特許6943629真空ポンプとその加熱装置

発明の名称　真空ポンプとその加熱装置

出願人　エドワーズ株式会社　（識別番号 508275939）

　　　　特許公開件数ランキング 1000 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1020 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6943629

公報発行日　2021年10月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6943629

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