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▶ レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロードの特許一覧
特許6960400エッチング反応物質、およびそれを使用するプラズマフリーの酸化物エッチング方法
発明の名称 エッチング反応物質、およびそれを使用するプラズマフリーの酸化物エッチング方法
出願人 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード （識別番号 591036572）
特許公開件数ランキング 620 位（13件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 477 位（17件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6960400
公報発行日 2021年11月5
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6960400
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