特許 6969873 マウンタ用エア制御装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6969873

(24)【登録日】2021年11月1日

(45)【発行日】2021年11月24日

(54)【発明の名称】マウンタ用エア制御装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20211111BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/04 A

【請求項の数】4

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2017-5803(P2017-5803)

(22)【出願日】2017年1月17日

(65)【公開番号】特開2018-117007(P2018-117007A)

(43)【公開日】2018年7月26日

【審査請求日】2019年12月10日

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000204240

【氏名又は名称】株式会社ＴＡＩＹＯ

(74)【代理人】

【識別番号】100137486

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 雅直

(72)【発明者】

【氏名】入江 進

【審査官】 小川 悟史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−２０２６７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０１−２４６８９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０２３２９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１５／０１１７５１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００３−２７３５８８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ １３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

マウンタのヘッドモジュールに搭載される流量調整機構と、この流量調整機構を制御する制御手段とを備えたものであって、
前記流量調整機構は、正圧域とノズルの間に介在して通過するエアの流量を連続的に変更可能な機能を含み、
前記制御手段は、ノズルを負圧にした後、予め定めた印加電圧または印加電流に基づき、前記流量調整機構の流量を制御してノズルに向けたエア供給を行うように構成されるマウンタ用エア制御装置であって、
前記ヘッドモジュールには高速用途向け及び多機能用途向けに複数種類のノズルが同時に取り付け可能であり、
前記流量調整機構が前記異なる用途向けに複数設けられ、該複数の流量調整機構が前記正圧域を構成する共通のレギュレータに並列的に接続されており、
前記制御手段が、前記複数の流量調整機構の何れを作動させるかの情報を含むオン・オフ指令が入力される指令入力部と、予め前記用途に応じた流量調整機構ごとに印加電圧値または印加電流値の設定を行う設定部と、前記指令入力部に前記オン・オフ指令を入力されることにより作動させるべき流量調整機構に関して前記設定部に設定されている電圧値または電流値に対応する印加電圧または印加電流を前記流量調整機構へ印加する出力制御部と、を備えており、
前記制御手段は、前記ヘッドモジュールに高速用途向け及び多機能用途向けに複数種類のノズルを同時に取り付けた状態のままで、前記電圧値または電流値に対応する印加電圧または印加電流に基づき、エア供給すべきノズルに対応する前記流量調整機構の流量を制御することで、マウンタを停止することなく高速用途向けのノズル又は多機能用途向けのノズルの何れかに切り替えてエア供給を行うことを特徴とするマウンタ用エア制御装置。

【請求項2】

前記流量調整機構が、複数のノズルごとに複数設けられ、制御手段が、ノズルに応じた電圧レベルまたは電流レベルで対応する流量調整機構の流量を制御するように構成される請求項１に記載のマウンタ用エア制御装置。

【請求項3】

前記流量調整機構が、流量調整機能付きの圧電バルブを用いて構成される請求項１又は２に記載のマウンタ用エア制御装置。

【請求項4】

前記流量調整機構が、比例弁を用いて構成される請求項１又は２に記載のマウンタ用エア制御装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マウンタのヘッドモジュールを通してノズルの真空破壊を適切に行えるようにしたマウンタ用エア制御装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来より、プリント基板の実装装置としてマウンタが知られている（例えば特許文献１）。

【0003】

この種のマウンタは、装置内にＸＹ軸方向に移動可能なヘッドモジュールを備え、このヘッドモジュールにノズルを取り付けて、ノズル先端に実装部品（以下、パーツと称する）を吸着、解放させ、プリント基板に実装するように構成される。ヘッドモジュール内には、ノズルをＺ軸方向に上下させるためのエアシリンダやサーボモータが備えられている。

【0004】

同文献の図２に基づいてヘッドモジュールの動作を説明すると、真空ポンプ６６によるパーツＰの吸着後、エア配管６８による解放すなわち真空破壊によってパーツＰをプリント基板上にマウントする。バルブ６２はその際の切替用である。

【0005】

パーツＰの解放時は、エア配管６８から圧力を注入して真空破壊を行うが、湿気や静電気の存在を考慮して、ノズル先端を所定圧力にして、パーツＰを強制的に優しく落とすように構成されるのが一般的である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１４−１２３６１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところで、１つのヘッドモジュールには、例えば、１、２、４、８、１２、２４個のノズルが搭載されており、ノズルそれぞれに、１つずつ、絞り弁がついている。絞り弁の上流は共通のレギュレータを介して正圧域であるエア配管等に接続されている。

【0008】

図９は１つのノズルｎに着目して、ヘッドモジュールＨＭ内でノズルｎがソレノイドバルブである３ポートバルブｂを介して正圧域と負圧域に背反的に接続される構成を示しており、正圧域はエア配管ｃからレギュレータｄ及び絞り弁eを介してエアが供給されるようになっている。レギュレータｄは不安定なエア配管の圧力を安定化する役割を担い、絞り弁ｅはマニュアルで絞り量が調整可能とされている。負圧域は真空ポンプｆに接続されている。ノズルｎ、３ポートバルブｂ及び絞り弁ｅは、レギュレータｄと真空ポンプｆの間にノズル数分だけ並列的に設けられている。

【0009】

図１０の構成は図９と同様に３ポートバルブｂによってノズルｎを正圧域又は負圧域に選択的に切り替え可能とした上で、３ポートバルブｂの上流にソレノイドバルブである２ポートバルブｇ又は３ポートバルブｈによって３ポートバルブｂへのエア供給のオン・オフを行っている。

【0010】

さらに、図１１の構成はノズルｎを正圧域に対して断切する２ポートバルブｍと、ノズルｎを負圧域に対して断切する２ポートバルブｋとがノズルｎに対して並列的に接続された構成とされている。

【0011】

このようなヘッドモジュールＨＭは、大きくは高速、多機能タイプに分類されている。高速タイプは例えばスマートフォン向けの小さなチップ部品実装用に構成され、ノズルｎの数は多く、ノズル径は小さく、パーツ吸着後の真空破壊のために供給するエアの流量も少量に設定される。一方、多機能タイプは例えばコネクタなどの比較的大きな異形部品実装用に構成され、ノズルｎの数は少なく、ノズル径は大きく、パーツ吸着後の真空破壊のために供給するエアの流量も比較的多く設定される。このため、図９〜図１１の絞り弁ｅ及びレギュレータｄの調整はヘッドモジュールＨＭの用途ごとに異なり、ヘッドモジュールＨＭ自体が用途に応じて高速用、多機能用として複数種類用意されている。

【0012】

ところで、マウンタの稼働中、パーツの変更時などにノズルｎの交換が必要となった場合、ノズル交換は装置の稼動を止めずに行われるのが一般的であるが、ヘッドモジュールＨＭの交換が必要となった場合は、装置を止めて行う必要があり、設備稼働率の低下につながっている。

【0013】

そこで、１つのヘッドモジュールＨＭで高速用と多機能用を兼用させることが一つの対策として考えられる。しかしながら、仮に、高速用に調整したヘッドモジュールＨＭを多機能用で使うと、流量が少ないために所要の流量に達するまでに時間が掛かり、その結果、タクトが下がるという新たな課題が生じる。逆に、多機能用に調整したヘッドモジュールＨＭを高速用で使うと、流量が多すぎるために小さいチップが解放時に吹き飛ぶという新たな課題が生じる。これを解決するためには、１つのヘッドモジュールＨＭが高速用と多機能用の複数の用途を充足するものであることが望まれる。

【0014】

また、従来の絞り弁ｅは変更できない固定の絞り弁または、手動調整の絞り弁が一般的であり、装置の稼働中は固定絞りとして用いられるため、稼働中に実装部品であるパーツの変更やノズルの交換があったときに、パーツやノズル毎に適した流量が維持されるかどうか疑問がある。

【0015】

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、マウンタの稼動を停止せずにノズル交換に伴う適切なエア制御を行うことができ、さらに複数のヘッドモジュールの機能を１つのヘッドモジュールでまかなえることを可能にした、従来にはないマウンタ用エア制御装置を実現することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0016】

本発明は、以上のような課題を解決するために、次のような手段を講じたものである。

【0017】

すなわち、本発明のマウンタ用エア制御装置は、マウンタのヘッドモジュールに搭載される流量調整機構と、この流量調整機構を制御する制御手段とを備えたものであって、前記流量調整機構は、正圧域とノズルの間に介在して通過するエアの流量を連続的に変更可能な機能を含み、前記制御手段は、ノズルを負圧にした後、予め定めた印加電圧または印加電流に基づき、前記流量調整機構の流量を制御してノズルに向けたエア供給を行うように構成されるマウンタ用エア制御装置であって、前記ヘッドモジュールには高速用途向け及び多機能用途向けに複数種類のノズルが同時に取り付け可能であり、前記流量調整機構が前記異なる用途向けに複数設けられ、該複数の流量調整機構が前記正圧域を構成する共通のレギュレータに並列的に接続されており、前記制御手段が、前記複数の流量調整機構の何れを作動させるかの情報を含むオン・オフ指令が入力される指令入力部と、予め前記用途に応じた流量調整機構ごとに印加電圧値または印加電流値の設定を行う設定部と、前記指令入力部に前記オン・オフ指令を入力されることにより作動させるべき流量調整機構に関して前記設定部に設定されている電圧値または電流値に対応する印加電圧または印加電流を前記流量調整機構へ印加する出力制御部と、を備えており、前記制御手段は、前記ヘッドモジュールに高速用途向け及び多機能用途向けに複数種類のノズルを同時に取り付けた状態のままで、前記電圧値または電流値に対応する印加電圧または印加電流に基づき、エア供給すべきノズルに対応する前記流量調整機構の流量を制御することで、マウンタを停止することなく高速用途向けのノズル又は多機能用途向けのノズルの何れかに切り替えてエア供給を行うことを特徴とする。

【0018】

このようにすると、流量調整機構でノズルに供給するエアの流量制御ができるため、マウンタの稼動を停止せずにパーツやノズルの種類に応じた流量調整を行うことができる。このため、１つのヘッドモジュールで適切に取り扱えるパーツやノズルの種類が増え、設備稼働率も向上させることが可能となる。

【0020】

このようにすると、流量調整機構に対して高速用や多機能用などの用途に相応しい流量制御ができるため、小さい部品に対しては流量を小さく、大きい部品に対しては流量を大きくする流量制御を行うことができる。これにより、ヘッドモジュールの交換を行うことなく汎用性の高い使い方ができ、ヘッドモジュールを共用することによる部品点数の削減とともに、ヘッドモジュールの交換に要していた分、設備稼働率を向上させることが可能となる。
また、流量や圧力を正確にデジタル管理できるうえに、一旦設定を行ったうえでオン・オフ指令により電圧印加または電流印加を行うことで、瞬時に適切な流量制御を実現することが可能となる。

【0021】

或いは、流量調整機構が、複数のノズルごとに複数設けられ、制御手段が、ノズルに応じた電圧レベルまたは電流レベルで対応する流量調整機構の流量を制御するように構成されることが好ましい。

【0022】

このようにすると、用途が同一か否かによらず、ノズル別に更に細かい流量制御を行うことが可能となる。

【0025】

具体的な実施の態様としては、前記流量調整機構が、流量調整機能付きの圧電バルブを用いて構成されるものや、前記流量調整機構が、比例弁を用いて構成されるものが挙げられる。

【発明の効果】

【0026】

以上、説明した本発明によれば、マウンタの稼動を停止せずにノズル交換に伴う適切なエア制御を行うことができ、さらに複数のヘッドモジュールの機能を１つのヘッドモジュールでまかなえることを可能にした、新規有用なマウンタ用エア制御装置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明が適用されるマウンタの構成要素であるヘッドモジュールのエア回路構成を示す図。

【図2】本発明の第１実施形態に係るエア制御装置を示す図。

【図3】本発明の第２実施形態に係るエア制御装置を示す図。

【図4】本発明の第３実施形態に係るエア制御装置を示す図。

【図5】本発明の第４実施形態に係るエア制御装置を示す図。

【図6】本発明の第５実施形態に係るエア制御装置を示す図。

【図7】本発明の他の実施形態に係るエア制御装置を示す図。

【図8】本発明のさらに他の実施形態に係るエア制御装置を示す図。

【図9】従来のエア制御装置の一例を示す図。

【図10】従来のエア制御装置の他の一例を示す図。

【図11】従来のエア制御装置の上記以外の一例を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
＜第１実施形態＞

【0029】

この実施形態のマウンタ用エア制御装置が適用されるマウンタのヘッドモジュールＨＭは、図1に示すように、負圧域を構成する真空ポンプ１と正圧域中に配置されるレギュレータ２を搭載しており、レギュレータ２は同じく正圧域の圧縮空気源となるエア配管３に接続されている。ヘッドモジュールＨＭには、従来の高速用途に適合するノズルｎ１と、多機能用に適合するノズルｎ２が取り付け可能とされており、更に、高速用途のノズルｎ１も径の異なる複数種類が取り付け可能とされ、多機能用途のノズルｎ２も径の異なる複数種類が取り付け可能とされている。そして、各ノズルｎ１…、ｎ２…ごとに流量制御機構４が接続され、流量制御機構４の真空破壊側の回路は上流を共通のレギュレータ２に並列的に接続されている。また、吸引側の回路は上流を共通の真空ポンプ１に接続されている。

【0030】

そして、ヘッドモジュールＨＭに流量調整機構４を搭載するとともに、この流量調整機構４を制御する制御手段５を設け、流量調整機構４には、正圧域を構成するレギュレータ２とノズルｎ（ｎ１またはｎ２）の間に介在して通過するエアの流量を連続的に変更可能な機能を持たせ、制御手段５は、ノズルｎ（ｎ１またはｎ２）を負圧にした後、予め定めた印加電圧または印加電流に基づき、流量調整機構４の流量を制御してノズルｎ（ｎ１またはｎ２）に向けたエア供給を行うように構成されている。

【0031】

図２は１つのノズルｎ（ｎ１あるいは２）に対してマウンタ用エア制御装置を構成する流量調整機構４と、この流量調整機構４を制御する制御手段５とを示しており、流量調整機構４はノズルｎの真空破壊用の絞り弁４１によって構成されている。制御手段５はこれ以外に真空排気用の切替弁６１も制御するように構成されている。この回路構成は図１１の従来例を改良した形となっている。

【0032】

絞り弁４１は、正圧域を構成するレギュレータ２の吐出口に連通する第１ポート４１aと、ノズルｎに連通する第２ポート４１ｂとの間に作動部４１ｃが介在し、第1の作動位置で両ポート４１ａ、４１ｂ間を遮断し、第２の作動位置で両ポート４１ａ、４１ｂ間を連通する２ポートバルブによって構成されている。具体的には、この絞り弁４１はピエゾ素子を用いた圧電バルブで、ノーマルクローズに設定され、外部からの印加電圧レベルに応じて第1の作動位置と第２の作動位置の間で連続的に作動部４１ｃが変位又は変形することにより絞り量を可変として、通過するエアの流量を変更する流量調整機能を有したものとなっている。このため、この２ポートバルブ４１によってノズルｎに供給するエアの流量および圧力を微調整することができる。また、圧電バルブを採用しているため、例えば電磁弁や比例弁に比べて電圧が印加されてからの応答性が素早いという特徴を有している。

【0033】

切替弁６１は、負圧域である真空ポンプ１の吸引口に連通する第３ポート６１ａと、ノズルｎに連通する第４ポート６１ｂとの間に作動部６１ｃが介在し、第１の切替位置で両ポート６１ａ、６１ｂ間を遮断し、第２の切替位置で両ポート６１ａ、６１ｂ間を連通する２ポートバルブによって構成される。具体的には、このバルブ６１はソレノイドバルブで、ノーマルクローズに設定され、外部からの電圧指令によって作動部６１ｃが第1の切替位置から第２の切替位置に切り替わる。

【0034】

一方、制御手段５は、圧電バルブ用ドライバ５１を具備し、この圧電バルブ用ドライバ５１は上位制御装置５２に接続されている。

【0035】

圧電バルブ用ドライバ５１は、通信入出力部５１ａ、設定入力部５１ｂ、設定部５１ｃ、指令入力部５１ｄ、出力制御部５１ｅ、電圧出力回路５１ｆを備えており、上位制御装置５２は、ドライバ設定部５２ａと、バルブ動作指令部５２ｂとを備えている。

【0036】

ドライバ設定部５２ａは圧電バルブ用ドライバ５１の設定部５１ｃに通信入出力部５１ａを通じて流量設定を行う。また、バルブ動作指令部５２ｂは、バルブのオン・オフ指令を圧電バルブドライバ５とソレノイドバルブ６１に入力する。バルブ動作指令部５２ｂにはどのバルブを駆動するかの通信局番が含まれる。

【0037】

通信入出力部５１ａが、RS485やEthernet、CAN等に代表させるデータ通信による通信手段の場合、圧電バルブ用ドライバ５は、通信入出力部５１ａに流量設定データが入力されると、これを設定部５１ｃに書き込む。これにより設定部５１ｃには、ノズルタイプごとの出力電圧設定、通信局番、動作論理が保持される。出力電圧設定は流量（バルブ開度）に関する設定であり、通信局番はどの圧電バルブ４１に関する設定かを特定し、動作論理には指令入力部５１ｄの信号に対して同期出力なのかワンショット出力なのかの切替、立ち上がり、立ち下り等の電圧出力波形の設定、ワンショットパルス時間の設定等が行われる。

【0038】

次に、通信入出力部５１ａが、接点入力のような切替による通信手段を使用する場合について記述する。圧電バルブ用ドライバ５は、設定入力部５１ｂにより、設定部５１ｃに、出力電圧設定、動作論理、同期出力とワンショット出力切替、立ち上がり、立ち下り等の電圧出力波形の設定、ワンショットパルス時間の設定等を書き込む。これら設定値をひとつのグループとし複数記憶される。接点入力のような切替手段により、グループを切り替えることで、データ通信手段よりも高速に設定の切替が行われる。

【0039】

このような構成では、上位制御装置５２は先ず、実装部品（パーツ）を吸着する際にソレノイドバルブ６１をオンにしてノズル先端を所要の負圧状態にし、次にパーツを開放する際にソレノイドバルブ６１をオフにするとともに圧電バルブドライバ５１をオンにする。これにより圧電バルブドライバ５１は、通信局番に関連づけて設定部５１ｃで設定されている動作論理に従って、対応するノズルｎの圧電バルブ４１に出力制御部５１ｅ及び電圧出力回路５１ｆを介して出力電圧を印加する。このように、印加電圧を決め打ちすることで、エア供給の応答性を早くしている。

【0040】

圧電バルブ４１は、印加電圧に応じて作動部４１ｃが連続的に変位し、ノズルの品種に最適な流量および圧力でエアを供給する。このエアはノズルｎに到達し、吸着されているパーツを真空破壊によって開放する。開放されたパーツは、対象となるプリント基板上にマウントされる。

【0041】

上位制御装置５２では、マウンタのタクトを上げるために、ヘッドモジュールＨＭが目的の位置に到達するまえに、バルブの遅れや、ノズル先端が目標圧力になるまでの圧力変化の遅れを想定して、ノズルｎのＸＹＺ軸の移動と並行してバルブの動作指令を出している。

【0042】

以上のように、本実施形態のマウンタ用エア制御装置は、マウンタのヘッドモジュールＨＭに搭載される流量調整機構４と、この流量調整機構４を制御する制御手段５とを備えたものであって、流量調整機構４は、正圧域とノズルｎの間に介在して通過するエアの流量を連続的に変更可能な機能を含み、制御手段５は、ノズルｎを負圧にした後、予め定めた印加電圧または印加電流に基づき、流量調整機構４の流量を制御してノズルｎに向けたエア供給を行うように構成される。

【0043】

このようにすると、流量調整機構４でノズルｎに供給するエアの流量制御ができるため、マウンタの稼動を停止せずにパーツやノズルｎの種類に応じた流量調整を行うことができる。このため、１つのヘッドモジュールＨＭで適切に取り扱えるパーツやノズルの種類が増え、設備稼働率も向上させることが可能となる。

【0044】

特に流量調整機構４が、高速用のノズルｎ１を対象としたものと、多機能用のノズルｎ２を対象したものとを併設し、制御手段５が、用途に応じた電圧レベルまたは電流レベルで対応する流量調整機構４の流量を制御するように構成されている。

【0045】

このようにすると、流量調整機構４に対して高速用や多機能用などの用途に相応しい流量制御ができるため、小さい部品に対しては流量を小さく、大きい部品に対しては流量を大きくする流量制御を行うことができる。これにより、ヘッドモジュールＨＭの交換を行うことなく汎用性の高い使い方ができ、ヘッドモジュールＨＭを共用することによる部品すなわちヘッドモジュールＨＭの点数の削減とともに、ヘッドモジュールＨＭの交換に要していた分、設備稼働率を向上させることが可能となる。

【0046】

さらに流量調整機構４は、一の用途に含まれる複数のノズルｎ１ごと（ｎ２ごと）にも複数設けられ、制御手段５が、ノズルｎ１（ｎ２）に応じた電圧レベルまたは電流レベルで対応する流量調整機構４の流量を制御するように構成される。

【0047】

このようにすることで、用途別、ノズル別に更に細かい流量制御を行うことが可能となる。

【0048】

また制御手段５が、予め流量調整機構４ごとに印加電圧値または印加電流値の設定を行う設定部５１ｃと、オン・オフ指令を入力されることにより設定部５１ｃに設定されている電圧値または電流値で対応する流量調整機構４への電圧印加または電流印加を行う出力制御部５１ｅとを備えている。

【0049】

このようにすると、流量や圧力を正確にデジタル管理できるうえに、一旦設定を行ったうえでオン・オフ指令により電圧印加または電流印加を行うことで、瞬時に適切な流量制御を実現することが可能となる。

【0050】

そして、流量調整機構４が、流量調整機能付きの圧電バルブを４１用いて構成されるため、高速、長寿命なエア制御装置を実現することが可能となる。
＜第２実施形態＞

【0051】

次に、本発明の第２実施形態を、図３を参照して説明する。なお、概ね共通する部分には同一符号を付すか或いは一部符合を省略し、説明についても省略する。

【0052】

前記第１実施形態では流量調整機構４が１つの２ポートバルブ４１によって構成されていたが、この実施形態では、流量調整機構４が１つの２ポートバルブ４２と１つの３ポートバルブ４３を直列に接続することによって構成されている点が異なる。この回路構成は図１０の従来例を改良した形となっている。

【0053】

すなわち、正圧域を構成するレギュレータ２とノズルｎの間に介在して連続的な流量調整を行う絞り弁としての２ポートバルブ４２が圧電バルブによって構成され、その下流に配置された３ポートバルブ４３は真空排気と真空破壊を切り替える切替弁として構成されている。３ポートバルブ４３はノズルｎに対して正圧域を遮断し真空ポンプ１を接続する位置をノーマル状態とし、上位制御装置５２からバルブ動作指令が入力されることによって真空ポンプ１を遮断し正圧域をノズルｎに接続する動作を行う。２ポートバルブ４２は、連続的に流量を変化させる機能を備え、前記実施形態と同様に圧電バルブドライバ５１からの入力によって動作する。

【0054】

このように構成しても、前記実施形態と同様の作用効果を奏する。
＜第３実施形態＞

【0055】

次に、本発明の第３実施形態を、図４を参照して説明する。なお、概ね共通する部分には同一符号を付すか或いは一部符合を省略し、説明についても省略する。

【0056】

前記第１実施形態では流量調整機構４が絞り弁である２ポートバルブ４１によって構成され、前記第２実施形態では流量調整機構４が絞り弁である２ポートバルブ４５と切替弁である３ポートバルブ４４によって構成されていたが、この実施形態では、流量調整機構４が絞り弁である３ポートバルブ４４と切替弁である２ポートバルブ４５によって構成されている点が異なる。この回路構成も図１０の従来例を改良した形となっている。

【0057】

すなわち、正圧域を構成するレギュレータ２とノズルｎの間に介在して連続的な流量調整を行う圧電バルブ４４はノズルｎに対して正圧域を遮断し真空ポンプ１を接続する位置をノーマル状態とし、圧電バルブドライバ５１からバルブ動作指令が入力されることによって真空ポンプ１を遮断し正圧域とノズルｎの間を連続的に開度を変えながら接続する動作を行う。また、２ポートバルブ４５は、レギュレータ２と３ポートバルブ４４の間をオンオフする役割を担い、上位制御装置５２のバルブ動作指令部からの入力によって動作する。

【0058】

このように構成しても、前記各実施形態に準じた作用効果を奏する。
＜第４実施形態＞

【0059】

次に、本発明の第４実施形態を、図５を参照して説明する。なお、概ね共通する部分には同一符号を付すか或いは一部符合を省略し、説明についても省略する。

【0060】

前記各実施形態では流量調整機構４の機能を含んで２つのバルブが採用されていたが、この実施形態では流量調整機構４に絞り弁である３ポートバルブを用い、この３ポートバルブに負圧域の切替機能を持たせている点が異なる。この回路構成は図９の従来例を改良した形となっている。

【0061】

すなわち、この３ポートバルブ４６はノズルｎに対して正圧域を構成するレギュレータ２を遮断し負圧域を構成する真空ポンプ１を接続する位置をノーマル状態とし、圧電バルブドライバ５１からバルブ動作指令が入力されることによって真空ポンプ１を遮断し正圧域を連続的に絞りを変えながらノズルｎに接続する動作を行う。

【0062】

このように構成しても、前記各実施形態に準じた作用効果を奏する。
＜第５実施形態＞

【0063】

次に、本発明の第５実施形態を、図６を参照して説明する。なお、概ね共通する部分には同一符号を付すか或いは一部符合を省略し、説明についても省略する。

【0064】

前記各実施形態では、流量調整機構４の絞り弁が圧電バルブによって構成されていたのに対し、この実施形態の流量調整機構４は、絞り弁を比例弁４７に変更している点が異なる。

【0065】

すなわち、このものは図１１に示す従来の回路構成を改良した形であり、絞り弁eに代えて比例弁４７を採用して、ノズルｎと正圧域を構成するレギュレータ２の間の絞りである開度を上位制御装置５２のアナログ出力部５２ｃからの出力によって連続的に可変しているものであり、ノズルｎを正圧域に接続する２ポートバルブｍおよび負圧域に接続する２ポートバルブｋはバルブ動作指令部５２ｂによって動作させるようにしている。

【0066】

比例弁４７をノズルｎごとに個別に持たせるとヘッドモジュールＨＭの重量が増大するうえに、応答性も悪いため瞬時に切替はできないが、ヘッドモジュールＨＭを共用してマウンタの稼動を停止することなく高速用から多機能用までを賄え、ヘッドモジュールの交換を不要にできる点では、比例弁４７を用いても、圧電バルブを用いた上記実施形態に準じた作用効果が奏される。
＜その他の実施形態＞

【0067】

図７は図１０に示す従来の回路構成を改良した形であって、絞り弁ｅに変えて比例弁４８を採用し、アナログ出力部５２ｃによって制御するようにしたものである。また、図８は図９に示す従来の回路構成を改良した形であって、絞り弁eに変えて比例弁４９を採用し、アナログ出力部５２ｃによって制御するようにしたものである。

【0068】

このようにしても、第５実施形態と同様の作用効果が奏される。

【0069】

以上、本発明の幾つかの実施形態について説明したが、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。

【0070】

例えば、流量調整機構４に対し、多機能用途、高速用途などのノズルのカテゴリーに関係なく、複数のノズルに対して本発明を適用することで、ノズルに適合した流量制御を行うことが可能である。

【0071】

また、上記実施形態ではノズルｎと流量調整機構４は１対１の関係であったが、図示しないが、複数のノズルに対して１つの流量調整機構を設け、流量調整機構その下流に各ノズルに対して方向制御弁（流路制御弁）を設ける構成としても構わない。

【0072】

さらに、上記実施形態では圧電ドライバはヘッドモジュール外に配置しているが、重量やスペースが問題にならなければヘッドモジュールに搭載しても構わない。

【0073】

或いは、上記実施形態では真空ポンプがヘッドモジュールに搭載されているが、真空排気が適切に行われればヘッドモジュール外に配置しても構わない。

【0074】

さらにまた、本実施形態のエア制御装置はマウンタ２に適用されたが、これに限定されず、外観検査機、測定分別機およびテーピング機などに適用されてもよい。

【0075】

その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

【符号の説明】

【0076】

４…流量調整機構
５…制御手段
５１ｃ…設定部
５１ｅ…出力制御部
ＨＭ…ヘッドモジュール
ｎ…ノズル
ｎ１…ノズル（高速用）
ｎ２…ノズル（多機能用）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】