特許6959680成膜装置

発明の名称　成膜装置

出願人　株式会社シンクロン　（識別番号 390007216）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5520 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6959680

公報発行日　2021年11月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6959680

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