特許6937986誘電破壊を用いて固体膜に開孔を形成するための方法及び機器

発明の名称　誘電破壊を用いて固体膜に開孔を形成するための方法及び機器

出願人　オックスフォード　ナノポール　テクノロジーズ　リミテッド　（識別番号 511252899）

　　　　特許公開件数ランキング 1270 位（17件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5520 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6937986

公報発行日　2021年9月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6937986

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