特許6947437半導体基板洗浄装置

発明の名称　半導体基板洗浄装置

出願人　エーシーエム　リサーチ　（シャンハイ）　インコーポレーテッド　（識別番号 510005650）

　　　　特許公開件数ランキング 1151 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2323 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6947437

公報発行日　2021年10月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6947437

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