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▶ レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロードの特許一覧
特許6934521ジルコニウム、ハフニウム、チタン前駆体およびそれを使用する第４族含有膜の堆積
発明の名称 ジルコニウム、ハフニウム、チタン前駆体およびそれを使用する第４族含有膜の堆積
出願人 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード （識別番号 591036572）
特許公開件数ランキング 601 位（14件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 483 位（17件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6934521
公報発行日 2021年9月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6934521
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