特許 6963432 高速中性子原子炉の吸収アセンブリを液圧制動するための装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6963432

(24)【登録日】2021年10月19日

(45)【発行日】2021年11月10日

(54)【発明の名称】高速中性子原子炉の吸収アセンブリを液圧制動するための装置

(51)【国際特許分類】

   G21C 7/20 20060101AFI20211028BHJP

【ＦＩ】

   G21C7/20

【請求項の数】8

【外国語出願】

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2017-136206(P2017-136206)

(22)【出願日】2017年7月12日

(65)【公開番号】特開2018-31773(P2018-31773A)

(43)【公開日】2018年3月1日

【審査請求日】2020年6月12日

(31)【優先権主張番号】1656683

(32)【優先日】2016年7月12日

(33)【優先権主張国】FR

(73)【特許権者】

【識別番号】509337414

【氏名又は名称】アレバ・エヌペ

(73)【特許権者】

【識別番号】311015001

【氏名又は名称】コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク・エ・オ・エネルジ・アルテルナテイブ

(74)【代理人】

【識別番号】110001173

【氏名又は名称】特許業務法人川口國際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】エリク・ラバリエール

(72)【発明者】

【氏名】ブノワ・ペラン

【審査官】 中尾 太郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭５０−０９５６９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６０−２６０８８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６１−２２５６８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−２６５１９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０４８５１１８６（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ２１Ｃ ７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリ（１００）を液圧制動するための装置（４００，５００）であって、前記吸収アセンブリ（１００）は、シース（１１０）と、中性子吸収材料が含まれるジャケット（２１０）を備えた可動セット（２００）とを含み、前記可動セット（２００）は、前記シース（１１０）内でダウン位置とアップ位置との間を垂直に移動することができ、前記シース（１１０）では前記冷却液体金属が内部を通過し、
前記液圧制動装置が、
前記可動セット（２００）の下部に固定することができる第１の部分（４２０）であって、前記第１の部分はその下端にピストン（４２１，５２１）を含む、第１の部分（４２０）と、
前記シース（１１０）の内部に固定され、前記シース（１１０）の内部に台座を形成して前記第１の部分（４２０）の前記ピストン（４２１，５２１）を受け入れることができる第２の部分（４１０，５１０）と、
を含み、
前記第１の部分（４２０）の前記ピストン（４２１，５２１）と前記制動装置（４００，５００）の第２の部分（４１０，５１０）は、前記可動セット（２００）がそのダウン位置にあるときに協働して、リーク経路を有する第１の液体金属捕捉チャンバを構成することができ、前記リーク経路は、前記ピストン（４２１，５２１）の外面と前記第２の部分（４１０，５１０）の内面との間に画定された環状空間によって形成され、
前記制動装置（４００，５００）は、第１の部分（４２０）が、その上部部分に可動セット（２００）の前記ジャケット（２１０）に固定することができるグリッド（２３０ａ）を含み、前記グリッド（２３０ａ）は可動セット（２００）のジャケット（２１０）の内部に液体金属を通過させるための開口を含むことを特徴とし、
前記ピストン（４２１，５２１）が、
第１の前部（４２１ａ）と、
円錐頂点が前記ピストン（４２１）の後方に向けられた第２の実質的に円錐形状の部分（４２１ｂ）と、
前記第２の実質的に円錐形状の部分（４２１ｂ）と前記グリッド（２３０ａ）との間に延在する第３の実質的に円筒形状の部分（４２１ｃ）と、
を有し、
前記第３の実質的に円筒形状の部分（４２１ｃ）は、前記第１の前部（４２１ａ）および前記第２の実質的に円錐形状の部分（４２１ｂ）の断面と比較して減少した断面を有する、ことを特徴とする、
冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリ（１００）を液圧制動するための装置（４００，５００）。

【請求項2】

ピストン（４２１，５２１）およびグリッド（２３０ａ）が一体になっていることを特徴とする、請求項１に記載の冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリ（１００）を液圧制動するための装置（４００，５００）。

【請求項3】

前記第１の前部（４２１ａ）が、その円錐頂点が前記ピストン（４２１）の前方に向けられた実質的に円錐形状を有するか、平面輪郭または凹輪郭を有することを特徴とする、請求項１に記載の冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリ（１００）を液圧制動するための装置（４００，５００）。

【請求項4】

前記第２の実質的に円錐形状の部分（４２１ｂ）と前記グリッド（２３０ａ）との間に延在する前記第３の実質的に円筒形状の部分（４２１ｃ）が、前記グリッド（２３０ａ）まで延在するフィン（４２３）を含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリ（１００）を液圧制動するための装置（４００，５００）。

【請求項5】

ピストン（５２１）が内部チャンバ（５２２）を含み、前記第２の部分（５１０）が、第２の部分（５１０）の内部容積に設けられた突起（５１１）を含み、前記突起（５１１）は、前記可動要素（２００）がそのダウン位置にあるときに前記内部チャンバ（５２２）と協働して第２の液体金属チャンバを形成し、そのリーク経路は、前記突起（５１１）の外面と前記ピストン（５２１）の前記内部チャンバ（５２２）の内面との間に画定された環状空間によって形成されることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリ（１００）を液圧制動するための装置（４００，５００）。

【請求項6】

前記ピストン（４２１，５２１）を受け入れるために前記シース（１１０）の内部に台座を形成している前記第２部分（４１０，５１０）が、液体金属の通過を可能にする複数のポート（４１２）を含むことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリ（１００）を液圧制動するための装置（４００，５００）。

【請求項7】

前記冷却液体金属が内部を通過するシース（１１０）と、
中性子吸収材料が含まれるジャケット（２１０）を備えた可動セット（２００）であって、前記可動セットは、前記シース（１１０）内でダウン位置とアップ位置との間を垂直に移動する、可動セット（２００）と、
前記可動セット（２００）を制動するための請求項１〜６のいずれか一項に記載の液圧制動装置と、
を含むことを特徴とする、冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリ（１００）。

【請求項8】

請求項７に記載の吸収アセンブリ（１００）を含む冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ナトリウムなどの液体金属によって冷却される高速中性子原子炉（ＦＮＲ）の吸収アセンブリを液圧制動するための装置の分野に関する。

【0002】

より詳細には、本発明は、六角形のシース内を移動可能な吸収アセンブリを液圧制動するための装置に関する。本発明は、より正確には、可動セットをシース内に案内するための装置を含まない、すなわち可動セットの落下がシース内で半径方向に完全に自由である、吸収アセンブリを液圧制動するための装置に関する。

【背景技術】

【0003】

高速中性子原子炉では、炉心は、冷却液体、一般に液体ナトリウムで満たされた反応容器内に垂直に配置された異なるプリズム形状のアセンブリからなる。

【0004】

これらのアセンブリの大部分は、炉心における中性子の動きに関わる燃料集合体である。

【0005】

他のアセンブリは、原子炉の運転および／または停止に使用され、中性子吸収材料を含む。これらのアセンブリは、典型的には、吸収アセンブリと呼ばれる。これらの吸収アセンブリは、特に、中性子吸収材料を含む可動セットが垂直に移動するシース（例えば、六角形のもの）によって形成される。

【0006】

原子炉の運転および炉心出力の制御は、吸収材料を含む可動セットを炉心に多かれ少なかれ挿入することによって達成される。原子炉の停止は、吸収アセンブリのセットの可動セットを最大挿入位置に導入することによって達成される。

【0007】

原子炉の緊急停止の場合、可動吸収セットはシース内で非常に迅速に降下しなければならない。一般的に、可動セットは、その重量の影響を受ける。したがって、吸収要素およびその移動機構を含むことができる可動セットは、かなりの重量を有し、ストロークエンドのスピードが重要となり得る。可動セットがその垂直方向の運動機構から偶然解放された場合も同様である。

【0008】

したがって、可動セットは、シースの下部でのその迅速な下方移動の終わりに停止されなければならない。このように、液圧ダッシュポットとも呼ばれる粘性消散器の原理で動作する制動装置すなわち減衰装置が提供され、著しいヘッドロスの発生による可動セットの落下中に運動エネルギーを吸収する可能性がある。

【0009】

文書 ＦＲ８３０６１６４は、液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリに組み込まれた制動装置の例を記載している。

【0010】

しかしながら、吸収アセンブリのアーキテクチャに組み込まれたこれらの制動装置は、吸収アセンブリの大幅な変更を生成し、製造が比較的複雑である。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

この背景において、本発明は、高速中性子原子炉の吸収アセンブリを液圧制動するための装置を提供し、そのような装置を含む吸収アセンブリの統合および製造を容易にしながら、そのような装置の製造を簡略化することを可能にすることを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0012】

このため、本発明の１つの目的は、冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリを液圧制動するための装置であり、前記吸収アセンブリは、シースと、中性子吸収材料が含まれるジャケットを備えた可動セットとを含み、前記可動セットは、前記シース内でダウン位置とアップ位置との間を垂直に移動することができ、前記シースでは前記冷却液体金属が内部を通過し、
前記液圧制動装置が、
前記可動セットの下部に固定することができる第１の部分であって、前記第１の部分はその下端にピストンを含む、第１の部分と、
前記シースの内部に固定され、前記シースの内部に台座を形成して前記第１の部分の前記ピストンを受け入れることができる第２の部分と、
を含み、
前記第１の部分の前記ピストンと前記制動装置の第２の部分は、前記可動セットがそのダウン位置にあるときに協働して、リーク経路を有する第１の液体金属捕捉チャンバを構成することができ、前記リーク経路は、前記ピストンの外面と前記第２の部分の内面との間に画定された環状空間によって形成され、
前記制動装置は、第１の部分が、その上部部分に可動セットの前記ジャケットに固定することができるグリッドを含み、前記グリッドは可動セットのジャケットの内部に液体金属を通過させるための開口を含むことを特徴とする。

【0013】

本発明による冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリを液圧制動するための装置は、以下の特徴のうちの１つまたは複数を、単独で、または技術的に可能な組合せに従って、有することもできる。

【0014】

ピストンとグリッドが一体になっており、
前記ピストンが、
第１の前部と、
円錐頂点が前記ピストンの後方に向けられた第２の実質的に円錐形状の部分と、
前記第２の部分（４２１ｂ）と前記グリッドとの間に延在する第３の実質的に円筒形状の部分と、を有し、
前記第１の前部が、その円錐頂点が前記ピストンの前方に向けられた実質的に円錐形状を有するか、平面輪郭または凹輪郭を有し、
前記第２の部分と前記グリッドとの間に延在する前記第３の実質的に円筒形状の部分が、前記グリッドまで延在するフィン（４２３）を含み、
ピストンが内部チャンバを含み、前記第２の部分が、第２の部分の内部容積に設けられた突起を含み、前記突起は、前記可動要素がそのダウン位置にあるときに前記内部チャンバと協働して第２の液体金属チャンバを形成し、そのリーク経路は、前記突起の外面と前記ピストンの前記内部チャンバの内面との間に画定された環状空間によって形成され、
前記ピストンを受け入れるために前記シースの内部に台座を形成している前記第２部分が、液体金属の通過を可能にする複数のポートを含む。本発明の別の目的は、冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリにおいて、
前記冷却液体金属が内部を通過するシースと、
中性子吸収材料が含まれるジャケットを備えた可動セットであって、前記可動セットは、前記シース内でダウン位置とアップ位置との間を垂直に移動する、可動セットと、
可動セットを制動するための本発明による液圧制動装置と、
を含むことを特徴とする。

【0015】

本発明の別の目的は、本発明による吸収アセンブリを含む冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉である。

【0016】

本発明のさらなる特徴および利点は、添付の図面を参照して以下の説明を読むことにより明らかとされよう。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明による制動装置の第１の実施形態を含む高速中性子原子炉の吸収アセンブリの垂直対称面による断面図を示しており、可動セットを炉心から完全に引き出されるアップ位置に示している。

【図2】図１に示した本発明による制動装置の円錐台状の台座の断面図である。

【図3】図１に示した吸収アセンブリの可動セットを、そのダウン位置に示した部分図である。

【図4】本発明による制動装置の第２の実施形態を含む高速中性子原子炉の吸収アセンブリの部分図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

図面を通して、他に示さない限り、共通の要素は同じ参照符号を有する。

【0019】

この特許出願で使用されている用語「下（ｌｏｗｅｒ）」、「上（ｕｐｐｅｒ）」は、吸収アセンブリ内部の冷却流体の流れの方向、すなわち垂直方向に沿って上向きを基準として定義される。

【0020】

図１は、本発明による制動装置４００の第１の実施形態を含む高速中性子原子炉の吸収アセンブリ１００の垂直対称面による断面図を示している。

【0021】

吸収アセンブリ１００は、特に、吸収材料を含む可動セット２００が移動する炉心内で垂直に延びる六角形のシース１１０を含み、シース１１０内の可動セット２００の位置は、炉心の所望の中性子の動きの関数として決定される。実際、原子炉の運転および炉心出力の制御は、吸収材料を含む可動セット２００を炉心に多かれ少なかれ挿入することによって達成される。

【0022】

シース１１０の下端（図示せず）は、炉心燃料集合体のための支持体として作用するボルスタの内部に従来方式で係合している。このシース１１０の下端は、循環ポンプから出て、シース１１０の内部容積の内側に導入されるボルスタの中心領域を循環する冷却液体ナトリウム流を可能にする開口を含む。

【0023】

吸収アセンブリ１００の可動セット２００は、図１の中間位置、すなわちそのダウン位置とそのアップ位置との間の位置に示されている。可動セット２００は、吸収材料の複数のニードル２２０を含むジャケット管２１０を含んでいる。ニードル２２０およびジャケット管２１０は、下側グリッド２３０ａおよび上側グリッド２３０ｂによって両側が取り囲まれており、グリッド２３０ａ，２３０ｂは、ニードルの端部が導入され、ニードル２２０がジャケット管２１０内の所定の位置に保持されることを可能にする複数の孔すなわち座ぐり穴を、ジャケット管２１０の内側に面するそれらの面に有している。下側グリッド２３０ａおよび上側グリッド２３０ｂはまた、液体ナトリウムの循環のための複数の通路を形成する貫通開口を有し、したがって、図１の矢印によって示されるようにジャケット管２１０の内部で液体ナトリウムの供給を可能にする。

【0024】

可動セット２００の上側グリッド２３０ｂが掛止片２４０と協働することで、そのアップ位置（コアから完全に引き出される）とそのダウン位置（コアに完全に挿入される）との間で可動セット２００を垂直方向に沿って移動させるための機構（図示せず）を介して、可動セット２００をシース１１０内で引っ掛けて移動させることができる。

【0025】

偶発的な掛止解除中または原子炉の緊急停止を引き起こしている間でさえ、掛止片２４０と可動セット２００を移動させる機構との間の接続は中断され、可動セット２００は、そのダウン位置でのその自重作用によりシース１１０内で落下する。

【0026】

本発明による液圧制動装置４００は、落下中の可動要素の運動エネルギーを吸収することを可能にする。制動装置４００は、著しいヘッドロスを生じさせることによってその下向き運動の終わりに可動セット２００の落下を減衰させて制動する液圧ダッシュポットとも呼ばれる粘性消散器である。

【0027】

液圧制動装置４００は、シース１１０の下部領域１１０ａに配置され、ボルスタに係合された端部よりも垂直方向上方に位置する第１の部分４１０と、可動セット２００と一体の第２の部分４２０とによって形成され、両方の部分４１０，４２０が協働して、可動セットがそのダウン位置に到着したときに著しいヘッドロスを生じさせる。

【0028】

図１〜図３に示す第１の実施形態では、シース１１０の内部容積に配置された制動装置４００の第１の部分４１０が液圧制動装置４００の雌部分を形成している。この第１の部分は、そのために設けられた手段によってシース１１０内に軸線方向に同心円状に固定された実質的に円錐台状の台座を形成する中空体によって形成されている。

【0029】

円錐台状の台座４１０すなわち液圧制動装置４００の雌部分は、シースの内側六角形壁と協働してシース１１０内で垂直に上昇する液体ナトリウム流偏向器を形成する六角形断面の上部部分４１１を有する。台座４１０の上部部分におよび六角形断面の部分４１１のわずかに下に、台座４１０は、台座４１０の周縁部に分布するポート４１２を含んでいる。ポート４１２は、特に可動セット２００が移動するその上部領域１１０ｂにおいて、シース１１０の液体ナトリウム供給の連続性を、確実にすることを可能にする。

【0030】

図３に示すように、可動セット２００のダウン位置すなわち落下位置では、下側グリッド２３０ａは、その六角形の上部部分４１１で円錐台状の台座４１０に当接し、局所的なシールを形成し、液体ナトリウム流が、図３の矢印によって示されているように、下側グリッド２３０ａの孔を通ってジャケット管２１０に直接方向転換される。この特に好適な構成は、可動セット２００がシース１１０内のダウン位置にあるときに、ジャケット管２１０内で連続的なナトリウム流の循環を確保することを可能にする。

【0031】

可動セット２００と一体化された制動装置４００の第２の部分４２０は、制動装置の雄部分を形成し、前述の円錐台状の台座４１０と協働するのに適した輪郭を有する。

【0032】

制動装置４００の第２の部分４２０は、その下端に弾丸形状または魚雷形状のピストン４２１を有し、前述の下側グリッド２３０ａを一体化している。

【0033】

ピストン４２１は、第１の部分４２１ａに対して逆円錐形状を有する第２の部分４２１ｂと協働する実質的に円錐形状の前面として作用する第１の部分４２１ａを（シース１１０内の垂直方向の液体金属の循環を考慮して上向きに）有する。したがって、ピストン４２１は、これら両方の円錐形部分４２１ａ，４２１ｂの間の接合部に最大直径を有する。

【0034】

ピストン４２１は、第３の実質的に円筒形状の部分４２１ｃを有し、これは第１の部分４２１ａおよび第２の部分４２１ｂの断面積に対して減少した断面積を有する。この第３の部分４２１ｃにおいて、ピストン４２１はまた、下側グリッド２３０ａの開口を介してジャケット管２１０に入るまで、ピストン４２１の周りに最大の層状液体ナトリウム流を維持するように、下側グリッド２３０ａまで延在するフィン４２３を含んでいる。

【0035】

好適には、フィン４２３を含む第３の円筒形状の部分４２１ｃは、固体から機械加工された単一部品を構成するように下側グリッド２３０ａと一体になっており、これは、可動セット２００と制動装置４００のピストン４２１の下部との間のさらなる接続部の製造を行わないという利点を有する。したがって、製造プロセス中に、これらの要素の溶接および制御作業を省くことができるので、取り付け作業が容易になる。

【0036】

このように、ピストン４２１の輪郭は、以下の機能、すなわち、
特に、ピストン４２１が台座４１０に入るときに可動セット２００をシース１１０内にリセンタリング（ｒｅｃｅｎｔｒｉｎｇ）し、吸収アセンブリ１００は、可動セット２００がその落下の間に案内されることを可能にするガイド手段を有していない。
このリセンタリングは、特に、ピストン４２１の前面４２１ａの円錐形状によって可能にされること、
特に、第１の部分４２１ａと第２の部分４２１ｂとの間で、ピストン４２１の急峻な断面変化によってなされる制動段階（可動セット２００が落下するとき）で著しいハンドロスを生じさせること、
液体ナトリウム流の下での振動を最小限にし、これは、可動セット２００の下端の乱流を制限し、したがって流動下の振動励振可能性を制限するために、ピストン４２１が流体力学的形状を有することを必要とする、このために、ピストンの前部形状は、輪郭を付けられた円錐形状であるが、後部形状は、フィン４２３の存在によっても輪郭を付けられること、
ニードルビーム２２０の適切な供給、これは、ピストン４２１の第３の部分４２１ｃにおける、すなわち、最大直径を有する断面と下側グリッド２３０ａとの間の、ピストン４２１の断面積の減少によって可能になること、
を満たすように画定される。

【0037】

したがって、可動セット２００の落下中に、特にピストン４２１が円錐台状の台座４１０の内部に到着すると、円錐台状の台座４１０の底部とピストン４２１との間のナトリウム容積が捕捉され、これは、その最大直径において円錐台状の台座４１０とピストン４２１の外部表面との間にある、較正されたリーク経路を形成する環状空間を通ってのみ逃げることができる。可動セット２００がそのダウン位置に到着すると、可動セット２００の落下を減衰させて制動するダッシュポット効果が生じる。

【0038】

円錐台状の台座４１０の底部は、円錐台状の台座４１０の底部での液体ナトリウムの停滞を防ぐ排出口４１３を有することが好適である。

【0039】

代替的な実施形態によれば、ピストンの前面または上流側の面は、平坦な輪郭または凹輪郭を有することができる。そのような代替物を、円錐台状の台座４１０の底部で捕捉されたナトリウム容積を増加させることによって、円錐台状の台座４１０への落下の終わりに可動セット２００の制動をさらに改善するために使用することができる。

【0040】

図４に示す第２の実施形態によれば、円錐台状ベース５１０の底部は、台座４１０の底部を中心とする実質的に円錐台形状の突起５１１を有する。突起５１１は、円錐台状の台座５１０の内径よりも小さい外径を有し、突起５１１と円錐台状の台座５１０の内壁との間に環状空間５１２を形成している。ピストン５２１は、ピストン５２１の内部に設けられかつその前面５２１ａから出ている内部チャンバ５２２を含んでいる。内部チャンバ５２２の形状は、円錐台状の台座５１０の突起５１１と協働するのに適している。本発明のこの第２の実施形態では、ダッシュポット効果が高められる。実際、突起５１１は、第１の液体ナトリウム容積がピストン５２１の内部チャンバ５２２に捕捉されることを可能にし、そのリーク経路は、突起５１１の外面と内部チャンバ５２２の内面との間の残留空間によって較正される。このため、突起５１１の周りの環状空間５１２における第２の液体ナトリウム容積がさらに捕捉されて、図１〜図３を参照して前述の第１の実施形態と同様に、そのリーク経路は、円錐台状の台座５１０の内面とピストン５２１の外面との間の空間によって較正される。

【符号の説明】

【0041】

１００ 吸収アセンブリ
１１０ シース
１１０ａ 下部領域
１１０ｂ 上部領域
２００ 可動セット
２１０ ジャケット管、ジャケット
２２０ ニードル、ニードルビーム
２３０ａ 下側グリッド
２３０ｂ 上側グリッド
２４０ 掛止片
４００、５００ 制動装置、冷却液体金属によって冷却される高速中性子原子炉の吸収アセンブリ１００を液圧制動するための装置
４１０ 第１の部分、第２の部分、台座
４１１ 上部部分
４１２ ポート
４２０ 第１の部分、第２の部分
４２１、５２１ ピストン
４２１ａ 第１の部分、前部
４２１ｂ 第２の部分、円錐形状の部分
４２１ｃ 第３の部分、円筒形状の部分
４２３ フィン
５１０ 第２の部分、台座、ベース
５１１ 突起
５２１ａ 前面
５２２ 内部チャンバ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】