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特許第6966536号(P6966536)
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特許
6966536
設計されたＳｉＣ−ＳｉＣ複合材およびモノリシックＳＩＣ層構造体
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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