特許 6969929 プローブ及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6969929

(24)【登録日】2021年11月1日

(45)【発行日】2021年11月24日

(54)【発明の名称】プローブ及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20211111BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20211111BHJP

【ＦＩ】

   G01R1/067 C

   H01L21/66 B

【請求項の数】11

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2017-161148(P2017-161148)

(22)【出願日】2017年8月24日

(65)【公開番号】特開2019-39751(P2019-39751A)

(43)【公開日】2019年3月14日

【審査請求日】2020年6月16日

(73)【特許権者】

【識別番号】000153018

【氏名又は名称】株式会社日本マイクロニクス

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100095500

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 正和

(74)【代理人】

【識別番号】100070024

【弁理士】

【氏名又は名称】松永 宣行

(72)【発明者】

【氏名】那須 美佳

(72)【発明者】

【氏名】大塚 喜彦

(72)【発明者】

【氏名】深津 奈美子

【審査官】 續山 浩二

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−０５３９３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−１３４０４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−２１１３７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０６９８０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−０８０６５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０５９４２９０６（ＵＳ，Ａ）

【文献】 米国特許第０５６４１３１５（ＵＳ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１１７８４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２８１５９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０６１０４２０５（ＵＳ，Ａ）

【文献】 韓国公開特許第１０−２０１６−００３５２２５（ＫＲ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１４１１９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−００４５７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 韓国公開特許第１０−２００５−００８１８９４（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ １／０６７

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

先端部及び挿入部を有する棒形状のプランジャーと、
前記挿入部が挿入される開口端を有する管形状のバレルと
を備え、
前記バレルは複数のスリットを有し、前記複数のスリットは前記開口端から離間して形成され、前記バレルの内部の空間を介して対向する少なくとも一対の接合部が前記複数のスリットのうち何れかのスリットに前記接合部の前記バレルの軸方向に平行な両側面が接する領域に定義され、
前記バレルの内部の空間で前記挿入部と前記接合部とが溶接により接合され、
前記バレルが前記接合部において前記プランジャーに向かって凹んだ形状であることを特徴とするプローブ。

【請求項2】

前記一対の前記接合部からなる接合部対が、前記バレルの軸方向と垂直な周方向に沿って複数定義されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。

【請求項3】

前記スリットが前記バレルの軸方向に沿って延伸する直線形状であり、隣接する２つの前記スリットの間に前記接合部が定義されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ。

【請求項4】

前記接合部が間に定義された２つの前記スリットが、前記接合部を分割する連結部分で連結されていることを特徴とする請求項３に記載のプローブ。

【請求項5】

前記スリットがコの字形状であり、前記スリットに三方を囲まれた領域に前記接合部が定義されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ。

【請求項6】

前記スリットが屈曲部を有し、前記屈曲部に近接した領域に前記接合部が定義されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ。

【請求項7】

前記複数のスリットが前記バレルの軸方向に沿って隣接して配列され、配列された前記複数のスリットの中間に前記接合部が定義されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ。

【請求項8】

前記バレルの両端に前記開口端がそれぞれ設けられ、一方の前記開口端に１つの前記プランジャーが挿入され、他方の前記開口端に他の１つの前記プランジャーが挿入されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のプローブ。

【請求項9】

先端部及び挿入部を有する棒形状のプランジャーの挿入部を、開口端から離間して形成された複数のスリットを有する管形状のバレルの前記開口端から挿入するステップと、
前記バレルの内部の空間を介して対向する少なくとも一対の前記バレルの接合部を、前記複数のスリットのうち何れかのスリットに前記接合部の前記バレルの軸方向に平行な両側面が接する領域に定義し、前記接合部を前記挿入部に押し付けながら、前記バレルが前記接合部において前記プランジャーに向かって凹んだ形状になるように前記挿入部と前記接合部を溶接により接合するステップと
を含むことを特徴とするプローブの製造方法。

【請求項10】

前記プランジャーにそれぞれ押し付けた状態で前記一対の前記接合部の間に電流を流すスポット溶接によって、前記挿入部と前記接合部を接合することを特徴とする請求項９に記載のプローブの製造方法。

【請求項11】

前記一対の前記接合部からなる接合部対が前記バレルの軸方向と垂直な周方向に沿って複数定義された前記バレルの前記開口端から、前記プランジャーの前記挿入部を挿入し、
複数の前記接合部対にそれぞれ含まれる前記接合部を同時に前記挿入部に押し付けることを特徴とする請求項９又は１０に記載のプローブの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被検査体の特性の測定に使用されるプローブに関する。

【背景技術】

【0002】

集積回路などの被検査体の特性をウェハから分離しない状態で測定するために、被検査体に接触させるプローブが用いられている。プローブには、被検査体に接触する小径のプランジャーとプランジャーの一部が挿入される大径の円筒形状部であるバレルとを有し、プランジャーの挿入された部分とバレルとが接合された構造が使用されている（例えば、特許文献１参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−８９９１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

プランジャーとバレルとは、スポット溶接などを使用して接合される。しかしながら、スポット溶接では、加圧に起因してバレルが外側に膨らむという問題が生じる。このため、プローブ同士の接触を防止するためにプローブの間隔を広くする必要があり、プローブの配置の狭ピッチ化が阻害されるという問題があった。

【0005】

上記問題点に鑑み、本発明は、プランジャーとバレルが接合されるときにバレルが外側に膨らむことを抑制できるプローブ及びプローブの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様によれば、先端部及び挿入部を有する棒形状のプランジャーと、挿入部が挿入される開口端を有する管形状のバレルとを備え、バレルは複数のスリットを有し、複数のスリットは開口端から離間して形成され、バレルの内部の空間を介して対向する少なくとも一対の接合部が複数のスリットのうち何れかのスリットに接合部のバレルの軸方向に平行な両側面が接する領域に定義され、バレルの内部の空間で挿入部と接合部とが溶接により接合され、バレルが接合部においてプランジャーに向かって凹んだ形状であるプローブが提供される。

【0007】

本発明の他の態様によれば、先端部及び挿入部を有する棒形状のプランジャーの挿入部を、開口端から離間して形成された複数のスリットを有する管形状のバレルの開口端から挿入するステップと、バレルの内部の空間を介して対向する少なくとも一対のバレルの接合部を、複数のスリットのうち何れかのスリットに接合部のバレルの軸方向に平行な両側面が接する領域に定義し、接合部を挿入部に押し付けながら、バレルが接合部においてプランジャーに向かって凹んだ形状になるように挿入部と接合部を溶接により接合するステップとを含むプローブの製造方法が提供される。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、プランジャーとバレルが接合されるときにバレルが外側に膨らむことを抑制できるプローブ及びプローブの製造方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な平面図である。

【図2】本発明の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な断面図である。

【図3】本発明の実施形態に係るプローブを保持した例を示す模式図である。

【図4】本発明の実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式図である。

【図5】本発明の実施形態に係るプローブのプランジャーとバレルの接合された状態を示す模式的な断面図である。

【図6】本発明の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。

【図7】比較例のプローブの製造方法を説明するための模式的な断面図である。

【図8】比較例のプローブの形状を示す模式図である。

【図9】本発明の実施形態の第１の変形例に係るプローブの構成を示す模式図である。

【図10】図９のＸ−Ｘ方向に沿った断面図である。

【図11】本発明の実施形態の第１の変形例に係るプローブの製造方法を説明するための模式図である（その１）。

【図12】本発明の実施形態の第１の変形例に係るプローブの製造方法を説明するための模式図である（その２）。

【図13】本発明の実施形態の第２の変形例に係るプローブの構成を示す模式図である。

【図14】図１３のＸＩＶ−ＸＩＶ方向に沿った断面図である。

【図15】本発明の実施形態の第２の変形例に係るプローブの他の構成を示す模式的な側面図である。

【図16】本発明の実施形態の第２の変形例に係るプローブの製造方法を説明するための模式図である。

【図17】本発明の実施形態の第２の変形例に係るプローブの他の製造方法を説明するための模式図である。

【図18】本発明の実施形態の第３の変形例に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図１８（ａ）は接合部がバレルの軸方向に沿って延伸している例を示し、図１８（ｂ）は接合部がバレルの軸方向と垂直な方向に延伸している例を示す。

【図19】本発明の実施形態の第３の変形例に係るプローブのバレルの他の構成を示す模式図であり、図１９（ａ）は図１８（ａ）に示したスリットを配列した例を示し、図１９（ｂ）は図１８（ｂ）に示したスリットを配列した例を示す。

【図20】本発明の実施形態の第３の変形例に係るプローブのバレルの他の構成を示す模式図であり、図２０（ａ）はスリットがＬ字形状である例を示し、図２０（ｂ）及び図２０（ｃ）はスリットが「くの字」形状である例を示す。

【図21】本発明の実施形態の第３の変形例に係るプローブのバレルの他の構成を示す模式図であり、図２１（ａ）は図２０（ａ）に示したスリットを配列した例を示し、図２１（ｂ）は図２０（ｂ）に示したスリットを配列した例を示す。

【図22】本発明の実施形態の第４の変形例に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図２２（ａ）はスリットが一組の例を示し、図２２（ｂ）はスリットの組が複数である例を示す。

【図23】本発明のその他の実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式図である。

【図24】本発明のその他の実施形態に係るプローブの他の製造方法を説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。

【0011】

本発明の実施形態に係るプローブ１は、図１に示すように、先端部１１１及び挿入部１１２を有する棒形状のプランジャー１１と、挿入部１１２が挿入される開口端から離間してそれぞれ形成された複数のスリット１２１を有する管形状のバレル１２を備える。バレル１２には、スリットに近接していることで外力によって変形しやすい領域に接合部２０１が定義されている。

【0012】

図１に示されたバレル１２の上面に定義された接合部２０１と対向して、図２に示すように、接合部２０１と対をなす接合部２０２がバレル１２の下面に定義されている。即ち、バレル１２には、管形状の内部の空間を介して対向する少なくとも一対の接合部が定義されている。以下において、バレル１２に定義された接合部を総称して「接合部２０」という。図２に示すように、バレル１２の内部に挿入されたプランジャー１１の挿入部１１２と、バレル１２に定義された接合部２０とが接合されている。

【0013】

図１及び図２に示したスリット１２１は、バレル１２の軸方向に沿って延伸する直線形状である。そして、隣接する２つのスリット１２１の間に接合部２０が定義されている。このため、外力が加わったときに接合部２０が容易に変形する。

【0014】

スリット１２１の幅Ｓや接合部２０を挟む２つのスリット１２１の間隔Ｗは、バレル１２の材料や外径などに応じて、接合部２０が外力によって変形しやすいように適宜設定される。例えば、プローブ１の直径Ｄが１０５μｍの場合、スリット１２１の幅Ｓは５μｍ〜７０μｍ程度、スリット１２１の間隔Ｗは５μｍ〜９０μｍ程度である。スリット１２１の間隔Ｗによって、幅Ｓの最大値は決まる。なお、上記の寸法は円弧寸法ではなく、平行寸法である。また、スリットの長さＬは５〜７００μｍ程度である。そして、スリット１２１からバレル１２の開口端までの距離は、例えば５０μｍ程度である。

【0015】

また、プローブ１の直径Ｄが９５μｍの場合、スリット１２１の幅Ｓは５μｍ〜６５μｍ程度、スリット１２１の間隔Ｗは５μｍ〜９０μｍ程度である。プローブ１の直径が７０μｍの場合は、スリット１２１の幅Ｓは５μｍ〜４５μｍ程度、スリット１２１の間隔Ｗは５μｍ〜７０μｍ程度である。プローブ１の直径が６０μｍの場合は、スリット１２１の幅Ｓは５μｍ〜４０μｍ程度、スリット１２１の間隔Ｗは５μｍ〜５０μｍ程度である。スリット１２１の長さＬは、５〜７００μｍ程度である。

【0016】

図１に示すように、バレル１２の両端に開口端がそれぞれ設けられ、一方の開口端に１つのプランジャー１１が挿入され、他方の開口端に他の１つのプランジャー１１が挿入されている。プローブ１は、例えば被検査体の電気的特性を判断する際に使用される。この場合、一方のプランジャー１１の先端部１１１が被検査体に接触する。他方のプランジャー１１の先端部１１１は配線基板などの端子と接触し、配線基板を介してテスタなどの測定機器と電気的に接続される。

【0017】

このため、プランジャー１１及びバレル１２には導電性材料が使用される。例えば、プランジャー１１にＡｇＰｄＣｕ材などが使用され、バレル１２にＮｉ材などが使用される。

【0018】

図１に示したように、バレル１２の側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成され、バレル１２の一部がバネ状になっている。これにより、バレル１２は軸方向に伸縮自在である。このため、適切な押圧でプランジャー１１を被検査体や配線基板と接触させることができる。なお、内部にプランジャー１１が配置されていない領域には切り込みは形成されていない。

【0019】

プローブ１は、例えば図３に示すようにプローブヘッド２によって保持される。被検査体の測定に必要な個数のプローブ１が、プローブヘッド２を貫通して配置される。プローブヘッド２の一方の主面から露出したプランジャー１１が、被検査体に接触する。プローブヘッド２の他方の主面から露出したプランジャー１１が、測定機器と電気的に接続される。

【0020】

以下に、スポット溶接によってプランジャー１１とバレル１２を接合するプローブ１の製造方法の例を説明する。

【0021】

導電性材料からなるプランジャー１１とバレル１２を準備する。既に説明したように、スリット１２１に近接していることで外力によって変形しやすい領域に、バレル１２の内部の空間を介して対向する少なくとも一対の接合部２０が、バレル１２に定義されている。

【0022】

そして、開口端からバレル１２の内部にプランジャー１１の挿入部１１２を挿入する。次いで、バレル１２の接合部２０１及び接合部２０２をプランジャー１１の挿入部１１２に押し付けながら、バレル１２が接合部２０においてプランジャー１１に向かって凹んだ形状になるように挿入部１１２と接合部２０を接合する。

【0023】

即ち、図４に示すように、バレル１２の直径方向に沿って配置された第１の電極１０１と第２の電極１０２によって矢印の方向に加圧（プレス）しつつ、バレル１２とプランジャー１１間に電流を流す。つまり、バレル１２の内部の空間を介して対向する接合部２０１と接合部２０２をそれぞれプランジャー１１に押し付けた状態で、接合部２０１と接合部２０２との間に電流が流される。これにより、プランジャー１１とバレル１２の接触面に抵抗熱を発生させる。この熱抵抗によってプランジャー１１やバレル１２の内部で金属の溶解凝固を起こして、プランジャー１１とバレル１２が接合される。なお、接合部２０に接触する第１の電極１０１と第２の電極１０２を結ぶ仮想線と平行に、接合部２０１に近接するスリット１２１と接合部２０２に近接するスリット１２１が配置されている。

【0024】

上記のスポット溶接により、図５に示すように、接合部２０においてバレル１２の内壁面がプランジャー１１の表面に接合される。一対の接合部２０がバレル１２の側面に定義されているため、プランジャー１１の挿入部１１２がバレル１２の内部に挿入された状態では、接合部２０１と接合部２０２はプランジャー１１を介して対向している。

【0025】

変形しやすい領域に定義された接合部２０を挿入部１１２に押し付けながらプランジャー１１とバレル１２を接合することにより、図６に示すように、バレル１２が接合部２０においてプランジャー１１に向かって凹んだ形状になる。なお、図６は、接合部２０が上面と下面に位置するように図示されたプローブ１の側面図である、加圧に起因する変形が接合部２０に集中するため、接合部２０以外のバレル１２の形状は、プランジャー１１とバレル１２が接合される前の状態に維持される。

【0026】

これに対し、スリット１２１を設けていないバレル１２Ａとプランジャー１１をスポット溶接した比較例を図７に示す。比較例では、プランジャー１１とバレル１２Ａを第１の電極１０１と第２の電極１０２によって矢印の方向に加圧しつつ電流を流すことにより、プランジャー１１とバレル１２Ａが接合される。このときの加圧によって、図８に示すように、形状変化によりバレル１２Ａの表面に膨らみが生じる。

【0027】

プローブの表面に膨らみが生じると、プローブ同士の接触を防止するために、プローブの間隔を広くする必要がある。このため、プローブの配置の狭ピッチ化が阻害される。

【0028】

一方、図１に示したプローブ１では、プランジャー１１とスポット溶接されるバレル１２の接合部２０に近接して、バレル１２の側面にスリット１２１が形成されている。即ち、外力が加わったときに容易に変形する領域を、接合部２０としてバレル１２に定義している。このように、接合されるときに凹むように意図的に接合部２０を形成しておくことにより、図６に示すように、バレル１２の側面が接合部２０で凹んだ形状のプローブ１が得られる。

【0029】

以上に説明したように、本発明の実施形態に係るプローブ１によれば、バレル１２の所定の箇所だけが内側に凹むように変形するため、接合部２０以外のバレル１２の表面が外側に膨らむことが抑制される。つまり、接合部２０における外径、及び接合部２０以外のバレル１２の外径が、プランジャー１１とバレル１２が接合される前よりも大きくならない。このため、プローブ１の配置の狭ピッチ化が可能である。

【0030】

＜第１の変形例＞
図９及び図１０に示した第１の変形例に係るプローブ１のバレル１２では、バレル１２の内部の空間を介して対向する一対の接合部２０からなる接合部対が、バレル１２の軸方向と垂直な周方向に沿って複数定義されている。

【0031】

図１０に示すように、バレル１２に定義された接合部２０１ａと接合部２０２ａが接合部対を構成する。そして、接合部２０１ｂと接合部２０２ｂが接合部対を構成し、接合部２０１ｃと接合部２０２ｃが接合部対を構成し、接合部２０１ｄと接合部２０２ｄが接合部対を構成する。以下において、接合部２０１ａ、接合部２０１ｂ、接合部２０１ｃ及び接合部２０１ｄを総称して「第１接合部群」という。また、接合部２０２ａ、接合部２０２ｂ、接合部２０２ｃ及び接合部２０２ｄを総称して「第２接合部群」という。

【0032】

第１の変形例に係るプローブ１のバレル１２とプランジャー１１をスポット溶接によって接合する例を図１１〜図１２に示す。先ず、図１１に示すように、複数の接合部対が定義されたバレル１２の開口端から、バレル１２の内部にプランジャー１１の挿入部１１２を挿入する。

【0033】

次いで、図１２に示すように、接触面が円弧形状の複数のパーツからなる第１の電極１０１を第１接合部群に接触させる。同様に、接触面が円弧形状の複数のパーツからなる第２の電極１０２を第２接合部群に接触させる。第１の電極１０１及び第２の電極１０２の各パーツの端部の接触面に設けられた突起部が、接合部２０に接触する。図１２に示すように、接合部２０のそれぞれには２つのパーツの突起部が接触する。そして、第１接合部群及び第２接合部群をプランジャー１１に押し付けるように第１の電極１０１及び第２の電極１０２によってバレル１２を加圧しつつ、バレル１２とプランジャー１１間に電流を流す。これにより、プランジャー１１とバレル１２が接合される。その後、バレル１２から第１の電極１０１及び第２の電極１０２を離す。

【0034】

上記の接合方法によれば、プランジャー１１とバレル１２を接合するときに、接合部対のそれぞれに含まれる接合部２０を同時に挿入部１１２に押し付ける。このため、複数の個所で同時にバレル１２の膨らみを抑制できる。なお、必ずしもすべての接合部対に電流を流してプランジャー１１とバレル１２をスポット溶接させる必要はない。即ち、複数の接合部対のうちの一部、例えば一組の接合部対のみに電流を流して、プランジャー１１とバレル１２をスポット溶接してもよい。なお、複数の接合部対を同時に挿入部１１２とスポット溶接してもよい。

【0035】

また、図１２に示したバレル１２の構成によれば、プランジャー１１とバレル１２を接合するときに、第１の電極１０１及び第２の電極１０２とバレル１２を位置合わせする工程を簡略化できる。例えば一組の第１の電極１０１と第２の電極１０２を使用する場合に、接合部対が一組の場合は、軸方向を回転軸としてバレル１２を回転させて接合部２０と第１の電極１０１及び第２の電極１０２とを位置合わせする必要がある。しかし、図１２に示したバレル１２では、複数の接合部対のいずれかが第１の電極１０１及び第２の電極１０２と向き合っていればよいため、バレル１２を回転させる工程を省略できる。このため、プローブ１の製造工程を短縮できる。

【0036】

＜第２の変形例＞
図１３に示したバレル１２では、接合部２０が間に定義された２つのスリット１２１が、接合部２０を分割する連結部分１２２で連結されている。

【0037】

プランジャー１１と図１３に示したバレル１２をスポット溶接する場合には、連結部分１２２によって分割された接合部２０をプランジャー１１の表面に押し付けつつ、バレル１２とプランジャー１１間に電流を流す。つまり、図１４に示すように、連結部分１２２の両側で、バレル１２の接合部２０とプランジャー１１がスポット溶接される。

【0038】

図１３に示した変形例のバレル１２では、図１に示したバレル１２よりも接合部２０がより変形しやすい。このため、バレル１２の接合部２０が外側に膨らむことを更に抑制することができる。

【0039】

なお、図９を参照して説明した変形例と同様に、図１３に示した形状のスリット１２１を用いて、図１５に示すように複数の接合部対をバレル１２の周方向に沿って定義してもよい。このとき、図１６に示すように、バレル１２の一対の接合部対だけを第１の電極１０１と第２の電極１０２を用いてプランジャー１１に押し付けて、スポット溶接してもよい。その場合、一対の接合部対だけがプランジャー１１と接合される。

【0040】

或いは、図１７に示すように、バレル１２の複数の接合部対を、第１の電極１０１ａと第２の電極１０２ａ、及び第１の電極１０１ｂと第２の電極１０２ｂを用いてそれぞれプランジャー１１に押し付けて、スポット溶接してもよい。その場合、複数の接合部対がプランジャー１１に接合される。図１７に示した接合方法によれば、複数の個所で同時にバレル１２の膨らみを抑制できる。

【0041】

＜第３の変形例＞
上記では、バレル１２の接合部２０が、直線形状のスリット１２１によって挟まれている例を示した。しかし、外力によって変形しやすい接合部２０を設けるためのスリット１２１の形状は、直線形状に限られない。

【0042】

例えば、図１８（ａ）、図１８（ｂ）に示すように、「コの字」形状のスリット１２１をバレル１２に形成してもよい。即ち、スリット１２１に三方を囲まれた舌片状の領域に接合部２０が定義されている。

【0043】

図１８（ａ）に示したバレル１２は、接合部２０が定義された舌片状の領域がバレル１２の軸方向に沿って延伸している例である。図１８（ｂ）に示したバレル１２は、舌片状の領域がバレル１２の軸方向と垂直な周方向に延伸している例である。また、図１９（ａ）及び図１９（ｂ）に、図１８（ａ）と図１８（ｂ）にそれぞれ示した「コの字」形状の複数のスリット１２１をバレル１２の周方向に沿って配列した例を示した。

【0044】

また、図２０（ａ）〜図２０（ｃ）に示すように、屈曲部を有するスリット１２１を使用し、スリット１２１の屈曲部に近接した領域に接合部２０を定義してもよい。

【0045】

図２０（ａ）に示した例では、スリット１２１がＬ字形状である。Ｌ字形状のコーナー部は外力によって変形しやすい部分である。このため、図２０（ａ）に示すようにＬ字形状のコーナー部に近接させて接合部２０を定義する。

【0046】

また、図２０（ｂ）に示した例ではスリット１２１が「くの字」形状であり、「くの字」の屈曲した部分に近接させて接合部２０を定義する。図２０（ｃ）に示した例ではスリット１２１が２つの「くの字」形状を並列させた構成であり、「くの字」のスリット１２１の中間に接合部２０を定義する。

【0047】

図２１（ａ）及び図２１（ｂ）に、屈曲部を有する複数のスリット１２１を周方向に沿って形成したバレル１２の例を示した。図２１（ａ）は、複数のＬ字形状のスリット１２１をバレル１２の周方向に配列した例である。図２１（ｂ）は、複数の「くの字」形状のスリット１２１をバレル１２の周方向に配列した例である。

【0048】

＜第４の変形例＞
図２２（ａ）に示したバレル１２では、矩形状の複数のスリット１２１がバレル１２の軸方向に沿って離間して配列されている。そして、配列されたスリット１２１の中間に接合部２０が定義されている。この場合にも、プランジャー１１とバレル１２が接合されるときに接合部２０が凹み、バレル１２が外側に膨らむことが抑制される。図２２（ｂ）は、軸方向に沿って配列されたスリット１２１の組が、バレル１２の周方向に沿って複数形成された例を示す。

【0049】

なお、図２２（ａ）、図２２（ｂ）では、スリット１２１が矩形状である例を示した。しかし、スリット１２１の形状は矩形状に限られず、例えばＬ字形状や「くの字」形状であってもよい。

【0050】

（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。

【0051】

例えば、上記ではプローブ１の断面の形状が円形状である場合を示したが、断面の形状が四角形などの多角形状であってもよい。

【0052】

また、スポット溶接以外の接合方法で、プランジャー１１とバレル１２を圧着させながら接合する場合にも、本発明を適用することにより、バレル１２が外側に膨らむことを抑制できる。

【0053】

また、図９及び図１０に示した第１の変形例に係るプローブ１の製造には、図１２に示したような突起部を有する複数のパーツに分割された電極とは異なる、図２３に示す一体化した円弧状の第１の電極１０１及び第２の電極１０２を使用してもよい。スリット１２１に挟まれた接合部２０は、図２３に示した第１の電極１０１及び第２の電極１０２によってバレル１２の外周を圧迫してもプランジャー１１に押し付けられる。或いは、図２４に示すように、第１接合部群及び第２接合部群に含まれる個々の接合部２０のそれぞれについて、第１の電極１０１ａ〜１０１ｄと第２の電極１０２ａ〜１０２ｄによって加圧しつつ電流を流してもよい。

【0054】

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

【符号の説明】

【0055】

１…プローブ
１１…プランジャー
１２…バレル
２０…接合部
１１１…先端部
１１２…挿入部
１２１…スリット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】