特許6948140ＤＣマグネトロンスパッタリング

発明の名称　ＤＣマグネトロンスパッタリング

出願人　エスピーティーエス　テクノロジーズ　リミティド　（識別番号 512221197）

　　　　特許公開件数ランキング 1403 位（14件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2358 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6948140

公報発行日　2021年10月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6948140

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