特許 6962304 計測ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6962304

(24)【登録日】2021年10月18日

(45)【発行日】2021年11月5日

(54)【発明の名称】計測ユニット

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/00 20060101AFI20211025BHJP

   B65G 49/00 20060101ALI20211025BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/00 521D

   B65G49/00 A

【請求項の数】5

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2018-195263(P2018-195263)

(22)【出願日】2018年10月16日

(65)【公開番号】特開2020-63120(P2020-63120A)

(43)【公開日】2020年4月23日

【審査請求日】2020年12月1日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】特許業務法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】福島 秀基

【審査官】 小川 悟史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１６−５２９１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−６０５８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２０６２２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２９７１９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１５９７３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／００４２２４８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ １／００

Ｂ６５Ｇ ４９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送装置によって物品を搬送する物品搬送設備において用いられる計測ユニットであって、
前記搬送装置によって搬送される支持部と、
前記支持部に支持されて、計測対象を計測する計測装置と、
前記支持部に支持されて、予め設定された撮像範囲を撮像する撮像装置と、
前記計測装置によって計測された計測内容を表示する表示部と、
前記撮像装置によって撮像された撮像情報を記録する記録部と、を備え、
前記撮像範囲は、前記表示部と、前記支持部の周囲の景色とを含んでいる、計測ユニット。

【請求項2】

前記撮像範囲は、前記支持部を搬送中の前記搬送装置及び当該搬送装置の周囲の景色の少なくとも一方を含み、
前記撮像情報は、前記支持部を搬送中の前記搬送装置の動作状況を含んでいる、請求項１に記載の計測ユニット。

【請求項3】

前記表示部は、前記計測内容に加えて、現時刻を表示する、請求項１又は２に記載の計測ユニット。

【請求項4】

前記支持部は、前記搬送装置による搬送対象である前記物品と同等の外形を有する、請求項１から３のいずれか一項に記載の計測ユニット。

【請求項5】

前記計測対象は、前記計測装置の周囲における、パーティクルの量、温度、湿度、及び、振動の少なくとも１つを含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の計測ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置によって物品を搬送する物品搬送設備において用いられる計測ユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、下記の特許文献１（特開２００７−２９７１９６号公報）には、液晶ディスプレイやプラズマパネル等の基板を自動的に搬送して保管する自動倉庫（物品搬送設備）において用いられる計測ユニット（２）が開示されている（背景技術の説明において括弧内に付す符号は特許文献１のものである。）。計測ユニット（２）は、スタッカークレーン（４０）によって自動倉庫内の各所に搬送され、搬送されている状態で振動を計測したり、自動倉庫内に設けられたラック（２２）に保管されている状態でパーティクルの数や大きさ等を計測している。そして、このように計測された計測データは、記憶部（５４）に記憶される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７−２９７１９６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、上述のような計測データは、実際に計測された場所と対応づけられることにより、設備内の各場所の環境（振動の生じ易さやパーティクルの量などに基づく設備環境）を把握可能となる。しかしそれには、例えば、計測ユニットにより取得した計測データの時間変化と当該計測ユニットの搬送時間などに基づく計測場所の特定作業や、搬送装置の動作状況の特定作業など、複雑な解析作業が必要であった。また、計測ユニットによる計測から当該計測された計測データが記憶部に記憶されるまでの間に、時間的な誤差がある場合には、解析作業を行うに際してそのような誤差も考慮する必要があり、解析作業が更に複雑化することとなっていた。

【0005】

上記実状に鑑みて、計測対象が実際に計測された場所と当該計測対象の計測情報とを対応させた情報を容易に取得可能な計測ユニットの実現が求められている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示に係る計測ユニットは、搬送装置によって物品を搬送する物品搬送設備において用いられる計測ユニットであって、前記搬送装置によって搬送される支持部と、前記支持部に支持されて、計測対象を計測する計測装置と、前記支持部に支持されて、予め設定された撮像範囲を撮像する撮像装置と、前記計測装置によって計測された計測内容を表示する表示部と、前記撮像装置によって撮像された撮像情報を記録する記録部と、を備え、前記撮像範囲は、前記表示部と、前記支持部の周囲の景色とを含んでいる。

【0007】

本構成によれば、計測対象が計測されることに伴って表示部に計測内容が表示された状態での当該表示部と、当該計測内容が表示された際における支持部の周囲の景色とを、一つの画像中に含めて撮像することができる。従って、計測対象が実際に計測された場所と当該計測対象の計測情報とを対応させた情報を容易に取得することができる。

【0008】

本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】物品搬送設備の平面模式図

【図2】搬送装置の一例を示す説明図

【図3】搬送対象である物品の斜視図

【図4】計測ユニットの斜視図

【図5】計測ユニットの構成を示す模式図

【図6】搬送装置による搬送中における計測ユニットによる計測状態を示す説明図

【図7】撮像情報の一例を示す図

【図8】設備内における計測ユニットによる計測箇所の例を示す説明図

【図9】保管部における計測ユニットによる計測状態を示す説明図

【発明を実施するための形態】

【0010】

１．第１実施形態
第１実施形態に係る計測ユニット１００について図面を参照して説明する。計測ユニット１００（図４等参照）は、図１に示すように、搬送装置８によって物品Ｗを搬送する物品搬送設備Ｆにおいて用いられ、例えば、設備内におけるパーティクル、温度、湿度、或いは振動など、予め計測対象として設定されているものを計測する。以下、計測ユニット１００について説明する前に、計測ユニット１００が用いられる物品搬送設備Ｆの一例について概略的に説明する。

【0011】

〔物品搬送設備の概要〕
図１に示す物品搬送設備Ｆは、例えば有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイを製造する設備に用いられるものである。この物品搬送設備Ｆでは、フラットパネルディスプレイの製造に用いられるガラス基板の搬送、処理、及び保管等が行われる。

【0012】

ガラス基板は、専用の容器に収容されて、物品搬送設備Ｆの各所に設けられた処理部（不図示）又は保管倉庫９等に搬送される。そして、ガラス基板は、処理部において各種の工程によって処理され、或いは、保管倉庫９において一時的または長期的に保管される。なお、ガラス基板を処理するための処理部は、保管倉庫９の内部に設けられている場合もある。本実施形態では、物品搬送設備Ｆにおいて搬送対象とされる物品Ｗは、このようなガラス基板を収容するための容器である。

【0013】

保管倉庫９は、物品搬送設備Ｆ内の各所に設けられている。図２は、保管倉庫９の一部を示す平面図である。図２に示す例では、保管倉庫９は、互いに間隔を開けて対向する一対の保管棚９０を有している。保管棚９０には、複数の保管部９１が上下方向および当該保管棚９０の長手方向（左右方向）に亘って並んで配置されている。本例では、保管棚９０は、複数の載置板９２と複数の支柱９３とを含んで構成されており、支柱９３によって載置板９２が支持されている。図示の例では、保管部９１は、保管棚９０の長手方向において隣り合う支柱９３の間の空間に形成されている。そして、各保管部９１は、一対の載置板９２を有し、物品Ｗは、一対の載置板９２によって下方から支持された状態で保管部９１に保管される。

【0014】

物品搬送設備Ｆには、物品Ｗを搬送するための各種の搬送装置８が備えられている。搬送装置８は、例えば、設備内の床上を走行する床上搬送車、設備内の天井付近に設置されたレール（天井走行レール）を走行する天井搬送車、物品Ｗを上下方向に沿って搬送するリフタ、載置面に載置された物品Ｗを連続的に搬送するコンベヤ、保管棚９０に沿って走行すると共に保管棚９０の複数の保管部９１との間で物品Ｗを移載するスタッカークレーン等、各種の搬送手段によって物品Ｗを搬送する装置である。床上搬送車としては、軌道（床上走行レール）上を走行する有軌道式、又は磁気等により誘導される無軌道式であってよい。天井搬送車としては、物品Ｗを昇降させる昇降機能を有すると共に物品Ｗを吊下げた状態で搬送する吊下げ搬送式、又は物品Ｗを載置した状態で搬送する載置搬送式であってよい。リフタとしては、設備内の同じ階において物品Ｗを昇降させる態様（例えば、床上とそれよりも上の天井搬送車との間で物品Ｗを受け渡しする態様）であってもよいし、設備内の異なる階に亘って物品Ｗを昇降させる階間搬送を行う態様であってもよい。コンベヤとしては、ベルトコンベヤ、ローラコンベヤ、或いはチェーンコンベヤ等の各種構成のコンベヤであってよい。物品搬送設備Ｆは、複数種類の搬送装置８によって物品Ｗを搬送する。以下、搬送装置８の一例として、スタッカークレーン８０の構成について説明する。

【0015】

本実施形態では、図２に示すように、スタッカークレーン８０は、保管倉庫９における一対の保管棚９０の間に設けられた走行レールＲ（棚間走行レール）を走行する。スタッカークレーン８０は、走行レールＲに案内されて保管棚９０の長手方向（左右方向）に沿って走行自在な走行台車８１と、走行台車８１に立設されたマスト８２に案内されて上下方向に移動自在な（すなわち昇降自在な）昇降体８３と、昇降体８３に支持されて保管棚９０に配置された複数の保管部９１のそれぞれとの間で物品Ｗを移載する移載部８４と、を備えている。

【0016】

スタッカークレーン８０は、移載部８４により、物品Ｗを移載する移載動作を行う。本実施形態では、移載部８４は、物品Ｗを下方から支持するフォーク部８４ａと、フォーク部８４ａを支持すると共に伸縮動作によって当該フォーク部８４ａを保管部９１に対して出退させるアーム部８４ｂと、を含んで構成されている。このように構成された移載部８４により、スタッカークレーン８０は、保管部９１に保管されている物品Ｗ（一対の載置板９２によって下方から支持されている物品Ｗ）を掬う掬い動作、及び、保管部９１に物品Ｗを降ろす（一対の載置板９２に物品Ｗを支持させる）降ろし動作を行う。掬い動作及び降ろし動作は、移載部８４（フォーク部８４ａ）の出退動作と昇降動作との組み合わせによって実現される。スタッカークレーン８０は、保管部９１から物品Ｗを取り出して入出庫口９９へ搬送し、或いは、入出庫口９９で受け取った物品Ｗを保管部９１に収納（保管）する。

【0017】

以上では、搬送装置８として、スタッカークレーン８０の構成を例に挙げて説明した。ここで、上述の床上搬送車、天井搬送車、リフタ等についても、物品Ｗを移載するための移載部を備えていてもよい。そして、そのような移載部としては、上述のような掬い動作や降ろし動作を行うものに限られない。例えば、移載部は、物品Ｗを把持する把持動作及び当該把持を解除する把持解除動作を行うように構成されていてもよく、或いは、物品Ｗの姿勢を変更するために、物品Ｗを旋回させる旋回動作を行うように構成されていてもよい。また、例えば、上述した吊下げ搬送式の天井搬送車が移載部を備える場合には、自車よりも下方にある移載箇所と自車との間で物品Ｗを昇降させる昇降動作も移載動作に含まれる。すなわち、「物品Ｗを移載する移載動作」には、各種の搬送装置８のそれぞれにおいて物品Ｗを移載するために必要な各種動作が含まれる。

【0018】

ここで、本例における物品搬送設備Ｆにおいて搬送対象とされる物品Ｗについて説明する。本例では、物品Ｗは、ガラス基板を収容するための容器である。図３に示す例では、物品Ｗは、直方体状の外形を有している。本実施形態では、物品Ｗは、容器の上側部分（上面部分）を構成する容器上枠部Ｗａと、下側部分（下面部分）を構成する容器下枠部Ｗｂと、対向する一対の横側部分（側面部分）のそれぞれを構成する容器側枠部Ｗｃと、後側部分（後面部分）を構成する容器後枠部Ｗｄと、前側部分（前面部分）において開口する容器開口部Ｗｅと、を有している。

【0019】

本実施形態では、容器上枠部Ｗａ及び容器下枠部Ｗｂは、平面視において矩形状を成す外枠を有する格子状に形成されている。容器側枠部Ｗｃは、容器上枠部Ｗａと容器下枠部Ｗｂとを連結する複数本（図示の例では５本）の縦枠を有して構成されている。容器後枠部Ｗｄは、容器上枠部Ｗａと容器下枠部Ｗｂとを連結する一対の縦枠と、当該一対の縦枠を水平方向に連結する一対の横枠と、を有して構成されている。そして、容器開口部Ｗｅは、物品Ｗ（容器）の内部と外部との間で被収容物（ここではガラス基板）を出し入れするための出入口部として構成されている。図示するように、容器開口部Ｗｅには、例えば容器後枠部Ｗｄが有するような枠は設けられていない。

【0020】

また、図示の例では、物品Ｗは、容器後枠部Ｗｄから物品Ｗ（容器）の内部に向かって水平方向に突出する第１支持部材Ｗｆ１と、一対の容器側枠部Ｗｃのそれぞれから物品Ｗの内部に向かって水平方向に突出する第２支持部材Ｗｆ２と、を更に有している。第１支持部材Ｗｆ１と第２支持部材Ｗｆ２とは、互いに同じ高さに配置されており、被収容物であるガラス基板を支持するように構成されている。そして、このような第１支持部材Ｗｆ１と第２支持部材Ｗｆ２との組が、上下方向に沿って複数組配置されている。これにより、物品Ｗとしての容器は、複数のガラス基板を上下方向の複数段に亘って収納することが可能となっている。

【0021】

〔計測ユニット〕
次に、計測ユニット１００について説明する。計測ユニット１００は、物品搬送設備Ｆにおいて用いられ、物品Ｗの代わりに搬送装置８によって搬送されて物品搬送設備Ｆの各所において計測対象を計測する。

【0022】

図４及び図５に示すように、計測ユニット１００は、搬送装置８（図１参照）によって搬送される支持部１と、支持部１に支持されて、計測対象を計測する計測装置２と、支持部１に支持されて、予め設定された撮像範囲ＩＲ（図６等参照）を撮像する撮像装置３と、計測装置２によって計測された計測内容ＭＣ（図７参照）を表示する表示部４と、撮像装置３によって撮像された撮像情報ＩＩ（図７参照）を記録する記録部５と、を備えている。

【0023】

〔支持部〕
支持部１は、搬送装置８によって搬送され、計測装置２と撮像装置３と表示部４とを支持する。本実施形態では、支持部１は、搬送装置８による搬送対象である物品Ｗと同等の外形を有している。すなわち本実施形態では、支持部１は、直方体状の外形を有する物品Ｗと同様に、直方体状の外形を有している。但し、このような構成に限定されることなく、支持部１は、物品Ｗとは異なる外形を有していてもよい。

【0024】

本実施形態では、支持部１は、計測装置２と撮像装置３と表示部４とを支持する支持板１０と、支持部１の上側部分（上面部分）を構成する上枠部１１と、下側部分（下面部分）を構成する下枠部１２と、対向する一対の横側部分（側面部分）のそれぞれを構成する側枠部１３と、後側部分（後面部分）を構成する後枠部１４と、前側部分（前面部分）において開口する開口部１５と、を有している。図示の例では、支持板１０は、下枠部１２に載置されている。また本例では、支持板１０には、表示部４が配置される位置よりも高い高さを有する支持台１０ａが設けられている。そして、撮像装置３は、支持台１０ａの上面において支持されている。従って本実施形態では、支持板１０は、支持台１０ａを介して間接的に撮像装置３を支持している。

【0025】

本実施形態では、上枠部１１及び下枠部１２は、平面視において矩形状を成す外枠を有する格子状に形成されている。側枠部１３は、上枠部１１と下枠部１２とを連結する複数本（図示の例では５本）の縦枠を有して構成されている。後枠部１４は、上枠部１１と下枠部１２とを連結する一対の縦枠と、当該一対の縦枠を水平方向に連結する一対の横枠と、を有して構成されている。なお、開口部１５には、例えば後枠部１４が有するような枠は設けられていない。このように、本例では、支持部１は、外形を構成する部分である、上枠部１１、下枠部１２、側枠部１３、及び後枠部１４が、搬送対象である物品Ｗと同等の形状を有している。但し、支持部１は、上述のような物品Ｗに設けられる第１支持部材Ｗｆ１及び第２支持部材Ｗｆ２（図３参照）を有していない。そして、支持部１は、物品Ｗには設けられていない支持板１０（及び支持台１０ａ）を有している。従って、本例では、物品Ｗ（容器）から、第１支持部材Ｗｆ１及び第２支持部材Ｗｆ２を取り除くと共に支持板１０（及び支持台１０ａ）を追加することで、支持部１を形成することができる。

【0026】

〔計測装置〕
計測装置２は、予め設定された計測対象を計測する。本実施形態では、計測対象は、計測装置２の周囲におけるパーティクルの量であり、計測装置２は、空気中の塵、埃、異物、ダスト等を計測する微粒子計（いわゆるパーティクルカウンタ）である。本例では、計測装置２は、当該計測装置２の周囲の空気を吸引し、その中に含まれるパーティクルの大きさ及び数量を計測する。但し、上記のような構成に限定されることなく、計測対象は、計測装置２の周囲における、パーティクルの量、温度、湿度、及び、振動の少なくとも１つを含んでいればよい。従って、計測装置２は、微粒子計、温度計、湿度計、及び振動計の少なくとも１つの機能を有していればよい。計測装置２が温度を計測する場合、当該計測装置２は設置場所の周囲の気温を計測する。計測装置２が湿度を計測する場合、当該計測装置２は設置場所の周囲の空気の湿度を計測する。計測装置２が振動を計測する場合、当該計測装置２は設置場所である支持部１（支持板１０）の振動を計測する。この場合、計測装置２は、例えば、振動の大きさ（振幅）や振動数等を計測する。

【0027】

本実施形態では、計測装置２は、支持部１における支持板１０に支持されている。但し、このような構成に限定されることなく、計測装置２は、支持部１におけるいずれかの部分に支持されていていればよい。計測装置２が支持される箇所は、計測対象を計測するのに適した箇所となるように、計測対象に応じて適宜設定するとよい。

【0028】

図示の例では、計測装置２は、支持板１０における中央領域を挟んで、撮像装置３が配置された領域とは反対側の領域に配置されている。より具体的には、計測装置２は、支持板１０における後枠部１４の側の領域に配置された撮像装置３よりも、支持板１０における開口部１５の側の領域に配置されている。

【0029】

〔表示部〕
図７に示すように、表示部４は、計測装置２によって計測された計測内容ＭＣを表示する。本実施形態では、計測内容ＭＣは、パーティクルの大きさ及び数量である。但し、これに限定されることなく、計測内容ＭＣは、計測装置２が計測する計測対象に応じて定まる。例えば、計測内容ＭＣは、計測装置２が温度を計測する場合には温度であり、湿度を計測する場合には湿度であり、振動である場合には振動の大きさ（振幅）や振動数等である。

【0030】

本実施形態では、表示部４は、計測装置２による計測対象の計測後、即時に計測内容ＭＣを表示する。具体的には、計測装置２は一定の計測周期で（例えば１秒毎に）計測対象の計測を行っており、表示部４は、このような計測装置２による計測周期毎に、得られた計測結果に基づいて更新した計測内容ＭＣを表示する。これにより、表示部４は、計測装置２によって計測された計測内容ＭＣの変化を随時表示する。

【0031】

本実施形態では、図７に例示するように、表示部４は、計測内容ＭＣに加えて、現時刻Ｔを表示する。これにより、計測対象が計測された計測時刻を容易に把握することが可能となっている。

【0032】

ここで、図４〜図６に示すように、表示部４は、撮像装置３の撮像範囲ＩＲ（図６参照）に収まるように配置されている。本実施形態では、表示部４は、支持部１（直方体状の支持部１）によって囲まれた空間に配置されている。図示の例では、表示部４は、当該空間において、撮像装置３よりも開口部１５の側に配置されている。そして、表示部４は、当該空間において、後枠部１４の側に配置された撮像装置３と対向するように配置されている。

【0033】

本実施形態では、表示部４は、計測装置２と一体的に構成されている。より具体的には、表示部４は、計測装置２の一部を構成している。そして、本例では、表示部４及び計測装置２の双方が、撮像装置３の撮像範囲ＩＲに収まるように配置されている。但し、上記のような構成に限定されることなく、表示部４と計測装置２とは、別々に設けられて、それぞれ異なる位置に配置されていてもよい。この場合、表示部４は撮像装置３の撮像範囲ＩＲに収まるように配置されるが、計測装置２については、撮像範囲ＩＲの外に配置されていてもよい。

【0034】

〔撮像装置〕
撮像装置３は、予め定められた撮像範囲ＩＲを撮像する。本実施形態では、撮像装置３は、撮像範囲ＩＲの動画を撮像する。撮像装置３が撮影する画角は、広い方が支持部１の周囲の景色を広く撮影できるため好適である。撮像装置３の画角は、例えば６０°以上であるとよい。撮像装置３として、全方位を同時に撮影可能な全天球カメラや特定面に対して一方側の全体を同時に撮影可能な半球カメラ等を用いても好適である。或いは、撮像装置３として、異なる方向に向けて設置した複数台の広角カメラを用いてもよい。本例では、撮像装置３は、計測装置２が配置された方向を向く画角１２０°程度の広角カメラ１台で構成されている。また、撮像装置３は、暗い場所でも適切に撮像可能な暗視機能を有していると更によい。撮像装置３としては、例えばアクションカメラなど、振動耐久性の高いものを用いると好適である。また、撮像装置３として、撮像機能と映像記録機能とを有するもの（いわゆるドライブレコーダ等）を用いてもよい。

【0035】

〔記録部〕
記録部５は、撮像装置３によって撮像された撮像情報ＩＩ（図７参照）を記録する。記録部５は、撮像装置３自体が備えていてもよいし、撮像装置３とは別に設けられて、有線又は無線により当該撮像装置３と通信可能に構成されていてもよい。

【0036】

〔撮像範囲、撮像情報〕
次に、撮像装置３が撮像する撮像範囲ＩＲ、及び、撮像により取得される撮像情報ＩＩについて、主に図６及び図７を参照して説明する。

【0037】

図６は、保管倉庫９の内部において、搬送装置８としてのスタッカークレーン８０が計測ユニット１００を搬送中である状態の一例を示している。図７は、撮像情報ＩＩの一例であり、図６に示された状態で撮像装置３により取得される撮像情報ＩＩを示している。ここで、撮像情報ＩＩは、撮像装置３が撮像範囲ＩＲを撮像することによって取得される画像情報（動画情報）である。すなわち、撮像情報ＩＩは、各撮像時点における撮像範囲ＩＲの画像情報である。

【0038】

撮像範囲ＩＲは、表示部４と、支持部１の周囲の景色とを含んでいる。これにより、表示部４と、支持部１の周囲の景色とが、撮像情報ＩＩに含まれる。撮像情報ＩＩに表示部４が含まれていることにより、物品搬送設備Ｆの保守等を行う作業者は、撮像情報ＩＩを確認すれば表示部４の状態を把握することができる。すなわち本例では、計測装置２によって随時計測されたパーティクルの大きさ及び数量の変化の状態を、撮像情報ＩＩを介して作業者が把握することが可能となっている。また、撮像情報ＩＩに支持部１の周囲の景色が含まれていることで、当該撮像情報ＩＩが取得された際の支持部１（計測ユニット１００）の物品搬送設備Ｆ内における位置を作業者が把握することが可能となっている。これにより、作業者は、撮像情報ＩＩを確認することで、計測装置２による計測内容ＭＣの状態変化と、当該状態変化が生じた際の支持部１の位置とを関連付けて認識することができる。図６に示す例では、撮像範囲ＩＲには、支持部１の周囲の景色として保管部９１が含まれている。よって、図７に示す撮像情報ＩＩにも、保管部９１が含まれている。従って、図示の例では、撮像情報ＩＩを確認した作業者は、当該撮像情報ＩＩが取得された際の計測ユニット１００の位置が、保管倉庫９（図１等参照）の内部であることを容易に認識できる。

【0039】

本実施形態では、撮像範囲ＩＲは、支持部１を搬送中の搬送装置８及び当該搬送装置８の周囲の景色の少なくとも一方を含んでいる。これにより、支持部１を搬送中の搬送装置８及び当該搬送装置８の周囲の景色の少なくとも一方が、撮像情報ＩＩに含まれる。支持部１を搬送中の搬送装置８が撮像情報ＩＩに含まれていることにより、物品搬送設備Ｆの保守等を行う作業者は、撮像情報ＩＩを確認すれば、支持部１を搬送中の搬送装置８の種類（例えば、スタッカークレーン８０、天井搬送車、或いは床上搬送車などの種類）や、当該搬送装置８の動作状態等を把握することができる。そして、支持部１を搬送中の搬送装置８の周囲の景色が撮像情報ＩＩに含まれることで、当該撮像情報ＩＩを介して、搬送装置８の位置や動作状況を把握することができる。このように、撮像情報ＩＩは、支持部１を搬送中の搬送装置８の動作状況を含んでいると好適である。例えば、撮像情報ＩＩにおいて、支持部１を搬送中の搬送装置８の周囲の景色が変化する場合には、搬送装置８が移動するなど何らかの動作を行っている状況であることを把握できる。反対に、搬送装置８の周囲の景色が変化しない場合には、搬送装置８が停止中の状況であることを把握できる。例えば図７に示す撮像情報ＩＩにおいて、スタッカークレーン８０（図６参照）の周囲の景色に含まれる保管部９１が、スタッカークレーン８０に対して図中左右方向に移動するように変化している場合には、作業者は、当該スタッカークレーン８０が走行レールＲに沿って走行している状況であることを認識できる。

【0040】

また本実施形態では、搬送装置８の動作状況には、搬送装置８（移載部）による移載動作の状況が含まれる。例えば図７に示す撮像情報ＩＩにおいて、スタッカークレーン８０（図６参照）の周囲の景色に含まれる保管部９１が、スタッカークレーン８０に対して図中奥行方向に近づくように又は遠ざかるように変化している場合には、作業者は、当該スタッカークレーン８０が出退動作（移載動作）を行っている状況であることを認識できる。

【0041】

ここで上述のように、本実施形態では、物品搬送設備Ｆには、複数種類の搬送装置８が備えられており、これら搬送装置８のそれぞれが行う移載動作には、複数種類の動作が含まれる。例えば、スタッカークレーン８０の場合には、移載動作として、上述したような出退動作に加えて、物品Ｗや支持部１を昇降させる掬い動作や降ろし動作が含まれる。搬送装置８が天井搬送車の場合には、移載動作として、上述したような、把持動作、把持解除動作、及び昇降動作などが含まれる。これらの各動作が行われている状況は、撮像情報ＩＩに基づいて、支持部１を搬送中の搬送装置８の周囲の景色の変化により把握できる。或いは、当該搬送装置８自体が撮像情報ＩＩに含まれる場合には、搬送装置８の各動作状況を当該撮像情報ＩＩから直接的に把握することができる（すなわち搬送装置８の動作自体を確認できる。）。例えば、上述の天井搬送車（搬送装置８）による把持動作や把持解除動作は、天井搬送車（搬送装置８）の周囲の景色の変化を伴わない場合があるが、撮像情報ＩＩに天井搬送車（搬送装置８）の把持動作を行う部分が含まれていれば、そのような動作状況も撮像情報ＩＩから容易に把握することができる。

【0042】

上述のように、本実施形態では、表示部４は、支持部１によって囲まれた空間において、撮像装置３よりも開口部１５の側に配置され、後枠部１４の側に配置された撮像装置３と対向するように配置されている。すなわち図７に示すように、撮像装置３の側から表示部４を見て、表示部４の後方は、支持部１の開口部１５となっている。この配置構成としたことにより、撮像情報ＩＩに含まれる支持部１の周囲の景色が、当該支持部１を構成する部材によって遮られることを少なくすることができる。すなわち、作業者が撮像情報ＩＩを確認した場合に、支持部１の周囲の景色、又は支持部１を搬送中の搬送装置８の周囲の景色を把握し易くなっている。

【0043】

更に、上述のように、本実施形態では、撮像装置３は、表示部４が配置される位置よりも高い高さを有する支持台１０ａの上面に支持されている。すなわち本例では、撮像装置３の配置される位置が、表示部４の配置される位置よりも上方となっている。これにより、表示部４よりも上方の位置から当該表示部４を下に見るように撮像範囲ＩＲを設定することができる。従って、支持部１の周囲の景色、又は支持部１を搬送中の搬送装置８の周囲の景色を俯瞰的に把握し易い撮像情報ＩＩを取得可能となっている。

【0044】

また、上述のように、本実施形態では、表示部４は、計測内容ＭＣに加えて、現時刻Ｔを表示する。そのため、図７に示すように、撮像情報ＩＩには、計測内容ＭＣに加えて、現時刻Ｔが含まれる。これにより、作業者は、撮像情報ＩＩに基づいて、計測内容ＭＣを、当該計測内容ＭＣが計測された計測時刻と対応づけて把握することができる。

【0045】

以上説明した計測ユニット１００によれば、物品搬送設備Ｆ内において、計測装置２により計測された計測内容ＭＣを、計測が行われた場所、時刻、及びその時の搬送装置８の動作状況に対応づけて把握することが可能となる。そして、例えば計測装置２によってパーティクル（パーティクルの大きさ及び数量）を計測する構成である場合には、物品搬送設備Ｆの保守等を行う作業者が、パーティクルの発生場所や発生要因等を特定する作業を容易に行うことが可能となる。

【0046】

また、上述のように、本実施形態では、表示部４は、計測装置２による計測対象の計測後、即時に（リアルタイムに）計測内容ＭＣを表示する。このため、計測装置２による計測対象の計測内容ＭＣの変化を、表示部４に随時表示することができる。これにより、作業者が、撮像情報ＩＩに基づいて、計測対象が計測された場所、時刻、及びその時の搬送装置８の動作状況等を精度高く特定することが可能となる。

【0047】

また、以上では、支持部１（計測ユニット１００）を搬送する搬送装置８として、主にスタッカークレーン８０を例に挙げて説明した。しかし、図８に示すように、計測ユニット１００は、物品搬送設備Ｆに備えられる複数種類の搬送装置８のそれぞれによって搬送することができる。上述のように、撮像装置３の撮像範囲ＩＲには、支持部１（計測ユニット１００）を搬送中の搬送装置８及び当該搬送装置８の周囲の景色の少なくとも一方が含まれる。そのため、計測対象が計測された場所のみならず、支持部１（計測ユニット１００）を搬送中の搬送装置８の種類や当該搬送装置８の動作状況を、作業者は撮像情報ＩＩを介して把握することができる。例えば、計測対象がパーティクル（パーティクルの大きさ及び数量）である場合には、搬送対象がどの種類の搬送装置８によって搬送されている際にパーティクルが発生し易いか、或いは、搬送装置８のどのような動作によってパーティクルが発生し易いか等を、作業者は撮像情報ＩＩを確認して適切に把握することができる。

【0048】

また、以上では、支持部１（計測ユニット１００）が搬送装置８によって搬送されている状態を例に挙げて説明したが、計測ユニット１００は、搬送されているか否かに関係なく、物品搬送設備Ｆ内のいずれかに在る状態で、計測対象を計測することができる。例えば図９に示すように、計測ユニット１００は、保管倉庫９の保管部９１に保管されている状態で計測対象を計測することもできる。この場合、計測ユニット１００は、走行レールＲの側に配置された搬送装置８（図示の例ではスタッカークレーン８０）が撮像範囲ＩＲに含まれるように、保管部９１に保管されるとよい。このような計測ユニット１００によれば、計測ユニット１００が搬送装置８によって搬送されていない状態であっても、撮像情報ＩＩを確認した作業者は、周辺の搬送装置８の動作状況等を把握することができる。従って、当該作業者は、保管部９１において計測された計測内容ＭＣを、当該周辺の搬送装置８の動作状況等と対応づけて把握することができる。

【0049】

２．その他の実施形態
次に、計測ユニットのその他の実施形態について説明する。

【0050】

（１）上記の実施形態では、表示部４が、計測内容ＭＣに加えて現時刻Ｔを表示する例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、表示部４は、現時刻Ｔを表示しなくてもよい。この場合には、撮像情報ＩＩを記録する記録部５が、当該撮像情報ＩＩと関連付けた状態で現時刻Ｔの情報を記録する機能を有していてもよい。そして、このように記録された現時刻Ｔの情報は、撮像情報ＩＩと合わせて作業者によって確認できるようにされていると好適である。また、表示部４は、現時刻Ｔに代えて、又は現時刻Ｔに加えて、現時刻Ｔ以外の各種情報を表示してもよい。

【0051】

（２）上記の実施形態では、計測ユニット１００が用いられる物品搬送設備Ｆが、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイを製造する設備に用いられる場合を例に挙げて説明した。しかし、このような例に限定されることなく、計測ユニット１００が用いられる物品搬送設備Ｆは、例えば各種工業製品や各種食料品などを製造又は加工する設備等に用いられるものであってもよい。

【0052】

（３）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0053】

３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した計測ユニットの概要について説明する。

【0054】

本開示に係る計測ユニットは、搬送装置によって物品を搬送する物品搬送設備において用いられる計測ユニットであって、前記搬送装置によって搬送される支持部と、前記支持部に支持されて、計測対象を計測する計測装置と、前記支持部に支持されて、予め設定された撮像範囲を撮像する撮像装置と、前記計測装置によって計測された計測内容を表示する表示部と、前記撮像装置によって撮像された撮像情報を記録する記録部と、を備え、前記撮像範囲は、前記表示部と、前記支持部の周囲の景色とを含んでいる。

【0055】

本構成によれば、計測対象が計測されることに伴って表示部に計測内容が表示された状態での当該表示部と、当該計測内容が表示された際における支持部の周囲の景色とを、一つの画像中に含めて撮像することができる。従って、計測対象が実際に計測された場所と当該計測対象の計測情報とを対応させた情報を容易に取得することができる。

【0056】

ここで、
前記撮像範囲は、前記支持部を搬送中の前記搬送装置及び当該搬送装置の周囲の景色の少なくとも一方を含み、前記撮像情報は、前記支持部を搬送中の前記搬送装置の動作状況を含んでいると好適である。

【0057】

本構成によれば、支持部を搬送中の搬送装置の移動、停止、移載などの動作状況に対応した計測情報を容易に取得することができる。

【0058】

また、
前記表示部は、前記計測内容に加えて、現時刻を表示すると好適である。

【0059】

本構成によれば、計測が行われた時刻や計測内容の時間的な変化等を、計測情報として取得することができる。

【0060】

ここで、
前記支持部は、前記搬送装置による搬送対象である前記物品と同等の外形を有すると好適である。

【0061】

本構成によれば、実際に物品が搬送されている際の状況と近い状況における計測情報を取得することができる。

【0062】

また、
前記計測対象は、前記計測装置の周囲における、パーティクルの量、温度、湿度、及び、振動の少なくとも１つを含むと好適である。

【0063】

本構成によれば、計測ユニットが搬送される搬送経路の各所における、パーティクルの量、温度、湿度、及び、振動の少なくとも１つを、計測情報として取得することができる。

【産業上の利用可能性】

【0064】

本開示に係る技術は、搬送装置によって物品を搬送する物品搬送設備において用いられる計測ユニットに利用することができる。

【符号の説明】

【0065】

１００ ：計測ユニット
１ ：支持部
２ ：計測装置
３ ：撮像装置
４ ：表示部
５ ：記録部
８ ：搬送装置
ＩＩ ：撮像情報
ＩＲ ：撮像範囲
ＭＣ ：計測内容
Ｔ ：現時刻
Ｆ ：物品搬送設備
Ｗ ：物品

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】