特許 6952718 基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム、および表示システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6952718

(24)【登録日】2021年9月30日

(45)【発行日】2021年10月20日

(54)【発明の名称】基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム、および表示システム

(51)【国際特許分類】

   G06Q 10/00 20120101AFI20211011BHJP

   G05B 19/418 20060101ALI20211011BHJP

   G06Q 50/04 20120101ALI20211011BHJP

【ＦＩ】

   G06Q10/00 300

   G05B19/418 Z

   G06Q50/04

【請求項の数】8

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2018-558566(P2018-558566)

(86)(22)【出願日】2016年12月27日

(86)【国際出願番号】JP2016088898

(87)【国際公開番号】WO2018122962

(87)【国際公開日】20180705

【審査請求日】2019年4月12日

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】特許業務法人 共立

(72)【発明者】

【氏名】森田 幸寿

【審査官】 谷川 智秀

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−００５８１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１４１８０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−０９９６０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１９６２０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３２９０６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２３８０８５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０６Ｑ １０／００−９９／００

Ｇ０５Ｂ １９／４１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の生産拠点にそれぞれ設けられ、前記生産拠点に配設された基板生産ラインの稼動情報を集計して、前記生産拠点の稼働状況を表す平均設備効率を含んだ拠点情報を作成する複数の拠点集計部と、
複数の前記生産拠点に対応して設けられ、前記拠点集計部の前記拠点情報を伝送する複数の情報伝送部と、
複数の前記情報伝送部からそれぞれ受け取った前記拠点情報に含まれる前記平均設備効率を集計して、全部の前記生産拠点の全体の稼働状況を表す全体平均設備効率を含んだ全体情報を作成する全体集計部と、
全部の前記生産拠点を複数のエリアに分割し、前記拠点情報および前記全体情報の少なくとも一方に基づいて、前記エリア内の前記生産拠点の稼働状況を表すエリア平均設備効率を前記エリアごとに求め、求めた複数の前記エリア平均設備効率を出力するとともに、前記基板生産ラインに対して実行可能なアクションを遠隔指示するスイッチを表示するエリア比較出力部と、
を備える基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。

【請求項2】

前記全体集計部およびエリア比較出力部は、クラウドサーバを利用して実現される請求項１に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。

【請求項3】

前記エリアは、複数の上層エリアと、少なくとも一つの前記上層エリアが分割された複数の下層エリアと、を含む二層以上の階層構造をもち、
前記エリア比較出力部は、前記上層エリアごとに前記エリア平均設備効率を求め、かつ、第一上層エリアが指定されたときに、前記第一上層エリアが分割された複数の前記下層エリアを対象として複数の前記エリア平均設備効率を求める請求項１または２に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。

【請求項4】

前記エリアの前記階層構造は、前記生産拠点、または、前記基板生産ライン、または、前記基板生産ラインの構成要素である基板生産機のいずれかを最下層エリアとし、
前記エリア比較出力部は、複数の前記エリア平均設備効率を求める対象となる前記エリアの層を指定に応じて下層側に移すドリルダウン処理、および、複数の前記エリア平均設備効率を求める対象となる前記エリアの層を指定に応じて上層側に移すドリルアップ処理が可能である請求項３に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。

【請求項5】

前記エリア比較出力部は、前記スイッチの操作にしたがい、前記基板生産ラインまで伝送される前記アクションの内容を出力するアクション出力部を含む請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。

【請求項6】

前記エリア比較出力部から出力された前記エリア平均設備効率は、モバイル端末を用いて確認可能である請求項１〜５のいずれか一項に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。

【請求項7】

前記全体集計部は、前記拠点集計部が集計を行うときの集計条件を指示する集計条件指示部を含む請求項１〜６のいずれか一項に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。

【請求項8】

複数の生産拠点に配設された基板生産ラインに適用される表示システムであって、
全部の前記生産拠点を複数のエリアに分割し、各前記生産拠点から受け取る拠点情報に含まれて前記基板生産ラインの稼働状況を表す平均設備効率に基づき、前記エリア内の前記生産拠点の稼働状況を表すエリア平均設備効率を前記エリアごとに求め、求めた複数の前記エリア平均設備効率とともに前記基板生産ラインに対して実行可能なアクションを遠隔指示するスイッチを表示する表示部、を備える基板生産ラインの表示システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の生産拠点に設けられた基板生産ラインの稼動情報をモニタリングするシステム、および表示するシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

多数の部品が実装された基板を生産する基板生産機として、はんだ印刷機、電子部品装着機、リフロー機、基板検査機などがある。これらの基板生産機を連結して基板生産ラインを構成することが一般的になっている。基板生産工場などの生産拠点には、複数の基板生産ラインが設けられる場合が多い。この場合、複数の基板生産ラインの稼動状況を表す稼動情報を取得し、稼動情報を集計して出力し、生産管理者に提示することが行われる。この種の稼動情報のモニタリングに関する技術例が特許文献１、２に開示されている。

【0003】

特許文献１の監視装置は、監視対象の稼動実績を表す指標の時系列データを取得する稼動実績取得部と、同じ時点の複数の指標の値を合成して総合指標の時系列データを生成する総合指標生成部と、総合指標の変化点を検出する変化点検出部と、を有する。これによれば、総合指標を用いて変化点を検出するので、個々の指標だけでは評価しづらい監視対象の状態変化を適切に検出できる、とされている。なお、監視対象は、生産ラインあるいは工場全体であってもよい、とされている。

【0004】

また、特許文献２の半導体製品の生産システムは、第１工場で一部分の工程が実施された半完成品が第２工場に出荷され、第２工場で残りの工程が実施されるという生産形態を対象としている。そして、第２工場で実施された特性検査工程により得られた生産管理情報および検査結果情報が通信回線を介して第１工場に送信され、これらの情報に基づき、第１工場の組み立て工程の生産条件が変更される。これによれば、生産管理情報および検査結果情報に基づき、組み立て工程の生産条件を常時変更して、所望の特性を有する半導体製品を生産できる、とされている。さらに、実施形態には、複数の第２工場で収集された情報が、それぞれの送受用サーバから第１工場の送受用サーバへ送られることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１５−１５２９３３号公報

【特許文献2】特開２００３−９２２３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、基板生産の産業分野において、複数の国々に生産拠点を分散配置するグローバル展開が進んでいる。複数の生産拠点をもつメーカでは、全部の生産拠点の全部の基板生産ラインの稼動情報を把握するという、グローバルな視点のニーズが生じる。これに対して、特許文献１の技術は、稼動情報の加工方法に特徴を有するが、複数の生産拠点に対応するものではない。また、特許文献２の技術は、特定の生産拠点から他の生産拠点へ情報伝送を行うものである。したがって、特許文献１、２の技術は、グローバルな視点のニーズに応えていない。

【0007】

また、全部の基板生産ラインの稼動情報を単に集計して提示するだけでは、十分とは言えない。つまり、生産管理者は、集計結果に基づくだけでは、基板生産ラインの管理に関する意思決定を行うことが難しい。例えば、生産拠点の相互間で稼動情報を比較したり、あるいは、複数の生産拠点を複数のエリアに分割してエリア相互間で稼動情報を比較したりしないと、生産管理者は、稼動状況を評価することが難しい。また、生産管理者は、稼動状況を改善する適切なアクションを決定することが難しい。さらに、稼動情報の収集処理や集計処理、加工処理には時間的な制約が有って、迅速な情報把握が難しい。加えて、稼動情報を把握できるのは、限られた地点だけとなる。

【0008】

本明細書は、複数の生産拠点の基板生産ラインの稼動情報を一括してモニタリングでき、基板生産ラインの管理に好適な基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム、および表示システムを提供することを解決すべき課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本明細書は、複数の生産拠点にそれぞれ設けられ、前記生産拠点に配設された基板生産ラインの稼動情報を集計して、前記生産拠点の稼働状況を表す平均設備効率を含んだ拠点情報を作成する複数の拠点集計部と、複数の前記生産拠点に対応して設けられ、前記拠点集計部の前記拠点情報を伝送する複数の情報伝送部と、複数の前記情報伝送部からそれぞれ受け取った前記拠点情報に含まれる前記平均設備効率を集計して、全部の前記生産拠点の全体の稼働状況を表す全体平均設備効率を含んだ全体情報を作成する全体集計部と、全部の前記生産拠点を複数のエリアに分割し、前記拠点情報および前記全体情報の少なくとも一方に基づいて、前記エリア内の前記生産拠点の稼働状況を表すエリア平均設備効率を前記エリアごとに求め、求めた複数の前記エリア平均設備効率を出力するとともに、前記基板生産ラインに対して実行可能なアクションを遠隔指示するスイッチを表示するエリア比較出力部と、を備える基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステムを開示する。
また、本明細書は、複数の生産拠点に配設された基板生産ラインに適用される表示システムであって、全部の前記生産拠点を複数のエリアに分割し、各前記生産拠点から受け取る拠点情報に含まれて前記基板生産ラインの稼働状況を表す平均設備効率に基づき、前記エリア内の前記生産拠点の稼働状況を表すエリア平均設備効率を前記エリアごとに求め、求めた複数の前記エリア平均設備効率とともに前記基板生産ラインに対して実行可能なアクションを遠隔指示するスイッチを表示する表示部、を備える基板生産ラインの表示システムを開示する。

【発明の効果】

【0010】

本明細書で開示する基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステムによれば、生産拠点ごとに設けられる拠点集計部および情報伝送部、ならびに全体集計部によって、全部の生産拠点の全部の基板生産ラインの稼動情報を集計するので、一括してのモニタリングが可能になる。さらに、エリア比較出力部は、エリアごとに求めた複数のエリア指標を出力するので、基板生産ラインの管理に好適である。同様に、基板生産ラインの表示システムによれば、表示部は、エリアごとに求めた複数のエリア指標を表示するので、基板生産ラインの管理に好適である。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施形態の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステムの構成図である。

【図2】エリアの階層構造を例示して説明する図である。

【図3】生産拠点の拠点集計部の動作フローを説明するフローチャートの図である。

【図4】クラウドサーバの側で稼動情報に関する指標を求めるまでの動作フローを説明するフローチャートの図である。

【図5】指標などを出力するエリア比較出力部の動作フローを説明するフローチャートの図である。

【図6】ホーム画面を表した図である。

【図7】全体画面を表した図である。

【図8】全体画面の下層の全体分割画面を表した図である。

【図9】全体分割画面の下層のエリア分割画面を表した図である。

【図10】エリア分割画面の下層の拠点分割画面を表した図である。

【図11】拠点分割画面の下層のライン別画面を表した図である。

【図12】ライン別の稼動情報を表示するライン稼動率画面を表した図である。

【図13】ライン別の稼動情報を表示するラインエラー率画面を表した図である。

【図14】不具合事象の履歴を表示するレコードリスト画面を表した図である。

【図15】遠隔指示で実行可能なアクションを表示するダッシュボード画面を表した図である。

【図16】基板生産ラインの生産スケジュールを表示するスケジュールリスト画面を表した図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

（１．実施形態のモニタリングシステム１の構成）
実施形態の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム１について、図１〜図１６を参考にして説明する。図１は、実施形態の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム１（以降、モニタリングシステム１と略記）の構成図である。図中の矢印は、情報やデータの伝送方向、およびアクセスの方向などを示す。モニタリングシステム１は、複数の生産拠点の基板生産ラインをモニタリング対象とする。

【0013】

複数の生産拠点は、複数の国々に分散配置されていてもよいし、日本国内の複数の地域に分散配置されていてもよい。モニタリングシステム１は、各生産拠点に対応して設けられる複数の拠点集計部２および複数の情報伝送部３、全体集計部４、およびエリア比較出力部５などで構成される。図１には、或る生産拠点９の構成が例示されている。他の生産拠点９Ａ、９Ｂ、は、基板生産ラインのライン数の多少や生産する基板の種類の差異は有っても、或る生産拠点９と同様の構成になっている。

【0014】

生産拠点９には、３つの基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）が配設されている。各基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）の稼動状況をモニタリングするために、３つのラインサーバ（９３１、９３２、９３３）が設けられる。ラインサーバ（９３１、９３２、９３３）は、例えば、監視制御用のコンピュータ装置で構成される。基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）とラインサーバ（９３１、９３２、９３３）の間は、構内ＬＡＮ９２を用いて通信接続される。３つのラインサーバ（９３１、９３２、９３３）は、相互間で情報交換する機能を有する。

【0015】

各ラインサーバ（９３１、９３２、９３３）は、各基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）をモニタリングして得られる稼動情報を、それぞれのデータベース（９４１、９４２、９４３）に蓄積する。稼動情報として、総合設備効率（Overall Equipment Efficiency、以降ＯＥＥと略記）や基板の生産枚数、ラインを構成する個々の基板生産機の状態などを例示できる。稼動情報は、これらに限定されず、ライン稼動率やエラー発生率などであってもよい。

【0016】

拠点集計部２は、例えば、コンピュータ装置で構成される。拠点集計部２は、一定の情報収集時間が経過するたびに、３つのデータベース（９４１、９４２、９４３）から最新の稼動情報を収集する。情報収集時間として、３分を例示でき、これに限定されない。拠点集計部２は、さらに、一定の情報集計時間が経過するたびに、稼動情報を集計して拠点情報を作成する。情報集計時間は、例えば、１時間、１２時間、および２４時間の三条件から択一設定される。これに限定されず、情報集計時間は、三条件のうちの二つ、あるいは三条件の全てが設定されてもよい。

【0017】

情報収集時間および情報集計時間は、拠点集計部２が集計を行うときの集計条件に該当する。拠点集計部２の集計条件は、後述する集計条件指示部４１からの指示で変更が可能となっている。例えば、情報集計時間が三条件から択一設定されている場合、集計条件指示部４１は、情報集計時間の変更を指示する必要がある。このとき、拠点集計部２の集計処理量は少なくて済む。また、情報集計時間が三条件の全てと設定されている場合、集計条件指示部４１は、情報集計時間の変更を指示する必要がない。このとき、拠点集計部２の集計処理量は多くなる。

【0018】

集計方法について例示すると、拠点集計部２は、３つの基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）のＯＥＥの平均値を求めて、生産拠点９の平均ＯＥＥとする。また、拠点集計部２は、３つの基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）の生産枚数を加算して、生産拠点９の合計生産枚数とする。また、拠点集計部２は、３つの基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）を構成する個々の基板生産機の現在状態の一覧を表すリアルタイムステータスデータ２１を編集する。

【0019】

拠点集計部２は、生産拠点９の平均ＯＥＥおよび合計生産枚数を拠点情報データ２２にまとめて、情報伝送部３に送出する。また、拠点集計部２は、リアルタイムステータスデータ２１を情報伝送部３に送出する。拠点集計部２は、生産データベース２３にアクセス可能となっている。生産データベース２３には、基板の生産スケジュールが設定されている。拠点集計部２は、生産スケジュールをデータ化したスケジュールデータ２４を情報伝送部３に送出する。リアルタイムステータスデータ２１、拠点情報データ２２、およびスケジュールデータ２４は、生産拠点９の拠点情報である。なお、拠点集計部２は、生産スケジュールに基づいてラインサーバ（９３１、９３２、９３３）を管理する機能を併せもつ。

【0020】

情報伝送部３は、複数の生産拠点に対応して設けられる。情報伝送部３は、拠点集計部２が集計した拠点情報を後述の送受信用ハードディスク６３に伝送する。情報伝送部３は、拠点情報が更新されるたびに動作する。このため、情報伝送部３の伝送時間間隔は、拠点集計部２の情報集計時間に略一致する。情報伝送部３と送受信用ハードディスク６３の間は、双方向のデータ伝送が可能になっている。伝送方式として、セキュリティ性能に優れたＶＰＮ接続（Virtual Private Network接続）による無線通信方式を例示でき、これに限定されない。

【0021】

全体集計部４およびエリア比較出力部５は、クラウドサーバ６１のアプリケーション提供部６２のＣＰＵを利用して実現される。アプリケーション提供部６２は、他に送受信用ハードディスク６３、稼動情報データベース６４、設定情報データベース６５、出力ゲートウェイ６６、および出力データ編集部６７を備える。

【0022】

送受信用ハードディスク６３は、情報伝送部３から伝送された拠点情報を記憶する。全体集計部４は、送受信用ハードディスク６３に拠点情報が記憶されるたびに、その拠点情報を読み出す。このため、全体集計部４が拠点情報を読み出す時間間隔は、拠点集計部２の情報集計時間に略一致する。全体集計部４は、複数の情報伝送部３からそれぞれ受け取った拠点情報を集計して、全部の生産拠点の全部の基板生産ラインの稼動情報を集計した全体情報を作成する。

【0023】

全体集計部４が全体情報を作成する頻度は、拠点情報を読み出す時間間隔に一致しても、一致しなくてもよい。この頻度は、固定値、または生産管理者に設定される可変の設定値とされる。例えば、拠点情報の更新、伝送、および読み出しが１時間毎に行われる場合、全体集計部４は、１時間毎に全体情報を作成してもよいし、１２時間毎または２４時間毎に全体情報を作成してもよい。全体集計部４は、全体情報および全部の生産拠点の拠点情報を、稼動情報データベース６４に保存する。

【0024】

集計方法について例示すると、全体集計部４は、全部の生産拠点の拠点ＯＥＥの加重平均値を求めて、全体平均ＯＥＥとする。また、全体集計部４は、全部の生産拠点の合計生産枚数を加算して全体合計生産枚数とする。また、全体集計部４は、全部の生産拠点のリアルタイムステータスデータ２１を集約して全体ステータスとする。さらに、全体集計部４は、全部の生産拠点のスケジュールデータ２４を集約して全体スケジュールとする。全体平均ＯＥＥ、全体合計生産枚数、全体ステータス、および全体スケジュールは、全体情報に相当する。

【0025】

稼動情報データベース６４は、大きな記憶容量を有する記憶装置によって構成される。したがって、稼動情報データベース６４は、全体情報および全部の生産拠点の拠点情報を長期にわたって蓄積できる。一方、送受信用ハードディスク６３の記憶容量は限られている。このため、送受信用ハードディスク６３は、全体集計部４が読み取り済みの拠点情報を逐次消去する。

【0026】

全体集計部４は、集計条件指示部４１を含む。集計条件指示部４１は、拠点集計部２が集計を行うときの集計条件を指示する。集計条件として、前述した情報収集時間および情報集計時間や、稼動情報の種類などがある。集計条件は、生産管理者の設定操作によって変更可能とされている。集計条件指示部４１は、現時点で設定されている集計条件、および集計条件の変更履歴を設定情報データベース６５に記憶する。集計条件が変更されたとき、集計条件指示部４１は、新しい集計条件の情報を送受信用ハードディスク６３に送出する。新しい集計条件の情報は、拠点情報とは逆方向に伝送され、生産拠点９の情報伝送部３に送られる。

【0027】

情報伝送部３は、新しい集計条件を生産データベース２３に記憶する。拠点集計部２は、生産データベース２３にアクセスして新しい集計条件を把握し、以降、新しい集計条件にしたがって拠点情報を作成する。また、拠点集計部２は、必要に応じて、新しい集計条件をラインサーバ（９３１、９３２、９３３）に指示する。

【0028】

エリア比較出力部５は、全部の生産拠点を複数のエリアに分割し、エリアごとに稼動情報に関する指標を求めて出力する。本実施形態において、エリアは階層構造をもつ。図２は、エリアの階層構造を例示して説明する図である。最上層の第一層エリアＡ１は、全部の生産拠点が分割されて定められる。図２の例で、第一層エリアＡ１は、アジアエリア、南北アメリカエリア、およびヨーロッパエリアの３個である。

【0029】

第二層エリアＡ２は、第一層エリアＡ１が分割されて定められる。例えば、アジアエリアが分割された第二層エリアＡ２は、中国エリア、韓国エリア、および日本エリアの３個である。同様に、南北アメリカエリアおよびヨーロッパエリアも、複数の第二層エリアＡ２に分割される。また、日本エリアが分割された第三層エリアＡ３は、藤岡エリア、知立エリア、および岡崎エリアの３個である。さらに、岡崎エリアが分割された第四層エリアＡ４は、３つの基板生産ライン、すなわち、ライン１、ライン２、およびライン３の３個である。第四層エリアＡ４は、最下層エリアとなっている。なお、階層の高い側の上層エリアの一部が分割されず、そのまま低い側の下層エリアとなっていてもよい。

【0030】

エリア比較出力部５は、複数の指標を求める対象となるエリアの層を指定に応じて下層側に移すドリルダウン処理が可能である。また、エリア比較出力部５は、複数の指標を求める対象となるエリアの層を指定に応じて上層側に移すドリルアップ処理も可能である。

【0031】

エリア比較出力部５は、拠点情報および全体情報の少なくとも一方を加工処理して稼動情報に関する指標を求める。または、エリア比較出力部５は、拠点情報および全体情報に含まれる稼動情報そのものを指標としてもよい。例えば、エリア比較出力部５は、対象となるエリアに含まれる複数の生産拠点の拠点ＯＥＥの加重平均値を求めて、エリア平均ＯＥＥとする。エリア比較出力部５は、全体集計部４が全体情報を作成した都度、予め指標を求めて、稼動情報データベース６４に保存する。この後、エリア比較出力部５は、生産管理者からの出力要求に応じて指標を出力する。

【0032】

エリア比較出力部５は、アクション出力部５１を含む。アクション出力部５１は、基板生産ラインに対して遠隔指示で実行可能なアクションを出力する。エリア比較出力部５およびアクション出力部５１の出力内容は、タブレット端末やスマートフォンなどのモバイル端末６９やパソコンなどに表示される。

【0033】

詳述すると、エリア比較出力部５は、出力ゲートウェイ６６を経由して出力データ編集部６７に接続される。さらに、出力データ編集部６７は、インターネット回線６８に開いている。したがって、生産管理者は、モバイル端末６９やパソコンなどのアクセス機器からモニタリングシステム１にアクセスして、出力要求などを行える。アクセスに際しては、予め登録したユーザネームおよびパスワードを用いたログイン処理が必要となる。

【0034】

ログインした生産管理者（以下、「ログインユーザ」と称する）は、稼動情報に関する指標の出力を要求できる。また、ログインユーザが所望する稼働情報および指標の種類、ならびに集計条件を自由に選択できるようにしてもよい。この場合、エリア比較出力部５は、ログインユーザ別に個別の出力を行う。さらに、エリア比較出力部５は、ログインユーザの権限レベルに応じて、確認可能な指標の範囲を制限でき、または、指示できるアクションの種類を制限できるようにしてもよい。

【0035】

出力データ編集部６７は、ログインユーザからの出力要求、集計条件の設定操作、およびアクションの指示をエリア比較出力部５に送出する。また、出力データ編集部６７は、エリア比較出力部５が出力した複数の指標を編集して、ログインユーザが確認し易いグラフィック画面データとし、インターネット回線６８を経由してアクセス機器に出力する。ログインユーザは、アクセス機器の表示を見て稼動情報に関する指標を確認できる。特にモバイル端末６９によれば、ログインユーザは、いつでもどこにいても、稼動情報に関する指標を確認できる。

【0036】

また、ログインユーザからのアクションの指示に応じて、アクション出力部５１は、アクションの内容を送受信用ハードディスク６３に送出する。新しい集計条件の場合と同様に、アクションの内容は、逆方向に伝送され、情報伝送部３を経由して生産データベース２３まで送られる。拠点集計部２は、生産データベース２３にアクセスしてアクションの内容を把握し、ラインサーバ（９３１、９３２、９３３）に指示する。これにより、指示されたアクションが基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）で実行される。

【0037】

（２．モニタリングシステム１の動作および作用）
次に、モニタリングシステム１の動作および作用について、生産拠点９側およびクラウドサーバ６１側に分けて説明する。図３は、生産拠点９の拠点集計部２の動作フローを説明するフローチャートの図である。図３のステップＳ１で、拠点集計部２は、情報収集時間の経過を待つ。情報収集時間が経過した後のステップＳ２で、拠点集計部２は、データベース（９４１、９４２、９４３）から最新の稼動情報を収集する。

【0038】

次のステップＳ３で、拠点集計部２は、前回の集計処理からの経過時間を調査し、情報集計時間が経過していない場合に動作フローの実行をステップＳ１に戻す。ステップＳ１からステップＳ３までのループを繰り返していると、やがて情報集計時間が経過する。すると、拠点集計部２は、動作フローの実行をステップＳ４に進め、集計処理を行って拠点情報を作成する。次のステップＳ５で、拠点集計部２は、拠点情報を情報伝送部３に送出する。これで、拠点情報を作成する１サイクルが終了する。拠点集計部２は、動作フローの実行をステップＳ１に戻し、以降繰り返して動作する。

【0039】

図４は、クラウドサーバ６１の側で稼動情報に関する指標を求めるまでの動作フローを説明するフローチャートの図である。図４のステップＳ１１で、全体集計部４は、送受信用ハードディスク６３の記憶内容の確認を開始する。次のステップＳ１２で、全体集計部４は、送受信用ハードディスク６３に拠点情報が記憶されているか否か調査する。全体集計部４は、拠点情報が記憶されていない間ステップＳ１２を繰り返し、拠点情報が記憶されていると動作フローの実行をステップＳ１３に進める。

【0040】

ステップＳ１３で、全体集計部４は、拠点情報を読み出し、集計処理を行って全体情報を作成する。次のステップＳ１４で、全体集計部４は、全体情報および拠点情報を稼動情報データベース６４に保存する。次のステップＳ１５で、エリア比較出力部５は、エリアごとに稼動情報に関する指標を求め、稼動情報データベース６４に保存する。これで、指標を求める１サイクルが終了する。この後は、図５に続く。

【0041】

図５は、指標などを出力するエリア比較出力部５の動作フローを説明するフローチャートの図である。また、図６〜図１６は、エリア比較出力部５からの出力によってアクセス機器に表示される画面を例示している。図６は、ホーム画面を表した図である。図７は、全体画面を表した図である。図８は、全体画面の下層の全体分割画面を表した図である。図９は、全体分割画面の下層のエリア分割画面を表した図である。図１０は、エリア分割画面の下層の拠点分割画面を表した図である。図１１は、拠点分割画面の下層のライン別画面を表した図である。図１２は、ライン別の稼動情報を表示するライン稼動率画面を表した図である。図１３は、ライン別の稼動情報を表示するラインエラー率画面を表した図である。図１４は、不具合事象の履歴を表示するレコードリスト画面を表した図である。図１５は、遠隔指示で実行可能なアクションを表示するダッシュボード画面を表した図である。図１６は、基板生産ラインの生産スケジュールを表示するスケジュールリスト画面を表した図である。

【0042】

図５のステップＳ２１で、エリア比較出力部５は、ログインユーザからの出力要求を待つ。出力要求が有ったときのステップＳ２２で、エリア比較出力部５は、図６に示されるホーム画面の情報を出力して、アクセス機器に表示する。ホーム画面の右上には、日付が表示される（図７〜図１０でも同様）。ホーム画面の上部寄りに、４個のソフトウェアスイッチ、すなわちGlobalスイッチ７１１、Areaスイッチ７１２、Factoryスイッチ７１３、およびLineスイッチ７１４が表示される。ホーム画面の下部寄りに、他のアプリケーションに遷移するための遷移スイッチ７１６が表示される。

【0043】

次のステップＳ２３で、エリア比較出力部５は、ログインユーザによって選択操作されたスイッチを確認する。Globalスイッチ７１１が選択操作されたときのステップＳ２４で、エリア比較出力部５は、全体情報を出力する。これにより、ステップＳ２６で、図７の全体画面が表示される。また、Areaスイッチ７１２、Factoryスイッチ７１３、およびLineスイッチ７１４のいずれかが選択操作されると、エリア比較出力部５は、動作フローの実行をステップＳ２５に進める。

【0044】

ステップＳ２５で、エリア比較出力部５は、表示の候補となるエリアや生産拠点、基板生産ラインなどを提示して（図面は省略）、ログインユーザの選択操作を待つ。選択操作が行われると、エリア比較出力部５は、選択操作されたエリアや生産拠点、基板生産ラインに対応する指標を出力する。これにより、ステップＳ２６で、図８の全体分割画面、図９のエリア分割画面、図１０の拠点分割画面、および図１１のライン別画面のいずれかが表示される。例えば、ホーム画面でFactoryスイッチ７１３が選択操作され、次いで日本エリアが選択操作されると、エリア比較出力部５は、日本エリアの３つの生産拠点に対応する指標を出力する。これにより、図１０の拠点分割画面が表示される。

【0045】

ステップＳ２６では、各種の画面が表示される。ログインユーザは、画面内のソフトウェアスイッチを自由に選択操作できる。ステップＳ２７で、エリア比較出力部５は、選択操作されたスイッチを確認する。ドリルダウンスイッチ（７２２、７２５、７２７、７２９）が選択操作されたときのステップＳ２８で、エリア比較出力部５は、ドリルダウン処理を行って、動作フローの実行をステップＳ２６に戻す。ドリルアップスイッチ７２４が選択操作されたときのステップＳ２９で、エリア比較出力部５は、ドリルアップ処理を行って、動作フローの実行をステップＳ２６に戻す。これにより、ステップＳ２６で表示されるエリアの層が上下に移る。

【0046】

さらに、移行スイッチ（７３４、７３９）、アクションスイッチ７３５、スケジュールスイッチ７３６のいずれかが選択操作されたときに、エリア比較出力部５は、動作フローの実行をステップＳ３０に進める。ステップＳ３０で、エリア比較出力部５は、選択操作されたスイッチに対応する情報を出力して、動作フローの実行をステップＳ２６に戻す（実施例後述）。また、HOMEスイッチ７２１が選択操作されたときに、エリア比較出力部５は、動作フローの実行をステップＳ２２に戻す。

【0047】

以下、各種の画面を参照しながら、エリア比較出力部５の出力動作の実施例について説明する。図７の全体画面の左上には、HOMEスイッチ７２１が表示される。仮に、ログインユーザがHOMEスイッチ７２１を選択操作すれば、エリア比較出力部５は、ホーム画面の情報を出力して、アクセス機器に表示する（以降、エリア比較出力部５はホーム画面を表示する、と略記）。全体画面の上部寄りに、全体情報である全体平均ＯＥＥが８５％と数値および円環グラフで表示されている。全体画面の下部寄りに、全体情報である有効利用指数（Availability）は９５％、性能指数（Performance）は７９％、品質指数（Quality）は１００％と表示されている。円環グラフの右側に、ドリルダウンスイッチ７２２が表示される。

【0048】

ログインユーザがドリルダウンスイッチ７２２を選択操作すると、エリア比較出力部５は、ドリルダウン処理を行い、図８に示される全体分割画面を表示する。全体分割画面は、３個の第一層エリアＡ１の指標を表示する。全体分割画面のHOMEスイッチ７２１の右側に、ドリルアップスイッチ７２４が表示される。仮に、ログインユーザがドリルアップスイッチ７２４を選択操作すれば、エリア比較出力部５は、ドリルアップ処理を行って上層の全体画面（図７）を表示する。

【0049】

全体分割画面の上部寄りに、３個の第一層エリアＡ１の各エリア平均ＯＥＥが棒グラフで表示される。さらに、棒グラフの下には、３個のエリア平均ＯＥＥが数値で表示される。図８の例で、アジアエリア（Asia）のエリア平均ＯＥＥは７２％、南北アメリカエリア（Americas）のエリア平均ＯＥＥは８６％、ヨーロッパエリア（Europe）のエリア平均ＯＥＥは９０％と表示されている。本実施形態では、指標の数値が小さい順に逐次並び順を変更して表示するようにしている（図９、図１０も同様）。これに限定されず、複数のエリアの並び順を固定して表示してもよい。各エリア平均ＯＥＥの数値の右側に、ドリルダウンスイッチ７２５が表示される。

【0050】

ログインユーザがアジアエリアのドリルダウンスイッチ７２５を選択操作すると、エリア比較出力部５は、ドリルダウン処理を行い、図９に例示されるエリア分割画面を表示する。このエリア分割画面は、アジアエリアの３個の第二層エリアＡ２の指標を表示する。エリア分割画面のHOMEスイッチ７２１の右側に、ドリルアップスイッチ７２４が表示される。仮に、ログインユーザがドリルアップスイッチ７２４を選択操作すれば、エリア比較出力部５は、ドリルアップ処理を行って上層の全体分割画面を表示する（図１０〜図１６でも同様）。

【0051】

エリア分割画面の上部寄りに、３個の第二層エリアＡ２の各エリア平均ＯＥＥが棒グラフで表示される。さらに、棒グラフの下には、３個のエリア平均ＯＥＥが数値で表示される。図９の例で、中国エリア（China）のエリア平均ＯＥＥは７０％、韓国エリア（Korea）のエリア平均ＯＥＥは７２％、日本エリア（Japan）のエリア平均ＯＥＥは７６％と表示されている。各エリア平均ＯＥＥの数値の右側に、ドリルダウンスイッチ７２７が表示される。

【0052】

ログインユーザが日本エリアのドリルダウンスイッチ７２７を選択操作すると、エリア比較出力部５は、ドリルダウン処理を行い、図１０に例示される拠点分割画面を表示する。この拠点分割画面は、日本エリアの３個の第三層エリアＡ３の指標を表示する。拠点分割画面の上部寄りに、３個の第三層エリアＡ３の各エリア平均ＯＥＥが棒グラフで表示される。さらに、棒グラフの下には、３個のエリア平均ＯＥＥが数値で表示される。図１０の例で、藤岡エリア（Fujioka）のエリア平均ＯＥＥは７２％、知立エリア（Chiryu）のエリア平均ＯＥＥは７７％、岡崎エリア（Okazaki）のエリア平均ＯＥＥは７８％と表示されている。各エリア平均ＯＥＥの数値の右側に、ドリルダウンスイッチ７２９が表示される。

【0053】

ログインユーザが岡崎エリアのドリルダウンスイッチ７２９を選択操作すると、エリア比較出力部５は、ドリルダウン処理を行い、図１１に例示されるライン別画面を表示する。このライン別画面は、岡崎エリアの３個の基板生産ラインの稼動情報の詳細を表示する。ライン別画面のドリルアップスイッチ７２４の右側に、全ジョブスイッチ７３１（all Jobs）および現在ジョブスイッチ７３２（Current Jobs）が表示される。現在ジョブスイッチ７３２は、現在実行中の生産ジョブのみを選択するスイッチであり、全ジョブスイッチ７３１は、終了した生産ジョブも含めるスイッチである（図１２、図１３でも同様）。図１１では、現在ジョブスイッチ７３２が選択操作されている。

【0054】

図１１には、第１基板生産ライン（Line１）の稼動情報の全部が表示され、第２基板生産ライン（Line２）の稼動情報の一部が表示されている。ログインユーザは、画面のスクロール機能を用いて、第２基板生産ライン（Line２）の稼動情報の残部、および第３基板生産ライン（Line３）の稼動情報を確認することができる。第１基板生産ライン（Line１）の稼動情報の右側に移行スイッチ７３４が表示され、下側にアクションスイッチ７３５およびスケジュールスイッチ７３６が表示される。

【0055】

図１１の例で、第１基板生産ライン（Line１）は、ジョブ名称「JobABC_T123」の生産ジョブを実行中である。その進捗状況（Progress）は、生産予定枚数３００枚に対して、１５７枚が生産済みとなっている。また、生産終了時刻（Due date）は、２月２５日の１８：３０に予定されている。さらに、第１基板生産ライン（Line１）の総合設備効率ＯＥＥは７５％、ライン稼動率（ＬＵ）は８０％、電子部品の装着速度（ＣＰＨ）は１時間当たり12,000個、装着速度効率（ＥＣＰＨ）は６５％と表示されている。

【0056】

ログインユーザが移行スイッチ７３４を選択操作すると、エリア比較出力部５は、図１２に例示されるライン稼動率画面を表示する。このライン稼動率画面は、第１基板生産ライン（Line１）の稼動状況の時間比率を円グラフおよび数値で表示する。図１２の例で、稼動率（Product）は８０％、オペレータ休憩（Operator Downtime）は４％、機器エラー（Machine Error）は９％、その他（Other）は７％と表示されている。円グラフの右側に、移行スイッチ７３９が表示される。

【0057】

ログインユーザが移行スイッチ７３９を選択操作すると、エリア比較出力部５は、図１３に例示されるラインエラー率画面を表示する。このラインエラー率画面は、第１基板生産ライン（Line１）におけるエラーの発生状況を表示する。図１３のラインエラー率画面の上半分には、電子部品の種類別のエラー率が棒グラフおよび数値で表示される。具体的には、部品種Ａ（PartsA）のエラー率３．０％、部品種Ｂ（PartsB）のエラー率２．８％、などと表示されている。また、ラインエラー率画面の下半分には、エラーコード別のエラー数が表示される。具体的には、エラーコード(Error Code)8000D701のエラー数は１０００回中に５２回、などと表示されている。

【0058】

また、図１１のライン別画面でログインユーザがアクションスイッチ７３５を選択操作すると、エリア比較出力部５は、図１４に例示されるレコードリスト画面を表示する。このレコードリスト画面は、第１基板生産ライン（Line１）で発生した不具合事象の履歴を表示する。レコードリスト画面の上部には、第１基板生産ライン（Line１）の構成がグラフィック表示される。そして、不具合事象の発生した第１基板生産機７４１および第５基板生産機７４２は、見易く赤色で表示される。

【0059】

さらに、レコードリスト画面の中央部には、不具合事象が時系列的に表示され、レコードリスト画面の下部には、不具合事象の復帰方法（Remedy）の復帰コードが表示される。図１４の例で、時刻１２：３０にエラーコード(Error Code)80000001のエラー停止（Error Stop）が発生し、復帰コード30000001の復帰方法により稼動が再開されている。

【0060】

ログインユーザがグラフィック表示の第１基板生産機７４１を選択操作すると、エリア比較出力部５のアクション出力部５１は、図１５に例示されるダッシュボード画面を表示する。このダッシュボード画面は、第１基板生産機７４１に対して遠隔指示で実行可能なアクションを表示する。ダッシュボード画面の上部には、第１基板生産機７４１の内部構成がグラフィック表示されている。ダッシュボード画面の中央部には、現在の状態が表示され、その下側に実行可能なアクションを指示するスイッチが表示される。

【0061】

図１５の例で、第１基板生産機７４１は現在稼動中（Product）であり、稼動の再開から１５分２５秒が経過している。また、スイッチとして、スタートスイッチ７４３、ストップスイッチ７４４、およびサイクルストップスイッチ７４５が表示される。このうち、スタートスイッチ７４３は、第１基板生産機７４１が稼動中であるため操作できない。アクション出力部５１は、操作可能なストップスイッチ７４４およびサイクルストップスイッチ７４５を点滅表示する。

【0062】

ログインユーザがストップスイッチ７４４を選択操作すると、アクション出力部５１は、第１基板生産機７４１の停止というアクションの内容を送受信用ハードディスク６３に送出する。このアクションの内容は、岡崎エリアの拠点集計部からラインサーバまで伝送される。そして、ラインサーバからの指示により、第１基板生産機７４１は停止する。仮に、ログインユーザがサイクルストップスイッチ７４５を選択操作すると、同様の伝送が行われ、第１基板生産機７４１はサイクル停止する。

【0063】

なお、ログインユーザが不具合事象の発生していない基板生産機を選択操作した場合でも、アクション出力部５１は、同様に動作する。ただし、実行可能なアクションを指示するスイッチの種類は、基板生産機の種類の違いや稼動状況に応じて変化する。

【0064】

また、図１１のライン別画面で、ログインユーザがスケジュールスイッチ７３６を選択操作すると、エリア比較出力部５は、図１６に例示されるスケジュールリスト画面を表示する。このスケジュールリスト画面は、第１基板生産ライン（Line１）の現在および将来の生産スケジュールを表示する。図１６の例で、第１生産ジョブ（Job1）の部品集め（Parts picking）を１２時３０分から１３時２０分の間に行うスケジュールが表示されている。さらに、オフライン段取り（Offline preparation）を１３時３５分から１４時４５分の間に行い、生産（Production）を１５時３０分から１８時５０分の間に行うスケジュールが表示されている。その後の第２生産ジョブ（Job2）および第３生産ジョブ（Job3）についても、同様に生産スケジュールが表示される。

【0065】

なお、ログインユーザの選択操作が一定時間以上途切れると、エリア比較出力部５は、出力動作を停止する。

【0066】

（３．モニタリングシステム１の態様および効果）
実施形態のモニタリングシステム１は、複数の生産拠点９にそれぞれ設けられ、生産拠点９に配設された基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）の稼動情報を集計して拠点情報（リアルタイムステータスデータ２１、拠点情報データ２２、およびスケジュールデータ２４）を作成する複数の拠点集計部２と、複数の生産拠点９に対応して設けられ、拠点集計部２の拠点情報を伝送する複数の情報伝送部３と、複数の情報伝送部３からそれぞれ受け取った拠点情報を集計して、全部の生産拠点の全部の基板生産ラインの稼動情報を集計した全体情報を作成する全体集計部４と、全部の生産拠点を複数のエリアに分割し、拠点情報および全体情報の少なくとも一方に基づいて、エリアごとに稼動情報に関する指標を求め、求めた複数の指標を出力するエリア比較出力部５と、を備える。

【0067】

これによれば、生産拠点９ごとに設けられる拠点集計部２および情報伝送部３、ならびに全体集計部４によって、全部の生産拠点の全部の基板生産ラインの稼動情報を集計することが可能になる。さらに、エリア比較出力部５は、エリアごとに求めた稼動情報に関する指標を出力するので、基板生産ラインの管理に好適である。

【0068】

また、全体集計部４およびエリア比較出力部５は、クラウドサーバ６１を利用して実現される。これによれば、クラウドサーバ６１の特長を活かして、イニシャルコストおよびランニングコストが低廉で、かつセキュリティ性能に優れたモニタリングシステム１を構築できる。

【0069】

さらに、エリアは、複数の上層エリアと、少なくとも一つの上層エリアが分割された複数の下層エリアと、を含む二層以上の階層構造をもち、エリア比較出力部５は、上層エリアごとに指標を求め、かつ、第一上層エリアが指定されたときに、第一上層エリアが分割された複数の下層エリアを対象として複数の指標を求める。これによれば、エリアの階層を変更して指標を確認できるので、基板生産ラインの管理にすこぶる好適である。

【0070】

さらに、エリアの階層構造は、生産拠点９、または、基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）、または、基板生産ライン（９１１、９１２、９１３）の構成要素である基板生産機のいずれかを最下層エリアとし、エリア比較出力部５は、複数の指標を求める対象となるエリアの層を指定に応じて下層側に移すドリルダウン処理、および、複数の指標を求める対象となるエリアの層を指定に応じて上層側に移すドリルアップ処理が可能である。

【0071】

これによれば、表示するエリアの層を変更するときの操作が容易で、かつ上層および下層のエリアの関連性が分かりやすい。換言すると、実施形態のモニタリングシステム１は、操作性および視認性に優れる。したがって、例えば、全体情報に問題点が発生したときに、ドリルダウン処理を行うことにより、原因となっている生産拠点や基板生産ラインを容易にかつ迅速に究明できる。

【0072】

さらに、エリア比較出力部５は、基板生産ラインに対して遠隔指示で実行可能なアクションを出力するアクション出力部５１を含む。これによれば、生産管理者は、稼動情報に関する指標と併せて、実行可能なアクションを確認できる。したがって、生産管理者は、アクションの要否を適正にかつ容易に決定できる。

【0073】

さらに、エリア比較出力部５から出力された指標は、モバイル端末６９を用いて確認可能である。これによれば、生産管理者は、いつでもどこにいても、稼動情報に関する指標を確認できる。

【0074】

さらに、全体集計部４は、拠点集計部２が集計を行うときの集計条件を指示する集計条件指示部４１を含む。これによれば、全部の生産拠点の集計条件が一括して同時に変更されるので、各生産拠点で個別に集計条件を変更設定する手間が不要になる。また、複数の生産拠点で集計条件が整合しなくなる、という不合理が発生しない。

【0075】

（４．実施形態の応用および変形）
なお、クラウドサーバ６１を利用することは必須でなく、全体集計部４およびエリア比較出力部５は、一般的なコンピュータ装置で実現することも可能である。また、実施形態において、エリア比較出力部５は、予め指標を求め、生産管理者からの出力要求に応じて指標を出力するが、別法もある。つまり、エリア比較出力部５は、生産管理者からの出力要求を受けてから指標を求めるようにしてもよい。さらに、図６〜図１６に示した画面は一例であって、様々な表示画面の変形例を用いることができる。例えば、ドリルダウン処理およびドリルアップ処理により、ＯＥＥ以外の指標を表示してもよい。本発明は、他にも様々な応用や変形が可能である。

【符号の説明】

【0076】

１：基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム ２：拠点集計部 ３：情報伝送部 ４：全体集計部 ４１：集計条件指示部 ５：エリア比較出力部 ５１：アクション出力部 ６１：クラウドサーバ ６９：モバイル端末 ９：生産拠点 ９１１、９１２、９１３：基板生産ライン Ａ１：第一層エリア Ａ２：第二層エリア Ａ３：第三層エリア Ａ４：第四層エリア

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】