特許 6968550 マスク製造装置及びマスク製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6968550

(24)【登録日】2021年10月29日

(45)【発行日】2021年11月17日

(54)【発明の名称】マスク製造装置及びマスク製造方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/04 20060101AFI20211108BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20211108BHJP

【ＦＩ】

   C23C14/04 A

   H05B33/14 A

【請求項の数】4

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2017-39459(P2017-39459)

(22)【出願日】2017年3月2日

(65)【公開番号】特開2018-145464(P2018-145464A)

(43)【公開日】2018年9月20日

【審査請求日】2020年1月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】510281944

【氏名又は名称】新東エスプレシジョン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112427

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 芳洋

(72)【発明者】

【氏名】寺本 亮

(72)【発明者】

【氏名】原 章宏

【審査官】 神▲崎▼ 賢一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−０３７１２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−００１０１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１６９５８７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １４／０４

Ｈ０１Ｌ ５１／５０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の帯状のメタルマスクシートをメタルマスクフレームに取り付けることによりメタルマスクを製造するマスク製造装置であって、
第１エアシリンダと、
前記第１エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を制御する第１電空レギュレータと、
第１固定グリップ部と第１可動グリップ部とを有し、前記第１エアシリンダの空気圧により前記第１可動グリップ部を前記第１固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの一端部を前記第１固定グリップ部と前記第１可動グリップ部とで挟持する第１挟持部と、
第２エアシリンダと、
前記第２エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を制御する第２電空レギュレータと、
第２固定グリップ部と第２可動グリップ部とを有し、前記第２エアシリンダの空気圧により前記第２可動グリップ部を前記第２固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの他端部を前記第２固定グリップ部と前記第２可動グリップ部とで挟持する第２挟持部と、
前記メタルマスクシートの形態を入力する入力部と、
前記メタルマスクフレームに対する前記メタルマスクシートの位置、前記メタルマスクシートの形態に基づく前記メタルマスクシートに付与する張力、並びに前記メタルマスクシートの形態及び前記張力に基づく前記第１挟持部及び前記第２挟持部の挟持力を記憶する記憶部と、
前記入力部により入力される前記メタルマスクシートの形態、前記記憶部に記憶されている前記位置、前記張力及び前記挟持力を取得する取得部と、
前記第１電空レギュレータ及び前記第２電空レギュレータを制御することにより、前記取得部において取得した前記第１挟持部及び前記第２挟持部の前記挟持力に変更する挟持力変更部と、
前記第１挟持部に挟持された前記メタルマスクシートの一端部と前記第２挟持部に挟持された前記メタルマスクシートの他端部とを互いに離間させる方向に移動させることにより、前記取得部において取得した前記張力を前記メタルマスクシートに付与する張力部と、
前記張力部により前記張力が付与された前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに取り付ける取付部と、
を備えることを特徴とするマスク製造装置。

【請求項2】

前記取得部は、前記メタルマスクシートの形態として、前記メタルマスクシートの厚さ、前記メタルマスクシートの形状、前記メタルマスクシートの長さに対する幅、前記メタルマスクシートの材質、前記メタルマスクシートに形成される開口パターン及び前記メタルマスクシートの引張量の少なくとも１つを取得し、
前記挟持力変更部は、前記取得部において取得した前記メタルマスクシートの厚さ、前記メタルマスクシートの形状、前記メタルマスクシートの長さに対する幅、前記メタルマスクシートの材質、前記メタルマスクシートに形成される開口パターン及び前記メタルマスクシートの引張量の少なくとも１つ並びに前記張力に基づく前記挟持力に変更することを特徴とする請求項１記載のマスク製造装置。

【請求項3】

複数の帯状のメタルマスクシートをメタルマスクフレームに取り付けることによりメタルマスクを製造するマスク製造方法であって、
前記メタルマスクシートの形態を入力する入力工程と、
前記入力工程において入力された前記メタルマスクシートの形態、記憶部に記憶されている前記メタルマスクフレームに対する前記メタルマスクシートの位置、前記記憶部に記憶されている前記メタルマスクシートの形態に基づく前記メタルマスクシートに付与する張力、並びに前記記憶部に記憶されている前記メタルマスクシートの形態及び前記張力に基づく第１挟持部及び第２挟持部の挟持力を取得する取得工程と、
前記取得工程において取得した前記第１挟持部の前記挟持力に基づいて第１電空レギュレータによる第１エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を調整し、前記取得工程において取得した前記第２挟持部の前記挟持力に基づいて第２電空レギュレータによる第２エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を調整する調整工程と、
前記調整工程において調整された前記第１エアシリンダの空気圧により前記第１挟持部の第１可動グリップ部を前記第１挟持部の第１固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの一端部を前記第１固定グリップ部と前記第１可動グリップとで挟持する第１挟持工程と、
前記調整工程において調整された前記第２エアシリンダの空気圧により前記第２挟持部の第２可動グリップ部を前記第２挟持部の第２固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの他端部を前記第２固定グリップ部と前記第２可動グリップとで挟持する第２挟持工程と、
前記第１挟持工程において挟持された前記メタルマスクシートの一端部と前記第２挟持工程において挟持された前記メタルマスクシートの他端部とを互いに離間させる方向に移動させることにより、前記取得工程において取得した前記張力を前記メタルマスクシートに付与する張力付与工程と、
前記張力付与工程において前記張力が付与された前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに取り付ける取付工程と、
を含むことを特徴とするマスク製造方法。

【請求項4】

前記取得工程は、前記メタルマスクシートの形態として前記メタルマスクシートの厚さ、前記メタルマスクシートの形状、前記メタルマスクシートの長さに対する幅、前記メタルマスクシートの材質、前記メタルマスクシートに形成される開口パターン及び前記メタルマスクシートの引張量の少なくとも１つを取得することを特徴とする請求項３記載のマスク製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、メタルマスクを製造するマスク製造装置及び該マスク製造装置を用いたマスク製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクを製造する際に、クランプ機構で金属薄板に一定の張力を付与することにより、歪みのない状態で金属薄板を枠（メタルマスクフレーム）に貼り付ける金属薄板の枠貼り装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４−３１１３３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１等に記載の枠貼り装置（マスク製造装置）においては、一方のクランプで金属薄板（メタルマスクシート）の一端部を挟持し、他方のクランプでメタルマスクシートの他端部を挟持し、これらを互いに離間する方向に引っ張ることによりメタルマスクシートに張力を付与している。ところで、メタルマスクシートの形態に基づいて最適な張力を付与する必要があるが、メタルマスクシートに対して最適な張力を付与するために、メタルマスクシートの形態、特にメタルマスクシートの厚さに基づいてクランプによりメタルマスクシートを挟持する挟持力を調整するとよいことが見出された。

【0005】

なお、メタルマスクシートを挟持する挟持力をモータにより調整可能なマスク製造装置が存在するが、モータを搭載した場合、マスク製造装置が大型化するという問題があった。また、モータからの発熱により製造されるメタルマスクの精度が悪化するという問題があった。

【0006】

本発明の目的は、製造されるメタルマスクの精度を悪化させることなく、メタルマスクシートの形態に基づいてメタルマスクシートを挟持する挟持力を変化させることができるマスク製造装置及び該マスク製造装置を用いたマスク製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明のマスク製造装置は、メタルマスクシートをメタルマスクフレームに取り付けることによりメタルマスクを製造するマスク製造装置であって、第１エアシリンダと、前記第１エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を制御する第１電空レギュレータと、第１固定グリップ部と第１可動グリップ部とを有し、前記第１エアシリンダの空気圧により前記第１可動グリップ部を前記第１固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの一端部を前記第１固定グリップ部と前記第１可動グリップ部とで挟持する第１挟持部と、第２エアシリンダと、前記第２エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を制御する第２電空レギュレータと、第２固定グリップ部と第２可動グリップ部とを有し、前記第２エアシリンダの空気圧により前記第２可動グリップ部を前記第２固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの他端部を前記第２固定グリップ部と前記第２可動グリップ部とで挟持する第２挟持部と、前記メタルマスクシートの形態に基づいて前記第１電空レギュレータ及び前記第２電空レギュレータを制御することにより、前記第１挟持部及び前記第２挟持部による前記メタルマスクシートの挟持力を変更する挟持力変更部と、前記第１挟持部に挟持された前記メタルマスクシートの一端部と前記第２挟持部に挟持された前記メタルマスクシートの他端部とを互いに離間させる方向に移動させることにより、前記メタルマスクシートに所定の張力を付与する張力部と、前記張力部により前記所定の張力が付与された前記メタルマスクシートを前記メタルマスクフレームに取り付ける取付部と、を備えることを特徴とする。

【0008】

また、本発明のマスク製造装置は、前記挟持力変更部が前記メタルマスクシートの厚さ、前記メタルマスクシートの形状、前記メタルマスクシートの長さに対する幅、前記メタルマスクシートの材質、前記メタルマスクシートに形成される開口パターン及び前記メタルマスクシートの引張量の少なくとも１つに基づいて前記挟持力を変更することを特徴とする。

【0009】

また、本発明のマスク製造方法は、メタルマスクを製造するマスク製造方法であって、メタルマスクシートの形態を取得する取得工程と、前記取得工程において取得した前記メタルマスクシートの形態に基づいて、第１電空レギュレータによる第１エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力及び第２電空レギュレータによる第２エアシリンダに供給する圧縮空気の圧力を調整する調整工程と、前記調整工程において調整された前記第１エアシリンダの空気圧により第１可動グリップ部を第１固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの一端部を前記第１固定グリップ部と前記第１可動グリップとで挟持する第１挟持工程と、前記圧力制御工程において制御された前記第２エアシリンダの空気圧により第２可動グリップ部を第２固定グリップ部に対して移動させ、前記メタルマスクシートの他端部を前記第２固定グリップ部と前記第２可動グリップとで挟持する第２挟持工程と、前記第１挟持工程において挟持された前記メタルマスクシートの一端部と前記第２挟持工程において挟持された前記メタルマスクシートの他端部とを互いに離間させる方向に移動させることにより、前記メタルマスクシートに所定の張力を付与する張力付与工程と、前記張力付与工程において前記所定の張力が付与された前記メタルマスクシートをメタルマスクフレームに取り付ける取付工程と、を含むことを特徴とする。

【0010】

また、本発明のマスク製造方法は、前記調整工程が前記メタルマスクシートの厚さ、前記メタルマスクシートの形状、前記メタルマスクシートの長さに対する幅、前記メタルマスクシートの材質、前記メタルマスクシートに形成される開口パターン及び前記メタルマスクシートの引張量の少なくとも１つに基づいて前記圧力を調整することを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、製造されるメタルマスクの精度を悪化させることなく、メタルマスクシートの形態に基づいてメタルマスクシートを挟持する挟持力を変化させることができるマスク製造装置及び該マスク製造装置を用いたマスク製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】実施の形態に係るメタルマスク製造装置の概略構成を示す正面図である。

【図2】実施の形態に係るメタルマスク製造装置の概略構成を示す平面図である。

【図3】実施の形態に係るメタルマスク製造装置により製造されるメタルマスクの一例を示す図である。

【図4】実施の形態に係る第１挟持装置の構成を示す図である。

【図5】実施の形態に係るメタルマスク製造装置のシステム構成を示すブロック図である。

【図6】実施の形態に係るメタルマスク製造装置を用いたメタルマスク製造方法について説明するためのフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係るマスク製造装置について、有機ＥＬ素子の製造工程において有機発光層を真空蒸着する際に使用されるメタルマスクを製造するメタルマスク製造装置を例に挙げて説明する。図１はこの実施の形態に係るメタルマスク製造装置の概略構成を示す正面図、図２はこの実施の形態に係るメタルマスク製造装置の概略構成を示す平面図である。なお、以下の説明においては、図１に示すＸＹＺ直交座標系を設定し、この直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係等について説明する。ＸＹ平面は、メタルマスク製造装置を載置する水平面に平行な面に設定されており、Ｚ軸は、鉛直方向に設定されている。

【0014】

メタルマスク製造装置２は、帯状のメタルマスクシート１８（図３参照）を枠状のメタルマスクフレーム２０（図３参照）に取り付けることによりメタルマスク１６（図３参照）を製造するための装置であって、テーブル部４、第１挟持装置６、ガイドレール８ａ，８ｂ、第２挟持装置１０、ガイドレール１２ａ，１２ｂ及び基台１４を備えている。

【0015】

テーブル部４は、矩形状の平板であり、メタルマスクフレーム２０をＸＹ平面に平行になるように載置する。第１挟持装置６は、帯状のメタルマスクシート１８の一端部（＋Ｘ方向側の端部）を挟持するための装置であり、ガイドレール８ａ，８ｂは、第１挟持装置６を±Ｙ方向にスライド可能に支持する。第２挟持装置１０は、メタルマスクシート１８の他端部（−Ｘ方向側の端部）を挟持するための装置であり、ガイドレール１２ａ，１２ｂは、第２挟持装置１０を±Ｙ方向にスライド可能に支持する。また、第１挟持装置６はテーブル部４の＋Ｘ方向側に、第２挟持装置１０はテーブル部４の−Ｘ方向側に、互いに向き合うようにして配置されており、第１挟持装置６及び第２挟持装置１０は、一対のセットとして、メタルマスクシート１８に所定の張力を付与する張力装置を構成する。

【0016】

図３は、実施の形態に係るメタルマスク製造装置２により製造されるメタルマスクの一例を示す図である。図３に示すように、メタルマスク１６は、メタルマスク製造装置２により複数のメタルマスクシート１８の両端部を枠状のメタルマスクフレーム２０を構成する対向する二辺に順次貼り付けることにより製造され、有機ＥＬ素子の製造工程において有機材の真空蒸着を行う際に使用される。なお、この実施の形態では、図３に示すように、複数の正方形状の開口がエッチングなどにより形成された開口パターンを有するメタルマスクシート１８を例に挙げて説明したが、正方形状以外の開口、例えば複数の円形状や長方形状の開口がエッチングなどにより形成された開口パターンを有するメタルマスクシートについても本発明を適用することができる。

【0017】

図４は、実施の形態に係る第１挟持装置６の構成を示す図である。第１挟持装置６は、図４に示すように、挟持部２２、エアシリンダ２８、電空レギュレータ３０、直動カム３２、従節ローラ３４、ボールねじ３６、ボールナット３７、モータ３８、及びリニアガイドレール５８を備えている。

【0018】

挟持部２２は、固定グリップ部２４及び可動グリップ部２６を有している。固定グリップ部２４は、ＸＹ平面に平行且つ＋Ｚ方向に露出する挟持面を有している。可動グリップ部２６は、ＸＹ平面に平行且つ−Ｚ方向に露出する挟持面を有し、固定グリップ部２４に対して±Ｚ方向に移動可能に構成されている。挟持部２２は、可動グリップ部２６を固定グリップ部２４に対して−Ｚ方向に移動させ、固定グリップ部２４の挟持面に載置されたメタルマスクシート１８の一端部（＋Ｘ方向側の端部）を、固定グリップ部２４の挟持面と可動グリップ部２６の挟持面とで挟持する。

【0019】

電空レギュレータ３０は、エアシリンダ２８に供給する圧縮空気の圧力を制御する。電空レギュレータ３０により制御された圧縮空気がエアシリンダ２８に供給されると、直動カム３２は、エアシリンダ２８の空気圧に基づいて−Ｘ方向に所定量移動し、可動グリップ部２６は、従節ローラ３４を介して、直動カム３２の移動量に基づき−Ｚ方向に所定量移動する。エアシリンダ２８内の圧縮空気が排出されると、直動カム３２は、＋Ｘ方向に移動して元の位置に戻り、可動グリップ部２６は、従節ローラ３４を介して＋Ｚ方向に移動して元の位置に戻る。即ち、可動グリップ部２６は、エアシリンダ２８の空気圧により固定グリップ部２４に対して移動する。

【0020】

モータ３８は、ボールねじ３６を回転させる。ボールねじ３６の−Ｘ方向側の端部には、ボールナット３７が取り付けられている。リニアガイドレール５８は、挟持部２２、エアシリンダ２８、電空レギュレータ３０、直動カム３２、従節ローラ３４、及びボールナット３７を±Ｘ方向にスライド可能に支持する。したがって、ボールねじ３６が回転することにより、挟持部２２、エアシリンダ２８、電空レギュレータ３０、直動カム３２、従節ローラ３４、及びボールナット３７（以下、挟持部２２等という。）が一体となってリニアガイドレール５８に沿って±Ｘ方向に移動する。

【0021】

第２挟持装置１０は、図１に示すように、挟持部４２、エアシリンダ４４、電空レギュレータ５６（図５参照）、直動カム４６、従節ローラ４８、ボールねじ５０、ボールナット５２、モータ５４、及びリニアガイドレール６４を備えている。第２挟持装置１０の挟持部４２、エアシリンダ４４、電空レギュレータ５６、直動カム４６、従節ローラ４８、ボールねじ５０、ボールナット５２、モータ５４、及びリニアガイドレール６４それぞれの構成は、テーブル部４の長手方向（Ｙ方向）の中心線を線対称として、図４に示す第１挟持装置６の挟持部２２、エアシリンダ２８、電空レギュレータ３０、直動カム３２、従節ローラ３４、ボールねじ３６、ボールナット３７、モータ３８、及びリニアガイドレール５８それぞれの構成と同一である。なお、第２挟持装置１０の挟持部４２は、固定グリップ部の挟持面に載置されたメタルマスクシート１８の他端部（−Ｘ方向側の端部）を固定グリップ部の挟持面と可動グリップ部の挟持面とで挟持する。

【0022】

図５は、メタルマスク製造装置２のシステム構成を示すブロック図である。メタルマスク製造装置２は、図５に示すように、メタルマスク製造装置２の各部、特に第１挟持装置６の各部及び第２挟持装置１０の各部を統括的に制御する制御部４０を備えている。制御部４０には、第１挟持装置６のモータ３８、第１挟持装置６の電空レギュレータ３０、第２挟持装置１０のモータ５４、第２挟持装置１０の電空レギュレータ５６、記憶部６０、及び入力部６２が接続されている。

【0023】

制御部４０は、メタルマスクシート１８の形態、特にメタルマスクシート１８の厚さに基づいて電空レギュレータ３０の駆動を制御することにより、第１挟持装置６の挟持部２２によるメタルマスクシート１８の一端部の挟持力を変更する。同様に、制御部４０は、メタルマスクシート１８の形態、特にメタルマスクシート１８の厚さに基づいて電空レギュレータ５６の駆動を制御することにより、第２挟持装置１０の挟持部４２によるメタルマスクシート１８の他端部の挟持力を変更する。なお、メタルマスクフレーム２０に対するメタルマスクシート１８の位置、メタルマスクシート１８の厚さ、メタルマスクシート１８の厚さに基づく最適な張力（メタルマスクシート１８に付与する張力）、及びメタルマスクシート１８の厚さや最適な張力に基づく最適な挟持力等を含むメタルマスクシート１８に関する情報は、記憶部６０に予め記憶されている。制御部４０は、入力部６２を介して入力されたメタルマスク１８の厚さに関する情報を取得し、取得した情報に基づいて記憶部６０に記憶されているメタルマスクシート１８に関する情報を読み込む。また、制御部４０は、第１挟持装置６及び第２挟持装置１０にメタルマスクシート１８が挟持されている状態で、第１挟持装置６のモータ３８及び第２挟持装置１０のモータ５４の駆動を制御することにより、第１挟持装置６の挟持部２２を＋Ｘ方向に、且つ第２挟持装置１０の挟持部４２を−Ｘ方向に移動させ、メタルマスクシート１８に所定の張力を付与する。

【0024】

次に、図面を参照して、この実施の形態に係るメタルマスク製造装置２において、メタルマスクを製造するメタルマスク製造方法について説明する。図６は、メタルマスク製造装置２においてメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に取り付ける際の処理について説明するためのフローチャートである。

【0025】

まず、制御部４０は、メタルマスクシート１８に関する情報、例えばメタルマスクフレーム２０に対する位置・付与する張力を取得する（ステップＳ１）。具体的には、制御部４０は、入力部６２を介して入力されたメタルマスク１８の形態、例えばメタルマスク１８の厚さに関する情報を取得し、取得したメタルマスク１８の厚さに関する情報に基づいて、記憶部６０に記憶されているメタルマスクシート１８に関する情報を読み込む。メタルマスクシート１８に関する情報には、上述したように、メタルマスクフレーム２０に対するメタルマスクシート１８の位置、メタルマスクシート１８の厚さ、メタルマスクシート１８の厚さに基づく最適な張力（メタルマスクシート１８に付与する張力）、及びメタルマスクシート１８の厚さや最適な張力に基づく最適な挟持力等が含まれる。

【0026】

次に、制御部４０は、ステップＳ１において取得したメタルマスクシート１８に関する情報に基づいて、メタルマスクシート１８に付与する張力に対してエアシリンダ２８，４４に供給する圧縮空気の圧力を調整する（ステップＳ２）。具体的には、制御部４０は、第１挟持装置６の挟持部２２によるメタルマスクシート１８の一端部の挟持力がステップＳ１において取得したメタルマスクシート１８の厚さや最適な張力に基づく最適な挟持力となるように、電空レギュレータ３０の駆動を制御する。同様に、制御部４０は、第２挟持装置１０の挟持部４２によるメタルマスクシート１８の他端部の挟持力がステップＳ１において取得したメタルマスクシート１８の厚さや最適な張力に基づく最適な挟持力となるように、電空レギュレータ５６の駆動を制御する。電空レギュレータ３０により調整された圧縮空気がエアシリンダ２８に供給され、エアシリンダ２８の空気圧により可動グリップ部２６が固定グリップ部２４に対して−Ｚ方向に所定量移動し、メタルマスクシート１８の一端部は、挟持部２２により挟持される。同様に、電空レギュレータ５６により調整された圧縮空気がエアシリンダ４４に供給され、エアシリンダ４４の空気圧により挟持部４２の可動グリップ部が挟持部４２の固定グリップ部に対して−Ｚ方向に所定量移動し、メタルマスクシート１８の他端部は、挟持部４２により挟持される。

【0027】

挟持部２２，４２がメタルマスクシート１８の両端部を挟持すると（ステップＳ３）、制御部４０は、第１挟持装置６及び第２挟持装置１０をＹ方向に移動させる（ステップＳ４）。即ち、制御部４０は、第１挟持装置６をガイドレール８ａ，８ｂに沿って移動させ、第２挟持装置１０をガイドレール１２ａ，１２ｂに沿って移動させることにより、メタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０上の所定の位置（メタルマスクフレーム２０に貼り付ける位置）まで移動させる。

【0028】

次に、制御部４０は、メタルマスクシート１８に所定の張力を付与する（ステップＳ５）。具体的には、制御部４０は、ステップＳ１において取得したメタルマスクシート１８に付与される最適な張力に基づいてモータ３８を駆動させ、ボールねじ３６を回転させる。ボールねじ３６が回転することにより、挟持部２２等が一体となってリニアガイドレール５８に沿って＋Ｘ方向に移動する。同様に、制御部４０は、ステップＳ１において取得したメタルマスクシート１８に付与される最適な張力に基づいてモータ５４を駆動させ、ボールねじ５０を回転させる。ボールねじ５０が回転することにより、挟持部４２、エアシリンダ４４、電空レギュレータ５６、直動カム４６、従節ローラ４８、及びボールナット５２（以下、挟持部４２等という。）が一体となってリニアガイドレール６４に沿って−Ｘ方向に移動する。挟持部２２等が＋Ｘ方向に、挟持部４２等が−Ｘ方向に移動することにより、挟持部２２に挟持されたメタルマスクシート１８の一端部と挟持部４２に挟持されたメタルマスクシート１８の他端部とが互いに離間する方向に移動し、メタルマスクシート１８に所定の張力（最適な張力）が付与される。なお、制御部４０は、メタルマスクシート１８に所定の張力を付与すると共に、メタルマスクフレーム２０に対するメタルマスクシート１８の位置を調整する（ステップＳ５）。

【0029】

次に、ステップＳ５において所定の張力が付与されたメタルマスクシート１８をメタルマスクフレーム２０に取り付ける（ステップＳ６）。例えば、メタルマスクシート１８の両端部を枠状のメタルマスクフレーム２０を構成する対向する二辺に溶接等して貼り付ける。制御部４０は、メタルマスクフレーム２０に所定枚数のメタルマスクシート１８を取り付け終えるまで、ステップＳ２〜Ｓ６の処理を繰り返す。所定枚数のメタルマスクシート１８がメタルマスクフレーム２０に取り付けられることにより、図３に示すようなメタルマスク１６が製造される。

【0030】

この実施の形態に係るメタルマスク製造装置２及びメタルマスク１６の製造方法によれば、メタルマスクシート１８に張力を付与する際に、電空レギュレータ３０，５６を用いてメタルマスクシート１８の両端部を挟持する挟持力を適宜変更することができる。即ち、メタルマスクシート１８の厚さ及びメタルマスクシート１８に付与される最適な張力に基づく最適な挟持力でメタルマスクシート１８の両端部を挟持することができる。また、モータ等を用いずに挟持力を変更することができるため、モータ等の発熱を要因とするメタルマスク１６の精度悪化を防止することができ、良好なメタルマスク１６を製造することができる。また、挟持力を調整するためのモータ等を搭載する必要がないため、メタルマスク製造装置２のコンパクト化を図ることができる。

【0031】

なお、上述の実施の形態においては、メタルマスクシートの厚さに基づいてメタルマスクシートの両端部の挟持力を変化させているが、メタルマスクシートの厚さ以外のメタルマスクシートの形態、例えばメタルマスクシートの形状、メタルマスクシートの長さに対する幅、メタルマスクシートの材質、メタルマスクシートに形成される開口パターンまたはメタルマスクシートの引張量等に基づいてメタルマスクシートの両端部の挟持力を変化させるようにしてもよい。また、メタルマスクシートの厚さ、メタルマスクシートの形状、メタルマスクシートの長さに対する幅、メタルマスクシートの材質、メタルマスクシートに形成される開口パターン及びメタルマスクシートの引張量の少なくとも２つ以上の組み合わせに基づいてメタルマスクシートの両端部の挟持力を変化させるようにしてもよい。メタルマスクシートは、メタルマスクシートの両端部を引っ張った状態でメタルマスクシートの長さが設計値となるように、その長さを縮小して作成されており、その縮小率はメタルマスクシートにより異なる。また、メタルマスクシートの引張量は、メタルマスクシートの縮小率により異なる。したがって、メタルマスクシートの引張量に対する最適な張力に基づく最適な挟持力でメタルマスクシートの両端部を挟持することができる。

【符号の説明】

【0032】

２…メタルマスク製造装置、４…テーブル部、６…第１挟持装置、８ａ，８ｂ…ガイドレール、１０…第２挟持装置、１２ａ，１２ｂ…ガイドレール、１４…基台、１６…メタルマスク、１８…メタルマスクシート、２０…メタルマスクフレーム、２２，４２…挟持部、２４…固定グリップ部、２６…可動グリップ部、２８，４４…エアシリンダ、３０，５６…電空レギュレータ、３２，４６…直動カム、３４，４８…従節ローラ、３６，５０…ボールねじ、３７，５２…ボールナット、３８，５４…モータ、４０…制御部、５８，６４…リニアガイドレール、６０…記憶部、６２…入力部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】