のインプリンティング開始位置と同期してインプリンティング開始位置まで移動されるように、前記第１の参照マークを圧着し、前記第１のウェブを移動させることと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２５）
前記第１のウェブの縁上に配列される１つ以上のセンサによって、前記第１のウェブの角度を測定することと、
前記第１のウェブの測定された角度に基づいて、前記基板を再配置することと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２６）
両面インプリンティングのためのシステムであって、
第１のテンプレートを含む第１のウェブを移動させるための第１のローラと、
第２のテンプレートを含む第２のウェブを移動させるための第２のローラと、
整合システムであって、前記整合システムは、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートが相互と整合されるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させるように構成される、整合システムと、
第１のディスペンサであって、前記第１のディスペンサは、前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するように構成される、第１のディスペンサと、
第２のディスペンサであって、前記第２のディスペンサは、前記第２のテンプレート上に第２のレジストを分注するように構成される、第２のディスペンサと、
装填システムであって、前記装填システムは、前記第１のテンプレートと前記第２のテンプレートとの間に基板を挿入するように構成される、装填システムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のテンプレートと関連付けられる第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のテンプレートと関連付けられる第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させるように構成される、光源と
を備え、
動作時、前記第１のウェブは、前記第１のテンプレートを前記第１のディスペンサに暴露するように第１の方向へ前記第１のローラに沿って延伸され、前記第２のウェブは、前記第２のテンプレートを前記第２のディスペンサに暴露するように第２の方向へ前記第２のローラに沿って延伸され、次いで、前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートおよび前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートが相互に面するように、前記第１のウェブは、前記第１の方向と逆の方向へ前記第１のローラに沿って延伸され、前記第２のウェブは、前記第２の方向と逆の方向へ前記第２のローラに沿って延伸される、
システム。
（項目２７）
両面インプリンティング方法であって、
第１のローラに沿って第１のウェブを延伸することであって、前記第１のウェブは、第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを備える、ことと、
前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注することと、
基板の第１の側面が前記第１のテンプレート上の前記第１のレジストと接触するように、前記第１のテンプレート上に前記基板を装填することと、
前記基板が前記第１のテンプレートとともに移動可能であるように、前記第１のテンプレート上に前記基板を圧着することと、
前記基板の第２の側面上に第２のレジストを分注することと、
第２のインプリンティング特徴が前記第１のインプリンティング特徴と整合されるように、前記第１のウェブ上の第１の参照マークを、前記第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させることと、
前記整合させることの後に、同一の速度で同時に、前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。
（項目２８）
両面インプリンティングのためのシステムであって、
第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを含む第１のウェブを移動させるための第１のローラと、
第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む第２のウェブを移動させるための第２のローラと、
第１のディスペンサであって、前記第１のディスペンサは、前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するように構成される、第１のディスペンサと、
装填システムであって、前記装填システムは、基板の第１の側面が前記第１のテンプレート上の前記第１のレジストと接触するように、前記第１のテンプレート上に前記基板を装填するように構成される、装填システムと、
圧着システムであって、前記圧着システムは、前記基板が前記第１のウェブとともに移動可能であるように、前記第１のウェブ上に前記基板を圧着するように構成される、圧着システムと、
第２のディスペンサであって、前記第２のディスペンサは、前記基板の第２の側面上に第２のレジストを分注するように構成される、第２のディスペンサと、
位置決めシステムであって、前記位置決めシステムは、第１の参照マークを第２の参照マークと整合させるために、前記第２のウェブ上に前記第２の参照マークを伴って、前記第１のウェブ上の第１の参照マークの場所を特定するように構成される、位置決めシステムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させるように構成される、光源と、
装填解除システムであって、前記装填解除システムは、前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除するように構成される、装填解除システムと
を備え、
前記第１の参照マークおよび前記第２の参照マークが相互と整合された後に、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブは、同一の速度で同時に延伸される、
システム。
（項目２９）
両面インプリンティング方法であって、
第１のウェブの第１のテンプレートおよび第２のウェブの第２のテンプレートが、インプリンティングゾーンの中にともに運ばれるまで、第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸することと、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートのための参照マークを整合させることと、
基板の第１の側面上に第１のレジストを分注し、前記基板の第２の側面上に第２のレジストを分注することと、
前記第１のテンプレートと前記第２のテンプレートとの間の前記インプリンティングゾーンの中に前記基板を送給することと、
前記第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のテンプレートの第１のインプリンティング特徴の中に充填し、前記第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のテンプレートの第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記基板上に前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを押圧することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。
（項目３０）
両面インプリンティング方法であって、
第１のローラおよび第２のローラに沿って、第１のウェブを延伸することであって、前記第１のウェブは、第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを備える、ことと、
第３のローラおよび第４のローラに沿って、第２のウェブを延伸することであって、前記第２のウェブは、第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを備え、前記第１のローラおよび前記第３のローラは、相互の反対に位置付けられ、ニップを画定する、ことと、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートのための参照マークを整合させることと、
基板の第１の側面および前記第１のテンプレートのうちの１つの上に第１のレジストを分注することと、
前記基板の第２の側面および前記第２のテンプレートのうちの１つの上に第２のレジストを分注することと、
前記第１のレジストが、前記第１のローラによって、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴の中に圧入され、前記第２のレジストが、前記第３のローラによって、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴の中に圧入されるように、同時に、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを前記ニップの中に延伸し、前記基板の第１の側面に面する前記第１のインプリンティング特徴および前記基板の第２の側面に面する前記第２のインプリンティング特徴を伴って、前記ニップの中に前記基板を送給することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。
（項目３１）
両面インプリンティングのためのシステムであって、
第１のローラであって、前記第１のローラは、第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを含む第１のウェブを移動させるように構成される、第１のローラと、
第２のローラであって、前記第２のローラは、第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む第２のウェブを移動させるように構成される、第２のローラと、
レジストを分注するように構成される１つ以上のディスペンサと、
位置決めシステムであって、前記位置決めシステムは、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを整合させるための前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークの場所を特定するように構成される、位置決めシステムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記レジストを硬化させるように構成される、光源と、
移動システムであって、前記移動システムは、前記第１のテンプレートと前記第２のテンプレートとの間に前記基板を送給し、前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除するように構成される、移動システムと
を備える、システム。

【図面の簡単な説明】

【0047】

【図1】図１は、ウェブドームを伴う直接環状テンプレートチャッキングを伴う例示的インプリンティングツールの概略図を示す。

【0048】

【図2】図２は、ガラスドームを伴う間接テンプレートチャッキングを伴う例示的インプリンティングツールの概略図を示す。

【0049】

【図3A】図３Ａは、例示的テンプレート真空チャッキングの概略図を示す。

【0050】

【図3B】図３Ｂは、例示的空気／真空バーチャッキングの概略図を示す。

【0051】

【図4A】図４Ａは、圧力および真空の例示的交互領域の概略図を示す。

【0052】

【図4B】図４Ｂは、基板圧力ドームを伴うガラスドームテンプレートバッキングプレートの実施例の概略図を示す。

【0053】

【図5-1】図５Ａ−５Ｂは、テンプレート上の参照マークの場所を特定することの実施例の概略図を示す。

【0054】

【図5-2】図５Ｃ−５Ｄは、基板上の参照マークの場所を特定することの実施例の概略図を示す。

【0055】

【図5-3】図５Ｅ−５Ｆは、テンプレート上の参照マークの場所を特定することの実施例の概略図を示す。

【0056】

【図5-4】図５Ｇ−５Ｈは、真空チャックとの側面間インプリンティング整合の実施例の概略図を示す。

【0057】

【図6A】図６Ａは、インプリンティング中にスキージローラを使用することの実施例の概略図を示す。

【0058】

【図6B】図６Ｂは、インプリンティング中にスキージローラを使用することの別の実施例の概略図を示す。

【0059】

【図7A】図７Ａは、シータ調節方法を実装することの実施例の概略図を示す。

【0060】

【図7B】図７Ｂは、ウェブ角度測定方法を実装することの実施例の概略図を示す。

【0061】

【図8】図８は、基板上に両面インプリントを作製する例示的システムの概略図を示す。

【0062】

【図9】図９は、一度に基板の両側にインプリントを形成する別の例示的システムの概略図を示す。

【0063】

【図10】図１０は、二重ガラスドームインプリンティングとともにロール形式の低費用フレキシブル基板を併用する例示的システムの概略図を示す。

【0064】

【図11A】図１１Ａは、両面インプリンティングのための例示的ツールの概略図を示す。

【0065】

【図11B】図１１Ｂは、両面インプリンティングのための別の例示的ツールの概略図を示す。

【0066】

【図12A-1】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12A-2】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12A-3】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12A-4】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12A-5】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12B-1】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12B-2】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12B-3】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12C】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12D】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12E】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12F】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12G】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12H】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図12I】図１２Ａ−１−１２Ｉは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【0067】

【図13A】図１３Ａ−１３Ｆは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールの例示的特徴構成の概略図を示す。

【図13B】図１３Ａ−１３Ｆは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールの例示的特徴構成の概略図を示す。

【図13C】図１３Ａ−１３Ｆは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールの例示的特徴構成の概略図を示す。

【図13D】図１３Ａ−１３Ｆは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールの例示的特徴構成の概略図を示す。

【図13E】図１３Ａ−１３Ｆは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールの例示的特徴構成の概略図を示す。

【図13F】図１３Ａ−１３Ｆは、両面インプリンティングのための図１１Ａのツールの例示的特徴構成の概略図を示す。

【0068】

【図14】図１４は、両面インプリンティングのための別の例示的ツールの概略図を示す。

【0069】

【図15-1】図１５Ａ−１５Ｈは、両面インプリンティングのための図１４のツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図15-2】図１５Ａ−１５Ｈは、両面インプリンティングのための図１４のツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図15-3】図１５Ａ−１５Ｈは、両面インプリンティングのための図１４のツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【図15-4】図１５Ａ−１５Ｈは、両面インプリンティングのための図１４のツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【0070】

【図16】図１６は、基板上に両面インプリントを加工する例示的プロセスのフロー図である。

【0071】

【図17】図１７は、基板上に両面インプリントを加工する別の例示的プロセスのフロー図である。

【0072】

【図18】図１８は、基板上に両面インプリントを加工する第３の例示的プロセスのフロー図である。

【0073】

【図19】図１９は、基板上に両面インプリントを加工する第４の例示的プロセスのフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0074】

両面インプリンティングに関して、１つの側面から別の側面へのインプリントされた特徴の位置整合は、いくつかのデバイスの製造において決定的に重要である。いくつかの実装では、基板の底部側のパターンへの上部側テンプレートの整合は、テンプレートおよび基板の両方の上の参照マークを見出すことを要求し、次いで、高分解能位置システムを使用し、相互に対してテンプレートおよび基板を位置合わせする。整合後、テンプレートは、閉じ込められた空気のポケットを作成せず、テンプレートの詳細特徴が完全に充填されていることを確実にするように、基板に対して慎重に押圧されることができる。いったん照明光、例えば、紫外線（ＵＶ）光が、テンプレートと基板との間で、レジスト、例えば、ＵＶ硬化性レジストを硬化させると、テンプレートが、分離されることができ、パターンが、基板の両側に立つことができる。

【0075】

インプリンティングプロセスは、テンプレートウェブがローラの下で移動するにつれて、ＵＶ硬化性レジストを伴う基板をテンプレートウェブと接触させることを伴う。巻回作用は、ＵＶレジストにテンプレート内の空間を充填させ、全ての空気を押し出させることができる。本時点で、ＵＶレジストは、硬化され、テンプレートは、ウェブ経路が曲がり、真空チャック上の基板の線形運動から離れるように移動するにつれて、ローラの下の基板から分離される。

【0076】

テンプレートが可撓性の移動するウェブによって運搬されると、テンプレートの位置を高い正確度で決定することは困難である。ウェブは、ウェブがツール内のローラにわたって前進するにつれて、少量だけ左右に移動することができる。ウェブは、モータに接続されるローラによって前進させられることができる。これらのローラは、直径の変動を有し、回転エンコーダは、限定された分解能を有する。ウェブもまた、可撓性であるため、張力変動は、ウェブおよびテンプレートを伸張させるとともに、垂直方向に移動させる。

【0077】

いくつかの実装では、ウェブは、テンプレートが基板上のインプリンティングのために利用可能であり、カメラシステムがテンプレート上の位置合わせマークの場所を特定するために使用される、ゾーンの中に前進させられる。いったん参照マークの位置が見出されると、テンプレートは、ウェブを移動させることなく基板上にインプリントを作成するために使用されることができる。このようにして、基板の場所を特定した後の移動は、排除されることができ、テンプレートのさらなる位置正確度および基板の反対側のインプリントへのより良好な整合を確実にする。いくつかの実装では、インプリント特徴は、先導ローラにわたるウェブの前進に依拠することなく、基板に移送される。

【0078】

本開示は、上記に記述される課題に対処している、両面インプリンティングのための方法、デバイス、およびシステムを説明する。図１−４Ｂは、例示的テンプレートチャッキング方法を示す。図５Ａ−５Ｈは、側面間インプリント整合のためにテンプレートおよび基板上の参照マークの場所を特定することの実施例を示す。図６Ａ−６Ｂは、インプリンティング中に基板に沿ってテンプレートをレジストの中に押動させるための例示的スキージローラを示す。図７Ａ−７Ｂは、ローラの角度不整合およびウェブ角度測定を補正するためのシータ調節の実施例を示す。図８−１０は、両面インプリンティングの例示的実装を示す。図１１Ａ−１３Ｆは、関連付けられる手順および構成を伴う整合両面インプリントのための例示的ツールを示す。図１４−１５Ｈは、関連付けられる手順を用いた同時両面インプリントのための例示的ツールを示す。図１６−１９は、例えば、上記に説明されるデバイス、システム、またはツールを使用して、基板上に両面インプリントを加工するための例示的プロセスを示す。

【0079】

本開示に説明されるこれらの技術は、任意の好適な基板（例えば、剛性または可撓性材料）の単一の側面または両方の側面上に、任意の好適な微細またはナノ構造または任意の両面パターン化構造、例えば、回折格子を加工することに適用されることができる。一実施例では、本技術は、「Ｍｅｔｈｏｄｓ ａｎｄ ｓｙｓｔｅｍｓ ｆｏｒ ｇｅｎｅｒａｔｉｎｇ ｖｉｒｔｕａｌ ｃｏｎｔｅｎｔ ｄｉｓｐｌａｙ ｗｉｔｈ ａ ｖｉｒｔｕａｌ ｏｒ ａｕｇｍｅｎｔｅｄ ｒｅａｌｉｔｙ ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、これによって２０１５年５月２９日に出願された、米国特許出願第１４／７２６，４２４号（その内容がその全体として参照することによって本明細書に組み込まれる）に説明されるように、アイピース用の回折光学要素（ＤＯＥ）を加工するために利用されることができる。ＤＯＥは、１つ以上の層を有することができ、各層は、直交瞳拡大（ＯＰＥ）回折要素と、射出瞳拡大（ＥＰＥ）回折要素とを含むことができる。ある場合には、ＯＰＥ回折要素およびＥＰＥ回折要素は、導波管基板の反対側に加工されることができる。ある場合には、ＯＰＥ回折要素およびＥＰＥ回折要素は、導波管基板の一方の側面上に加工されることができ、他の構成要素は、導波管基板の他方の側面上に加工されることができる。別の実施例では、本技術は、「Ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｎｇ ｏｐｔｉｃａｌ ｐｈａｓｅ ｖａｒｉａｔｉｏｎｓ ｉｎ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ」と題され、これによって２０１７年１月１８日に出願された、米国仮特許出願第６２／４４７，６０８号（その内容がその全体として参照することによって本明細書に組み込まれる）の図７Ｅに説明されるように、基板の他方の側面上に変動する構造を伴って基板の一方の側面上に回折格子を加工するために利用されることができる。
（実施例テンプレートチャッキング方法）
（Ｉ．ウェブドームを伴う直接環状テンプレートチャッキング）

【0080】

テンプレートが可撓性の移動するウェブによって運搬されると、テンプレートの位置を高い正確度で決定することは困難である。可撓性テンプレート（例えば、コーティングされたレジストテンプレート−ＣＲＴ）は、ウェブがインプリンティングツール内のローラにわたって前進するにつれて、少量だけ左右に移動することができる。テンプレートがモータに接続されるローラによって前進させられるとき、これらのローラが、それらの直径の変動を有し、回転エンコーダが、限定された分解能を有するため、運動誤差が蓄積する。ウェブもまた、可撓性であるため、張力変動は、ウェブおよびテンプレートを伸張させるとともに、垂直方向に移動させる。いくつかの実装では、環状リングが、真空でテンプレートを把持し、したがって、ウェブが光学フィードバックを通して接触点まで誘導されている間に、ウェブは、それを基板上の参照マークに整合させるように精密ステージのセットを用いて移動されることができる。

【0081】

図１は、ウェブドームを伴う直接環状テンプレートチャッキングを伴う例示的インプリンティングツール１００を示す。ウェブ１０２は、ウェブ１０２の上方で、インプリンティングツール１００内のｚローラ１０６ａ、１０６ｂの間に位置する、環状リング真空チャック１０４に対して延伸される。リング真空チャック１０４は、ガラス窓１１０で被覆および密閉され得る、真空領域の内側の空洞１０８を有する。ガラス窓１１０は、視覚システム１１２がウェブ１０２上のテンプレート１２０上の参照マークの場所を正確に特定し、ＵＶ硬化光１１４がＵＶレジスト１１６を硬化させ、圧力または真空がリング真空チャック１０４の内側の領域中でウェブ１０２に印加されることを可能にする。

【0082】

圧力が環状リング真空チャック１０４の内側の領域に印加されるとき、テンプレート１２０を伴うウェブ１０２は、リングの中心の面積が、垂直（例えば、Ｚ方向に沿って）および水平に（例えば、Ｘ方向に沿って）移動され得るステージ１３０上の基板１１８に向かってわずかに押し下げられた状態で、風船のように外向きにたわむことができる。テンプレート１２０および基板１１８が（テンプレート１２０を下に移動させるか、または基板１１８を上に移動させるかのいずれかによって）インプリンティングのために一体となるとき、テンプレート１２０の中心部分は、最初に小さい円形面積内で基板１１８に触れることができ、テンプレート１２０および基板１１８が近づけられると、接触面積は、空気が押し出され、レジスタがテンプレート１２０内の細部の中に充填するにつれて、増加し続けるであろう。本時点で、レジスト１１６は、光１１４によって硬化され、リング真空チャック１０４は、テンプレート１２０を解放し、ステージ１３０およびウェブ１０２は、分離がｚローラ１０６ａまたは１０６ｂにおいて起こるまでともに前進させられる。

【0083】

環状リング真空チャック、例えば、リング真空チャック１０４を用いた、可撓性テンプレート、例えば、テンプレート１２０の保持は、いくつかの利点を提供する。第１に、本技法は、正確な位置付けのためにテンプレートを固着する。第２に、テンプレートが透明な材料である場合、本技法は、視覚システムが下方の基板上の整合マークを通して見て、精密整合を実施することを可能にする。本技法はまた、圧力がテンプレートの裏に印加されることを可能にし、テンプレートを曲げるため、接触が基板と生じるとき、接点は、中心にあり得、空気が、テンプレートと基板との間で外に押進されることができる。透明テンプレートは、ＵＶ硬化ステップが特徴を硬化させることを可能にする。特徴からのテンプレートの分離のために、真空が、放出され、基板を伴うウェブが、前方に駆動され、ウェブの経路が基板の線形経路から離れるにつれて、分離がローラにおいて起こる。
（ＩＩ．ガラスドームを伴う間接テンプレートチャッキング）

【0084】

図２は、ガラスドームを伴う間接テンプレートチャッキングを伴う例示的インプリンティングツール２００の概略図を示す。インプリンティング力が、テンプレート２２０の上方のウェブ２０２の裏面の中に下降され得る、別個の加圧ドームアセンブリ２０４を用いて印加されることができる。ガラスドーム２０４は、ガラス２１０の背後の閉鎖容積２０８が加圧されるときにドーム形状をとる、透明ガラス２１０の薄片を含むことができる。ガラス裏面は、視覚システム２１２による光学テンプレート参照マーク場所およびＵＶ光２１４によるＵＶ硬化を可能にする。いったんドーム形状ガラス２０４がウェブ２０２の背面の中に下降されると、それらの間の摩擦は、定位置でウェブ２０２を係止することができる。本時点で、視覚システム２１２、例えば、カメラは、テンプレート２２０上および下方の基板２１８上の参照マークを見出すことができる。基板を保持するステージアセンブリ２３０は、例えば、Ｘ方向に沿って水平に、光学フィードバックと整合するように参照マークを移動させることができる。

【0085】

整合後、基板２１８は、テンプレート２２０の下から外に運ばれ、ＵＶ硬化性レジスト２１６が適用され、次いで、基板２１８は、インプリンティングのために整合位置に戻される。ドーム２０４およびテンプレート２２０が、例えば、垂直に、基板２１８の中に移動されると、テンプレート２２０は、最初に、中心で基板２１８に接触し、接触パッチが、外向きに成長し、空気を押し出すであろう。本時点で、インプリントは、紫外線で硬化されることができ、次いで、ドーム２０４は、上昇させられ、可撓性テンプレート２２０の裏面から分離されることができる。ウェブ２０２は、真空チャック２０４上で基板２１８とともに前進させられることができ、テンプレート２２０は、ｚローラ２０６ａまたは２０６ｂにおいて基板２１８から分離することができる。
（ＩＩＩ．テンプレート真空チャッキングおよび空気／真空バーチャッキング）

【0086】

図３Ａは、例示的テンプレート真空チャッキング３００の概略図を示す。ウェブ３０２が、２つのｚローラ３０６ａ、３０６ｂに沿って延伸される。ウェブ３０２は、ウェブ３０２がｚローラ３０６ａ、３０６ｂの周囲で滑動することを防止するため、または張力変動がウェブ３０２の位置の誤差を誘発することを妨げるために、テンプレート３２０を含むテンプレート領域の周囲のある場所で真空チャック３０８、３１０によって真空でチャックされることができる。図３Ａに図示されるように、２つの真空チャック３０８、３１０は、それぞれ、高摩擦ｚローラ３０６ｂの前および後に配列されることができる。真空チャック３０８は、テンプレート３２０に隣接するが、離れている。ウェブ３０２は、ブレーキ３０４を用いて高摩擦ｚローラ３０６ａおよび／または３０６ｂを係止し、インプリンティングゾーンの上流および下流の駆動モータを用いて張力を維持することによって、停止されることができる。視覚システム３１２は、ウェブ３０２上のテンプレート３２０上の参照マークの場所を直接特定することができる。ＵＶ硬化光３１４もまた、テンプレート３２０上のＵＶレジストを直接硬化させることができる。

【0087】

図３Ｂは、例示的空気／真空バーチャッキング３５０の概略図を示す。空気軸受ターンバー３５４が、先導ｚローラ、例えば、図３Ａのｚローラ４０６ｂの代わりに、図３Ｂで使用される。ウェブ３５２が、空気軸受ターンバー３５４およびｚローラ３５６に沿って延伸される。ある場合には、空気軸受ターンバー３５４は、その空気圧スイッチに真空を生じさせることができ、テンプレート３７０のためのテンプレート参照マークが正確に位置し得る領域中でウェブ３５２が停止された後に、ウェブ３５２を圧着するように作用することができる。さらに詳細に図１３Ｂで議論されるように、空気軸受ターンバー３５４は、ウェブ３５２を浮動させることができ、ウェブ３５２にいかなる側方または角度拘束も課さない。
（ＩＶ．基板圧力ドームを伴うガラスドームテンプレートバッキングプレート）

【0088】

一度に片側をインプリントすることによる、基板の両側のインプリントの決定的な技術的課題は、裏面上のパターンを損傷することがない、インプリントのための基板の保持である。裏面上のパターンが真空チャックまたはウエハ取扱エンドエフェクタと接触する場合、損傷は、３つ以上のモードで起こり得、すなわち、第１の損傷モードは、インプリントされたパターンの擦過傷であり得、第２の損傷モードは、任意の残渣が基板に移送される真空チャック上に落下する場合に起こり得、第３の損傷モードは、真空チャックが、何らかの形で基板に移送され、欠陥として硬化される、未硬化レジストで汚染されるものであり得る。ある場合には、基板が縁に沿ってロボットによって握持される、両面プロセスは、これらの欠陥問題を排除することができるが、ロボットは、複雑性を追加し得る。

【0089】

いくつかの実装では、真空チャックが、インプリントされたパターンのための面積を緩和するようにポケットを伴って作成される。これは、擦過の問題を軽減することに役立ち得るが、他の欠陥モードを防止しない場合がある。

【0090】

図４Ａは、圧力および真空の例示的交互領域４００の概略図を示す。図示されるように、基板４０２は、基板４０２の周囲の周辺の２つの小さい領域４０４ａ、４０４ｂ中で真空チャックによって真空で保持される。インプリンティングのための面積４０６は、基板４０２の中心で周囲によって囲繞される。光学参照マーク４０８は、周囲の周辺および面積４０６の外側にある。基板４０２は、基板４０２が真空チャックに触れることを妨げながら、基板４０２の歪曲を最小限にするように真空および圧力ゾーン４１０の緊密なアレイを有する。本ウエハチャッキングは、擦過および粒子汚染を排除することができる。ある場合には、本ウエハチャッキングは、圧力および真空領域下でチャックしながら、局所弾性歪曲を有する。歪曲の振幅は、基板厚さの低減によって悪化され得る。しかしながら、これらの歪曲面積は、インプリンティングプロセス中に平坦にされてもよい。

【0091】

図４Ｂは、基板圧力ドームを伴うガラスドームテンプレートバッキングプレートの実施例４５０の概略図を示す。ウェブ４５２は、垂直に上下に移動され得る、２つのｚローラ４５６ａ、４５６ｂに沿って延伸される。ガラスドーム４５４の機械的屈曲性質において合致される基板４５８は、縁に沿って環状真空領域中でステージ４８０上に真空チャック４６０によって保持されることができる。真空チャック４６０の中心は、いかなる重要な特徴にも触れない、またはいかなる残渣も移送しないように、深い陥凹を有することができる。基板４５８およびテンプレート４７０の整合後、ガラスドーム４５４は、下向きに押動し、テンプレート４７０を基板４５８の中に押圧して、最初に、中心で小さい円形接触を生じ、完全接触が達成されるにつれて基板４５８の縁まで成長することができる。硬化および分離が、起こり得、ウェブ４５２は、ｚローラ４５６ａの周囲で、典型的様式で基板４５８から剥離されることができる。
（位置決め参照マークおよびインプリンティング整合の実施例）

【0092】

基板の両側のインプリンティングの別の決定的な技術的課題は、テンプレート上の参照マークおよび基板の裏面上の参照マークの場所を正確に特定することである。

【0093】

図５Ａ−５Ｂは、テンプレート上の参照マークの場所を特定することの実施例５００、５３０の概略図を示す。ウェブ５０２は、２つのｚローラ５０６ａ、５０６ｂに沿って延伸される。図５Ａが示すように、テンプレート５１０上の参照マーク５１２、例えば、回折パターンは、保護層が除去されたときに、ウェブ５０２の反対側からのレーザ５０４からのレーザ光を伴って位置する。レーザセンサ５０８は、可動ステージ５２０上に位置付けられ、ウェブ５０２を通してレーザ光５０４を検出するように構成される。テンプレート５１０上の参照マーク５１２がレーザ５０４とレーザセンサ５０８との間で移動される場合、レーザ光は、参照マーク５１２によって回折または遮断され、その結果として、レーザセンサ５０８によって検出されるレーザ光の強度は、変化されるであろう。検出されたレーザ光強度の変化に基づいて、参照マーク５１２の場所が、決定されることができる。

【0094】

ある場合には、図５Ｂが示すように、レーザ５０４はまた、テンプレート５１０が真空チャックの縁に搭載され、見上げられるときに、テンプレート５１０の縁上の参照マーク５１４を検出するために使用されることもできる。真空チャックは、ｘステージ空気軸受真空チャック、例えば、図３Ｂの空気／真空バー真空チャック３５４であり得る。カメラシステムもまた、テンプレート５１０の上部から参照マーク５１２または５１４の場所を特定するために使用される、または真空チャックに面して搭載されることができる。

【0095】

図５Ｃ−５Ｄは、基板上の参照マークの場所を特定することの実施例５５０、５７０の概略図を示す。別個のレーザ５５４（図５Ｃ）またはカメラシステム５７２（図５Ｄ）は、基板５６０が、例えば、真空チャックステージによって獲得された後に、基板５６０上の参照マーク５６２を見出すことができる。本カメラシステム５７２またはレーザ５５４は、下向きにされ、基板５６０をチャックするように固定されることができる。基板５６０は、参照マーク５６２の中心を見出すように真空チャックステージによってｘおよびｙに移動されることができる。

【0096】

カメラシステムがテンプレート５１０上の参照マーク５１２または５１４を見下ろすために使用され、下方視カメラ５７２が基板５６０上の参照マーク５６２を見出すために使用される場合、両方のカメラによって可視および測定可能である、別個の参照標的を真空チャックステージ上に設置することが可能であり得る。両方のカメラにおいて本参照マークのｘ−ｙステージの位置を把握することは、最初に両方の視覚システムを整合させるための単純な方法を可能にすることができる。

【0097】

図５Ｅ−５Ｆは、テンプレート上の参照マークの場所を特定することの実施例５８０、５８５の概略図を示す。テンプレート５１０がインプリンティングのために移動される前に、テンプレート５１０は、水平方向に対する角度でｚローラ５０６ｂの前に位置付けられる。レーザ５８２（図５Ｅ）またはカメラシステム５８６（図５Ｆ）は、ｚローラ５０６ｂの前（または上流）に配列され、水平方向に対する類似角度でテンプレート５１０と整合されることができる。第１の側面インプリントは、例えば、基板５６０上の参照マークと整合することによって、基板５６０の第１の側面上に形成されることができる。傾斜レーザ５８２または傾斜カメラシステム５８６は、ウェブ５０２が移動する必要がないときに、基板５６０の第２の反対側面上に形成される第２の側面インプリントが開始する前に、テンプレート５１０上の基準参照マーク５１２の場所を特定することができる。基準参照マーク５１２は、例えば、図５Ｃおよび５Ｄに示されるレーザ５５４またはカメラシステム５７２を使用して、第２の側面インプリントのための基板５６０上の参照マーク５６２と整合されることができる。このようにして、可撓性テンプレート５１０、例えば、ＣＲＴの不正確なテンプレート移動は、排除されることができ、それによって、基板５６０の第１の側面上に形成される第１の側面インプリントに対する第２の側面インプリントの整合正確度（オーバーレイ）を増加させる。

【0098】

図５Ｇ−５Ｈは、真空チャックとの側面間インプリンティング整合の実施例５９０の概略図を示す。第１のウェブ５０２ａ上の第１のインプリントテンプレート５１０ａは、垂下を除去するよう張力を受けることができ、次いで、例えば、カメラ５９２を含む、カメラのセットが、第１のインプリントテンプレート５１０ａ上の第１の基準マーク５１２ａ、随意に、第２のウェブ５０２ｂの第２のインプリントテンプレート５１０ｂ上の第２の基準マーク５１２ｂ、および同一の図中の基板５６０の側面上の基準マーク５６２の場所を特定するために、使用されることができる。基板５６０を保持するステージは、基準マーク５１２ａ、５１２ｂ、および５６２を整合させることができる。整合後、第１のウェブ５０２ａの上方の真空チャック５９４は、図５Ｇに図示されるように、上方から第１のインプリントテンプレート５１０ａを把持することができる。真空チャック５９４は、図５Ｈに図示されるように、第１のインプリントテンプレート５１０ａを、基板５６０のインプリント開始位置と同期しているインプリント開始位置まで移動させ得る、精密移動機構に接続されることができる。これは、第１のインプリントテンプレート５１０ａの不正確な移動を排除し、側面間インプリント整合、例えば、基板５６０の第１の側面上の第１のインプリントテンプレート５１０ａから形成される第１のインプリントが、基板５６０の第２の反対側面上の第２のインプリントされたテンプレート５１０ｂから形成される第２のインプリントと整合されることを可能にする。
（例示的スキージローラ）

【0099】

図６Ａは、インプリンティング中にスキージローラを使用することの実施例６００の概略図を示す。ウェブ６０２は、２つのｚローラ６０６ａ、６０６ｂに沿って延伸される。ウェブ６０２が停止され、視覚システム６１２によってテンプレート６１０および基板６１６（図示せず）の参照マークが特定された後に、付加的ローラ６０８（スキージローラと呼ばれる）は、例えば、Ｚ方向に沿って、ウェブ６０２の裏面の中に下降され、ステージ６２０上の基板６１６に沿ってテンプレート６１０をレジスト６１８の中に押動させるように構成される。スキージローラ６０８は、ｚローラ６０６ａ、６０６ｂの間を横断し、ローラ６０８がＸ方向に沿って前後に移動するにつれて空気を外に押進することが可能であり得、テンプレート６１０の細部を充填することに役立ち得る。スキージローラ６０８は、少しずれて移動することができ、レジスト６１８は、ＵＶ光６１４によって硬化されることができ、テンプレート６１０は、ｚローラ６０６ａにおいて基板６１６から分離されることができる。

【0100】

図６Ｂは、スキージローラを使用することの別の実施例６５０の概略図を示す。ウェブ６５２は、２つのｚローラ６５６ａ、６５６ｂに沿って延伸される。ウェブ６５２がｚローラ６５６ｂにおいて係止された後、カメラは、テンプレート６６０上の参照マーク（またはパターン）の場所を特定することができ、スキージローラ６５８は、係止されたｚローラ６５６ｂの近傍に駐留されることができる。係止されていないｚローラ６５６ａが、Ｚ方向に沿ってわずかにずれて上昇されることができる一方で、隣接する駆動ローラ、すなわち、スキージローラ６５８は、ウェブ経路が短縮されるにつれて、張力を維持し、Ｘ方向に沿ってウェブ６５２のある部分で引動されることができる。ある場合には、ｚ軸真空チャックは、基板６６６がスキージローラ６５８および係止されたｚローラ６５６ｂに触れるまで、基板６６６を上昇させるように基板６６６上にあることができる。スキージローラ６５８は、テンプレート６６０を基板６６６上のレジスト６６８の中に押動させ、空気を外に押し出しながら、係止されたｚローラ６５６ｂから離れるように移動することができる。スキージローラ６５８は、テンプレート６６０が基板６６６と完全に接触し、レジスト６６８が硬化された後に停止することができる。硬化後、ウェブ６５２および基板６６６が、ともに前進することができ、テンプレート分離が、ｚローラ６５６ａにおいて起こり得る。
（例示的シータ調節およびウェブ角度測定）

【0101】

少量でシータｚ方向への角度不整合を補正する一意の方法は、その軸に沿って相互に対してｚローラのうちの１つを移動させることである。図７Ａは、本方法を実装することの実施例７００の概略図を示す。ウェブ７０２は、高い摩擦、ラップ角度、および／または張力に起因して、ｚローラ７０６ａ、７０６ｂと移動することができる。ある場合には、空気軸受ブッシングが、回転および軸方向に低い摩擦を可能にするローラ軸受の代わりに使用されることができる。押出アクチュエータ（図示せず）は、ｚローラシャフトの一方の端部を押動することができ、ばねは、他方の端部を押動し、反発を除去することができる。本整合は、ウェブ７０２が過剰に変位された場合に、ウェブ７０２に小さい波を引き起こし得るが、しかしながら、小さい角度には十分良好に稼働し得る。このようにして位置を調節することは、ｘステージまたは回転部またはウェブ経路およびその支持ローラの全てのいずれかに単一のユニットとして搭載される、大型の大規模で高価な回転ステージの必要性を排除することができる。

【0102】

ウェブ角度変化は、両面インプリンティングを作製するときにウェブ整合誤差にとって大きな構成要素である。図７Ｂは、フィードフォワードインプリンティング整合を補正するためのウェブ角度を測定する例示的方法７５０の概略図を示す。方法７５０は、例えば、各インプリンティングの直前に、ウェブ角度を直接測定することができ、基板は、インプリンティングを開始することに先立って、測定されたウェブ角度に基づいて、例えば、基板チャックの下のステージによって、再配置されることができる。例えば、図７Ｂに図示されるように、２つの非接触センサ７１０ａ、７１０ｂが、ウェブ７０２の縁上のｚローラ７０６ｂの上流に位置付けられ、ウェブ７０２の正確な角度を測定するために併せて使用されることができる。センサ７１０ａ、７１０ｂは、固定されており、ウェブ７０２と移動しない。
（両面インプリンティングの実施例）
（Ｉ．１ステップ両面インプリント、基板ニップ送給）

【0103】

図８は、基板上に両面インプリントを作製する例示的システム８００の概略図を示す。システム８００は、上方に１つ、下方に１つがある、２つのウェブ８０２ａ、８０２ｂを使用するように構成される。ウェブ８０２ａは、２つのｚローラ８０４ａおよび８０４ｂに沿って延伸され、ウェブ８０２ｂは、２つのｚローラ８０４ｃおよび８０４ｄに沿って延伸される。ウェブ８０２ａ、８０２ｂは、個別のテンプレート８０６ａ、８０６ｂを含む。上部および底部テンプレート８０６ａ、８０６ｂは、視覚システムを用いて特定されることができ、精密調節軸は、ウェブ８０２ａ、８０２ｂが相互と整合させられ得るように、上部および底部ウェブの間で分配されることができる。

【0104】

ある場合には、図８が示すように、基板８１０は、レジスト８０８ａでコーティングされ、テンプレート８０６ｂは、テンプレート８０６ｂが、例えば、Ｘ方向に沿って、インプリンティングゾーンの中に巻回される前に基板８１０の底部側の下にレジスト８０８ｂでコーティングされる。ある場合には、基板８１０は、インプリンティングゾーンの中に巻回される前に上部および底部側の両方にレジストでコーティングされることができる。装填ロボットは、縁上で基板８１０を保持し、ウェブ８０２ａ、８０２ｂが前進するにつれて、ローラ８０４ｂ、８０４ｄの間のニップの中に基板８１０を送給するように構成されることができる一方で、上部および底部ｚローラ８０４ｂ、８０４ｄは、テンプレート８０６ａ、８０６ｂの細部の中にレジスト８０８ａ、８０８ｂを押進し、空気を除去する。いったん基板８１０がテンプレート８０６ａ、８０６ｂと完全に接触すると、ウェブ８０２ａ、８０２ｂおよびロボットは、停止することができ、ＵＶ光は、レジスト８０８ａ、８０８ｂを硬化させることができる。いくつかの実装では、ウェブ８０２ａ、８０２ｂおよびロボットは、逆転され、テンプレート８０６ａ、８０６ｂは、基板８１０から分離される。いくつかの実装では、ウェブ８０２ａ、８０２ｂは、基板８１０から分離するように、前進され、ローラ８０４ａ、８０４ｃから引き離される。基板８１０は、ローラ８０４ａ、８０４ｃの左側で別のロボットによって保持されることができる。本プロセスは、インプリンティングスループットを向上させ得るが、インプリントを正確に位置付けない場合がある。
（ＩＩ．二重ガラスドームを用いた１ステップ両面インプリント）

【0105】

図９は、一度に基板９５０の両側にインプリントを形成する別の例示的システム９００の概略図を示す。システム９００は、図８に説明される両面インプリンティング方法を、図２に説明される別個のガラスドームを使用する各側面インプリンティングと組み合わせるように構成される。ウェブ９０２は、２つのｚローラ９０６ａおよび９０６ｂに沿って延伸され、ウェブ９５２は、２つのｚローラ９５６ｃおよび９５６ｄに沿って延伸される。ウェブ９０２、９５２は、個別のテンプレート９２０、９７０を含む。システム９００は、例えば、数ミリメートルだけ分離される、上部および底部の二重テンプレートロール９２０、９７０を有することができる。システム９００は、上部および底部の２つの加圧ガラスドーム９０４および９５４と、視覚整合システム９１２、９６２と、Ｚ方向に沿って上部および底部テンプレート９２０、９７０の適切な相対整合のためにシステム構成要素の間に分配される精密調節軸（図示せず）とを含む。システム９００はまた、基板９５０の頂面および底面上に、またはテンプレート９２０および／またはテンプレート９７０自体の上に、レジスト９３０を分注するように構成される。

【0106】

インプリンティングの順序は、以下の通りであり得、すなわち、ウェブ９０２および９５２は、新しい上部テンプレート９２０および新しい底部テンプレート９７０が、ともにインプリンティングゾーンの中に運ばれるように、前進させられる。視覚システム９１２および９６２は、テンプレート９２０、９７０上の参照マークの場所を特定し、種々の調節軸は、上部および底部テンプレート９２０、９７０を整合させる。ガラス圧力ドーム９０４および９５４は、頂面および底面上のウェブ９０２、９５２と接触させられる。ガラスドーム９０４または９５４がウェブ９０２または９５２と接触した後に、最適なテンプレート整合に関してわずかな補正を行うように構成される、ガラスドーム９０４または９５４の微調節軸が存在し得る。レジスト９３０は、基板９５０の頂面および底面に適用される。例えば、特別な薄型エンドエフェクタを伴うロボットは、縁上で基板９５０を把持することによって、上部および底部テンプレート９２０、９７０の間に基板９５０を提示することができる。上部および底部ガラスドーム９０４および９５４は、圧力ドームが一体となるにつれて、基板９５０のｚ位置が圧力ドーム９０４および９５４の位置によって決定されるように、均等に一体となることができる。ドーム９０４、９５４が完全に扁平であり、テンプレート９２０、９７０が完全に充填したとき、レジスト９３０は、ＵＶランプ９１４によって硬化される。次いで、圧力ドーム９０４、９５４は、上部および底部ウェブ９０２、９５２から後退させられる。ウェブ９０２、９５２およびロボットは、ともに逆転することができ、テンプレート９２０および９７０は、ｚローラ９０６ａ、９５６ａにおいて基板９５０から剥離される。

【0107】

上記に説明される技術は、両面インプリンティングの課題に対処し、すなわち、プロセス要件の全てを１つのツールアーキテクチャに具現化することができる。本技術は、ＵＶ硬化を促進し、整合、均等な力の印加、ＵＶレジスト流、ナノ特徴形成、およびテンプレートおよび特徴の分離を可能にすることができる。
（ＩＩＩ．ロール上の基板）

【0108】

大量に有意な製造費削減を可能にし得る、光学性質を伴い、ロール上に巻装されるために十分に可撓性である好適な低費用の基板材料を使用することが、望ましい。上記に説明されるインプリンティング方法の殆どは、ロール形態で供給される基板、特に、図９に説明される二重ガラスドームインプリンティングプロセスを使用するために適合可能であり得る。基板の取扱は、縁握持方法よりも単純であり得る。

【0109】

図１０は、二重ガラスドームインプリンティングとともにロール形式の低費用フレキシブル基板１０３０を併用する例示的システム１０００の概略図を示す。システム１０００の二重ガラスドーム印刷配列は、図９のシステム９００に類似する。第１のウェブ１００２は、２つのｚローラ１００６ａおよび１００６ｂに沿ってローラ１００８ａからローラ１００８ｂまで延伸される。ウェブ１００２は、ローラ１００８ｂからローラ１００８ａまで戻るように回転されることができる。ウェブ１００２は、基板１０３０の上部側にインプリントされるインプリンティング特徴を含む、第１のテンプレート１０１０を含む。第２のウェブ１０５２は、２つのｚローラ１０５６ａおよび１０５６ｂに沿ってローラ１０５８ａからローラ１０５８ｂまで延伸される。ウェブ１０５２は、ローラ１０５８ｂからローラ１０５８ａまで戻るように回転されることができる。第２のウェブ１０５２は、基板１０３０の底部側にインプリントされるインプリンティング特徴を含む、第２のテンプレート１０６０を含む。システム１０００は、上部および底部の２つの加圧ガラスドーム１００４および１０５４と、視覚整合システム１０１２、１０６２と、Ｚ方向に沿って上部および底部テンプレート１０１０、１０６０の適切な相対整合のためにシステム構成要素の間に分配される精密調節軸（図示せず）とを含むことができる。システム１０００は、基板１０３０の頂面および底面上に、またはテンプレート１０１０および／またはテンプレート１０６０自体の上に、分注レジスト、例えば、ＵＶ硬化性レジストを分注するように構成されることができる。

【0110】

基板１０３０は、ローラ１０３２からローラ１０３４まで延伸される。ある場合には、基板１０３０は、図１０に図示されるように、ローラ１０３２上で巻き上げられるブランク基板である。ある場合には、ブランク基板のロールは、基板１０３０になるようにブランク基板とともに巻き上げられる膜の層によって保護される。基板１０３０がシステム１０００のインプリンティング領域に進入すると、保護カバー膜は、除去されることができる。テンプレート１０１０および１０６０は、それぞれ、加圧ドーム１００４および１０５４を用いて、基板１０３０と接触させられることができる。空気は、テンプレート１０１０および１０６０が基板１０３０と完全に接触するまで、外に押し出されることができ、ＵＶ光１０１４は、次いで、ウェブ１００２、１０５２が固定されているときにレジストを硬化させることができる。したがって、ブランク基板１０３０は、テンプレート１０１０および１０６０の対応する特徴を伴ってインプリントされた両方の側面を有する、基板１０４０になる。ドーム１００４および１０５４は、例えば、真空チャックによって、テンプレート１０１０および１０６０の裏面から後退させられることができ、テンプレート１０１０、１０６０および基板１０４０の分離は、基板１０３０の経路がテンプレート１０１０、１０６０の経路から分岐する場合に、ウェブ１００２、１０５２が前進させられると起こるであろう。本時点で、インプリントされた特徴は、基板１０４０上に完全に形成される。

【0111】

いくつかの実装では、図１０が図示するように、基板１０４０は、ローラ１０３４上に巻回された基板１０４２に、裏面上の保護膜１０７０の第１の層および前面上の保護膜（図示せず）の第２の層を伴って巻装される。保護膜１０７０の第１の層は、ローラ１０７２ａからｚローラ１０７２ｂへ、基板１０４０の裏面上に延伸されることができる。保護膜の第２の層は、別のローラ（図示せず）から別のｚローラ（図示せず）へ、基板１０４０の前面上に延伸されることができる。スキージローラ１０３６、例えば、図６Ａのスキージローラ６０８は、基板１０４０上に保護膜を押圧するために使用されることができる。ある場合には、保護膜を巻装すること、または両側にインプリントされた特徴を伴う基板１０４２が、ロールから切断され得る前に、別のプロセスが、インプリントされた基板１０４０に適用されることができる。

【0112】

上記に説明される本技術は、基板をロール形式で保ち、材料取扱を単純化することによって、基板の片面パターン化および緊密な正面・裏面整合を有する基板上のパターン化が行われることを可能にする。ロール形式で低費用の基板を供給することによって、本技術は、基板の両側にパターンをインプリントし、個々の部品が単一化される必要があるまで、本形式で基板を保つために経済的であり得る。
（整合両面インプリントのための例示的ツール）

【0113】

ナノ加工機器は、典型的には、一度に片側に特徴を形成する。片面プロセスが両側に特徴を作成するために使用される場合、本質的に、２倍の時間および２つの機器を要するが、依然として、基板特徴をテンプレート特徴に整合させるための整合ステップを有し得る。また、形成後のインプリントされた特徴は、脆弱であり、取扱損傷の影響を受けやすい。これらのタイプの基板は、典型的には、裏面接触で取り扱われるが、両側に特徴がある場合において、基板の裏面に触れることは、これらの特徴を損傷し得る。

【0114】

図１１Ａは、基板上の整合両面インプリンティングのための例示的ツール１１００の概略図を示す。本ツールは、その位置が相互に対して厳密に制御される、基板の両側にインプリントされた特徴を加工するように構成される。前面および裏面テンプレートは、側面の両方の上のインプリンティングおよび特徴が同時に作成され得る前に、光学的に相互に事前整合されることができる。本ツールはまた、基板の両側にインプリントされた特徴の損傷を伴わずに、基板を取り扱うように構成される。

【0115】

いくつかの実装では、インプリンティングツール１１００は、３つのゾーン、すなわち、（ａ）基板入力、（ｂ）インプリントエンジン、および（ｃ）インプリントされた基板出力を含む。２つのウェブ１１０２ａ、１１０２ｂは、それぞれ、ｚローラ１１０４ａ、１１０４ｃを通してｚローラ１１０４ｂ、１１０４ｄまで延伸される。ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂは、基板１１１２が挿入される領域中でともに延伸される、個別の可撓性テンプレート、例えば、ＣＲＴを有する。基板１１１２は、ウエハ基板であり、いくつかのブランク基板を貯蔵する基板コンテナ１１１０から取り出されることができる。ロボット１１０６は、ロボットホルダ１１０８を介して、コンテナ１１１０から基板１１１２を取り、可撓性テンプレートの間の領域の中に挿入するように構成される。

【0116】

基板１１１２が挿入される前に、各ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂのテンプレート上の参照マークは、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂの相対位置付けを可能にするカメラシステムおよび作動を用いて、相互に光学的に整合されることができる。下記でさらに詳細に議論されるように、図１１Ａのツール１１００は、２つのウェブ１１０２ａおよび１１０２ｂを圧着するための圧着システムを含むことができる。参照マークが整合された後、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂは、テンプレートの相対運動を排除するように相互に圧着されることができる。ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂは、基板１１１２の挿入を可能にするように逆転されることができ、レジスト注入ヘッド１１１４ａ、１１１４ｂからのＵＶ硬化性レジストは、テンプレートに適用されることができ、次いで、テンプレートは、ともにそれらの間の基板およびレジストと再び整合させられることができる。基板１１１２がゾーン（ｂ）内のプロセスゾーンを通して進行すると、ＵＶ光源１１１６が、レジストを硬化させることができる。硬化後、圧着システムは、下記の図１２Ｈに図示されるように、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂを分離し、インプリントされた基板１１１８が通過することを可能にするように、圧着解除されることができる。基板１１１２からの完全にインプリントされた基板１１１８は、次いで、退出し、別のロボット１１２２の別のロボットホルダ１１２０によって取られ、インプリントされた基板コンテナ１１２４の中に貯蔵されることができる。コンテナ１１２４の中のインプリントされた基板１１１８は、柔らかい緩衝材の中に貯蔵され、相互から分離されることができる。

【0117】

図１１Ｂは、基板上の整合両面インプリンティングのための例示的ツール１１５０の概略図を示す。図１１Ａのツール１１００と比較して、ツール１１５０は、ゾーン（ｃ）内にロボット１１２２およびコンテナ１１２４を有する、装填解除自動化を含まない。代わりに、インプリントされた基板１１１８は、ゾーン（ａ）に戻され、コンテナ１１１０の中に貯蔵されることができる。このようにして、ツール１１５０は、インプリントされた基板１１１８のための装填解除自動化を排除し、装填解除自動化を基板装填自動化と組み合わせることができる。ツール１１００と同様に、ツール１１５０はまた、ウェブ１１０２ａのための真空チャック１２０８と、ウェブ１１０２ｂのためのクランプ１２１０とを有する、圧着システムを含むこともできる。ウェブ１１０２ａ上の参照マークがウェブ１１０２ｂ上の参照マークと整合された後、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂは、テンプレートの相対運動を排除するように、圧着システムによって相互にともに圧着されることができる。

【0118】

例示的処理順序では、基板１１１２は、両面インプリンティングのためのウェブ１１０２ａおよび１１０２ｂ上の２つのテンプレートの間の上部の中に下降される。インプリンティングが完了し、ＵＶ光源１１１６を用いて完全に硬化された後、ｚローラ１１０４ａおよび１１０４ｃは、完全にインプリントされた基板１１１８が同一のロボットハンドラ１１０８およびロボット１１０６によって上部から回収されるように、逆に回転されることができる。このようにして、真空チャック１２０８およびクランプ１２１０は、インプリントされた基板１１１８が底部から退出することを可能にするために圧着解除される必要がなく、整合された状態でテンプレートを保つことができる。したがって、ツール１１５０の構成（および処理順序）は、テンプレート整合が順次基板毎に維持されることを可能にすることができ、時間がかかる整合プロセスがテンプレートの各セット上で１回だけ行われるため、プロセス時間の有意な減少を生じさせ得る。

【0119】

図１２Ａ−１−１２Ｉは、図１１Ａのインプリンティングツール１１００の例示的動作手順の概略図を示す。例証のみのために、動作手順は、基板が上部から底部まで垂直方向に進行する、概念を示す。他の構成、例えば、基板が底部から上部まで、または水平にさえも進行し得るように、反転されるツールもまた、実装されることができる。また、図１２Ａ−１−図１２Ｉに示される１つ以上の動作手順もまた、図１１Ｂのインプリンティングツール１１５０に使用され得ることも留意される。

【0120】

図１２Ａ−１−１２Ａ−５は、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂのテンプレート１２１４ａ、１２１４ｂ上の参照マーク１２０４ａ、１２０４ｂ、１２０４ｃ、１２０４ｄの整合を示す。インプリンティングツール１１００は、ウェブ１１０２ａのための真空チャック１２０８と、ウェブ１１０２ｂのためのクランプ１２１０とを含む、圧着システムを含むことができる。真空チャック１２０８は、図３Ａの真空チャック３０８または３１０であり得る。真空チャック１２０８は、線形軸（またはレール）１２０６に沿って線形ガイド１２０７上に位置付けられる。インプリンティングツール１１００はまた、格納式であり、インプリンティング中にウェブ１１０２ａ、１１０２ｂから少しずれて移動され得る、一対のニップローラ１２１２ａ、１２１２ｂを含むこともできる。さらに詳細に図１３Ｆで議論されるように、ニップローラ１２１２ａ、１２１２ｂは、インプリントされた基板１１１８を装填解除することを促進するように、相互に接近して移動されることができる。

【0121】

図１２Ａ−３は、ウェブ１１０２ａ上の例示的テンプレート１２１４ａを示す。テンプレート１２１４ａは、面積内に配列される複数の特徴１２１５を含む。特定の実施例では、インプリントされる基板１１１２は、ウエハであり、面積は、ウエハのものに類似する形状およびサイズを有することができる。例えば、面積は、例えば、約２００ｍｍの直径Ｄを有することができる。テンプレート１２１４ａは、インプリンティング中に基板１１１２の前縁および後縁と整合されるように設計される、２つの参照マーク（または整合マーク）１２０４ａ、１２０４ｂを有する。同様に、ウェブ１１０２ｂ上のテンプレート１２１４ｂはまた、インプリンティング中に基板１１１２の前縁および後縁と整合されるように同様に設計される、２つの参照マーク１２０４ｃ、１２０４ｄも有する。故に、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂ上の特徴が、基板１１１２と整合され、基板１１１２の両面にインプリントされ得るように、参照マーク１２０４ａは、参照マーク１２０４ｃと合致する必要があり、参照マーク１２０４ｂは、参照マーク１２０４ｄと合致する必要がある。

【0122】

第１の整合カメラ１２０２ａは、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂの第１の端部上で参照マーク１２０４ａ、１２０４ｃを整合させるために使用されることができる。第２の整合カメラ１２０２ｂは、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂの第２の端部上で参照マーク１２０４ｂ、１２０４ｄを整合させるために使用されることができる。図１２Ａ−４の上側の略図は、参照マーク１２０４ａおよび１２０４ｃが相互と合致せず、参照マーク１２０４ｂおよび１２０４ｄが相互と合致しない、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂの間の不整合を示す。テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂは、図１２Ａ−４の下側の略図が示すように、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂ上の参照マークが相互と、例えば、１２０４ａが１２０４ｃと、１２０４ｂが１２０４ｄと重複するまで、ｘ、ｙ、および／またはシータ方向に調節されることができる。ある場合には、テンプレート１２１４ｂ、１２１４ｂのためのシータ調節は、図７に図示されるように、その軸に沿って相互に対してｚローラのうちの少なくとも１つを調節することによって、実装されることができる。ある場合には、真空チャック１２０８は、最初に、ウェブ１１０２ａ上にチャックし、ｘ、ｙ、および／またはシータ方向にウェブ１１０２ａの位置を調節する。図１２Ａ−２が、調節前の図１２Ａ−１の底面図を示す一方で、図１２Ａ−５は、シータ調節を伴う図１２Ａ−１の底面図を示し、クランプ１２１０もまた、回転され、線形ガイド１２０７は、クランプ１２１０の一方の端部上で線形軸１２０６に沿って上に、クランプ１２１０の他方の端部上で下に移動する。

【0123】

テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂ、例えば、ＣＲＴは、Ｘ、Ｙ、シータ方向に調節されることができる。図１２Ａ−４に図示されるように、Ｘ方向は、ＣＲＴ前進方向を示し、Ｙ方向は、ＣＲＴの幅を横断する。カメラシステム１２０２ａおよび１２０２ｂは、ＣＲＴ参照マーク１２０４ａ、１２０４ｂ、１２０４ｃ、１２０４ｄを見る、または視認し、相対位置付けのためのフィードバックとして参照マークを使用することができる。Ｘ方向へのウェブ１１０２ａ、１１０２ｂの相対位置は、ウェブ駆動ローラを用いて、一方の側面上のウェブのうちの１つをウェブのうちの他方に対して前進させることによって制御されることができる、または線形ガイドまたはアクチュエータ１２０７を用いて真空チャック１２０８を通して移動されることができる。エアターンバー１１０４ａ−１１０４ｄは、ウェブが最小限の摩擦を伴ってＸ、Ｙ、シータ方向に摺動することを可能にし、したがって、正確な相対補正を可能にし、参照マークを整合して設置する。ローラアセンブリ１３００は、図１３Ａに図示されるように、Ｙ方向に移動し、相対運動を提供することができる。また、線形アクチュエータ１２０７は、Ｙ方向にウェブを制御するように、真空チャック１２０８の中に設置されることができる。シータ方向調節は、真空チャック１２０８を通して運動を伝達する、線形アクチュエータ１２０７の差分運動によって遂行されることができる。

【0124】

ウェブ１１０２ａ上の参照マーク１２０４ａ、１２０４ｂがウェブ１１０２ｂ上の参照マーク１２０４ｃ、１２０４ｄと整合された後に、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂは、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂの相対運動を排除するように、圧着システム、例えば、真空チャック１２０８およびクランプ１２１０によって、相互に圧着されることができる。圧着システムは、先導参照マーク１２０４ａ、１２０４ｃの下流に位置付けられることができる。図１２Ｂ−１−１２Ｂ−３は、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂを圧着するための構成の概略図を示す。

【0125】

図１２Ｂ−３は、圧着構成を示す図１２Ｂ−２の断面図である。真空チャック１２０８は、上部にゴムパッド１２２２を伴う圧着バー１２１０によってさらに支持される、平衡させるための一対の圧着アクチュエータ（およびガイド）１２１８によって支持される。線形ガイド１２０７は、コネクタ１２０９を介して一方の端部上で真空チャック１２０８に接続され、マシンフレーム１２２０にさらに接続される線形レール１２０６に他方の端部上で接続される。圧着構成は、圧着されたウェブ１１０２ａ、１１０２ｂがクランプ１２１０またはその近傍において相対運動を有することができないように構成される。力の差は、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂ（例えば、ＣＲＴ）が基板を包含するために十分に大きい領域中で良好な整合を有し得るように、最小限にされる、または排除されることができる。垂直線形レール１２０６は、一定の速度で精密経路に沿ってテンプレート１２１４ａ、１２１４ｂを引動および誘導するように構成される。

【0126】

図１２Ｃ−１２Ｄは、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂ上にＵＶレジスト１２２４を分注することの実施例の概略図を示す。ウェブ１１０２ａ、１１２０ｂは、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂをレジスト注入ヘッド１１１４ａ、１１１４ｂに暴露するように逆に上向きに移動される。真空チャック１２０８と、クランプ１２１０とを含む、圧着システムは、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂとともに移動される。参照マーク１２０４ｃ、１２０４ｄがレジスト注入ヘッド１１１４ａ、１１１４ｂを逆に通過すると、レジスト注入ヘッド１１１４ａ、１１１４ｂは、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂ上にＵＶレジスト１２２４を分注し始めることができる。参照マーク１２０４ａ、１２０４ｂがレジスト注入ヘッド１１１４ａ、１１１４ｂに到着するとき、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂ上のＵＶレジスト１２２４の分注が完了し、逆の運動も完了する。移動中、張力は、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂの両方で合致される。

【0127】

ＵＶレジスト１２２４の分注が完了した後、ウェブ１１０２ａ、１１２０ｂは、下向きに前進させられる。ある時点で、図１２Ｅに示されるように、基板１１１２は、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂの間の間隙の中に挿入される。間隙は、図１２Ｆに図示されるように、基板１１１２およびＵＶレジスト１２２４が全て、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂの間で下向きに移動されるときに、閉鎖される。圧着システムもまた、圧着されたウェブ１１０２ａ、１１０２ｂとともに下向きに移動される。

【0128】

基板１１１２およびＵＶレジスト１２２４を伴うテンプレート１２１４ａ、１２１４ｂが、図１２Ｇに示されるように、プロセスゾーン（ｂ）を通して進行すると、ＵＶ源１１１６が、両側に特徴を伴う完全にインプリントされた基板１１１８になるように、基板１１１２上にＵＶレジスト１２２４を硬化させる。図１２Ｈに図示されるように、完全にインプリントされた基板１１１８は、プロセスゾーン（ｂ）から退出するように下に引動され、真空チャック１２０８およびクランプ１２１０は、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂを分離するように圧着解除される。インプリントされた基板１１１８は、次いで、外に移動され、ロボット１１２２のロボットホルダ１１２０によって取られ、インプリントされた基板コンテナ１１２４の中に貯蔵されることができる。

【0129】

次いで、ツール１１００は、図１２Ｉに図示されるように、次の基板１１１２をインプリントするためにリセットされることができる。リセットステップは、ニップローラ１２１２ａ、１２１２ｂを分離するステップと、線形ガイド１２０７を後退させるステップと、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂの張力と、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂを前進させるステップと、テンプレート１２１４ａ、１２１４ｂ上の参照マークを見出すステップと、エアターンを拡散するステップと、（例えば、コンテナ１１２４の中に）インプリントされた基板１１１８を移送するステップと、ブランク基板１１１２を準備するステップとを含むことができる

【0130】

本インプリンティングツール１１００は、レジスト注入ヘッドが対称および水平配向でＵＶレジストを分注し得る、垂直構成を採用する。これはまた、対称重力、拡散および分離、および粒子隔離インプリンティングチャンバを提供し、より容易かつより確実な極薄基板の送給を可能にする。

【0131】

図１３Ａ−１３Ｆは、両面インプリンティングのための図１１Ａ−１２Ｉのツール１１００の例示的特徴構成の概略図を示す。また、図１３Ａ−図１３Ｅに示される１つ以上の特徴構成もまた、図１１Ｂのンプリンティングツール１１５０に使用され得ることも留意されたい。

【0132】

図１３Ａは、ウェブ経路のための例示的構成１３００の概略図を示す。ウェブ１１０２ａが、供給ローラ１３０２ａから供給され、時計回り方向に、ドライバローラ１３０４ａ、１３０６ａ、ｚローラ１１０４ａ、１１０４ｂ、およびドライバローラ１３０８ａ、１３１０ａを介して、ローラ１３１２ａまで前進させられることができる一方で、ローラ１３０６ａおよび１３０８ａは、反時計回り方向に回転する。ある場合には、供給ローラ１３０２ａからのウェブ１１０２ａは、保護膜を含む。ドライバローラ１３０４ａは、時計回り方向に回転することができ、ローラ１３０６ａは、反時計回り方向に回転し、ウェブ１１０２ａ上のテンプレート１２１４ａが露出されるように、ウェブ１１０２ａから保護膜を取り除くことができる。同様に、ウェブ１１０２ｂは、供給ローラ１３０２ｂから供給され、反時計回り方向に、ドライバローラ１３０４ｂ、１３０６ｂ、ｚローラ１１０４ｃ、１１０４ｄ、およびドライバローラ１３０８ｂ、１３１０ｂを介して、ローラ１３１２ｂまで前進させられることができる一方で、ローラ１３０６ｂおよび１３０８ｂは、時計回り方向に回転する。ある場合には、供給ローラ１３０２ｂからのウェブ１１０２ｂは、保護膜を含む。ドライバローラ１３０４ｂは、反時計回り方向に回転することができ、ローラ１３０６ｂは、時計回り方向に回転し、ウェブ１１０２ｂ上のテンプレート１２１４ｂが露出されるように、ウェブ１１０２ｂから保護膜を取り除くことができる。ある場合には、ドライバローラ１３０６ｂは、別個のニップローラであり、ドライバローラ１３０６ｂ’によって駆動される。

【0133】

いくつかの実装では、構成１３００は、ｚローラ１１０４ｂ、１１０４ｄに結合され、それぞれ、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂの張力を測定するように構成される、張力センサ１３１４ａ、１３１４ｂを含む。

【0134】

いくつかの実装では、ｚローラ１１０４ａ、１１０４ｂ、１１０４ｃ、１１０４ｄは、低い摩擦を伴うローラである。いくつかの実装では、ｚローラ１１０４ａ、１１０４ｂ、１１０４ｃ、１１０４ｄは、エアターンローラである。図１３Ｂに図示されるように、エアターンローラ１１０４ａは、空気１３１５を介してウェブ１１０２ａを浮動させることができ、ウェブ１１０４ａに側方または角度拘束を課さない。いくつかの実施例では、エアターンローラ１１０４ａは、中心シャフト１３２０と、中心シャフト１３２０によって支持される多孔質材料から作製されるカバー１３１８とを含む。中心シャフト１３２０とカバー１３１８との間に、空虚な空間が存在する。空気圧１３１５が、入口１３１６を通して空間上に押圧されることができ、空気１３１５のプレナムがカバー１３１８の最初の位置とカバー１３１８の現在の位置との間に作成されるように、カバー１３１８から逃散し、カバー１３１８を支持する。エアターンローラは、いくつかの利点を提供する、すなわち、１）典型的ｚローラが使用される場合、少量の不整合またはシータ補正が、側方応力を引き起こし、上部・底部パターン整合を変位させ得る、２）ｚローラとウェブとの間の粒子移送の低い危険性がある、３）エアターンの周囲のテンプレート浮動により、大型粒子が、より小さいインプリント面積に影響を及ぼし得る、４）傾斜したウェブが、ローラにわたって真っ直ぐに追跡しない場合がある、５）エアターンが、線形軸１２０６の運動に抵抗しない場合がある。図１３Ｃは、ｚローラ１１０４ａ、１１０４ｂがエアターンローラである、図１２Ａ−５の実装を示す。

【0135】

図１３Ｄは、インプリンティングプロセスのための例示的構成１３３０の概略図を示す。ツール１１００は、外部環境から、インプリントエンジンプロセスゾーン、例えば、図１１Ａのゾーン（ｂ）を隔離するように構成される、チャンバ１３３２を含む。チャンバ１３３２は、一定の温度、例えば、２５℃、および／またはインプリンティングのための清浄度のレベルを有するように制御されることができる。

【0136】

図１３Ｅは、例示的基板装填構成１３５０の概略図を示す。ウェブ１１０２ａは、例えば、ローラ１３０２ａ、１３０４ａ、１３０６ａ、１１０４ａ、１１０４ｂを反時計回り方向に回転させ、ローラ１３０６ａ上に包被することによって、引き戻される、例えば、逆に移動されることができる。同様に、ウェブ１１０２ｂは、ローラ１３０２ｂ、１３０４ｂ、１３０６ｂ、およびローラ１１０４ｃ、１１０４ｄを時計回り方向に回転させ、ローラ１３０６ｂ上に包被することによって、引き戻される、例えば、逆に移動されることができる。ロボット１１０６は、ロボットホルダ１１０８を介して、コンテナ１１１０からブランク基板１１１２を取り、可撓性テンプレートの間の領域の中に挿入するように構成される。基板１１１２は、ウエハ基板であり得、コンテナ１１１０は、ウエハコンテナ１１１０’であり得る。

【0137】

図１３Ｆは、例示的基板装填解除構成１３７０の概略図を示す。ローラ１１０４ｂ、１３０８ａ、１３１０ａ、１３１２ａを回転させることによって、ウェブ１１０２ａは、ローラ１３１２ａ上に包被するように、下向きに引動される、例えば、時計回り方向に前進させられることができる。同様に、ウェブ１１０２ｂは、ローラ１１０４ｄ、１３０８ｂ、１３１０ｂ、１３１２ｂを回転させることによって、ローラ１３１２ｂ上に包被するように、下向きに引動される、例えば、反時計回り方向に前進させられることができる。ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂが下向きに引動されるとき、圧着システムは、解放し、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂは、分離される。完全にインプリントされた基板１１１８が、ニップローラ１２１２ａ、１２１２ｂの位置を通過した後、ニップローラ１２１２ａ、１２１２ｂは、ウェブ１１０２ａ、１１０２ｂを緊密に保持するように相互に接近し得る。完全にインプリントされた基板１１１８は、次いで、退出し、ロボット１１２２のロボットホルダ１１２０によって取られ、インプリントされた基板コンテナ１１２４の中に貯蔵されることができる。基板１１１２は、ウエハ基板であり得、コンテナ１１２４は、両面インプリントされた基板１１１８を貯蔵するためのウエハコンテナ１１２４’であり得る。

【0138】

図に示される丸い基板以外に、異なる形状およびサイズの基板が、本両面プロセス機器を通してインプリントされ得ることに留意されたい。より多くの部品に切断され得る、より大型の基板が起動されるときに、より高い部品スループットが、達成されることができる。また、ＣＲＴの幅は、柔軟であり、より広いウェブは、より大型の基板をインプリントすることができ、より高い部品スループットにつながる。
（同時両面インプリントのための例示的方式）

【0139】

図１４は、基板、例えば、ウエハ基板上の両面インプリンティングのための別の例示的ツール１４００の概略図を示す。例証のみのために、基板は、右から左へ水平方向に進行する。他の構成、例えば、基板が左から右へ、または垂直にさえも進行し得るように逆転されているツールもまた、実装されることができる。

【0140】

底部ウェブ１４０２ａが、２つのｚローラ１４０４ａ、１４０４ｂに沿って延伸される。ウェブ１４０２ａは、テンプレート１４０６ａ、例えば、ＣＲＴを含む。テンプレート１４０６ａは、図１４に図示されるような格子特徴を含むことができる。テンプレート１４０６ａは、基板１４１４が上部装填機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）１４０８ａによって解放されるときに、テンプレート１４０６ａの下の真空チャック１４１６が、基板１４１４、例えば、ウエハを真空で優しく保持し得るように、事前パターン化貫通孔を有するように構成される。真空チャック１４１６は、テンプレート１４０６ａとともに移動可能であり得る。上部装填ＥＦＥＭ１４０８ａは、第１のディスペンサヘッド１４１０ａが、基板１４１４がテンプレート１４０６ａ上に設置される前にテンプレート１４０６ａの格子特徴上にレジストを分注し得、第２のディスペンサヘッド１４１０ｂが、基板１４１４が真空チャック１４１６によってテンプレート１４０６ａ上に保持された後に基板１４１４上にレジストを分注し得るように、一対のディスペンサヘッド１４１０ａ、１４１０ｂの間に位置付けられることができる。

【0141】

別の上部ウェブ１４０２ｂが、２つのｚローラ１４０４ｃ、１４０４ｄに沿って延伸される。ウェブ１４０２ｂは、特徴、例えば、格子特徴または他の特徴を含み得る、テンプレート１４０６ｂ（例えば、ＣＲＴ）を含む。ＵＶ光源１４１２が、テンプレート１４０６ｂの上方に位置付けられることができる。第２のディスペンサヘッド１４１０ｂは、基板１４１４がテンプレート１４０６ｂの下で移動されるときに、第２のディスペンサヘッド１４１０ｂが基板１４１４の上部の上にレジストを既に分注しているように、ｚローラ１４０４ｃの前に配列されることができる。ツール１４００はまた、ｚローラ１４０４ｂに隣接して位置付けられる別の上部装填ＥＦＥＭ１４０８ｂも含む。下記でさらに詳細に議論されるように、上部装填ＥＦＥＭ１４０８ｂは、テンプレート１４０６ａからインプリントを伴う基板１４１４を取るように構成される。

【0142】

図１５Ａ−１５Ｈは、両面インプリンティングのための図１４のツールを使用する例示的手順の概略図を示す。

【0143】

図１５Ａは、底部テンプレート１４０６ａ上にレジスト１５０４ａを分注することの概略図を示す。第１のディスペンサヘッド１４１０ａは、レジスト１５０４ａが、整合マーク１５０２ａの後、例えば、整合マーク１５０２ａの右側のテンプレート１４０６ａの特徴の上に落下されるように、整合マーク１５０２ａが第１のディスペンサヘッド１４１０ａを通過した後にレジスト１５０４ａを分注し始めることができる。ある量のレジスト１５０４ａがテンプレート１４０６ａの特徴の上に落下された後、ウェブ１４０２ａは、移動することを止め、図１５Ｂに示されるように、レジスト１５０４ａがテンプレート１４０６ａの特徴上で拡散するまで、ある時間周期にわたって待機することができる。いくつかの実施例では、テンプレート１４０６ａは、レジスト１５０４ａがテンプレート１４０６ａ内の細部を充填するように、レジストが、精密に、例えば、一様に、落下して拡散し、空気を押し出すことを可能にするように構成される、格子特徴を含む。格子特徴の格子周期は、数十ナノメートル（ｎｍ）〜数十マイクロメートル（μｍ）であり得る。

【0144】

レジスト１５０４ａがテンプレート１４０６ａの特徴の上で拡散した後、ウェブ１４０２ａは、再び移動されることができる。レジスト１５０４ａが上部装填ＥＦＥＭ１４０８ａの下で移動するとき、ウェブ１４０２ａは、停止することができ、基板１４１４は、図１５Ｃに示されるように、上部装填ＥＦＥＭ１４０８ａによってレジスト１５０４ａ上に装填され、真空チャック１４１６によって保持されることができる。したがって、基板１４１４の底面は、レジスト１５０４ａと接触する。

【0145】

次いで、ウェブ１４０２ａは、再び移動されることができる。基板１４１４が第２のディスペンサヘッド１４１０ｂの下に到着するとき、第２のディスペンサヘッド１４１０ｂは、図１５Ｄに示されるように、基板１４１４の頂面上にレジスト１５０４ｂを分注し始める。ある場合には、ウェブ１４０２ａは、レジスト１５０４ｂが基板１４１４の頂面上で拡散するまで待機することを止めることができる。ある場合には、ウェブ１４０２ａが、移動され続ける一方で、レジスト１５０４ｂは、基板１４１４の頂面上で拡散する。ツール１４００は、第２の分注ヘッド１４１０ｂとｚローラ１４０４ｃとの間の距離が、レジスト１５４０ｂが基板１４１４の頂面上で精密に拡散するために十分に長いように、構成されることができる。

【0146】

底面上にレジスト１５０４ａおよび頂面上にレジスト１５０４ｂを伴う基板１４１４がテンプレート１４０６ｂの下で移動されるとき、テンプレート１４０６ｂ上の特徴は、レジスト１５０４ｂに接触し始め、レジスト１５０４ｂは、テンプレート１４０６ｂ上の特徴を充填する。また、整合マーク１５０２ａが、例えば、カメラシステムを介して、テンプレート１４０６ｂ上の別の整合マーク１５０２ｂと整合されるように移動されるとき、上部ウェブ１４０２ｂは、底部ウェブ１４０２ａと同一の速度で移動され始めることができる。また、上部テンプレート１４０６ｂと底部テンプレート１４０６ａとの間の距離は、レジスト１５０４ｂがテンプレート１４０６ａの特徴の中に充填することを可能にするように構成または制御されることができるが、特徴は、基板１４１４の頂面と接触しない。図１５Ｅは、両面インプリンティングを伴う基板１４１４、例えば、上部テンプレート１４０６ｂと接触する上部レジスト１５０４ｂおよび底部テンプレート１４０６ａと接触する底部レジスト１５０４ａの概略図を示す。

【0147】

上部レジスト１５０４ｂおよび底部レジスト１５０４ａを伴う基板１４１４、およびテンプレート１４０６ｂおよび１４０６ａが、ＵＶ光源１４１２の下で移動されるとき、ＵＶ光源１４１２は、テンプレート１４０６ｂおよび１４０６ａ上の特徴が基板１４１４の頂面および底面上のレジスト上にインプリントされ得るように、レジスト１５０４ａおよび１５０４ｂを硬化させるためにオンにされることができる。インプリントされたレジストを伴う基板１４１４は、インプリントされた基板１４１４’として留意される。

【0148】

レジスト１５０４ａ、１５０４ｂが基板１４１４上に硬化された後、上部ウェブ１４０２ｂは、図１５Ｆに図示されるように、テンプレート１４０６ｂがインプリントされた基板１４１４’から分離されるように、ｚローラ１４０４ｄの周囲で上向きに引動される。これを達成するために、ローラ１４０４ｂは、ｚローラ１４０４ｄから距離を伴って位置付けられることができる。

【0149】

ウェブ１４０２ａはさらに、上部装填ＥＦＥＭ１４０８ｂの下まで移動される。真空チャック１４１６は、基板１４１４’を解放することができ、上部装填ＥＦＥＭ１４０８ｂは、図１５Ｇに図示されるように、インプリントされた基板１４１４’を取ることができる。インプリントされた基板１４１４’を保持する上部装填ＥＦＥＭ１４０８ｂは、図１５Ｈに図示されるように、インプリントされた基板１４１４’が底部テンプレート１４０６ａから分離されるように、前方に、例えば、ｚローラ１４０４ｂの左側に、移動することができる。

【0150】

上記で説明されるような両面インプリンティングのためのツール１４００を使用することは、いくつかの利点を提供することができる。第１に、いかなる基板位置合わせも必要とされない。第２に、整合が、インプリント関連の困難を排除するように、上部テンプレートから底部テンプレートに実装される。第３に、底部テンプレートは、基板の緩やかな真空保持を可能にするように、かつ上部テンプレートからの分離中に基板が保持されることを保証するように、事前パターン化貫通孔を有することができる。第４に、ツールは、上部および底部インプリントの両方において基板損失または分離失敗を引き起こす高い分離力を回避し得る、低い分離力を用いた緩やかな分離方式を可能にすることができる。第５に、底部テンプレートは、底部テンプレート上のレジスト拡散を可能にし、底部インプリントの充填懸念を排除するように構成される、格子特徴を有する。
（例示的両面インプリンティングプロセス）

【0151】

図１６は、基板上に両面インプリントを加工する例示的プロセス１６００のフロー図である。プロセス１６００は、上記に説明されるデバイス、システム、および／またはツール、例えば、図１１−１３Ｆのインプリンティングツール１１００によって実施されることができる。

【0152】

第１のウェブが、第１のローラに沿って延伸され、第２のウェブが、第２のローラに沿って延伸される（１６０２）。第１のウェブは、第１のインプリンティング特徴、例えば、格子特徴を含む、第１のテンプレートを含む。第２のウェブは、第２のインプリンティング特徴、例えば、格子特徴を含む、第２のテンプレートを含む。

【0153】

いくつかの実装では、第１のローラは、垂直方向に配列される２つの第１のｚローラを含み、第２のローラは、垂直方向に配列される２つの第２のｚローラを含む。第１のｚローラは、距離を伴って第２のｚローラの反対側に位置付けられることができる。第１のウェブは、反時計回り方向へ第１のｚローラに沿って延伸されることができ、第２のウェブは、時計回り方向へ第２のｚローラに沿って延伸されることができる。

【0154】

いくつかの実施例では、第１のローラは、空気圧によって第１のウェブを浮動させるように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含む。エアターンローラは、図１３Ａ−１３Ｂのローラ１１０４ａであり得る。第２のローラもまた、空気圧によって第２のウェブを浮動させるように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含むことができる。いくつかの実施例では、第１のローラは、真空によって第１のウェブをチャックするように構成される、少なくとも１つのエアターンローラ、例えば、図３Ｂの空気軸受ターンバー３５４を含む。

【0155】

第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークが、整合される（１６０４）。カメラシステム（例えば、図１２Ａ−１の整合カメラ１２０２ａ、１２０２ｂ）またはレーザシステム（例えば、図５Ａのレーザ５０４およびセンサ５０８）が、整合のための第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークの場所を特定する（または検出する）ために使用されることができる。整合システムは、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートが相互と整合される、例えば、第１のインプリンティング特徴が第２のインプリンティング特徴と整合されるように、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるために使用されることができる。

【0156】

いくつかの実施例では、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、第１のウェブ上の第１の参照マークを第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させ、第１のウェブ上の第３の参照マークを第２のウェブ上の第４の参照マークと整合させるステップを含む。第１の参照マークおよび第３の参照マークは、基板が第１のテンプレートを用いてインプリントされるように構成される範囲を画定することができる。第２の参照マークおよび第４の参照マークは、基板が第２のテンプレートを用いてインプリントされるように構成される範囲を画定することができる。

【0157】

いくつかの実装では、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、図１２Ａ−１−１２Ａ−５において上記で議論されるように、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに第１のローラのうちのｚローラを移動させるステップを含む。

【0158】

いくつかの実装では、整合させるステップの後に、第１のウェブおよび第２のウェブは、圧着された第１のウェブおよび第２のウェブが、相互と整合される第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを伴って移動されるように、参照マークに隣接する場所で圧着される。例えば、図１２Ｂ−１に図示されるように、圧着場所は、第１の参照マークの下流にある。

【0159】

第１のウェブおよび第２のウェブは、圧着システムによってともに圧着されることができる。圧着システムは、チャックと、クランプとを含むことができる。チャックは、真空チャック、例えば、図１２Ａ−１の真空チャック１２０８であり、真空で第１のウェブ上にチャックするように構成されることができる。クランプは、図１２Ａ−１のクランプ１２１０であり得る。チャックは、チャックが１のウェブ上にあり、クランプが第２のウェブ上にあるように、クランプを用いてチャックするように作動されることができる。

【0160】

ある場合には、チャックは、第１のローラによって画定される軸と平行なレールに沿って移動可能であるように構成され、チャックおよびクランプは、圧着後に第１のウェブおよび第２のウェブとともに移動される。図１２Ｂ−３に図示されるように、チャックは、一対のガイド上に位置付けられることができ、ガイドはそれぞれ、フレームに接続される個別のレール上で移動可能である。第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに個別のレール上のガイドの相対位置を調節するステップを含むことができる。張力センサが、第１のウェブの張力を測定するように、第１のローラのうちの１つに結合されることができる。別の張力センサが、第２のウェブの張力を測定するように、第２のローラのうちの１つに結合されることができる。

【0161】

いくつかの実装では、チャンバが、少なくとも第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを包囲するために使用される。チャンバは、図１３Ｄのチャンバ１３３２であり得る。コントローラは、チャンバの温度および／または清浄度を制御するように構成されることができる。

【0162】

第１のウェブは、第１のテンプレートを第１のディスペンサに暴露するように、第１の方向へ第１のローラに沿って延伸され、第２のウェブは、第２のテンプレートを第２のディスペンサに暴露するように、第２の方向へ第２のローラに沿って延伸される（１６０６）。第１のテンプレートは、水平方向かつ第１のディスペンサの下にあるように延伸されることができる。第２のテンプレートは、水平方向かつ第２のディスペンサの下にあるように延伸されることができる。

【0163】

第１のディスペンサは、第１のテンプレート上に第１のレジストを分注し、第２のディスペンサは、第２のテンプレート上に第２のレジストを分注する（１６０８）。第１のディスペンサは、第１のテンプレートが第１のディスペンサを通過している間に第１のレジストを分注することができる。第２のディスペンサは、第２のテンプレートが第２のディスペンサを通過している間に第２のレジストを分注することができる。

【0164】

第１のテンプレートが第１のレジストで完全に被覆され、第２のテンプレートが第２のレジストで完全に被覆されるとき、第１のウェブおよび第２のウェブは、第１のレジストを伴う第１のテンプレートおよび第２のレジストを伴う第２のテンプレートが相互に面するように、逆に延伸される（１６１０）。例えば、第１のウェブは、レジストのための第１のテンプレートを露出するように反時計回り方向へ上向きに延伸されることができ、第１のウェブは、次いで、第１のテンプレートを下に引動するように、時計回りへ下向きに延伸されることができる。同様に、第２のウェブは、レジストのための第２のテンプレートを露出するように時計回り方向へ上向きに延伸されることができ、第２のウェブは、次いで、第２のテンプレートを下に引動するように、反時計回りへ下向きに延伸されることができる。

【0165】

基板が、第１のレジストを伴う第１のテンプレートと第２のレジストを伴う第２のテンプレートとの間に挿入される（１６１２）。基板は、剛性基板、例えば、シリコンウエハのようなウエハ基板であり得る。ロボットは、基板の縁を握持し、第１のテンプレートと第２のテンプレートとの間の間隙の中に基板を送給するように制御されることができる。いくつかの実装では、第１のローラおよび第２のローラは、挿入するステップの後に、基板が、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートとともに移動され、第１のレジストが、例えば、第１のローラのうちの１つによって、基板の第１の側面上に押圧され、第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填され、第２のレジストが、例えば、第２のローラのうちの１つによって、基板の第２の側面上に押圧され、第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、配列される。

【0166】

いくつかの実装では、第１のスキージローラは、第１のレジストが第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、第１のテンプレートを第１のレジストの中に押動させるために第１のウェブ上に移動され、第２のスキージローラは、第２のレジストが第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、第２のテンプレートを第２のレジストの中に押動させるために第２のウェブ上に移動される。第１のスキージローラおよび第２のスキージローラは、第１のスキージおよび第２のスキージをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられることができる。第１のスキージローラまたは第２のスキージローラは、図６Ａのスキージローラ６０８であり得る。

【0167】

基板および第１のテンプレート、第２のテンプレートが、インプリンティングゾーンに進入するとき、光源、例えば、ＵＶ光源は、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、照射し、第１のレジストおよび第２のレジストを硬化させることができる（１６１４）。そのような方法で、基板は、両面インプリントされた特徴を伴ってインプリントされる。

【0168】

いくつかの実装では、硬化後、第１のウェブおよび第２のウェブは、硬化した第１のレジストおよび第２のレジストを伴う基板が、第１のウェブと第２のウェブとの間の間隙を通過することが可能であるように、圧着解除される。

【0169】

両面インプリントされた基板が、装填解除される（１６１６）。基板は、別のロボットによって装填解除され、コンテナ、例えば、図１１Ａのコンテナ１１２４の中に貯蔵されることができる。

【0170】

図１７は、基板上に両面インプリントを加工する別の例示的プロセス１７００のフロー図である。プロセス１７００は、上記に説明されるデバイス、システム、および／またはツール、例えば、図１４−１５Ｈのインプリンティングツール１４００によって実施されることができる。

【0171】

第１のウェブが、第１のローラに沿って延伸される（１７０２）。第１のウェブは、第１のインプリンティング特徴、例えば、格子特徴を有する、第１のテンプレートを含む。第１のローラは、水平方向に配列される２つのｚローラを含むことができ、右から左に延伸されることができる。いくつかの実装では、第１のローラは、空気圧によって第１のウェブを浮動させるように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含む。第１のローラは、真空によって第１のウェブをチャックするように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含むことができる。

【0172】

第１のレジストが、第１のテンプレート上に分注される（１７０４）。第１のディスペンサは、第１のテンプレートの始めが第１のディスペンサの下で移動するときに第１のテンプレート上で第１のレジストを分注し始め、第１のテンプレートの終わりが第１のディスペンサから離れるときに終了することができる。第１のレジストが第１のテンプレート上に分注された後、ツールは、第１のレジストが第１のテンプレートの第１のインプリンティング特徴の中に拡散するまで、ある時間周期にわたって待機することができる。いくつかの実装では、第１のインプリンティング特徴は、格子特徴を含み、格子特徴は、第１のレジストが格子特徴の中に一様に充填するように構成される。他のインプリンティング特徴もまた、使用され、第１のレジストを一様に拡散するように構成されることができる。

【0173】

基板が、第１のテンプレート上に装填される（１７０６）。基板の第１の側面、例えば、底面は、第１のテンプレート上の第１のレジストと接触する。特に、基板の第１の側面は、第１のテンプレートの第１のインプリンティング特徴の反対に装填される。基板は、剛性基板、例えば、シリコンウエハであり得る。ホルダ、例えば、図１４の上部装填ＥＦＥＭ１４０８ａが、基板を保持し、第１のテンプレート上に解放するために使用されることができる。ホルダは、第１のウェブの移動方向に沿って第１のディスペンサの隣に配列されることができる。

【0174】

基板は、基板が第１のテンプレートとともに移動可能であるように、第１のテンプレート上に圧着される（１７０８）。チャック、例えば、図１４の真空チャック１４１６が、第１のテンプレート上に基板をチャックするために使用されることができる。いくつかの実装では、第１のテンプレートは、１つ以上の事前パターン化貫通孔を含み、基板は、１つ以上の事前パターン化貫通孔を通して、真空チャックによって真空で保持されることができる。真空チャックは、移動可能であり、圧着後に第１のウェブおよび基板とともに移動されることができる。

【0175】

第２のレジストが、基板の第２の側面、例えば、基板の上部側上に分注される（１７１０）。第２のディスペンサが、ホルダの隣に配列され、基板が第２のディスペンサの下に移動されるときに基板上に第２のレジストを分注し始めることができる。

【0176】

第２のウェブが、第２のローラに沿って延伸される。第２のウェブは、基板上にインプリントされる第２のインプリンティング特徴を有する、第２のテンプレートを含む。第２のローラは、水平方向に配列される２つの第２のｚローラを含むことができる。図１４に図示されるように、２つの第１のｚローラは、第１のウェブのための第１の移動範囲を画定し、第２のｚローラは、第２のウェブのための第２の移動範囲を画定する。第１の移動範囲は、第２の移動範囲よりも大きく、第２の移動範囲を包囲する。第１のローラおよび第２のローラは、第１のウェブと第２のウェブとの間の間隙を画定するように配列されることができる。間隙は、垂直距離を有する。

【0177】

第１のウェブおよび第２のウェブ参照マークが、整合される（１７１２）。図１５Ｄに図示されるように、第１のウェブ上の第１の参照マークは、第１のウェブの延伸の方向に沿って第１のインプリンティング特徴の前に、例えば、基板が圧着される位置の左に、配列されることができる。第２のウェブ上の第２の参照マークもまた、本方向に沿って第２のインプリンティング特徴の前に、例えば、第２のインプリンティング特徴が基板の第２の側面上にインプリントされる位置の左に、配列されることができる。

【0178】

整合のために、第２のウェブは、静的であり、第１のウェブ上の第１の参照マークが第２の参照マークの近くに移動することを待機することができる。視覚システムが、第２の参照マークおよび／または第１の参照マークの場所を特定するために使用されることができる。第１の参照マークが第２の参照マークと合致するように移動されるとき、第１のテンプレートは、第２のテンプレートと整合され、例えば、第１のインプリンティング特徴は、第２のインプリンティング特徴と整合される。

【0179】

整合後に、第１のウェブおよび第２のウェブは、同一の速度で同時に延伸される（１７１４）。いくつかの実装では、第２の参照マークは、第２のｚローラのうちの１つに隣接して配列される。第１のウェブ上の第１の参照マークが第２の参照マークと合致するように移動されるとき、第２のウェブは、第２のｚローラに沿って延伸され始め、第２のテンプレートは、例えば、第２のｚローラのうちの１つによって、基板の第２の側面上の第２のレジストの中に押圧され始める。第１のウェブと第２のウェブとの間の間隙の垂直距離は、第２のテンプレートが第２のレジストの中に押圧され、第２のレジストが第２のテンプレートの第２のインプリンティング特徴の中に充填するように構成されることができる。

【0180】

いくつかの実装では、間隙の垂直距離は、基板が間隙の中に移動されるときに、第２のレジストが第２のテンプレートと接触しないように高い。第１のウェブ上の第１の参照マークおよび第２のウェブ上の第２の参照マークが整合されるとき、第２のｚローラは、第２のウェブとともに、第２のテンプレートが基板の第２の側面上の第２のレジストの中に押圧されるように、垂直に下向きに移動されることができる。

【0181】

いくつかの実装では、スキージローラ、例えば、図６Ａのスキージローラ６０８は、第２のレジストが第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、第２のテンプレートを第２のレジストの中に押動するために、２つの第２のｚローラの間で、第２のウェブ上で移動される。ある場合には、第１のレジストはまた、スキージローラによって第１のインプリンティングの中に押圧されることもできる。

【0182】

第１のレジストおよび第２のレジストが、硬化される（１７１６）。光源、例えば、ＵＶ光源は、２つの第２のｚローラの間に位置付けられ、基板が第１のテンプレートと第２のテンプレートとの間にあり、第１のレジストおよび第２のレジストが両方とも、それぞれ、第１のインプリンティング特徴および第２のインプリンティング特徴の中に押圧されるとき、第１のレジストおよび第２のレジストを硬化させることができる。したがって、硬化した第１のレジストは、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有することができ、硬化した第２のレジストは、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有することができる。

【0183】

両面インプリントされた基板が、装填解除される（１７１８）。いくつかの実装では、硬化後に、第２のウェブは、基板から分離するように、第２のｚローラのうちの１つに沿って延伸され、上向きに引動され、次いで、ホルダ、例えば、図１４の上部装填ＥＦＥＭ１４０８ｂが、第１のテンプレートの下の真空チャックが基板を解放している間に基板を取るために使用される。

【0184】

図１８は、基板上に両面インプリントを加工する第３の例示的プロセス１８００のフロー図である。プロセス１８００は、上記に説明されるデバイス、システム、および／またはツール、例えば、図９のインプリンティングツール９００または図１０のインプリンティングツール１０００によって実施されることができる。

【0185】

第１のウェブが、第１のローラに沿って延伸され、第２のウェブが、第２のローラに沿って延伸される（１８０２）。第１のウェブは、基板の一方の側面上にインプリントされる第１のインプリンティング特徴を有する、第１のテンプレートを含み、第２のウェブは、基板の他方の側面上にインプリントされる第２のインプリンティング特徴を有する、第２のテンプレートを含む。第１のテンプレートおよび第２のテンプレートは、インプリンティングゾーンの中にともに運ばれる。

【0186】

第１のテンプレートおよび第２のテンプレートのための参照マークが、整合される（１８０４）。カメラシステムまたはレーザシステムが、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートの整合のための第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを検出するために使用されることができる。例えば、第１のウェブ上の第１の参照マークを第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させることによって、第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴は、第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴と整合されることができる。

【0187】

第１のレジストが、基板の第１の側面上に分注され、第２のレジストが、基板の第２の側面上に分注される（１８０６）。第１のレジストおよび第２のレジストは、表面張力によって基板の側面上で保持されることができる。

【0188】

基板が、インプリンティングゾーンの中に、かつ第１のテンプレートと第２のテンプレートとの間に送給される（１８０８）。ある場合には、基板は、剛性、例えば、シリコンウエハであり、基板は、ホルダを使用して基板の縁を握持することによって、提供されることができる。ある場合には、図１０に図示されるように、基板は、可撓性であり、基板は、ローラに沿ってブランク基板のロールから引動することによって提供されることができる。

【0189】

いくつかの実装では、第１のローラは、水平方向に配列される２つの第１のｚローラを含み、第２のローラは、水平方向に配列される２つの第２のｚローラを含む。第１のローラおよび／または第２のローラは、第１のウェブと第２のウェブとの間の垂直距離を増加または減少させるように垂直に移動されることができる。

【0190】

第１のテンプレートおよび第２のテンプレートは、第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のテンプレートの第１のインプリンティング特徴の中に充填し、第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のテンプレートの第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、基板上に押圧される（１８１０）。

【0191】

いくつかの実装では、第１のプレスドームが、例えば、第１のテンプレートの裏面から、第１のテンプレートに適用される。第１のプレスドームは、ガラスドーム、例えば、図２のガラスドーム２０４または図４Ｂの４５４であり得る。第１のプレスドームは、環状リング真空チャック、例えば、図１の真空チャック１０４であり得る。いくつかの実装では、第２のウェブは、平面支持体、例えば、図１のステージ１３０、または図２のステージアセンブリ２３０によって支持される。いくつかの実装では、第２のプレスドームが、例えば、第２のウェブの裏面から、第２のテンプレートに適用される。第２のプレスドームは、ガラスドーム、例えば、図２のガラスドーム２０４または図４Ｂの４５４であり得る。第２のプレスドームは、環状リング真空チャック、例えば、図１の真空チャック１０４であり得る。

【0192】

いくつかの実装では、参照マークの整合後に、第１のプレスドームおよび第２のプレスドームは、第１のウェブおよび第２のウェブと接触させられる。第１のプレスドームまたは第２のプレスドームが第１のウェブまたは第２のウェブと接触した後に、最適なテンプレート整合に関してわずかな補正を行うように構成される、第１のプレスドームまたは第２のプレスドームの微調節軸が存在し得る。第１および第２のプレスドームは、第１および第２のプレスドームが一体となるにつれて、基板のｚ位置が第１および第２のプレスドームの位置によって決定されるように、均等に一体となることができる。第１および第２のプレスドームが完全に扁平であるとき、第１および第２のテンプレートは、第１のレジストおよび第２のレジストで完全に充填されることができる。

【0193】

いくつかの実装では、基板上に第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを押圧するステップは、第１のレジストが第１のテンプレート上に第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、第１のウェブ上で第１のスキージローラを移動させ、第１のテンプレートを第１のレジストの中に押動させるステップ、および／または第２のレジストが第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、第２のウェブ上で第２のスキージローラを移動させ、第２のテンプレートを第２のレジストの中に押動させるステップを含む。第１のスキージローラおよび第２のスキージローラは、第１のスキージおよび第２のスキージをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられることができる。

【0194】

第１のレジストおよび第２のレジストは、例えば、ＵＶ光源によって、硬化される（１８１２）。硬化した第１のレジストは、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有することができ、硬化した第２のレジストは、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有することができる。

【0195】

両面インプリントされた基板が、装填解除される（１８１４）。例えば、第１のウェブは、基板から第１のテンプレートを分離するように、第１のローラのうちの１つから引き離されることができる。第２のウェブは、基板から第２のテンプレートを分離するように、第２のローラのうちの１つから引き離されることができる。いくつかの実装では、第１のプレスドームおよび／または第２のプレスドームは、最初に、第１のウェブおよび／または第２のウェブから後退される。

【0196】

いくつかの実装では、基板が第１のテンプレートから分離された後、第１の保護膜が、基板の第１の側面上の硬化した第１のレジスト上に適用される。基板が第２のテンプレートから分離された後、第２の保護膜が、基板の第２の側面上の硬化した第２のレジスト上に適用されることができる。特に、第１のおよび／または第２の保護膜を伴う、両面インプリントされた基板は、ローラにわたってロールに巻回されることができる。

【0197】

図１９は、基板上に両面インプリントを加工する第４の例示的プロセス１９００のフロー図である。プロセス１９００は、上記に説明されるデバイス、システム、および／またはツール、例えば、図８のインプリンティングツール８００によって実施されることができる。

【0198】

第１のウェブが、第１のローラおよび第２のローラに沿って延伸される（１９０２）。第１のウェブは、第１のインプリンティング特徴を有する、第１のテンプレートを含む。第１のローラおよび第２のローラは、第１の方向、例えば、水平方向または垂直方向に位置付けられることができる。

【0199】

第２のウェブが、第３のローラおよび第４のローラに沿って延伸される（１９０４）。第２のウェブは、第２のインプリンティング特徴を有する、第２のテンプレートを含む。第３のローラおよび第４のローラは、第１の方向と同一の第２の方向、例えば、水平方向または垂直方向に位置付けられることができる。第１のローラおよび第３のローラは、相互の反対側に位置付けられ、ニップを画定する。ステップ１９０２およびステップ１９０４は、同時に実行され得ることに留意されたい。

【0200】

第１のテンプレートおよび第２のテンプレートのための参照マークは、第１のテンプレートが第２のテンプレートと整合されるように、整合される（１９０６）。上記のように、カメラシステムまたはレーザシステムが、整合のための第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークの場所を特定するために、使用されることができる。加えて、整合システムが、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートのための参照マークを整合させるために、使用されることができる。例えば、精度調節軸は、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートが相互と整合させられ得るように、第１のウェブおよび第２のウェブのためのウェブ支持体の間に分配されることができる。

【0201】

第１のレジストが、基板の第１の側面または第１のテンプレート上に分注され、第２のレジストが、基板の第２の側面または第２のテンプレート上に分注される（１９０８）。ある場合には、第１のレジストおよび第２のレジストは、基板の両側に分注されることができる。ある場合には、図８に図示されるように、第１のレジストは、基板の第１の側面上に分注され、第２のレジストは、第２のテンプレート上に分注される。

【0202】

第１のテンプレートおよび第２のテンプレートは、ニップの中に同時に延伸され、基板は、同時にニップの中に送給される（１９１０）。第１のインプリンティング特徴は、基板の第１の側面に面し、第２のインプリンティング特徴は、基板の第２の側面に面し、第１のレジストは、第１のローラによって基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴の中に押圧されることができ、第２のレジストは、第３のローラによって基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴の中に押圧されることができる。基板は、基板の縁を握持するホルダを使用することによって、ニップの中に送給されることができる。基板は、剛性基板、例えば、ウエハであり得る。

【0203】

いったん基板が第１のテンプレートおよび第２のテンプレートと完全に接触すると、第１のウェブ、第２のウェブ、および基板は、移動することを止めることができる。第１のレジストおよび第２のレジストは、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、例えば、ＵＶ光によって、硬化される（１９１２）。

【0204】

両面インプリントされた基板が、装填解除される（１９１４）。いくつかの実装では、ステップ１９１４は、図１８のステップ１８１４に類似し得る。基板が第１のテンプレートおよび第２のテンプレートから分離されるように、第１のウェブは、第２のローラから引き離されることができ、第２のウェブは、第４のローラから引き離されることができる。基板は、別のホルダによって握持されることができる。いくつかの実装では、第１のウェブは、逆に延伸されて第１のローラから引き離され、第２のウェブは、逆に延伸されて第３のローラから引き離される。基板は、送給のために同一のホルダによって後退される。そのような方法で、基板は、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートから分離されることができる。

【0205】

いくつかの実装が、説明されている。それでもなお、種々の修正が、本明細書に説明される技法およびデバイスの精神および範囲から逸脱することなく行われ得ることを理解されたい。実装のそれぞれに示される特徴は、独立して、または相互と組み合わせて使用されてもよい。付加的特徴および変形例も、実装に含まれてもよい。故に、他の実装も、以下の請求項の範囲内である。

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図5D】

【図5E】

【図5F】

【図5G】

【図5H】

【図6A】

【図6B】

【図7A】

【図7B】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11A】

【図11B】

【図12A-1】

【図12A-2】

【図12A-3】

【図12A-4】

【図12A-5】

【図12B-1】

【図12B-2】

【図12B-3】

【図12C】

【図12D】

【図12E】

【図12F】

【図12G】

【図12H】

【図12I】

【図13A】

【図13B】

【図13C】

【図13D】

【図13E】

【図13F】

【図14】

【図15-1】

【図15-2】

【図15-3】

【図15-4】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】