特許6971949液体吐出ノズルおよび半導体製造装置

発明の名称　液体吐出ノズルおよび半導体製造装置

出願人　三菱電機株式会社　（識別番号 6013）

　　　　特許公開件数ランキング 13 位（1087件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4 位（1858件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6971949

公報発行日　2021年11月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6971949

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