特許6953566高周波電源装置及びその出力制御方法

発明の名称　高周波電源装置及びその出力制御方法

出願人　株式会社京三製作所　（識別番号 1292）

　　　　特許公開件数ランキング 606 位（42件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 888 位（26件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6953566

公報発行日　2021年10月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6953566

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