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特許6936986インプリント装置、インプリント装置の運転方法及びデバイスの製造方法
発明の名称 インプリント装置、インプリント装置の運転方法及びデバイスの製造方法
出願人 旭化成エンジニアリング株式会社 （識別番号 116736）
特許公開件数ランキング 11848 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 9171 位（1件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人東北大学 （識別番号 504157024）
特許公開件数ランキング 393 位（184件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 235 位（183件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社ミノグループ （識別番号 592162564）
特許公開件数ランキング 11848 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24916 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6936986
公報発行日 2021年9月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6936986
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