特許第6936358号(P6936358)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6936358発光デバイスにおいて層を成長させるためにリモートプラズマ化学気相堆積およびスパッタリング堆積を使用するための方法
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