特許6958041単結晶基板、単結晶基板の製造方法および炭化ケイ素基板

発明の名称　単結晶基板、単結晶基板の製造方法および炭化ケイ素基板

出願人　セイコーエプソン株式会社　（識別番号 2369）

　　　　特許公開件数ランキング 6 位（1825件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 14 位（976件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6958041

公報発行日　2021年11月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6958041

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