特許6965262負圧で圧締された基板を有するサセプタおよびエピタキシャル成長のための反応器

発明の名称　負圧で圧締された基板を有するサセプタおよびエピタキシャル成長のための反応器

出願人　エルピーイー　ソシエタ　ペル　アチオニ　（識別番号 501372765）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2712 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6965262

公報発行日　2021年11月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6965262

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