特許第6956111号(P6956111)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ コブス エスアエスの特許一覧

特許6956111チャンバ内の表面に配置された金属堆積物を除去する方法