発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

上述したように、半導体製造装置においては、異なる種類の液体材料を貯蔵する複数の気化器が左右方向に隣接して壁面に固定されることが多い。このため、個々の気化器を正面から見た場合における左右方向の幅を狭くして、全体の幅を小さくしたいという要求がある。また、一台の気化器の内部にタンクを共通とする複数のガス供給ラインを設けることによって、設置する気化器の台数を削減したいという要求もある。 ところが、図１１及び図１２に例示した従来技術に係る気化器１ａにおいては、キャビネット３の取り外し可能な面である脱着面３ｂとは反対側の取付面３ｃの側において流量測定手段５及びバルブ８がヒータプレート７に固定されている。このため、上述したように例えば点検又は修理等を目的として流量測定手段５及び／又はバルブ８をヒータプレート７から取り外そうとしても、脱着面３ｂの側からドライバ等の工具を操作して流量測定手段５及びバルブ８を取り外すことは容易ではない。液体材料から発生したガスを供給するための導管４以外の配管等がキャビネット３の内部に追加して配置されている場合、このような操作は更に困難となる。 また、流量測定手段固定ベース５ｂ及びバルブ固定ベース８ｂはそれぞれ継手によって導管４に接合されており、流量測定手段５及びバルブ８をヒータプレート７から取り外すためには、スパナ等の工具を用いてこれらの接合を解除する必要がある。しかしながら、導管４もまた脱着面３ｂとは反対側の取付面３ｃの側に位置しているため、キャビネット３の狭い空間の中でスパナ等の工具を操作して継手による接合を解除することもまた容易ではない。 危惧から、従来技術に係る気化器１ａにおいて流量測定手段５及びバルブ８の取り付け並びに取り外しを容易にするためには、工具の操作に必要な空間をキャビネット３の内部に確保しなければならなかった。このため、従来技術に係る気化器１ａにおいては、気化器の幅を狭くしたり、気化器の内部に複数のガス供給ラインを設けたりしたいという要求に応えることが難しかった。 本発明は、諸課題に鑑みてなされたものであり、気化器の幅を狭くしたり、気化器の内部に複数のガス供給ラインを設けたりした場合においても、気化器に設置された流量測定手段及びバルブを点検又は修理等を目的として取り外したり、再度取り付けたりする操作を容易に行うことができる気化器を提供することを目的としている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明に係る気化器によれば、工具の操作に必要な空間をキャビネットの内部に確保しなくても、流量測定手段を第１支持部材から取り外して点検したり、修理又は交換した流量測定手段を再び第１支持部材に取り付けたりする操作を容易に行うことができる。このため、気化器の幅を従来よりも狭くしたり、気化器の内部に複数のガス供給ラインを設けたりすることができる。