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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6969382
(24)【登録日】2021年11月1日
(45)【発行日】2021年11月24日
(54)【発明の名称】蒸着マスク梱包体および蒸着マスク梱包方法
(51)【国際特許分類】
C23C 14/04 20060101AFI20211111BHJP
B65D 85/30 20060101ALI20211111BHJP
B65D 85/38 20060101ALI20211111BHJP
C23C 14/12 20060101ALI20211111BHJP
【ＦＩ】
C23C14/04 A
B65D85/30
B65D85/38 310
C23C14/12
【請求項の数】19
【全頁数】37
(21)【出願番号】特願2017-550654(P2017-550654)
(86)(22)【出願日】2017年9月12日
(86)【国際出願番号】JP2017032938
(87)【国際公開番号】WO2018061757
(87)【国際公開日】20180405
【審査請求日】2020年8月27日
(31)【優先権主張番号】特願2016-191734(P2016-191734)
(32)【優先日】2016年9月29日
(33)【優先権主張国】JP
(31)【優先権主張番号】特願2016-237883(P2016-237883)
(32)【優先日】2016年12月7日
(33)【優先権主張国】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000002897
【氏名又は名称】大日本印刷株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100091982
【弁理士】
【氏名又は名称】永井 浩之
(74)【代理人】
【識別番号】100091487
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 行孝
(74)【代理人】
【識別番号】100082991
【弁理士】
【氏名又は名称】佐藤 泰和
(74)【代理人】
【識別番号】100105153
【弁理士】
【氏名又は名称】朝倉 悟
(74)【代理人】
【識別番号】100127465
【弁理士】
【氏名又は名称】堀田 幸裕
(74)【代理人】
【識別番号】100150717
【弁理士】
【氏名又は名称】山下 和也
(72)【発明者】
【氏名】池 永 知加雄
(72)【発明者】
【氏名】大 池 卓 己
(72)【発明者】
【氏名】向 田 司
(72)【発明者】
【氏名】渡 部 武
【審査官】
内藤 康彰
(56)【参考文献】
【文献】
特開２００９−０７８８３６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平１１−２７８４３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１２−１３６２４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００５−２０６３７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００９−０７８８３７（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１５−１６８８４７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｃ２３Ｃ １４／００−１４／５８
Ｂ６５Ｄ ８５／００−８５／４８
Ｂ６５Ｄ ８５／８６、８５／９０
Ｈ０５Ｂ ３３／００−３３／２８
Ｈ０１Ｌ ２７／３２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
受け部と、
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置され、複数の貫通孔が形成された有効領域を有する蒸着マスクと、を備え、
前記受け部は、前記蓋部に対向する第１対向面と、前記第１対向面に設けられた凹部と、を有し、
前記凹部は、第１可撓性フィルムによって覆われ、
前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第１可撓性フィルムを介して配置され、
前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、蒸着マスク梱包体。
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置され、複数の貫通孔が形成された有効領域を有する蒸着マスクと、を備え、
前記受け部は、前記蓋部に対向する第１対向面と、前記第１対向面に設けられた凹部と、を有し、
前記凹部は、第１可撓性フィルムによって覆われ、
前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第１可撓性フィルムを介して配置され、
前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、蒸着マスク梱包体。
【請求項2】
前記蒸着マスクの第１の方向における両側の端部は、前記受け部の前記第１対向面上に配置されている、請求項１に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項3】
前記凹部の前記第１の方向に直交する第２の方向における寸法は、前記蒸着マスクの前記第２の方向における寸法より大きい、請求項２に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項4】
前記蒸着マスクと前記第１可撓性フィルムとの間に、挿間シートが介在され、
前記挿間シートの前記第１の方向に直交する第２の方向における寸法は、前記凹部の前記第２の方向における寸法よりも小さい、請求項２または３に記載の蒸着マスク梱包体。
前記挿間シートの前記第１の方向に直交する第２の方向における寸法は、前記凹部の前記第２の方向における寸法よりも小さい、請求項２または３に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項5】
前記第１可撓性フィルムは、ＰＥＴフィルムである、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項6】
前記第１可撓性フィルムは、帯電防止コーティングされている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項7】
前記蓋部と前記蒸着マスクとの間に、第２可撓性フィルムが介在されている、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項8】
前記受け部および前記蓋部を密封した密封袋を更に備えた、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項9】
前記蒸着マスクに加えられる衝撃を検出する衝撃センサを更に備えた、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項10】
複数の貫通孔が形成された有効領域を有する蒸着マスクを梱包する蒸着マスクの梱包方法であって、
第１対向面と、前記第１対向面に設けられるとともに第１可撓性フィルムで覆われた凹部と、を有する受け部を準備する工程と、
前記受け部上に載置された前記蒸着マスクを得る工程と、
前記蒸着マスク上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスクを挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクを配置する工程において、前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第１可撓性フィルムを介して載置され、
前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、蒸着マスク梱包方法。
第１対向面と、前記第１対向面に設けられるとともに第１可撓性フィルムで覆われた凹部と、を有する受け部を準備する工程と、
前記受け部上に載置された前記蒸着マスクを得る工程と、
前記蒸着マスク上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスクを挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクを配置する工程において、前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第１可撓性フィルムを介して載置され、
前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、蒸着マスク梱包方法。
【請求項11】
受け部と、
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置された蒸着マスク積層体と、を備え、
前記蒸着マスク積層体は、
第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、前記第１面から前記第２面に延びる複数の貫通孔と、を含む蒸着マスクと、
前記蒸着マスクの前記第１面および前記第２面に積層された複数の挿間シートと、を有し、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、７ｐｐｍ／℃以下である、蒸着マスク梱包体。
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置された蒸着マスク積層体と、を備え、
前記蒸着マスク積層体は、
第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、前記第１面から前記第２面に延びる複数の貫通孔と、を含む蒸着マスクと、
前記蒸着マスクの前記第１面および前記第２面に積層された複数の挿間シートと、を有し、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、７ｐｐｍ／℃以下である、蒸着マスク梱包体。
【請求項12】
前記挿間シートは、前記蒸着マスクの積層方向に沿って見たときに、前記挿間シートの周縁が全周にわたって前記蒸着マスクからはみ出し可能な寸法を有している、請求項１１に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項13】
前記蒸着マスクおよび前記挿間シートは、３０質量％以上且つ５４質量％以下のニッケルを含む鉄合金により形成されている、請求項１１または１２に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項14】
前記蒸着マスクおよび前記挿間シートは、クロムを含む鉄合金により形成されている、請求項１１または１２に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項15】
前記挿間シートを構成する材料は、前記蒸着マスクを構成する材料と同一である、請求項１１乃至１４のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項16】
前記挿間シートの厚みは、２０μｍ〜１００μｍである、請求項１１乃至１５のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項17】
前記蒸着マスクの厚みは、１５μｍ以上である、請求項１１乃至１６のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項18】
前記受け部は、前記蓋部に対向する第１対向面と、前記第１対向面に設けられた凹部と、を有し、
前記蒸着マスクの第１の方向における両側の端部は、前記受け部の前記第１対向面上に配置され、
前記挿間シートの前記第１の方向に直交する第２の方向における寸法は、前記凹部の前記第２の方向における寸法よりも小さい、請求項１１乃至１７のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
前記蒸着マスクの第１の方向における両側の端部は、前記受け部の前記第１対向面上に配置され、
前記挿間シートの前記第１の方向に直交する第２の方向における寸法は、前記凹部の前記第２の方向における寸法よりも小さい、請求項１１乃至１７のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
【請求項19】
第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、前記第１面から前記第２面に延びる複数の貫通孔と、を含む蒸着マスクを梱包する蒸着マスク梱包方法であって、
受け部上に載置された蒸着マスク積層体であって、前記蒸着マスクと、前記蒸着マスクの前記第１面および前記第２面に積層された挿間シートとを有する蒸着マスク積層体を得る工程と、
前記蒸着マスク積層体上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスク積層体を挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、７ｐｐｍ／℃以下である、蒸着マスク梱包方法。
受け部上に載置された蒸着マスク積層体であって、前記蒸着マスクと、前記蒸着マスクの前記第１面および前記第２面に積層された挿間シートとを有する蒸着マスク積層体を得る工程と、
前記蒸着マスク積層体上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスク積層体を挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、７ｐｐｍ／℃以下である、蒸着マスク梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、複数の貫通孔を含む蒸着マスクを梱包した蒸着マスク梱包体および蒸着マスク梱包方法に関する。【背景技術】
【0002】
近年、スマートフォンやタブレットＰＣ等の持ち運び可能なデバイスで用いられる表示装置に対して、高精細であること、例えば画素密度が４００ｐｐｉ以上であることが求められている。また、持ち運び可能なデバイスにおいても、ウルトラハイディフィニションに対応することへの需要が高まっており、この場合、表示装置の画素密度が例えば８００ｐｐｉ以上であることが求められる。【0003】
表示装置の中でも、応答性の良さ、消費電力の低さやコントラストの高さのため、有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、所望のパターンで配列された貫通孔が形成された蒸着マスクを用い、所望のパターンで画素を形成する方法が知られている。具体的には、はじめに、有機ＥＬ表示装置用の基板に対して蒸着マスクを密着させ、次に、密着させた蒸着マスクおよび基板を共に蒸着装置に投入し、有機材料を基板に蒸着させる蒸着工程を行う。この場合、高い画素密度を有する有機ＥＬ表示装置を精密に作製するためには、蒸着マスクの貫通孔の位置や形状を設計に沿って精密に再現することが求められる。【0004】
蒸着マスクの製造方法としては、例えば特許文献１に開示されているように、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に貫通孔を形成する方法が知られている。例えば、はじめに、金属板の第１面上に第１レジストパターンを形成し、また金属板の第２面上に第２レジストパターンを形成する。次に、金属板の第１面のうち第１レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングして、金属板の第１面に第１開口部を形成する。その後、金属板の第２面のうち第２レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングして、金属板の第２面に第２開口部を形成する。この際、第１開口部と第２開口部とが通じ合うようにエッチングを行うことにより、金属板を貫通する貫通孔を形成することができる。蒸着マスクを作製するための金属板は、例えば、鉄合金などの母材を圧延することによって得られる。【0005】
その他にも、蒸着マスクの製造方法として、例えば特許文献２に開示されているように、めっき処理を利用して蒸着マスクを製造する方法が知られている。例えば特許文献２に記載の方法においては、はじめに、導電性を有する基材を準備する。次に、基材の上に、所定の隙間を空けてレジストパターンを形成する。このレジストパターンは、蒸着マスクの貫通孔が形成されるべき位置に設けられている。その後、レジストパターンの隙間にめっき液を供給して、電解めっき処理によって基材の上に金属層を析出させる。その後、金属層を基材から分離させることにより、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを得ることができる。このようにしてめっき処理を利用する場合には、貫通孔の高精細化を図ることができる。【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特許第５３８２２５９号公報
【特許文献2】特開２００１−２３４３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
蒸着マスクを輸送する際に、蒸着マスクを、プラスチックボードなどで作製された受け部と蓋部との間に挟持すると、蒸着マスクに、受け部と蓋部とから直接的に力が加えられる。このため、開梱後に取り出された蒸着マスクが塑性変形し得るという問題があった。また、輸送時に受ける衝撃によっても、蒸着マスクが塑性変形する可能性がある。【0008】
また、蒸着マスクを輸送する際には、輸送効率を向上させるために、１つの梱包体内に、複数の蒸着マスクが積層される場合がある。この場合、隣り合う一方の蒸着マスクの貫通孔と、他方の蒸着マスクの貫通孔とが引っ掛かり、個々の蒸着マスクを取り出す際に蒸着マスクが塑性変形するおそれがある。このことに対処するために、隣り合う一対の蒸着マスクの間には、挿間紙が挿入されている。【0009】
しかしながら、輸送時に温度変化が生じると、蒸着マスクの熱膨張による寸法変化と、挿間紙の熱膨張による寸法変化との差に起因した位置ずれが生じて、蒸着マスクにしわや傷が形成されるという問題がある。とりわけ、蒸着マスクの厚みが薄くなると、蒸着マスクが塑性変形しやすくなる。【0010】
ここで、蒸着マスクを用いて蒸着材料を基板上に成膜する場合、基板だけでなく蒸着マスクにも蒸着材料が付着する。例えば、蒸着材料の中には、蒸着マスクの法線方向に対して大きく傾斜した方向に沿って基板に向かうものも存在するが、そのような蒸着材料は、基板に到達するよりも前に蒸着マスクの貫通孔の壁面に到達して付着する。この場合、基板のうち蒸着マスクの貫通孔の壁面の近傍に位置する領域には蒸着材料が付着しにくくなり、この結果、付着する蒸着材料の厚みが他の部分に比べて小さくなってしまったり、蒸着材料が付着していない部分が生じてしまったりすることが考えられる。すなわち、蒸着マスクの貫通孔の壁面の近傍における蒸着が不安定になってしまうことが考えられる。この結果、有機ＥＬ表示装置の発光効率が低下してしまうことになる。【0011】
このような課題を解決するため、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の厚みを小さくすることが考えられる。なぜなら、金属板の厚みを小さくすることによって、蒸着マスクの貫通孔の壁面の高さを小さくすることができ、このことにより、蒸着材料のうち貫通孔の壁面に付着するものの比率を低くすることができるからである。【0012】
このように、有機ＥＬ表示装置の発光効率の低下を防止するために蒸着マスクの厚みは薄くなる傾向にある。このため、厚みの薄い蒸着マスクであっても、輸送時の塑性変形が防止されることが望まれている。【0013】
本発明は、輸送時に蒸着マスクが塑性変形することを防止できる蒸着マスク梱包体および蒸着マスク梱包方法を提供することを目的とする。【課題を解決するための手段】
【0014】
本発明は、受け部と、
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置され、複数の貫通孔が形成された有効領域を有する蒸着マスクと、を備え、
前記受け部は、前記蓋部に対向する第１対向面と、前記第１対向面に設けられた凹部と、を有し、
前記凹部は、第１可撓性フィルムによって覆われ、
前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第１可撓性フィルムを介して配置されている、蒸着マスク梱包体、
である。
【0015】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記蒸着マスクの第１の方向における両側の端部は、前記受け部の前記第１対向面上に配置されている、
ようにしてもよい。
【0016】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記凹部の前記第１の方向に直交する第２の方向における寸法は、前記蒸着マスクの前記第２の方向における寸法より大きい、
ようにしてもよい。
【0017】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記蒸着マスクと前記第１可撓性フィルムとの間に、挿間シートが介在され、
前記挿間シートの前記第１の方向に直交する第２の方向における寸法は、前記凹部の前記第２の方向における寸法よりも小さい、
ようにしてもよい。
【0018】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記第１可撓性フィルムは、ＰＥＴフィルムである、
ようにしてもよい。
【0019】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記第１可撓性フィルムは、帯電防止コーティングされている、
ようにしてもよい。
【0020】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記蓋部と前記蒸着マスクとの間に、第２可撓性フィルムが介在されている、
ようにしてもよい。
【0021】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、
ようにしてもよい。
【0022】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記受け部および前記蓋部を密封した密封袋を更に備える、
ようにしてもよい。
【0023】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記蒸着マスクに加えられる衝撃を検出する衝撃センサを更に備える、
ようにしてもよい。
【0024】
また、本発明は、複数の貫通孔が形成された有効領域を有する蒸着マスクを梱包する蒸着マスクの梱包方法であって、
第１対向面と、前記第１対向面に設けられるとともに第１可撓性フィルムで覆われた凹部と、を有する受け部を準備する工程と、
前記受け部上に載置された前記蒸着マスクを得る工程と、
前記蒸着マスク上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスクを挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクを配置する工程において、前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第１可撓性フィルムを介して載置される、蒸着マスク梱包方法、
である。
【0025】
本発明は、受け部と、
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置された蒸着マスク積層体と、を備え、
前記蒸着マスク積層体は、
第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、前記第１面から前記第２面に延びる複数の貫通孔と、を含む蒸着マスクと、
前記蒸着マスクの前記第１面および前記第２面に積層された複数の挿間シートと、を有し、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、７ｐｐｍ／℃以下である、蒸着マスク梱包体、
である。
【0026】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記挿間シートは、前記蒸着マスクの積層方向に沿って見たときに、前記挿間シートの周縁が全周にわたって前記蒸着マスクからはみ出し可能な寸法を有している、
ようにしてもよい。
【0027】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記蒸着マスクおよび前記挿間シートは、３０質量％以上且つ５４質量％以下のニッケルを含む鉄合金により形成されている、
ようにしてもよい。
【0028】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記蒸着マスクおよび前記挿間シートは、クロムを含む鉄合金により形成されている、ようにしてもよい。
【0029】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記挿間シートを構成する材料は、前記蒸着マスクを構成する材料と同一である、
ようにしてもよい。
【0030】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記挿間シートの厚みは、２０μｍ〜１００μｍである、
ようにしてもよい。
【0031】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記蒸着マスクの厚みは、１５μｍ以上である、
ようにしてもよい。
【0032】
本発明による蒸着マスク梱包体において、前記受け部は、前記蓋部に対向する第１対向面と、前記第１対向面に設けられた凹部と、を有し、
前記蒸着マスクの第１の方向における両側の端部は、前記受け部の前記第１対向面上に配置され、
前記挿間シートの前記第１の方向に直交する第２の方向における寸法は、前記凹部の前記第２の方向における寸法よりも小さい、
ようにしてもよい。
【0033】
また、本発明は、第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、前記第１面から前記第２面に延びる複数の貫通孔と、を含む蒸着マスクを梱包する蒸着マスク梱包方法であって、
受け部上に載置された蒸着マスク積層体であって、前記蒸着マスクと、前記蒸着マスクの前記第１面および前記第２面に積層された挿間シートとを有する蒸着マスク積層体を得る工程と、
前記蒸着マスク積層体上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスク積層体を挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、７ｐｐｍ／℃以下である、蒸着マスク梱包方法、
である。
【発明の効果】
【0034】
本発明によれば、輸送時に蒸着マスクが塑性変形することを防止できる。【図面の簡単な説明】
【0035】
【図1】本発明の一実施形態による蒸着マスク装置を備えた蒸着装置を示す図である。
【図3】本発明の一実施形態による蒸着マスク装置を示す平面図である。
【図9】母材を圧延して、所望の厚みを有する金属板を得る工程を示す図である。
【図10】圧延によって得られた金属板をアニールする工程を示す図である。
【図11】蒸着マスクの製造方法の一例を全体的に説明するための模式図である。
【図12】金属板上にレジスト膜を形成する工程を示す図である。
【図13】レジスト膜に露光マスクを密着させる工程を示す図である。
【図14】レジスト膜を現像する工程を示す図である。
【図15】第１面エッチング工程を示す図である。
【図16】第１凹部を樹脂によって被覆する工程を示す図である。
【図17】第２面エッチング工程を示す図である。
【図19】長尺金属板から樹脂及びレジストパターンを除去する工程を示す図である。
【図20】蒸着マスクの有効領域を拡大して示す平面図である。
【図23】本発明の一実施形態による蒸着マスク製造方法の一例を説明する図である。
【図24】本発明の一実施形態による蒸着マスク製造方法の一例を説明する図である。
【図25】本発明の一実施形態による蒸着マスク製造方法の一例を説明する図である。
【図26】本発明の一実施形態による蒸着マスク製造方法の一例を説明する図である。
【図27】本発明の一実施形態による蒸着マスク梱包体を示す斜視図である。
【図34】本発明の一実施形態による蒸着マスク梱包方法の一例を説明する図である。
【図35】本発明の一実施形態による蒸着マスク梱包方法の一例を説明する図である。
【図36】本発明の一実施形態による蒸着マスク梱包方法の一例を説明する図である。
【図37】本発明の一実施形態による蒸着マスク梱包方法の一例を説明する図である。
【図38】本発明の一実施形態による蒸着マスク梱包方法の一例を説明する図である。
【図40】挿間シートの幅方向寸法が、凹部の幅方向寸法以上である場合に形成される凹みを示す平面図である。
【図42】本発明の実施例における輸送試験結果を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【0036】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。【0037】
図１〜図２６は、本発明の一実施の形態における蒸着マスクを説明するための図である。以下の実施の形態およびその変形例では、有機ＥＬ表示装置を製造する際に有機材料を所望のパターンで基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクを例に挙げて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクに対し、本発明を適用することができる。【0038】
なお、本明細書において、「板」、「シート」、「フィルム」の用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念である。【0039】
また、「板面（シート面、フィルム面）」とは、対象となる板状（シート状、フィルム状）の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となる板状部材（シート状部材、フィルム状部材）の平面方向と一致する面のことを指す。また、板状（シート状、フィルム状）の部材に対して用いる法線方向とは、当該部材の板面（シート面、フィルム面）に対する法線方向のことを指す。【0040】
さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」、「同等」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。【0041】
（蒸着装置）まず、対象物に蒸着材料を蒸着させる蒸着処理を実施する蒸着装置９０について、図１を参照して説明する。図１に示すように、蒸着装置９０は、蒸着源（例えばるつぼ９４）、ヒータ９６、及び蒸着マスク装置１０を備える。るつぼ９４は、有機発光材料などの蒸着材料９８を収容する。ヒータ９６は、るつぼ９４を加熱して蒸着材料９８を蒸発させる。蒸着マスク装置１０は、るつぼ９４と対向するよう配置されている。
【0042】
（蒸着マスク装置）以下、蒸着マスク装置１０について説明する。図１に示すように、蒸着マスク装置１０は、蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０を支持するフレーム１５と、を備える。フレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように、蒸着マスク２０をその長手方向（第１の方向）に引っ張った状態で支持する。蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、蒸着マスク２０が、蒸着材料９８を付着させる対象物である基板、例えば有機ＥＬ基板９２に対面するよう、蒸着装置９０内に配置される。以下の説明において、蒸着マスク２０の面のうち、有機ＥＬ基板９２側の面を第１面２０ａと称し、第１面２０ａの反対側に位置する面を第２面２０ｂと称する。このうち蒸着マスク２０の第２面２０ｂにフレーム１５が面している。
【0043】
蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、有機ＥＬ基板９２の、蒸着マスク２０と反対側の面に配置された磁石９３を備えていてもよい。磁石９３を設けることにより、磁力によって蒸着マスク２０を磁石９３側に引き寄せて、蒸着マスク２０を有機ＥＬ基板９２に密着させることができる。【0044】
図３は、蒸着マスク装置１０を蒸着マスク２０の第１面２０ａ側から見た場合を示す平面図である。図３に示すように、蒸着マスク装置１０は、平面視において略矩形状の形状を有する複数の蒸着マスク２０を備え、各蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０の長手方向における一対の端部２０ｅにおいて、フレーム１５に溶接されて固定されている。【0045】
蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０を貫通する複数の貫通孔２５を含む。るつぼ９４から蒸発して蒸着マスク装置１０に到達した蒸着材料９８は、蒸着マスク２０の貫通孔２５を通って有機ＥＬ基板９２に付着する。これによって、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８を有機ＥＬ基板９２の表面に成膜することができる。【0046】
図２は、図１の蒸着装置９０を用いて製造した有機ＥＬ表示装置１００を示す断面図である。有機ＥＬ表示装置１００は、有機ＥＬ基板９２と、パターン状に設けられた蒸着材料９８を含む画素と、を備える。【0047】
なお、複数の色によるカラー表示を行いたい場合には、各色に対応する蒸着マスク２０が搭載された蒸着装置９０をそれぞれ準備し、有機ＥＬ基板９２を各蒸着装置９０に順に投入する。これによって、例えば、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に有機ＥＬ基板９２に蒸着させることができる。【0048】
ところで、蒸着処理は、高温雰囲気となる蒸着装置９０の内部で実施される場合がある。この場合、蒸着処理の間、蒸着装置９０の内部に保持される蒸着マスク２０、フレーム１５および有機ＥＬ基板９２も加熱される。この際、蒸着マスク２０、フレーム１５および有機ＥＬ基板９２は、各々の熱膨張係数に基づいた寸法変化の挙動を示すことになる。この場合、蒸着マスク２０やフレーム１５と有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数が大きく異なっていると、それらの寸法変化の差に起因した位置ずれが生じ、この結果、有機ＥＬ基板９２上に付着する蒸着材料９８の寸法精度や位置精度が低下してしまう。【0049】
このような課題を解決するため、蒸着マスク２０およびフレーム１５の熱膨張係数が、有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数と同等の値であることが好ましい。例えば、有機ＥＬ基板９２としてガラス基板が用いられる場合、蒸着マスク２０およびフレーム１５の主要な材料として、ニッケルを含む鉄合金を用いることができる。例えば、蒸着マスク２０を構成する金属板の材料として、３０質量％〜５４質量％以下のニッケルを含む鉄合金を用いることができる。ニッケルを含む鉄合金の具体例としては、３４質量％〜３８質量％以下のニッケルを含むインバー材、３０質量％〜３４質量％以下のニッケルに加えてさらにコバルトを含むスーパーインバー材、４８質量％〜５４質量％以下のニッケルを含む低熱膨張Ｆｅ−Ｎｉ系めっき合金などを挙げることができる。なお本明細書において、「〜」という記号によって表現される数値範囲は、「〜」という符号の前後に置かれた数値を含んでいる。例えば、「３４〜３８質量％」という表現によって画定される数値範囲は、「３４質量％以上且つ３８質量％以下」という表現によって画定される数値範囲と同一である。【0050】
なお蒸着処理の際に、蒸着マスク２０、フレーム１５および有機ＥＬ基板９２の温度が高温には達しない場合は、蒸着マスク２０およびフレーム１５の熱膨張係数を、有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数と同等の値にする必要は特にない。この場合、蒸着マスク２０を構成する材料として、上述の鉄合金以外の材料を用いてもよい。例えば、クロムを含む鉄合金など、上述のニッケルを含む鉄合金以外の鉄合金を用いてもよい。クロムを含む鉄合金としては、例えば、いわゆるステンレスと称される鉄合金を用いることができる。また、ニッケルやニッケル−コバルト合金など、鉄合金以外の合金を用いてもよい。【0051】
（蒸着マスク）次に、蒸着マスク２０について詳細に説明する。図３乃至図５に示すように、蒸着マスク２０は、第１面２０ａから第２面２０ｂに延びる貫通孔２５が形成された有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含む。周囲領域２３は、有効領域２２を支持するための領域であり、有機ＥＬ基板９２へ蒸着されることを意図された蒸着材料９８が通過する領域ではない。例えば、有効領域２２は、蒸着マスク２０のうち、有機ＥＬ基板９２の表示領域に対面する領域である。
【0052】
図３に示すように、有効領域２２は、例えば、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有する。なお図示はしないが、各有効領域２２は、有機ＥＬ基板９２の表示領域の形状に応じて、様々な形状の輪郭を有することができる。例えば各有効領域２２は、円形状の輪郭を有していてもよい。【0053】
図３に示すように、有効領域２２は、蒸着マスク２０の長手方向に沿って所定の間隔を空けて複数配列されている。一つの有効領域２２は、一つの有機ＥＬ表示装置１００の表示領域に対応する。このため、図１に示す蒸着マスク装置１０によれば、有機ＥＬ表示装置１００の多面付蒸着が可能である。図４に示すように、有効領域２２において複数の貫通孔２５は、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで規則的に配列される。【0054】
以下、貫通孔２５及びその周囲の部分の形状について詳細に説明する。【0055】
（エッチング処理によって製造される蒸着マスク）ここでは、蒸着マスク２０がエッチング処理によって形成される場合の、貫通孔２５及びその周囲の部分の形状について説明する。
【0056】
図４は、エッチング処理によって製造された蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側から有効領域２２を拡大して示す平面図である。図４に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。貫通孔２５の一例について、図５〜図７を主に参照して更に詳述する。図５〜図７はそれぞれ、図４の有効領域２２のV−V方向〜VII−VII方向に沿った断面図である。なお、図５〜図７において示す有効領域２２と周囲領域２３との境界線は一例であり、この境界線の位置は任意である。例えば、この境界線は、第２凹部３５が形成されていない領域（図５における最も左側の第２凹部３５よりも左側）に配置されていてもよい。【0057】
図５〜図７に示すように、複数の貫通孔２５は、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った一方の側となる第１面２０ａから、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った他方の側となる第２面２０ｂへ貫通している。図示された例では、後に詳述するように、蒸着マスク２０の法線方向Ｎにおける一方の側となる金属板２１の第１面２１ａに第１凹部３０（または第１開口部３０）がエッチングによって形成され、蒸着マスク２０の法線方向Ｎにおける他方の側となる金属板２１の第２面２１ｂに第２凹部３５（または第２開口部３５）が形成される。第１凹部３０は、第２凹部３５に接続され、これによって第２凹部３５と第１凹部３０とが互いに通じ合うように形成される。貫通孔２５は、第２凹部３５と、第２凹部３５に接続された第１凹部３０とによって構成されている。【0058】
図５〜図７に示すように、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側へ向けて、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第２凹部３５の開口面積は、しだいに小さくなっていく。同様に、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第１凹部３０の開口面積は、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側へ向けて、しだいに小さくなっていく。【0059】
図５〜図７に示すように、第１凹部３０の壁面３１と、第２凹部３５の壁面３６とは、周状の接続部４１を介して接続されている。接続部４１は、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して傾斜した第１凹部３０の壁面３１と、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して傾斜した第２凹部３５の壁面３６とが合流する張り出し部の稜線によって、画成されている。そして、接続部４１は、蒸着マスク２０の平面視において貫通孔２５の開口面積が最小になる貫通部４２を画成する。【0060】
図５〜図７に示すように、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った他方の側の面、すなわち、蒸着マスク２０の第１面２０ａ上において、隣り合う二つの貫通孔２５は、蒸着マスク２０の板面に沿って互いから離間している。すなわち、後述する製造方法のように、蒸着マスク２０の第１面２０ａに対応するようになる金属板２１の第１面２１ａ側から当該金属板２１をエッチングして第１凹部３０を作製する場合、隣り合う二つの第１凹部３０の間に金属板２１の第１面２１ａが残存するようになる。【0061】
同様に、図５及び図７に示すように、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った一方の側、すなわち、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側においても、隣り合う二つの第２凹部３５が、蒸着マスク２０の板面に沿って互いから離間していてもよい。すなわち、隣り合う二つの第２凹部３５の間に金属板２１の第２面２１ｂが残存していてもよい。以下の説明において、金属板２１の第２面２１ｂの有効領域２２のうちエッチングされずに残っている部分のことを、トップ部４３とも称する。このようなトップ部４３が残るように蒸着マスク２０を作製することにより、蒸着マスク２０に十分な強度を持たせることができる。このことにより、例えば搬送中などに蒸着マスク２０が破損してしまうことを抑制することができる。なおトップ部４３の幅βが大きすぎると、蒸着工程においてシャドーが発生し、これによって蒸着材料９８の利用効率が低下することがある。従って、トップ部４３の幅βが過剰に大きくならないように蒸着マスク２０が作製されることが好ましい。例えば、トップ部４３の幅βが２μｍ以下であることが好ましい。なおトップ部４３の幅βは一般に、蒸着マスク２０を切断する方向に応じて変化する。例えば、図５及び図７に示すトップ部４３の幅βは互いに異なることがある。この場合、いずれの方向で蒸着マスク２０を切断した場合にもトップ部４３の幅βが２μｍ以下になるよう、蒸着マスク２０が構成されていてもよい。【0062】
なお図６に示すように、場所によっては隣り合う二つの第２凹部３５が接続されるようにエッチングが実施されてもよい。すなわち、隣り合う二つの第２凹部３５の間に、金属板２１の第２面２１ｂが残存していない場所が存在していてもよい。また、図示はしないが、第２面２１ｂの全域にわたって隣り合う二つの第２凹部３５が接続されるようにエッチングが実施されてもよい。【0063】
図１に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、図５に二点鎖線で示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａが、有機ＥＬ基板９２に対面し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂが、蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置する。したがって、蒸着材料９８は、次第に開口面積が小さくなっていく第２凹部３５を通過して有機ＥＬ基板９２に付着する。図５において第２面２０ｂ側から第１面２０ａへ向かう矢印で示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４から有機ＥＬ基板９２に向けて有機ＥＬ基板９２の法線方向Ｎに沿って移動するだけでなく、有機ＥＬ基板９２の法線方向Ｎに対して大きく傾斜した方向に移動することもある。このとき、蒸着マスク２０の厚みが大きいと、斜めに移動する蒸着材料９８の多くは、貫通孔２５を通って有機ＥＬ基板９２に到達するよりも前に、第２凹部３５の壁面３６に到達して付着する。従って、蒸着材料９８の利用効率を高めるためには、蒸着マスク２０の厚みＴ０を小さくし、これによって、第２凹部３５の壁面３６や第１凹部３０の壁面３１の高さを小さくすることが好ましいと考えられる。すなわち、蒸着マスク２０を構成するための金属板２１として、蒸着マスク２０の強度を確保できる範囲内で可能な限り厚みの小さな金属板２１を用いることが好ましいと言える。この点を考慮し、本実施の形態において、好ましくは蒸着マスク２０の厚みＴ０は、８５μｍ以下に、例えば５μｍ以上且つ８５μｍ以下に設定される。または厚みＴ０は、８０μｍ以下に、例えば１０μｍ以上且つ８０μｍ、若しくは２０μｍ以上且つ８０μｍ以下に設定される。蒸着の精度をさらに向上させるため、蒸着マスク２０の厚みＴ０を、４０μｍ以下に、例えば１０以上且つ４０μｍ以下や２０以上且つ４０μｍ以下に設定してもよい。なお厚みＴ０は、周囲領域２３の厚み、すなわち蒸着マスク２０のうち第１凹部３０および第２凹部３５が形成されていない部分の厚みである。従って厚みＴ０は、金属板２１の厚みであると言うこともできる。【0064】
図５において、貫通孔２５の最小開口面積を持つ部分となる接続部４１と、第２凹部３５の壁面３６の他の任意の位置と、を通過する直線Ｌ１が、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対してなす最小角度が、符号θ１で表されている。すなわち、後述の図２１に示す場合と同様に、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側における貫通孔２５（第２凹部３５）の端部３８を通る蒸着材料９８の経路であって、有機ＥＬ基板９２に到達することができる経路のうち、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して角度θ１をなす経路が、符号Ｌ１で表されている。斜めに移動する蒸着材料９８を、壁面３６に到達させることなく可能な限り有機ＥＬ基板９２に到達させるためには、角度θ１を大きくすることが有利となる。角度θ１を大きくする上では、蒸着マスク２０の厚みＴ０を小さくすることの他にも、上述のトップ部４３の幅βを小さくすることも有効である。【0065】
図７において、符号αは、金属板２１の第１面２１ａの有効領域２２のうちエッチングされずに残っている部分（以下、リブ部とも称する）の幅を表している。リブ部の幅αおよび貫通部４２の寸法ｒ２は、有機ＥＬ表示装置の寸法および表示画素数に応じて適宜定められる。表１に、５インチの有機ＥＬ表示装置において、表示画素数、および表示画素数に応じて求められるリブ部の幅αおよび貫通部４２の寸法ｒ２の値の一例を示す。【表1】
【0066】
限定はされないが、本実施の形態による蒸着マスク２０は、４５０ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製する場合に特に有効なものである。以下、図８を参照して、そのような高い画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製するために求められる蒸着マスク２０の寸法の一例について説明する。図８は、図５に示す蒸着マスク２０の貫通孔２５およびその近傍の領域を拡大して示す断面図である。【0067】
図８においては、貫通孔２５の形状に関連するパラメータとして、蒸着マスク２０の第１面２０ａから接続部４１までの、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った方向における距離、すなわち第１凹部３０の壁面３１の高さが符号ｒ１で表されている。さらに、第１凹部３０が第２凹部３５に接続する部分における第１凹部３０の寸法、すなわち貫通部４２の寸法が符号ｒ２で表されている。また図８において、接続部４１と、金属板２１の第１面２１ａ上における第１凹部３０の先端縁と、を結ぶ直線Ｌ２が、金属板２１の法線方向Ｎに対して成す角度が、符号θ２で表されている。【0068】
４５０ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製する場合、貫通部４２の寸法ｒ２は、好ましくは１０以上且つ６０μｍ以下に設定される。これによって、高い画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製することができる蒸着マスク２０を提供することができる。好ましくは、第１凹部３０の壁面３１の高さｒ１は、６μｍ以下に設定される。【0069】
次に、図８に示す上述の角度θ２について説明する。角度θ２は、金属板２１の法線方向Ｎに対して傾斜するとともに接続部４１近傍で貫通部４２を通過するように飛来した蒸着材料９８のうち、有機ＥＬ基板９２に到達することができる蒸着材料９８の傾斜角度の最大値に相当する。なぜなら、接続部４１を通って角度θ２よりも大きな傾斜角度で飛来した蒸着材料９８は、有機ＥＬ基板９２に到達するよりも前に第１凹部３０の壁面３１に付着するからである。従って、角度θ２を小さくすることにより、大きな傾斜角度で飛来して貫通部４２を通過した蒸着材料９８が有機ＥＬ基板９２に付着することを抑制することができ、これによって、有機ＥＬ基板９２のうち貫通部４２に重なる部分よりも外側の部分に蒸着材料９８が付着してしまうことを抑制することができる。すなわち、角度θ２を小さくすることは、有機ＥＬ基板９２に付着する蒸着材料９８の面積や厚みのばらつきの抑制を導く。このような観点から、例えば貫通孔２５は、角度θ２が４５度以下になるように形成される。なお図８においては、第１面２１ａにおける第１凹部３０の寸法、すなわち、第１面２１ａにおける貫通孔２５の開口寸法が、接続部４１における第１凹部３０の寸法ｒ２よりも大きくなっている例を示した。すなわち、角度θ２の値が正の値である例を示した。しかしながら、図示はしないが、接続部４１における第１凹部３０の寸法ｒ２が、第１面２１ａにおける第１凹部３０の寸法よりも大きくなっていてもよい。すなわち、角度θ２の値は負の値であってもよい。【0070】
次に、蒸着マスク２０を、エッチング処理によって製造する方法について説明する。【0071】
（金属板の製造方法）はじめに、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法について説明する。
【0072】
［圧延工程］はじめに図９に示すように、ニッケルを含む鉄合金から構成された母材１５５を準備し、この母材１５５を、一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂを含む圧延装置１５６に向けて、矢印で示す方向に沿って搬送する。一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂの間に到達した母材１５５は、一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂによって圧延され、この結果、母材１５５は、その厚みが低減されるとともに、搬送方向に沿って伸ばされる。これによって、厚みｔ０の板材１６４Ｘを得ることができる。図９に示すように、板材１６４Ｘをコア１６１に巻き取ることによって巻き体１６２を形成してもよい。厚みｔ０の具体的な値は、好ましくは上述のように５μｍ以上且つ８５μｍ以下となっている。
【0073】
なお図９は、圧延工程の概略を示すものに過ぎず、圧延工程を実施するための具体的な構成や手順が特に限られることはない。例えば圧延工程は、母材１５５を構成するインバー材の結晶配列を変化させる温度以上の温度で母材を加工する熱間圧延工程や、インバー材の結晶配列を変化させる温度以下の温度で母材を加工する冷間圧延工程を含んでいてもよい。また、一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂの間に母材１５５や板材１６４Ｘを通過させる際の向きが一方向に限られることはない。例えば、図９及び図１０において、紙面左側から右側への向き、および紙面右側から左側への向きで繰り返し母材１５５や板材１６４Ｘを一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂの間に通過させることにより、母材１５５や板材１６４Ｘを徐々に圧延してもよい。【0074】
［スリット工程］その後、板材１６４Ｘの幅が所定の範囲内になるよう、圧延工程によって得られた板材１６４Ｘの幅方向における両端をそれぞれ所定の範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい。このスリット工程は、圧延に起因して板材１６４Ｘの両端に生じ得るクラックを除去するために実施される。このようなスリット工程を実施することにより、板材１６４Ｘが破断してしまう現象、いわゆる板切れが、クラックを起点として生じてしまうことを防ぐことができる。
【0075】
［アニール工程］その後、圧延によって板材１６４Ｘ内に蓄積された残留応力（内部応力）を取り除くため、図１０に示すように、アニール装置１５７を用いて板材１６４Ｘをアニールし、これによって長尺金属板１６４を得る。アニール工程は、図１０に示すように、板材１６４Ｘや長尺金属板１６４を搬送方向（長手方向）に引っ張りながら実施されてもよい。すなわち、アニール工程は、いわゆるバッチ式の焼鈍ではなく、搬送しながらの連続焼鈍として実施されてもよい。
【0076】
好ましくは上述のアニール工程は、非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気で実施される。ここで非還元雰囲気とは、水素などの還元性ガスを含まない雰囲気のことである。「還元性ガスを含まない」とは、水素などの還元性ガスの濃度が４％以下であることを意味している。また不活性ガス雰囲気とは、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガスなどの不活性ガスが９０％以上存在する雰囲気のことである。非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気でアニール工程を実施することにより、上述のニッケル水酸化物が長尺金属板１６４の第１面１６４ａや第２面１６４ｂに生成されることを抑制することができる。【0077】
アニール工程を実施することにより、残留歪がある程度除去された、厚みｔ０の長尺金属板１６４を得ることができる。なお厚みｔ０は通常、蒸着マスク２０の厚みＴ０に等しくなる。【0078】
なお、上述の圧延工程、スリット工程およびアニール工程を複数回繰り返すことによって、厚みｔ０の長尺の金属板１６４を作製してもよい。また図１０においては、アニール工程が、長尺金属板１６４を長手方向に引っ張りながら実施される例を示したが、これに限られることはなく、アニール工程を、長尺金属板１６４がコア１６１に巻き取られた状態で実施してもよい。すなわちバッチ式の焼鈍が実施されてもよい。なお、長尺金属板１６４がコア１６１に巻き取られた状態でアニール工程を実施する場合、長尺金属板１６４に、巻き体１６２の巻き取り径に応じた反りの癖がついてしまうことがある。従って、巻き体１６２の巻き径や母材１５５を構成する材料によっては、長尺金属板１６４を長手方向に引っ張りながらアニール工程を実施することが有利である。【0079】
［切断工程］その後、長尺金属板１６４の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板１６４の幅を所望の幅に調整する切断工程を実施する。このようにして、所望の厚みおよび幅を有する長尺金属板１６４を得ることができる。
【0080】
（蒸着マスクの製造方法）次に、長尺金属板１６４を用いて蒸着マスク２０を製造する方法について、主に図１１〜図１９を参照して説明する。以下に説明する蒸着マスク２０の製造方法では、図１１に示すように、長尺金属板１６４が供給され、この長尺金属板１６４に貫通孔２５が形成され、さらに長尺金属板１６４を断裁することによって枚葉状の金属板２１からなる蒸着マスク２０が得られる。
【0081】
より具体的には、蒸着マスク２０の製造方法、帯状に延びる長尺の金属板１６４を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺の金属板１６４に施して、長尺金属板１６４に第１面１６４ａの側から第１凹部３０を形成する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺金属板１６４に施して、長尺金属板１６４に第２面１６４ｂの側から第２凹部３５を形成する工程と、を含んでいる。そして、長尺金属板１６４に形成された第１凹部３０と第２凹部３５とが互いに通じ合うことによって、長尺金属板１６４に貫通孔２５が作製される。図１２〜図１９に示された例では、第１凹部３０の形成工程が、第２凹部３５の形成工程の前に実施され、且つ、第１凹部３０の形成工程と第２凹部３５の形成工程の間に、作製された第１凹部３０を封止する工程が、さらに設けられている。以下において、各工程の詳細を説明する。【0082】
図１１には、蒸着マスク２０を製造するための製造装置１６０が示されている。図１１に示すように、まず、長尺金属板１６４をコア１６１に巻き取った巻き体１６２が準備される。そして、このコア１６１が回転して巻き体１６２が巻き出されることにより、図１１に示すように帯状に延びる長尺金属板１６４が供給される。なお、長尺金属板１６４は、貫通孔２５を形成されて枚葉状の金属板２１、さらには蒸着マスク２０をなすようになる。【0083】
供給された長尺金属板１６４は、搬送ローラー１７２によって、エッチング装置（エッチング手段）１７０に搬送される。エッチング手段１７０によって、図１２〜図１９に示された各処理が施される。なお本実施の形態においては、長尺金属板１６４の幅方向に複数の蒸着マスク２０が割り付けられるものとする。すなわち、複数の蒸着マスク２０が、長手方向において長尺金属板１６４の所定の位置を占める領域から作製される。この場合、好ましくは、蒸着マスク２０の長手方向が長尺金属板１６４の圧延方向に一致するよう、複数の蒸着マスク２０が長尺金属板１６４に割り付けられる。【0084】
まず、図１２に示すように、長尺金属板１６４の第１面１６４ａ上および第２面１６４ｂ上にネガ型の感光性レジスト材料を含むレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄを形成する。レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄを形成する方法としては、アクリル系光硬化性樹脂などの感光性レジスト材料を含む層が形成されたフィルム、いわゆるドライフィルムを長尺金属板１６４の第１面１６４ａ上および第２面１６４ｂ上に貼り付ける方法が採用される。【0085】
次に、レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄのうちの除去したい領域に光を透過させないようにした露光マスク１６８ａ、１６８ｂを準備し、露光マスク１６８ａ、１６８ｂをそれぞれ図１３に示すようにレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄ上に配置する。露光マスク１６８ａ、１６８ｂとしては、例えば、レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄのうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板が用いられる。その後、真空密着によって露光マスク１６８ａ、１６８ｂをレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄに十分に密着させる。なお感光性レジスト材料として、ポジ型のものが用いられてもよい。この場合、露光マスクとして、レジスト膜のうちの除去したい領域に光を透過させるようにした露光マスクが用いられる。【0086】
その後、レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄを露光マスク１６８ａ、１６８ｂ越しに露光する（露光工程）。さらに、露光されたレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄに像を形成するためにレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄを現像する（現像工程）。以上のようにして、図１４に示すように、長尺金属板１６４の第１面１６４ａ上に第１レジストパターン１６５ａを形成し、長尺金属板１６４の第２面１６４ｂ上に第２レジストパターン１６５ｂを形成することができる。なお現像工程は、レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄの硬度を高めるための、または長尺金属板１６４に対してレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄをより強固に密着させるためのレジスト熱処理工程を含んでいてもよい。レジスト熱処理工程は、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガスなどの不活性ガスの雰囲気において、例えば１００℃以上且つ４００℃以下で実施される。【0087】
次に、図１５に示すように、長尺金属板１６４の第１面１６４ａのうち第１レジストパターン１６５ａによって覆われていない領域を、第１エッチング液を用いてエッチングする第１面エッチング工程を実施する。例えば、第１エッチング液が、搬送される長尺金属板１６４の第１面１６４ａに対面する側に配置されたノズルから、第１レジストパターン１６５ａ越しに長尺金属板１６４第１面１６４ａに向けて噴射される。この結果、図１５に示すように、長尺金属板１６４のうちの第１レジストパターン１６５ａによって覆われていない領域で、第１エッチング液による浸食が進む。これによって、長尺金属板１６４の第１面１６４ａに多数の第１凹部３０が形成される。第１エッチング液としては、例えば塩化第２鉄溶液及び塩酸を含むものが用いられる。【0088】
その後、図１６に示すように、後の第２面エッチング工程において用いられる第２エッチング液に対する耐性を有した樹脂１６９によって、第１凹部３０が被覆される。すなわち、第２エッチング液に対する耐性を有した樹脂１６９によって、第１凹部３０が封止される。図１６に示す例において、樹脂１６９の膜が、形成された第１凹部３０だけでなく、第１面１６４ａ（第１レジストパターン１６５ａ）も覆うように形成されている。【0089】
次に、図１７に示すように、長尺金属板１６４の第２面１６４ｂのうち第２レジストパターン１６５ｂによって覆われていない領域をエッチングし、第２面１６４ｂに第２凹部３５を形成する第２面エッチング工程を実施する。第２面エッチング工程は、第１凹部３０と第２凹部３５とが互いに通じ合い、これによって貫通孔２５が形成されるようになるまで実施される。第２エッチング液としては、上述の第１エッチング液と同様に、例えば塩化第２鉄溶液及び塩酸を含むものが用いられる。【0090】
なお第２エッチング液による浸食は、長尺金属板１６４のうちの第２エッチング液に触れている部分において行われていく。従って、浸食は、長尺金属板１６４の法線方向Ｎ（厚み方向）のみに進むのではなく、長尺金属板１６４の板面に沿った方向にも進んでいく。ここで好ましくは、第２面エッチング工程は、第２レジストパターン１６５ｂの隣り合う二つの孔１６６ａに対面する位置にそれぞれ形成された二つの第２凹部３５が、二つの孔１６６ａの間に位置するブリッジ部１６７ａの裏側において合流するよりも前に終了される。これによって、図１８に示すように、長尺金属板１６４の第２面１６４ｂに上述のトップ部４３を残すことができる。【0091】
その後、図１９に示すように、長尺金属板１６４から樹脂１６９が除去される。樹脂１６９は、例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、除去することができる。アルカリ系剥離液が用いられる場合、図１９に示すように、樹脂１６９と同時にレジストパターン１６５ａ，１６５ｂも除去される。なお、樹脂１６９を除去した後、樹脂１６９を剥離させるための剥離液とは異なる剥離液を用いて、樹脂１６９とは別途にレジストパターン１６５ａ，１６５ｂを除去してもよい。【0092】
このようにして多数の貫通孔２５が形成された長尺金属板１６４は、当該長尺金属板１６４を狭持した状態で回転する搬送ローラー１７２，１７２により、切断装置（切断手段）１７３へ搬送される。なお、この搬送ローラー１７２，１７２の回転によって長尺金属板１６４に作用するテンション（引っ張り応力）を介し、上述した供給コア１６１が回転させられ、巻き体１６２から長尺金属板１６４が供給されるようになっている。【0093】
その後、多数の貫通孔２５が形成された長尺金属板１６４を切断装置（切断手段）１７３によって所定の長さおよび幅に切断することにより、多数の貫通孔２５が形成された枚葉状の金属板２１、すなわち蒸着マスク２０が得られる。【0094】
（めっき処理によって製造される蒸着マスク）ところで、蒸着マスク２０は、めっき処理を利用して製造することもできる。そこで、以下に、めっき処理によって製造された蒸着マスク２０について説明する。ここでは、まず、蒸着マスク２０がめっき処理によって形成される場合の、貫通孔２５及びその周囲の部分の形状について説明する。
【0095】
図２０は、めっき処理によって製造された蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側から有効領域２２を拡大して示す平面図である。図４に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。貫通孔２５の一例について図２１を主に参照して更に詳述する。図２１は、図２０の有効領域２２のＡ−Ａ方向から見た断面図である。【0096】
図２１に示すように、蒸着マスク２０は、第１面２０ａを構成する第１金属層３２と、第１金属層３２上に設けられ、第２面２０ｂを構成する第２金属層３７と、を備える。蒸着材料９８を有機ＥＬ基板９２上に蒸着させる際（蒸着時）には、第２金属層３７が、上述したフレーム１５（図１等参照）の側に配置される。第１金属層３２には、所定のパターンで第１開口部３０が設けられており、また、第２金属層３７には、所定のパターンで第２開口部３５が設けられている。第１開口部３０と第２開口部３５とが互いに連通することにより、蒸着マスク２０の第１面２０ａから第２面２０ｂに延びる貫通孔２５が構成されている。【0097】
図２０に示すように、貫通孔２５を構成する第１開口部３０や第２開口部３５は、平面視において略多角形状になっていてもよい。ここでは第１開口部３０および第２開口部３５が、略四角形状、より具体的には略正方形状になっている例が示されている。また、図示はしないが、第１開口部３０や第２開口部３５は、略六角形状や略八角形状など、その他の略多角形状になっていてもよい。なお「略多角形状」とは、多角形の角部が丸められている形状を含む概念である。また図示はしないが、第１開口部３０や第２開口部３５は、円形状になっていてもよい。また、平面視において第２開口部３５が第１開口部３０を囲う輪郭を有する限りにおいて、第１開口部３０の形状と第２開口部３５の形状が相似形になっている必要はない。【0098】
図２１において、符号４１は、第１金属層３２と第２金属層３７とが接続される接続部を表している。また符号Ｓ０は、第１金属層３２と第２金属層３７との接続部４１における貫通孔２５の寸法を表している。なお図２１においては、第１金属層３２と第２金属層３７とが接している例を示したが、これに限られることはなく、第１金属層３２と第２金属層３７との間にその他の層が介在されていてもよい。例えば、第１金属層３２と第２金属層３７との間に、第１金属層３２上における第２金属層３７の析出を促進させるための触媒層が設けられていてもよい。【0099】
図２２は、図２１の第１金属層３２および第２金属層３７の一部を拡大して示す図である。図２２に示すように、蒸着マスク２０の第２面２０ｂにおける第２金属層３７の幅Ｍ２は、蒸着マスク２０の第１面２０ａにおける第１金属層３２の幅Ｍ１よりも小さくなっている。言い換えると、第２面２０ｂにおける貫通孔２５（第２開口部３５）の開口寸法Ｓ２は、第１面２０ａにおける貫通孔２５（第１開口部３０）の開口寸法Ｓ１よりも大きくなっている。以下、このように第１金属層３２および第２金属層３７を構成することの利点について説明する。【0100】
蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側から飛来する蒸着材料９８は、貫通孔２５の第２開口部３５および第１開口部３０を順に通って有機ＥＬ基板９２に付着する。有機ＥＬ基板９２のうち蒸着材料９８が付着する領域は、第１面２０ａにおける貫通孔２５の開口寸法Ｓ１や開口形状によって主に定められる。ところで、図２１及び図２２において第２面２０ｂ側から第１面２０ａへ向かう矢印Ｌ１で示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４から有機ＥＬ基板９２に向けて蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿って移動するだけでなく、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して大きく傾斜した方向に移動することもある。ここで、仮に第２面２０ｂにおける貫通孔２５の開口寸法Ｓ２が第１面２０ａにおける貫通孔２５の開口寸法Ｓ１と同一であるとすると、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して大きく傾斜した方向に移動する蒸着材料９８の多くは、貫通孔２５を通って有機ＥＬ基板９２に到達するよりも前に、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ（図２１における第２金属層３７の上面）に付着してしまうとともに、貫通孔２５の第２開口部３５の壁面３６に到達して付着してしまう。このため、貫通孔２５を通過できない蒸着材料９８が多くなってしまう。従って、蒸着材料９８の利用効率を高めるためには、第２開口部３５の開口寸法Ｓ２を大きくすること、すなわち第２金属層３７の幅Ｍ２を小さくすることが好ましいと言える。【0101】
図２１において、第２金属層３７の壁面３６及び第１金属層３２の壁面３１に接する直線Ｌ１が、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対してなす最小角度が、符号θ１で表されている。斜めに移動する蒸着材料９８を、可能な限り有機ＥＬ基板９２に到達させるためには、角度θ１を大きくすることが有利となる。例えば、角度θ１を４５°以上にすることが好ましい。【0102】
角度θ１を大きくする上では、第１金属層３２の幅Ｍ１に比べて第２金属層３７の幅Ｍ２を小さくすることが有効である。また、図から明らかなように、角度θ１を大きくする上では、第１金属層３２の厚みＴ１や第２金属層３７の厚みＴ２を小さくすることも有効である。なお、第２金属層３７の幅Ｍ２、第１金属層３２の厚みＴ１や第２金属層３７の厚みＴ２を過剰に小さくしてしまうと、蒸着マスク２０の強度が低下し、このため搬送時や使用時に蒸着マスク２０が破損してしまうことが考えられる。例えば、蒸着マスク２０をフレーム１５に張設する際に蒸着マスク２０に加えられる引張り応力によって、蒸着マスク２０が破損してしまうことが考えられる。これらの点を考慮すると、第１金属層３２および第２金属層３７の寸法が以下の範囲に設定されることが好ましいと言える。これによって、上述の角度θ１を例えば４５°以上にすることができる。【0103】
・第１金属層３２の幅Ｍ１：５μｍ以上且つ２５μｍ以下・第２金属層３７の幅Ｍ２：２μｍ以上且つ２０μｍ以下
・蒸着マスク２０の厚みＴ０：３μｍ以上且つ５０μｍ以下、より好ましくは３μｍ以上且つ５０μｍ以下、さらに好ましくは３μｍ以上且つ３０μｍ以下、さらに好ましくは３μｍ以上且つ２５μｍ以下
・第１金属層３２の厚みＴ１：５μｍ以下
・第２金属層３７の厚みＴ２：２μｍ以上且つ５０μｍ以下、より好ましくは３μｍ以上且つ５０μｍ以下、さらに好ましくは３μｍ以上且つ３０μｍ以下、さらに好ましくは３μｍ以上且つ２５μｍ以下
なお、本実施の形態において、蒸着マスク２０の厚みＴ０は、有効領域２２および周囲領域２３において同一である。
【0104】
上述の開口寸法Ｓ０，Ｓ１，Ｓ２は、有機ＥＬ表示装置の画素密度や上述の角度θ１の所望値などを考慮して、適切に設定される。例えば、４００ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製する場合、接続部４１における貫通孔２５の開口寸法Ｓ０は、１５μｍ以上且つ６０μｍ以下に設定され得る。また、第１面２０ａにおける第１開口部３０の開口寸法Ｓ１は、１０μｍ以上且つ５０μｍ以下に設定され、第２面２０ｂにおける第２開口部３５の開口寸法Ｓ２は、１５μｍ以上且つ６０μｍ以下に設定され得る。【0105】
図２２に示すように、第１金属層３２によって構成される蒸着マスク２０の第１面２０ａには、窪み部３４が形成されていてもよい。窪み部３４は、めっき処理によって蒸着マスク２０を製造する場合に、後述するパターン基板５０の導電性パターン５２に対応して形成される。窪み部３４の深さＤは、例えば５０ｎｍ以上且つ５００ｎｍ以下である。好ましくは、第１金属層３２に形成される窪み部３４の外縁３４ｅは、第１金属層３２の端部３３と接続部４１との間に位置する。【0106】
次に、めっき処理によって蒸着マスク２０を製造する例について説明する。【0108】
〔パターン基板準備工程〕まず、図２３に示すパターン基板５０を準備する。パターン基板５０は、絶縁性を有する基材５１と、基材５１上に形成された導電性パターン５２と、を有する。導電性パターン５２は、第１金属層３２に対応するパターンを有する。なお、蒸着マスク２０をパターン基板５０から分離させる後述する分離工程を容易化するため、パターン基板５０に離型処理を施しておいてもよい。
【0109】
〔第１めっき処理工程〕次に、導電性パターン５２が形成された基材５１上に第１めっき液を供給して、導電性パターン５２上に第１金属層３２を析出させる第１めっき処理工程を実施する。例えば、導電性パターン５２が形成された基材５１を、第１めっき液が充填されためっき槽に浸す。これによって、図２４に示すように、パターン基板５０上に、所定のパターンで第１開口部３０が設けられた第１金属層３２を得ることができる。
【0110】
なお、めっき処理の特性上、図２４に示すように、第１金属層３２は、基材５１の法線方向に沿って見た場合に導電性パターン５２と重なる部分だけでなく、導電性パターン５２と重ならない部分にも形成され得る。これは、導電性パターン５２の端部５４と重なる部分に析出した第１金属層３２の表面にさらに第１金属層３２が析出するためである。この結果、図２４に示すように、第１開口部３０の端部３３は、基材５１の法線方向に沿って見た場合に導電性パターン５２と重ならない部分に位置するようになり得る。また、第１金属層３２のうち導電性パターン５２と接する側の面には、導電性パターン５２の厚みに対応する上述の窪み部３４が形成される。【0111】
導電性パターン５２上に第１金属層３２を析出させることができる限りにおいて、第１めっき処理工程の具体的な方法が特に限られることはない。例えば、第１めっき処理工程は、導電性パターン５２に電流を流すことによって導電性パターン５２上に第１金属層３２を析出させる、いわゆる電解めっき処理工程として実施されてもよい。若しくは、第１めっき処理工程は、無電解めっき処理工程であってもよい。【0112】
用いられる第１めっき液の成分は、第１金属層３２に求められる特性に応じて適宜定められる。例えば第１金属層３２が、ニッケルを含む鉄合金によって構成される場合、第１めっき液として、ニッケル化合物を含む溶液と、鉄化合物を含む溶液との混合溶液を用いることができる。例えば、スルファミン酸ニッケルや臭化ニッケルを含む溶液と、スルファミン酸第一鉄を含む溶液との混合溶液を用いることができる。めっき液には、様々な添加剤が含まれていてもよい。添加剤としては、ホウ酸などのｐＨ緩衝剤、サッカリンナトリウなどの一次光沢剤、ブチンジオール、プロパギルアルコール、クマリン、ホルマリン、チオ尿素などの二次光沢剤、酸化防止剤や、応力緩和剤などが用いられ得る。このうち一次光沢剤は、硫黄成分を含んでいてもよい。【0113】
〔レジスト形成工程〕次に、基材５１上および第１金属層３２上に、所定の隙間５６を空けてレジストパターン５５を形成するレジスト形成工程を実施する。図２５に示すように、レジスト形成工程は、第１金属層３２の第１開口部３０がレジストパターン５５によって覆われるとともに、レジストパターン５５の隙間５６が第１金属層３２上に位置するように実施される。
【0114】
〔第２めっき処理工程〕次に、レジストパターン５５の隙間５６に第２めっき液を供給して、第１金属層３２上に第２金属層３７を析出させる第２めっき処理工程を実施する。例えば、第１金属層３２が形成された基材５１を、第２めっき液が充填されためっき槽に浸す。これによって、図２６に示すように、第１金属層３２上に第２金属層３７を形成することができる。
【0115】
第１金属層３２上に第２金属層３７を析出させることができる限りにおいて、第２めっき処理工程の具体的な方法が特に限られることとはない。例えば、第２めっき処理工程は、第１金属層３２に電流を流すことによって第１金属層３２上に第２金属層３７を析出させる、いわゆる電解めっき処理工程として実施されてもよい。若しくは、第２めっき処理工程は、無電解めっき処理工程であってもよい。【0116】
第２めっき液としては、上述の第１めっき液と同一のめっき液が用いられてもよい。若しくは、第１めっき液とは異なるめっき液が第２めっき液として用いられてもよい。第１めっき液の組成と第２めっき液の組成とが同一である場合、第１金属層３２を構成する金属の組成と、第２金属層３７を構成する金属の組成も同一になる。【0117】
〔レジスト除去工程〕その後、レジストパターン５５を除去するレジスト除去工程を実施する。例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、レジストパターン５５を基材５１、第１金属層３２や第２金属層３７から剥離させることができる。
【0118】
〔分離工程〕次に、第１金属層３２および第２金属層３７の組み合わせ体を基材５１から分離させる分離工程を実施する。当該組み合わせ体が基材５１から分離される際には、導電性パターン５２上に、上述した離型処理によって形成された有機物の膜が形成されているため、組み合わせ体の第１金属層３２は、有機物の膜の表面から剥離され、導電性パターン５２は、有機物の膜とともに基材５１に残る。これによって、所定のパターンで第１開口部３０が設けられた第１金属層３２と、第１開口部３０に連通する第２開口部３５が設けられた第２金属層３７と、を備えた蒸着マスク２０を得ることができる。
【0119】
以上の説明では、めっき処理によって形成される蒸着マスク２０が、第１金属層３２と第２金属層３７とによって構成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、めっき処理によって形成される蒸着マスク２０が、単一の金属層（図示せず）によって構成されていてもよい。【0120】
（蒸着マスク装置の製造方法）次に、上述のようにして得られた蒸着マスク２０を用いて蒸着マスク装置１０を製造する方法について説明する。
【0121】
まず、エッチング処理またはめっき処理によって上述のようにして準備された蒸着マスク２０をフレーム１５に溶接する溶接工程を実施する。これによって、蒸着マスク２０及びフレーム１５を備える蒸着マスク装置１０を得ることができる。得られた蒸着マスク２０は、張設された状態でフレーム１５に溶接されて、図３に示すような蒸着マスク装置１０が得られる。【0123】
図２７乃至図２９に示すように、本実施の形態による蒸着マスク梱包体６０は、受け部６１と、受け部６１の上方に設けられ、受け部６１に対向する蓋部６２と、受け部６１と蓋部６２との間に配置された蒸着マスク積層体８０と、を備えている。このうち、蒸着マスク積層体８０は、上述した蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０に積層された複数の挿間シート８１と、を有している。蒸着マスク積層体８０の詳細については、後述する。【0124】
蒸着マスク積層体８０は、受け部６１と蓋部６２で挟持されている。本実施の形態では、受け部６１と蓋部６２とが弾性ベルト６３（結束手段）によって結束されており、この弾性ベルト６３の弾性力によって、受け部６１および蓋部６２が蒸着マスク積層体８０を押圧し、挟持している。ここでは、受け部６１と蓋部６２とが２つの弾性ベルト６３によって結束されている例が示されているが、受け部６１と蓋部６２とが、輸送中に互いにずれることを防止できれば、弾性ベルト６３の個数は任意である。また、受け部６１と蓋部６２とが蒸着マスク積層体８０を挟持することができれば、弾性ベルト６３を用いることに限られることはない。【0125】
本実施の形態では、受け部６１と蓋部６２は、ヒンジ部６４を介して連結されている。すなわち、受け部６１および蓋部６２は、ヒンジ部６４を介して折り曲げ可能になっており、図３０に示す展開状態から、図２７乃至図２９に示す折り曲げ状態に移行可能になっている。開梱後には展開状態に戻すことができる。【0126】
受け部６１、蓋部６２およびヒンジ部６４は、一体に形成されており、観音開き式の梱包部材６５を構成している。この梱包部材６５の横断面が、図３０に示されている。ここで、縦断面とは、梱包される蒸着マスク２０の長手方向（第１の方向）の断面を意味する。横断面とは、梱包される蒸着マスク２０の長手方向に直交する幅方向（第２の方向）の断面を意味する。【0127】
図３０に示すように、受け部６１とヒンジ部６４との間には、Ｖ字状の受け部側溝６６が形成されている。ヒンジ部６４と蓋部６２との間には、Ｖ字状の蓋部側溝６７が形成されている。梱包部材６５を図２７乃至図２９に示す状態に折り曲げた際には、これらの溝６６、６７が潰される。すなわち、溝６６、６７を画定する一対の溝壁面が互いに近接または当接し、梱包部材６５が折り曲げ可能になっている。受け部側溝６６および蓋部側溝６７が９０°の頂角を有する場合には、梱包部材６５を折り曲げた状態では、受け部６１と蓋部６２を略平行に対向させることができる。梱包部材６５には、輸送時の蒸着マスク２０の塑性変形を防止可能であれば、任意の材料を使用することができるが、例えば、強度と質量の観点から、プラスチック製の段ボールを好適に使用することができる。【0128】
図２８乃至図３２に示すように、受け部６１は、蓋部６２に対向する平坦状の第１対向面６８と、第１対向面６８に設けられた凹部６９と、を有している。受け部６１を、複数枚の材料シート（例えば、プラスチック製の段ボールシート）が積層された構成とする場合には、第１対向面６８の側のシートに開口部を設けて、第１対向面６８の反対側のシートに開口部を設けないようにしてもよい。この場合、受け部６１として見たときに、第１対向面６８に形成された凹部６９を得ることができる。ここで、プラスチック製の段ボールシートは、一対のライナーと、ライナーの間に介在された波形状の横断面を有する中芯と、を含んでいる。複数の段ボールシートを積層する場合には、互いに隣り合う段ボールシートの中芯の波形状の尾根（または谷）が延びる方向が、直交するように積層することが好適である。この場合、積層された段ボールシートから構成される受け部６１の強度を向上させることができる。【0129】
図３３に示すように、蒸着マスク２０の積層方向（蒸着マスク２０の法線方向Ｎ）に沿って見たときに、凹部６９は、長手方向を有するように矩形状に形成されている。凹部６９の長手方向は、蒸着マスク２０の長手方向（第１の方向）に沿っている。言い換えると、蒸着マスク２０は、その長手方向が凹部６９の長手方向に沿うように、凹部６９上に載置される。【0130】
凹部６９の長手方向寸法Ｄ１は、蒸着マスク２０の長手方向における複数の有効領域２２の一端から他端までの寸法Ｄ２より大きくなっている。このことにより、蒸着マスク２０の有効領域２２の全てが、凹部６９上に配置されている。しかしながら、凹部６９の長手方向寸法Ｄ１は、蒸着マスク２０の長手方向全長（長手方向寸法）Ｄ３よりは小さくなっている。このことにより、蒸着マスク２０の長手方向両側の端部２０ｅは、凹部６９上ではなく、第１対向面６８上に配置され、受け部６１と蓋部６２とに挟持される。このため、蒸着マスク２０が受け部６１と蓋部６２との間で横方向にずれることを防止している。【0131】
凹部６９の蒸着マスク２０の幅方向における寸法Ｗ１は、蒸着マスク２０の幅方向寸法Ｗ２よりも大きくなっている。この場合、蒸着マスク２０の有効領域２２の近傍において、蒸着マスク２０の幅方向両側の側縁２０ｆが凹部６９上に配置されている。このことにより、下向きの力を受けた蒸着マスク２０の有効領域２２を凹部６９内に効果的に撓ませることができる。このため、有効領域２２が塑性変形することを効果的に防止できる。【0132】
図３１乃至図３３に示すように、凹部６９は、可撓性を有する第１可撓性フィルム７０によって覆われている。第１可撓性フィルム７０には、蒸着マスク２０に梱包状態で加えられる力や、輸送時に加えられる衝撃を吸収可能な程度の可撓性を有していることが好ましい。また、第１可撓性フィルム７０は、蒸着マスク２０を含む蒸着マスク積層体８０（後述）を支持することができる程度の強度を有していることが好ましい。このような特性を有するフィルムであれば、第１可撓性フィルム７０には任意の厚みを有する任意のフィルム材料を用いることができるが、例えば、厚み０．１５〜０．２０ｍｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムを好適に用いることができる。ＰＥＴフィルムは、比較的硬くてしわが形成し難いため、蒸着マスク２０の塑性変形を効果的に防止可能である。【0133】
第１可撓性フィルム７０は、静電気が発生することを防止するために、帯電防止コーティングされていることが好ましい。より具体的には、第１可撓性フィルム７０に、帯電防止剤がコーティングされて、第１可撓性フィルム７０の両面に帯電防止層が形成されていてもよい。この場合、第１可撓性フィルム７０が帯電することを防止でき、開梱時に蒸着マスク２０と挿間シート８１とが静電作用により付着することを防止できる。このような第１可撓性フィルム７０の一例としては、商品名クリスパー（登録商標）として販売されている東洋紡株式会社製のポリエステル系合成紙Ｋ２３２３−１８８−６９０ｍｍが挙げられる。【0134】
第１可撓性フィルム７０は、受け部６１の第１対向面６８に、接着テープを用いて貼り付けられている。より具体的には、図３３に示すように、第１可撓性フィルム７０の蒸着マスク２０の長手方向における寸法Ｄ４は、凹部６９の長手方向寸法Ｄ１よりも大きくなっている。また、第１可撓性フィルム７０の蒸着マスク２０の幅方向における寸法Ｗ３は、凹部６９の幅方向寸法Ｗ１よりも大きくなっている。そして、第１可撓性フィルム７０の周縁部が、全周にわたって連続的に第１対向面６８に貼り付けられていることが好適である。このことにより、蒸着マスク２０に下向きの力が加えられた場合に第１可撓性フィルム７０の可撓性を効果的に発揮させることができ、第１可撓性フィルム７０に支持される蒸着マスク２０の塑性変形をより一層防止できる。接着テープには、第１可撓性フィルム７０が受け部６１に良好に接着可能であれば、任意の材料を用いることができるが、一例として、商品名スコッチ（登録商標）として販売されている３Ｍ製の両面テープ６６５を挙げることができる。なお、第１可撓性フィルム７０は、受け部６１の第１対向面６８に、接着剤を塗布して貼り付けられるようにしてもよい。【0135】
図２８乃至図３２に示すように、蓋部６２は、受け部６１に対向する平坦状の第２対向面７１を有している。本実施の形態においては、第２対向面７１には、第１対向面６８のような凹部は設けられていない。すなわち、蓋部６２の第２対向面７１は、全体的に平坦状に形成されている。このことにより、蓋部６２の強度を確保することができる。この第１対向面６８のうち、蒸着マスク積層体８０に対応する部分は、第２可撓性フィルム７２によって覆われている。第２可撓性フィルム７２には、第１可撓性フィルム７０と同様の厚さを有するフィルム材料を好適に用いることができ、第１可撓性フィルム７０と同様にして蓋部６２の第２対向面７１に接合することができる。蓋部６２がプラスチック製の段ボールシートで構成されている場合には、この第２可撓性フィルム７２によって、段ボールシートの中芯の波形状が、蒸着マスク２０に転写されることを防止できる。また、第２可撓性フィルム７２を用いることによって、蓋部６２の第２対向面７１に傷が付くことを防止できる。【0136】
図２８および図２９に示すように、第１可撓性フィルム７０と第２可撓性フィルム７２との間に、複数の蒸着マスク２０が積層された蒸着マスク積層体８０が介在されている。すなわち、蒸着マスク積層体８０は、第１可撓性フィルム７０および第２可撓性フィルム７２を介して、受け部６１および蓋部６２によって挟持されている。【0137】
図３１および図３２に示すように、蒸着マスク積層体８０は、互いに積層された複数の蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０の第１面２０ａおよび第２面２０ｂに積層された複数の挿間シート８１と、を有している。本実施の形態では、複数の蒸着マスク２０と複数の挿間シート８１とが、交互に積層されており、各蒸着マスク２０の第１面２０ａが、第１面２０ａに面している挿間シート８１で覆われ、第２面２０ｂが、第２面２０ｂに面している挿間シート８１で覆われている。また、蒸着マスク積層体８０の最下段および最上段が挿間シート８１になっている。すなわち、最も下方に配置された蒸着マスク２０と受け部６１との間に挿間シート８１が介在され、最も上方に配置された蒸着マスク２０と蓋部６２との間に挿間シート８１が介在されている。【0138】
挿間シート８１は、互いに隣り合う一方の蒸着マスク２０の貫通孔２５と、他方の蒸着マスク２０の貫通孔２５とが、互いに引っ掛かることを防止するためのものである。このため、挿間シート８１の両面（蒸着マスク２０若しくは可撓性フィルム７０、７２に面する面）は、平坦状に形成されており、挿間シート８１には、孔や凹凸などは形成されていない。この挿間シート８１によって、蒸着マスク積層体８０から個々の蒸着マスク２０を取り出す際に、蒸着マスク２０の塑性変形を防止している。【0139】
蒸着マスク積層体８０を構成する蒸着マスク２０および挿間シート８１はいずれも受け部６１に接合されておらず、蓋部６２にも接合されていない。【0140】
蒸着マスク積層体８０における蒸着マスク２０は、同一の形状を有し、各蒸着マスク２０の有効領域２２が、積層方向に沿って見たときに重なるように配置されていることが好適であるが、これに限られない。積層した状態において、各蒸着マスク２０の有効領域２２の全てが、凹部６９上に配置できれば、例えば、各蒸着マスク２０の有効領域２２の個数または形状が異なっていてもよい。【0141】
挿間シート８１には、蒸着マスク２０の塑性変形を防止できれば、任意の材料を用いることができるが、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差が所定の範囲内であることが好適である。本実施の形態では、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差（絶対値）が、７ｐｐｍ／℃以下になっている。このことにより、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差を低減している。【0142】
蒸着マスク２０が３０質量％以上且つ５４質量％以下のニッケルを含む鉄合金で構成されている場合には、挿間シート８１も３０質量％以上且つ５４質量％以下のニッケルを含む鉄合金で構成されていることが好適である。例えば、蒸着マスク２０が、３４質量％以上且つ３８質量％以下のニッケルを含むインバー材で構成されている場合には、挿間シート８１もそのようなインバー材で構成されていることが好適である。この場合、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差を低減することができる。また、蒸着マスク２０が、入手性が良好なステンレスなどのクロムを含む鉄合金で構成されている場合には、挿間シート８１もそのようなクロムを含む鉄合金で構成されていることが好ましく、この場合においても、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差を低減することができる。更に、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差をより一層低減するためには、挿間シート８１を構成する材料が、蒸着マスク２０を構成する材料と同一であることが好ましい。しかしながら、上述した熱膨張係数の差の範囲内であれば、挿間シート８１を構成する材料と蒸着マスク２０を構成する材料とは相違していてもよい。例えば、挿間シート８１は、４２アロイ（４２％のニッケルを含む鉄合金）により形成されていてもよい。なお、挿間シート８１は、挿間シート８１が蒸着マスク２０の貫通孔２５に引っ掛かることを防止できれば、紙などの繊維材料を含む材料により形成されていてもよい。例えば、挿間シート８１は、アクリル含浸紙により形成されていてもよい。【0143】
挿間シート８１の厚みは、２０μｍ〜１００μｍであることが好適である。２０μｍ以上にすることにより、挿間シート８１の一方の面に積層された蒸着マスク２０の貫通孔２５による凹凸形状が、他方の面に出現することを防止できる。また、挿間シート８１が破れることを防止できるとともに、挿間シート８１を再利用することもでき、経済的である。一方、１００μｍ以下にすることにより、挿間シート８１の質量を低減し、蒸着マスク梱包体６０としての質量が増大することを抑制できる。【0144】
挿間シート８１は、蒸着マスク２０の積層方向に沿って見たときに挿間シート８１の周縁８１ａが全周にわたって蒸着マスク２０からはみ出し可能な寸法を有していることが好適である。本実施の形態では、図３３に示すように、挿間シート８１の蒸着マスク２０の長手方向における寸法（長手方向全長）Ｄ５が、蒸着マスク２０の長手方向全長Ｄ３よりも大きく、かつ、挿間シート８１の蒸着マスク２０の幅方向における寸法Ｗ４が、蒸着マスク２０の幅方向寸法Ｗ２よりも大きくなっている。このことにより、蒸着マスク積層体８０において、挿間シート８１を、全周にわたって蒸着マスク２０からはみ出させることができ、互いに隣り合う蒸着マスク２０同士が直接的に接して重なり合うことを防止できる。すなわち、挿間シート８１の長手方向全長Ｄ５が、蒸着マスク２０の長手方向全長Ｄ３よりも小さいと、挿間シート８１の一方の側にある蒸着マスク２０と他方の側にある蒸着マスク２０とが直接的に接して重なり合い、貫通孔２５が変形する可能性がある。また、挿間シート８１の幅方向寸法Ｗ４が、蒸着マスク２０の幅方向寸法Ｗ２よりも小さい場合にも同様にして、貫通孔２５が変形する可能性がある。これに対して本実施の形態によれば、挿間シート８１の長手方向全長Ｄ５が蒸着マスク２０の長手方向全長Ｄ３よりも大きく、かつ、挿間シート８１の幅方向寸法Ｗ４が蒸着マスク２０の幅方向寸法Ｗ２よりも大きいため、挿間シート８１の両側にある蒸着マスク２０同士が直接的に接して重なり合うことを防止できる。このため、貫通孔２５が変形することを効果的に防止できる。なお、挿間シート８１の幅方向寸法Ｗ４は、凹部６９の幅方向寸法Ｗ１よりも小さいことが好適である。【0145】
図２８及び図２９に示すように、蒸着マスク積層体８０を挟持した受け部６１および蓋部６２は、密封袋７３に密封されている。密封袋７３内は、真空引きされて減圧されている。また、密封袋７３内には、乾燥剤７４（例えば、シリカゲル）が収納されており、密封袋７３内の水分を乾燥剤７４が吸着し、密封袋７３内の雰囲気の乾燥状態を維持している。このことにより、蒸着マスク２０が水分で変質することを防止している。なお、図２７では、密封袋７３は省略されている。【0146】
また、図２８及び図２９に示すように、本実施の形態による蒸着マスク梱包体６０は、蒸着マスク２０に加えられる衝撃を検出する衝撃センサ７５を備えていてもよい。この場合、輸送中に蒸着マスク２０に加えられた衝撃を輸送後に確認することができる。このため、輸送中に所定値以上の衝撃が加えられた場合には、その蒸着マスク２０に不良が生じている可能性を推測することができ、蒸着マスク２０の輸送品質を向上させることができる。衝撃センサ７５は、図２８及び図２９に示すように、密封袋７３は段ボール箱７６に収容されて、この段ボール箱７６を梱包する木箱７７内に取り付けることが好適であるが、これに限られることはない。衝撃センサ７５としては、例えば、SHOCKWATCH Inc.製のショックウォッチラベルＬ−３０（緑）を好適に用いることができる。【0147】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、蒸着マスク２０の梱包方法について説明する。【0148】
（蒸着マスク梱包方法）まず、上述した蒸着マスク２０を準備するとともに、図３４に示すように、受け部６１および蓋部６２により構成された梱包部材６５を準備する。この際、第１可撓性フィルム７０が、受け部６１の凹部６９を覆うように受け部６１の第１対向面６８に貼り付けられるとともに、第２可撓性フィルム７２が、蓋部６２の第２対向面７１に貼り付けられる。なお、第１可撓性フィルム７０および第２可撓性フィルム７２は、変質などの利用上の問題が無いと見なされれば、再利用してもよい。
【0149】
次に、図３５に示すように、梱包部材６５の受け部６１上に載置された蒸着マスク積層体８０を得る。【0150】
この場合、まず、第１可撓性フィルム７０上に、挿間シート８１が載置される。挿間シート８１は、後述する蒸着マスク２０と重なるような位置に配置される。【0151】
続いて、挿間シート８１上に、蒸着マスク２０が載置される。すなわち、第１可撓性フィルム７０上に、挿間シート８１を介して蒸着マスク２０が載置される。この場合、蒸着マスク２０の有効領域２２の全てが、凹部６９上に第１可撓性フィルム７０を介して配置され、蒸着マスク２０の端部２０ｅは、第１対向面６８上に配置される。【0152】
次に、蒸着マスク２０上に、挿間シート８１が載置される。このことにより、蒸着マスク２０の第１面２０ａおよび第２面２０ｂに挿間シート８１が積層される。この場合の挿間シート８１は、この蒸着マスク２０の下面の挿間シート８１と、積層方向に沿って見たときに重なるように配置される。【0153】
その後、上述のようにして蒸着マスク２０の載置と挿間シート８１の載置とを繰り返すことにより、複数の蒸着マスク２０と複数の挿間シート８１とが交互に積層される。そして、最後に積層された蒸着マスク２０上に挿間シート８１が載置され、蒸着マスク積層体８０の最下段および最上段が挿間シート８１になる（図３１および図３２参照）。【0154】
受け部６１上に載置された蒸着マスク積層体８０が得られた後、図３６に示すように、蒸着マスク積層体８０上に蓋部６２が配置される。この場合、梱包部材６５がヒンジ部６４を介して折り曲げられ、蓋部６２が蒸着マスク積層体８０の上方に配置される。このことにより、受け部６１と蓋部６２が対向し、蒸着マスク積層体８０の上下方向両側に受け部６１と蓋部６２が配置される。【0155】
次に、図３７に示すように、受け部６１と蓋部６２とによって蒸着マスク積層体８０が挟持される。この場合、受け部６１と蓋部６２とが弾性ベルト６３によって結束される。例えば、蒸着マスク２０の長手方向に異なる位置に２つの弾性ベルト６３が装着される（図２７参照）。このことにより、受け部６１と蓋部６２とが結束され、弾性ベルト６３の弾性力によって、蒸着マスク積層体８０が受け部６１と蓋部６２との間で挟持される。詳細には、蒸着マスク２０全体ではなく、蒸着マスク２０の長手方向両側の端部２０ｅが、受け部６１と蓋部６２とで挟持される。この際、受け部６１の第１対向面６８と蓋部６２の第２対向面７１との間には、蒸着マスク積層体８０の厚みに起因したギャップが形成される。【0156】
蒸着マスク積層体８０は、弾性ベルト６３の弾性力によって、上下方向の力を受ける。蒸着マスク２０の端部２０ｅでは、この力は、受け部６１の第１対向面６８と蓋部６２の第２対向面７１で支持される。一方、蒸着マスク２０の有効領域２２は凹部６９上に配置されているために、図３９に示すように、蓋部６２の第２対向面７１から受ける下向きの力によって蒸着マスク２０の有効領域２２が下方に撓む。蒸着マスク２０は、凹部６９上で第１可撓性フィルム７０によって支持されているため、第１可撓性フィルム７０が蒸着マスク２０の撓みを抑制し、蒸着マスク２０が変形することが抑制される。このため、蒸着マスク２０の変形量を低減し、弾性変形範囲内の変形に留めることができる。このため、弾性ベルト６３を取り外した開梱後には、蒸着マスク２０は、自身の弾性力によって元の形状（梱包前の形状）に復元することができる。【0157】
また、蒸着マスク２０の間には挿間シート８１が介在されているため、互いに隣り合う蒸着マスク２０同士が、直接的に接して重なり合うことが回避されている。このため、多数の貫通孔２５を含む有効領域２２において、下向きの力を受けた蒸着マスク２０同士が噛み合うことが防止され、蒸着マスク２０はスムースに下方に撓むことができるとともに、スムースな復元もできる。【0158】
蒸着マスク積層体８０が挟持された後図３８に示すように、梱包部材６５が密封袋７３に密封される。この場合、密封袋７３に梱包部材６５を乾燥剤７４とともに収容する。続いて、密封袋７３の開口から内部が真空引きされる。所定の真空度まで密封袋７３内の圧力が低下すると、密封袋７３の開口がシールされる。【0159】
密封袋７３で密封された梱包部材６５は、図２８及び図２９に示すように、段ボール箱７６に収容されて、この段ボール箱７６が木箱７７で梱包される。この際、木箱７７内に、衝撃センサ７５が取り付けられる。このようにして、本実施の形態による蒸着マスク梱包体６０が得られる。【0160】
次に、上述のようにして得られた蒸着マスク梱包体６０を輸送する場合について説明する。【0161】
蒸着マスク梱包体６０を輸送している間、蒸着マスク２０に衝撃が加えられる場合がある。例えば、この衝撃により蒸着マスク２０に下方に向く力が加えられる場合には、図３９に示すように、この下向きの力によって蒸着マスク２０の有効領域２２が下方に撓む。上述したように蒸着マスク２０は、凹部６９上で第１可撓性フィルム７０によって支持されているため、蒸着マスク２０が変形することが抑制される。このため、蒸着マスク２０の変形を、弾性変形範囲内に留めることができ、輸送時の衝撃を受けた場合であっても、蒸着マスク２０が塑性変形することを防止できる。【0162】
また、蒸着マスク２０の間には挿間シート８１が介在されているため、互いに隣り合う蒸着マスク２０同士が、直接的に接して重なり合うことが回避されている。このため、輸送時の衝撃を受けた場合であっても、蒸着マスク２０同士が有効領域２２において噛み合うことが防止されるとともに、互いに隣り合う蒸着マスク２０同士が、擦れることを防止できる。このようにして、蒸着マスク２０の塑性変形を防止できる。【0163】
輸送時に、周囲環境の変化により蒸着マスク梱包体６０の温度が変化する場合がある。この場合には、蒸着マスク２０や挿間シート８１が、それぞれ伸びたり縮んだりする。しかしながら、本実施の形態では、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差が、７ｐｐｍ／℃以下になっている。このことにより、蒸着マスク２０の寸法変化（伸び若しくは縮み）と挿間シート８１の寸法変化（伸び若しくは縮み）の差を低減することができる。このため、蒸着マスク２０と挿間シート８１の位置ずれが生じて蒸着マスク２０にしわや傷が形成されることが防止され、蒸着マスク２０の塑性変形が防止できる。【0164】
輸送後の蒸着マスク梱包体６０を開梱する場合には、上述した蒸着マスク２０の梱包方法とは逆の手順を踏めばよい。とりわけ、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間には挿間シート８１が介在されているため、蒸着マスク２０が、その下方に配置された蒸着マスク２０と噛み合うことが防止されている。このため、蒸着マスク積層体８０から個々の蒸着マスク２０をスムースに取り出すことができる。このため、蒸着マスク２０が塑性変形することを防止できるとともに、蒸着マスク２０の取扱性を向上させることができる。【0165】
このように本実施の形態によれば、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差が、７ｐｐｍ／℃以下になっている。このことにより、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差を低減することができる。このため、輸送中の周囲環境の変化により蒸着マスク梱包体６０の温度が変化した場合であっても、蒸着マスク２０の寸法変化と挿間シート８１の寸法変化の差を低減することができる。この結果、寸法変化の差により生じ得るしわや傷が、蒸着マスク２０および挿間シート８１に形成されることを防止でき、蒸着マスク２０の塑性変形を防止できる。【0166】
また、本実施の形態によれば、蒸着マスク２０の有効領域２２が、受け部６１の凹部６９上に、第１可撓性フィルム７０を介して配置されている。このことにより、蒸着マスク２０の有効領域２２を第１可撓性フィルム７０によって支持することができる。このため、蒸着マスク２０の有効領域２２に加えられる下向きの力によって、有効領域２２が下方に撓む変形を抑制できる。このため、蒸着マスク２０の変形を弾性変形範囲内に留めることができ、蒸着マスク２０の塑性変形を防止できる。【0167】
また、本実施の形態によれば、挿間シート８１の幅方向寸法Ｗ４が、凹部６９の幅方向寸法Ｗ１よりも小さくなっているため、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。【0168】
ここで、挿間シート８１の幅方向寸法Ｗ４が、図４０に示すように、凹部６９の幅方向寸法Ｗ１以上である場合、輸送時の衝撃などによって蒸着マスク２０が塑性変形する場合が考えられる。すなわち、図４０に示す例では、挿間シート８１の周縁８１ａが全周にわたって凹部６９の外側に配置され、挿間シート８１のうち凹部６９よりも幅方向外側の部分は、受け部６１の第１対向面６８上に配置されている。図３９における下向きの力を受けると、挿間シート８１のうち凹部６９上の部分が、第１可撓性フィルム７０および蒸着マスク２０と共に下方に撓む。挿間シート８１の撓んだ部分には、図４０に示すようなしわのような凹み８１Ｘが形成される場合がある。この凹み８１Ｘは、この挿間シート８１に接する蒸着マスク２０に転写され、蒸着マスク２０が塑性変形する。凹み８１Ｘは、挿間シート８１の材質が柔らかい程（より具体的には耐力が小さい程）形成されやすく、厚みが小さい程形成されやすい傾向にある。なお、第１可撓性フィルム７０にＰＥＴ等の比較的硬い材質を用いる場合には、第１可撓性フィルム７０に凹みが形成されることを防止できるが、第１可撓性フィルム７０に凹みが形成されない場合であっても、挿間シート８１に凹み８１Ｘが形成され得る。【0169】
これに対して本実施の形態によれば、図３３に示すように、挿間シート８１の幅方向寸法Ｗ４が、凹部６９の幅方向寸法Ｗ１よりも小さくなっているため、挿間シート８１のうち凹部６９上の部分は、挿間シート８１の幅方向全体にわたって凹部６９上に配置されている。このことにより、下向きの力を受けると、挿間シート８１の凹部６９上の部分は、幅方向全体にわたって凹部６９内に入り込むように撓む。このため、図４０に示すような凹み８１Ｘが形成されることを防止でき、蒸着マスク２０の塑性変形を防止できる。【0170】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による蒸着マスク梱包体および蒸着マスク梱包方法は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。【0171】
上述した本実施の形態においては、受け部６１と蓋部６２が、ヒンジ部６４を介して連結され、一体に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、受け部６１と蓋部６２は、図４１に示すように、別体に形成されていてもよい。この場合においても、弾性ベルト６３によって受け部６１と蓋部６２を結束して、受け部６１と蓋部６２との間に蒸着マスク積層体８０を挟持することができる。【0172】
また、上述した本実施の形態においては、受け部６１と蓋部６２との間に挟持された蒸着マスク積層体８０が、複数の蒸着マスク２０を有している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸着マスク積層体８０は、１つの蒸着マスク２０と、この蒸着マスク２０の第１面２０ａおよび第２面２０ｂに積層された２つの挿間シート８１と、により構成されていてもよい。この場合においても、蒸着マスク２０の貫通孔２５に、他の部材が引っ掛かることを防止でき、蒸着マスク２０の塑性変形を防止することができる。【0173】
また、上述した本実施の形態においては、梱包部材６５の受け部６１上に挿間シート８１および蒸着マスク２０が交互に積層されて蒸着マスク積層体８０が形成される例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、予め蒸着マスク積層体８０を形成した後に、この蒸着マスク積層体８０を受け部６１上に載置するようにしてもよい。【実施例】
【0174】
種々の挿間シート８１を用いて、蒸着マスク２０を梱包した蒸着マスク梱包体６０の輸送試験を行い、輸送後の蒸着マスク２０の状態を確認した。【0175】
輸送試験に用いた蒸着マスク２０には、図４２に示すような、種々の厚みＴ０を有する蒸着マスク２０を用いた。各々の蒸着マスク２０は、図４乃至図１９に示すエッチング処理によって作製された蒸着マスク２０である。この蒸着マスク２０の材料は、３６質量％のニッケルを含むインバー材とした。いずれの蒸着マスク２０も、幅方向寸法Ｗ２（図３３参照）を６７ｍｍ、長手方向全長Ｄ３を８５０ｍｍとした。【0176】
挿間シート８１には、図４２に示すように、種々の材料からなるシートを用いた。より詳細には、実施例１として、挿間シート８１に３６質量％のニッケルを含むインバー材を用い、実施例２として、４２アロイを用い、実施例３として、アクリル含浸紙を用いた。他方、比較例１としてステンレス（ＳＵＳ４３０）を用い、比較例２として高分子ポリエチレン（ＰＥ）を用い、比較例３としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を用い、比較例４として、低分子ポリエチレンを用いた。各材料の２５℃における熱膨張係数は、図４２に示すようになっている。図４２では、挿間シート８１の熱膨張係数から蒸着マスク２０の熱膨張係数（３６質量％のニッケルを含むインバー材）を差し引いた値を示している。各挿間シート８１の幅方向寸法Ｗ４は１５０ｍｍ、長手方向全長Ｄ５は９８０ｍｍ、厚みは７５μｍにした。【0177】
５枚の蒸着マスク２０と４枚の挿間シート８１とを交互に重ねて、上述した実施の形態による蒸着マスク梱包体６０を作製した。蒸着マスク梱包体６０の作製は、室温が２５℃に管理された作業室で行った。【0178】
作製された蒸着マスク梱包体６０を、陸路、空路、陸路を経て、目的地まで輸送した。目的地の気温は−１６℃であり、これが輸送中の周囲環境の最低気温であり、蒸着マスク２０は開梱されるまでに−１６℃まで低下した。蒸着マスク梱包体６０の開梱は、室温が２５℃に管理された作業室で行った。なお、輸送中の周囲環境の最高気温は、２５℃よりも高くなっている可能性があるが、その場合であっても、梱包時の温度と最高気温との温度差は、梱包時の温度と最低気温との温度差よりも小さいと考えられる。このため、梱包時の気温と最低気温との温度差に着目して、蒸着マスク２０の変形を確認すればよいと考え、輸送試験を行った。【0179】
開梱後に、各蒸着マスク２０に、波状のしわが形成されているか否かと、傷が形成されているか否かを、目視（裸眼）により確認した。その結果を図４２に示す。ここで○印は、５枚全ての蒸着マスク２０に、しわも傷も目視で確認されなかったことを示しており、×印は、５枚のうちの少なくとも１枚の蒸着マスク２０に、しわおよび傷のうちの少なくとも一方が目視で確認されたことを示している。【0180】
図４２に示すように、蒸着マスク２０の熱膨張係数と挿間シート８１の熱膨張係数との差が７ｐｐｍ／℃以下である場合に、全ての厚みの蒸着マスク２０について、しわや傷が形成されないことが確認できた。すなわち、熱膨張係数の差を７ｐｐｍ／℃以下にすることにより、蒸着マスク２０にしわや傷が形成されることを抑制でき、蒸着マスク２０の塑性変形を防止することができる。また、蒸着マスク２０の厚みが１５μｍ以上であれば、蒸着マスク２０自体の強度を確保することができ、蒸着マスク２０にしわが形成されることをより一層抑制できると考えられる。【0181】
なお、本実施例においては、エッチング処理によって作製された蒸着マスク２０を用いているが、めっき処理によって作製された蒸着マスク２０についても、少なくとも同様の結果が得られるものと考える。すなわち、上述したようにエッチング処理の蒸着マスク２０には、圧延材として作製された金属板２１が用いられるが、この金属板２１の結晶よりも、めっき処理で作製された蒸着マスク２０の結晶の方が細かくなる。このことにより、めっき処理の蒸着マスク２０の硬度や耐力は、金属板２１よりも大きくなる。従って、めっき処理で作製された蒸着マスク２０を用いた場合であっても、本実施例と同等あるいはそれ以上の結果が得られ、しわや傷の形成をより一層抑制できるものと考える。