技術分野
コヒーレント光通信用受光デバイスに関するものである。
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
ネットワークトラフィックの急増に対応する為には、更なるビットレートの増大が必要である。このため、大容量化を実現可能な通信方式として、周波数利用効率が高く伝送時の分散耐性が高い、多値変調方式とデジタルコヒーレント受信方式とを組み合わせた伝送方式が展開されている。このような伝送方式では、光遅延、分岐、及び移相処理等を行う光復調回路と、多チャンネルのバランス受信用高速OE(Optical/Electrical)変換部とを含んで構成される高機能・高性能な受信フロントエンドとしてのコヒーレント光通信用受光デバイスが望まれる。
また、将来の光通信システムには、例えば400Gb/sといった更に高速な光通信技術が求められ、変調速度の更なる高速化(例えば64GBaud)や変調フォーマットの多値化(例えば64QAM)が必要とされている。従って、コヒーレント光通信用受光デバイスには、より高い周波数応答特性が求められる。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、周波数応答特性をより高めることができるコヒーレント光通信用受光デバイスを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
上述した課題を解決するために、一コヒーレント光通信用受光デバイスは、多モード干渉導波路型の光カプラと、光カプラと光学的に結合された第1及び第2の受光素子とが共通の基板上にモノリシックに集積された導波路型光素子と、導波路型光素子と並んで配置された信号増幅部と、第1及び第2の受光素子それぞれの一方の電極と信号増幅部の第1及び第2の信号入力用電極それぞれとを電気的に接続する第1及び第・・・ 続きを
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【発明の効果】
本発明によれば、周波数応答特性をより高めることができるコヒーレント光通信用受光デバイスを提供できる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 図1は、本発明の一コヒーレント光通信用受光デバイスの構成を示す平面図である。
【図2】 図2は、図1に示されたII−II線に沿った断面を示している。
【図3】 図3は、図1に示されたIII−III線に沿った断面を示している。
【図4】 図4は、図3に示されたIV−IV線に沿った断面を部分的に示している。
【図5】 図5は、第1変形例に係る導波路型光素子の構成を示す平面図である。
【図6】 図6は、図5に示された導波路型光素子のVI−VI線に沿った断面図である。
【図7】 図7は、第2変形例に係る導波路型光素子の構成を示す平面図である。
【図8】 図8は、第3変形例に係る導波路型光素子の構成を示す平面図である。
【図9】 図9は、図8に示された導波路型光素子のIX−IX線に沿った断面図である。
【図10】 図10は、図8に示された導波路型光素子のX−X線に沿った断面図である。
【図11】 図11は、比較例に係る受光デバイスの構成を示す平面図である。
【図12】 図12は、図11に示すXII−XII線に沿った断面図である。
1A…受光デバイス、2,2A,2B,2C…導波路型光素子、2a,2b…端縁、3A,3B…信号増幅部、4a,4b…入力ポート、5…光カプラ、6a〜6d…受光素子、7a,7b…バイアス配線、8a〜8f…光導波路、9a〜9d…容量素子部、10…基板、11…n型バッファ層、13…光吸収層、14…p型クラッド層、15…p型コンタクト層、16,17…絶縁膜、18…埋込領域、19…導波路型フォトダイオード構造、20a〜20d…信号伝送用ボンディングワイヤ、20e〜20h…基準電位用ボンディングワイヤ、20i,20j…電圧供給用ボンディングワイヤ、20p〜20s…ボンディングワイヤ、21a〜21d…信号出力用電極パッド、22a〜22d…バイアス電圧側電極パッド、23a,23c,23d,23f…基準電位用電極パッド、23b,23e…バイアス電圧入力用電極パッド、24〜27…溝、24a,25a,26a,27a…第1部分、24b,25b,26b,27b…第2部分、24c…部分、31…p型オーミック電極、32…配線、41〜43…n型オーミック電極、44…バイアス配線、45…絶縁膜、46…上部金属層、51…ビア、61a〜61d…信号入力用電極パッド、62a,62c,62d,62f…基準電位用電極パッド、62b,62e…バイアス電圧供給用電極パッド、80…光導波路構造、81…光導波コア層、82…クラッド層、La…光信号、Lb…局部発振光、Lc1〜Lc4…信号成分。
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