特許第6934521号(P6934521)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6934521ジルコニウム、ハフニウム、チタン前駆体およびそれを使用する第4族含有膜の堆積
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  • 特許6934521-ジルコニウム、ハフニウム、チタン前駆体およびそれを使用する第4族含有膜の堆積 図000010
  • 特許6934521-ジルコニウム、ハフニウム、チタン前駆体およびそれを使用する第4族含有膜の堆積 図000011
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