特許6957587荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム装置のための交換可能マルチ開孔構成、および荷電粒子ビーム装置を操作するための方法

発明の名称　荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム装置のための交換可能マルチ開孔構成、および荷電粒子ビーム装置を操作するための方法

出願人　アイシーティー　インテグレーテッド　サーキット　テスティング　ゲゼルシャフト　フィーア　ハルプライタープリーフテヒニック　エム　ベー　ハー　（識別番号 501493587）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6957587

公報発行日　2021年11月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6957587

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