特許 6972518 薬液チューブおよび薬液チューブの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6972518

(24)【登録日】2021年11月8日

(45)【発行日】2021年11月24日

(54)【発明の名称】薬液チューブおよび薬液チューブの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/00 20060101AFI20211111BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20211111BHJP

   B05C 11/08 20060101ALI20211111BHJP

   H01L 21/027 20060101ALI20211111BHJP

【ＦＩ】

   B05C5/00 101

   B05C11/10

   B05C11/08

   H01L21/30 502D

   H01L21/30 564

【請求項の数】14

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2016-148299(P2016-148299)

(22)【出願日】2016年7月28日

(65)【公開番号】特開2018-18964(P2018-18964A)

(43)【公開日】2018年2月1日

【審査請求日】2019年5月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002897

【氏名又は名称】大日本印刷株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100096091

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 誠一

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 久芳

(72)【発明者】

【氏名】岸本 健秀

【審査官】 團野 克也

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−０１６０２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２８４１９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００９／０１１４６８４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０００−１０７６７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１９０２５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３０３３８２６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２０００−１６７４６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−２２２４９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５６−１１３６５１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００３−１２６７５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−１１７３１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

ＩＰＣ Ｂ０５Ｃ５／００−２１／００

Ｂ０５Ｄ１／００−７／２６

Ｂ６５Ｄ３５／００−３５／４２

３５／５６−３７／００

Ｈ０１Ｌ２１／０２７

２１／３０

２１／４６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

薬液の塗布に用いられる薬液チューブであって、
薬液を貯留するための液溜部と、
薬液を吐出するためのノズル部と、
前記ノズル部の先端に設けられた閉塞部と、
を有し、
前記液溜部と前記ノズル部が一体に形成され、
前記ノズル部の端部に、複数の切込みが前記薬液の流れ方向に間隔を空けて設けられ、
前記薬液はレジストであり、
前記薬液の流れる前記ノズル部の端部の内周面の直径が、前記薬液の流れ方向に一定であることを特徴とする薬液チューブ。

【請求項2】

前記液溜部と前記ノズル部は、樹脂により形成されたことを特徴とする請求項１記載の薬液チューブ。

【請求項3】

前記液溜部は、側面に蛇腹部分を有する筒体であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の薬液チューブ。

【請求項4】

前記ノズル部は、可とう性を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の薬液チューブ。

【請求項5】

前記ノズル部は、伸縮部を有し、
前記伸縮部は前記ノズル部が屈曲したものであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の薬液チューブ。

【請求項6】

前記閉塞部は、前記ノズル部に続く管状部分が溶融圧着されたものであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の薬液チューブ。

【請求項7】

前記閉塞部は、前記ノズル部の先端に設けられた栓であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の薬液チューブ。

【請求項8】

前記液溜部の側面の厚さが、前記ノズル部の側面の厚さよりも大きいことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の薬液チューブ。

【請求項9】

前記ノズル部の先端の内周面の直径が4mm以下であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれかに記載の薬液チューブ。

【請求項10】

薬液の塗布に用いられる薬液チューブであって、薬液を貯留するための液溜部と、薬液を吐出するためのノズル部と、前記ノズル部の先端に設けられた閉塞部と、を有する薬液チューブの製造方法であって、
前記液溜部および前記液溜部から延びる管状部分を一体に形成した連続体を製造する工程と、
前記連続体に薬液を充填する工程と、
前記管状部分に前記閉塞部を設ける工程と、
を有し、
前記管状部分によって前記ノズル部が構成された前記薬液チューブを製造し、
前記ノズル部の端部には、複数の切込みが前記薬液の流れ方向に間隔を空けて設けられ、
前記薬液はレジストであり、
前記薬液の流れる前記ノズル部の端部の内周面の直径が、前記薬液の流れ方向に一定であることを特徴とする薬液チューブの製造方法。

【請求項11】

前記連続体は、複数の前記液溜部および隣り合う前記液溜部同士を繋ぐ前記管状部分を一体に形成したものであり、
前記閉塞部を除く前記管状部分が前記ノズル部となることを特徴とする請求項１０記載の薬液チューブの製造方法。

【請求項12】

前記閉塞部は、前記管状部分を溶融圧着することによって設けられ、
前記閉塞部を切断することで前記薬液チューブが製造されることを特徴とする請求項１１記載の薬液チューブの製造方法。

【請求項13】

前記管状部分を板材によって挟んだ後、前記板材の中央部付近から加熱を行うことにより前記閉塞部を形成することを特徴とする請求項１２記載の薬液チューブの製造方法。

【請求項14】

前記閉塞部は、前記管状部分の先端を閉塞する栓であることを特徴とする請求項１０記載の薬液チューブの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、レジストなどの薬液を充填した薬液チューブおよびその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ナノインプリント用のマスターモールドの製作時などでは、基材にパターンを形成するため、基材上にレジストを塗布して電子線等によるパターンの描画を行い、現像するといった工程を実施する。

【0003】

レジスト等の薬液を基材上に塗布する塗布システムの概略を図１３に示す。塗布システム１００は塗工室（不図示）内に設けられ、ボトル１１０内の薬液をステージ２０上の基材２１に塗布する。塗布システム１００では、薬液の吐出量を制御するためのポンプ１３０、薬液内の異物を補足するためのフィルター１４０、薬液の吐出タイミングを制御するためのバルブ１５０などが設けられ、薬液を吐出するための配管１２０がこれらの部分に接続される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開2003-173953号公報

【特許文献2】特開平10-340845号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、このような従来の塗布システムでは配管の継ぎ目が多く、またポンプ機構やバルブ機構自体が薬液と接触する。そのため、配管の継ぎ目、ポンプ機構やバルブ機構からの発塵により薬液に異物が混入して欠陥が発生する要因となっている。結果、定期的にまたは必要なタイミングで塗布システムの洗浄を行ったり、フィルターの交換を行ったりする必要があり手間やコストが掛かっていた。

【0006】

本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、薬液への異物の混入を防止できる薬液チューブ等を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前述した課題を解決するための第１の発明は、薬液の塗布に用いられる薬液チューブであって、薬液を貯留するための液溜部と、薬液を吐出するためのノズル部と、前記ノズル部の先端に設けられた閉塞部と、を有し、前記液溜部と前記ノズル部が一体に形成され、前記ノズル部の端部に、複数の切込みが前記薬液の流れ方向に間隔を空けて設けられ、前記薬液はレジストであり、前記薬液の流れる前記ノズル部の端部の内周面の直径が、前記薬液の流れ方向に一定であることを特徴とする薬液チューブである。

【0008】

前記液溜部と前記ノズル部は、樹脂により形成される。
前記液溜部は、例えば側面に蛇腹部分を有する筒体である。
前記ノズル部は、可とう性を有することが望ましい。また、前記ノズル部は、伸縮部を有し、前記伸縮部は前記ノズル部が屈曲したものであることも望ましい。

【0009】

前記閉塞部は、例えば前記ノズル部に続く管状部分が溶融圧着されたものである。あるいは、前記ノズル部の先端に設けられた栓であってもよい。

【0010】

また、前記液溜部の側面の厚さが、前記ノズル部の側面の厚さよりも大きいことが望ましい。
前記ノズル部の先端の内周面の直径が4mm以下であることも望ましい。

【0011】

第２の発明は、薬液の塗布に用いられる薬液チューブであって、薬液を貯留するための液溜部と、薬液を吐出するためのノズル部と、前記ノズル部の先端に設けられた閉塞部と、を有する薬液チューブの製造方法であって、前記液溜部および前記液溜部から延びる管状部分を一体に形成した連続体を製造する工程と、前記連続体に薬液を充填する工程と、前記管状部分に前記閉塞部を設ける工程と、を有し、前記管状部分によって前記ノズル部が構成された前記薬液チューブを製造し、前記ノズル部の端部には、複数の切込みが前記薬液の流れ方向に間隔を空けて設けられ、前記薬液はレジストであり、前記薬液の流れる前記ノズル部の端部の内周面の直径が、前記薬液の流れ方向に一定であることを特徴とする薬液チューブの製造方法である。

【0012】

前記連続体は、複数の前記液溜部および隣り合う前記液溜部同士を繋ぐ前記管状部分を一体に形成したものであり、前記閉塞部を除く前記管状部分が前記ノズル部となることが望ましい。

【0013】

前記閉塞部は、前記管状部分を溶融圧着することによって設けられ、前記閉塞部を切断することで前記薬液チューブが製造されることが望ましい。前記管状部分を板材によって挟んだ後、前記板材の中央部付近から加熱を行うことにより前記閉塞部を形成することも望ましい。
あるいは、前記閉塞部は、前記管状部分の先端を閉塞する栓であってもよい。

【0014】

本発明の薬液チューブを塗工室まで搬送し、閉塞部を取り除いて液溜部とノズル部が一体となった薬液チューブを塗布システムに用いることにより、塗布システムにおいて配管の継ぎ目をなくすことができる。また液溜部内の薬液を、液溜部と一体となったノズル部内を通して基材上に直接吐出できるので、薬液がポンプ機構やバルブ機構に触れたり、あるいは外気に触れたりすることもない。また薬液チューブは使い捨てとし、使用後の薬液チューブを新たな薬液チューブに交換して常にクリーンな状態で薬液の塗布ができる。そのため、薬液に異物が混入するのを防止できる。

【0015】

本発明では、液溜部とノズル部を樹脂製のものとすることで、これらを一体として形成するのが容易になる。液溜部は蛇腹部分を有する筒体とすることで、液溜部の押圧による薬液の吐出制御を容易に行うことができる。また、ノズル部が可とう性を有することで様々な態様の塗布システムに薬液チューブを容易にセットでき、ノズル部が伸縮部を有することで、その伸縮により塗布システムの各種動作に容易に追随できる。

【0016】

薬液チューブの閉塞部は、管状部分の溶融圧着によって容易に形成できる。あるいは栓を用いて閉塞を行ってもよく、この場合は溶融圧着時の熱による薬液の変性を回避することができる。

【0017】

また、ノズル部の端部に切込みを設けて適宜カットして用いたり、ノズル部の先端の内径を4mm程度以下の極細のものとすることで、薬液塗布の中断時にノズル部の端部に残留した薬液が乾燥して固化し、異物として薬液に混入するのを防ぐことができる。

【0018】

本発明の薬液チューブは、液溜部と当該液溜部から延びる管状部分を有する連続体から製造することができ、ノズル部となる管状部分に閉塞部を設けて薬液チューブを容易に製造できる。

【0019】

この連続体は、複数の液溜部および隣り合う液溜部同士を繋ぐ管状部分を一体に形成したものとすることで、薬液チューブの大量生産に適したものとなり、管状部分を溶融圧着して閉塞部とし、閉塞部で切断を行うことで個々の薬液チューブを製造できる。溶融圧着時には、管状部分を板材によって挟み薬液を側方に逃がした後、板材の中央部付近から加熱を行うことにより、熱による薬液の変性を防ぐことができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明により、薬液への異物の混入を防止できる薬液チューブ等を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】薬液チューブ１０の概略を示す図。

【図2】塗布システム１の概略を示す図。

【図3】塗布システム１による塗布方法を示す図。

【図4】ノズル部１０２の端部の詳細を示す図。

【図5】ノズル部１０２の端部に残留する薬液４０を示す図。

【図6】ノズル部１０２の端部をカットする例を説明する図。

【図7】薬液チューブ１０の製造方法について説明する図。

【図8】管状部分１０４の溶融圧着について説明する図。

【図9】薬液チューブ１０’ の概略を示す図。

【図10】薬液チューブ１０ａおよび塗布システム１ａの概略を示す図。

【図11】薬液チューブ１０ｂの製造方法について説明する図。

【図12】管状部分１０４の溶融圧着について説明する図。

【図13】塗布システム１００の概略を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、図面に基づいて本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。

【0023】

［第１の実施形態］
（１．薬液チューブ１０）
図１は本発明の第１の実施形態に係る薬液チューブ１０の概略を示す図である。この薬液チューブ１０は、内部に薬液を充填し封入したものであり、薬液の塗布に用いられる。本実施形態において、薬液は基材に塗布するレジストとするが、これに限定されることはない。

【0024】

薬液チューブ１０は液溜部１０１、ノズル部１０２、閉塞部１０３が一体となって連続した構成を有し、これらが樹脂により形成されたものである。樹脂には、耐薬品性や異物リスクの少なさを考慮して、例えばPP(ポリプロピレン)、PE（ポリエチレン）、PFTE(ポリテトラフルオロエチレン)やPFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)などのフッ素樹脂等を用いることができる。ただし、これらに限定されることはない。

【0025】

液溜部１０１は、内空部分に薬液を貯留するためのものであり、本実施形態では側面に蛇腹部分を有する筒体である。

【0026】

ノズル部１０２は、先端から薬液を吐出するためのものであり、液溜部１０１の下面から延びるように設けられた長尺（例えば500mm〜2000mm程度）の管状部分である。本実施形態ではノズル部１０２が可とう性を有し変形が可能となっている。

【0027】

閉塞部１０３は、薬液チューブ１０を製造した後、後述する塗布システムにセットするまでの間、薬液が薬液チューブ１０の外に漏れないようにするためのものであり、ノズル部１０２の先端に設けられる。本実施形態では、ノズル部１０２に続く管状部分を溶融圧着することにより閉塞部１０３が形成される。

【0028】

（２．塗布システム１）
図２は薬液チューブ１０を用いた塗布システム１の概略を示す図である。この塗布システム１は、ナノインプリント用のマスターモールドの製作時などで、薬液チューブ１０内の薬液（レジスト）をステージ２０上の基材２１に塗布するものであり、クリーンルームである塗工室（不図示）内に設けられる。

【0029】

なお、薬液チューブ１０を塗布システム１に用いる際は、塗工室まで搬送した薬液チューブ１０の閉塞部１０３をカットして塗布システム１にセットしておく。本実施形態では、薬液を吐出しやすいように薬液チューブ１０をステージ２０上の基材２１よりも上に配置している。薬液の塗布は例えばスピンコート法によって行われるが、これに限ることはない。

【0030】

図２に示すように、塗布システム１は、薬液チューブ１０の他、加圧機構１１、１２等を備える。

【0031】

加圧機構１１は、薬液の吐出量を制御するものであり、薬液チューブ１０の外部に設けられる。加圧機構１１は、液溜部１０１を上側から押圧して液溜部１０１内の薬液を送り出す。

【0032】

加圧機構１２は、薬液の吐出タイミングの制御を行うものであり、薬液チューブ１０の外部に設けられる。加圧機構１２は、ノズル部１０２を両側から押圧して閉じること、および押圧を解除してノズル部１０２を開くことが可能である。

【0033】

加圧機構１１、１２には例えばモーター等を用いることができるが、これに限ることはない。特に図示しないが、塗布システム１には液溜部１０１やノズル部１０２を保持するホルダーやアームなども設けられる。

【0034】

（３．塗布システム１による塗布方法）
本実施形態では、図３（ａ）に示すように加圧機構１２によるノズル部１０２の押圧が解除された状態で、矢印ａに示すように加圧機構１１を下降させて液溜部１０１を上側から押圧する。すると液溜部１０１の蛇腹部分が縮んで液溜部１０１内の薬液４０が送り出され、ノズル部１０２を通ってその先端から基材２１へと吐出される。吐出量は加圧機構１１の下降幅によって制御できる。

【0035】

基材２１への薬液４０の吐出を終えると、矢印ｂに示すように加圧機構１２をノズル部１０２側に移動させ、加圧機構１２によってノズル部１０２を両側から押圧して閉じる。

【0036】

前記した加圧機構１１は下降後の位置でそのまま待機させておき、基材２１を交換して再び薬液４０を吐出するタイミングとなれば、加圧機構１２によるノズル部１０２の押圧を解除した後、加圧機構１１による液溜部１０１の押圧を上記と同様に行う。

【0037】

以上の手順を繰り返し、図３（ｂ）に示すように所定枚数（例えば10枚程度）の基材２１への薬液塗布を終えると、新しい薬液チューブ１０と交換する。

【0038】

（４．ノズル部１０２の端部）
図４はノズル部１０２の端部の詳細を示す図である。図１、図２等ではノズル部１０２を簡略化して記載しているが、ノズル部１０２の端部は、実際には図４（ａ）のように所定長さの極細径（例えば内周面の直径が4mm程度以下）の部分が先端まで連続するものとしたり、図４（ｂ）のようにテーパー状に窄ませてその先端を極細径（例えば内周面の直径が4mm程度以下）としたりすることが可能である。

【0039】

図４（ｃ）のように端部を逆テーパー状に拡げて先端の径を大きくすることも可能であり、薬液４０を吐出しやすいが、この場合、前記のように薬液４０の吐出を終えると端部の薬液４０がほぼ吐出しきってしまい、薬液塗布を中断している間に図５（ａ）に示すように内周面に残留した薬液４０が乾燥して固化し、次に薬液４０を吐出する際に異物となる恐れがある。

【0040】

これに対し、図４（ａ）の場合、薬液４０の吐出を終えて再び吐出するまでの間、表面張力等の効果によって図５（ｂ）に示すように薬液４０を端部に留めて薬液４０の乾燥を抑制でき、上記のような異物の発生を防ぐことができる。これは図４（ｂ）の場合でも同様である。

【0041】

薬液４０への異物の混入を防ぐためには、ノズル部１０２の端部を都度カットすることも有効である。すなわち、前記のように薬液４０の吐出を終えた後、再び薬液４０を吐出する際に、図６（ａ）の点線に示すようにノズル部１０２の端部をカットして用いる。これによりノズル部１０２の端部を常にフレッシュな状態で使用し、前記のような異物の薬液４０への混入を防ぐことができる。

【0042】

ノズル部１０２のカットにはカッターなどの工具を用いることも可能であるが、異物の原因となる発塵を避けるためには塗工室内に工具などを極力持ち込まないことが望ましい。そのため、図６（ｂ）に示すようにノズル部１０２の端部の側面に切込み１０２１を設けておき、手で切離せるようにしておくことも可能である。

【0043】

（５．薬液チューブ１０の製造方法）
図７は薬液チューブ１０の製造方法について説明する図である。図７（ａ）に示すように、本実施形態では、まず、複数の液溜部１０１と、液溜部１０１から延びて隣り合う液溜部１０１同士を繋ぐ複数の管状部分１０４とを一体に形成して連続体５０を製造する。連続体５０において液溜部１０１および管状部分１０４の内部は連通している。

【0044】

連続体５０の製造方法は特に限定されない。例えばモールドを用いて連続体５０を一体成型することもできるし、個別に形成した液溜部１０１と管状部分１０４を接着してもよい。

【0045】

連続体５０を製造した後は、連続体５０の内部に洗浄液を流して洗浄し、薬液４０を連続体５０の内部に通すことでフラッシング（共洗い）を行っておく。

【0046】

そして、図７（ｂ）に示すように工業用の注射針６０等を用いて連続体５０の内部に薬液４０を充填する。図７（ｂ）の例では管状部分１０４の端部から薬液４０を充填しているが、液溜部１０１や管状部分１０４の側面に針を刺して薬液４０を充填することも可能である。

【0047】

連続体５０の内部に薬液４０を充填した後、管状部分１０４の端部を溶融圧着して図７（ｃ）に示すように閉塞部１０３を設ける。閉塞部１０３を除いた管状部分１０４の残りの部分は前記したノズル部１０２を構成する。

【0048】

図８は管状部分１０４の溶融圧着について説明する図である。本実施形態では、図８（ａ）に示すように金属板等の板材３０で管状部分１０４の端部を両側から挟んで塞ぎ、当該端部に充填されていた薬液４０を側方に逃がす。

【0049】

その後、図８（ｂ）に示すようにヒーター３１を板材３０の中央部付近に配置し、これにより管状部分１０４を加熱して溶融圧着させ、図８（ｃ）に示すように管状部分１０４の端部を閉塞部１０３とする。以上の手順によって、薬液４０から遠い位置でヒーター３１による熱を加えることができ、ヒーター３１の熱によって薬液４０が変性するのを防止できる。

【0050】

この後、図７（ｄ）に示すように閉塞部１０３の途中を切断すると、個々の薬液チューブ１０が製造される。ノズル部１０２に前記した切込み１０２１を設ける場合は、例えば連続体５０の製造時に、管状部分１０４においてノズル部１０２の端部に当たる箇所をカッター等により切込めばよい。

【0051】

また、液溜部１０１にある程度の硬さを持たせて薬液４０の吐出制御を容易とするため、液溜部１０１の側面の厚さを管状部分１０４の側面の厚さより大きくしておくことも可能である。同様に、ノズル部１０２の端部にある程度の硬さを持たせ、塗布システム１への薬液チューブ１０のセット時にノズル部１０２の先端の配置を安定させるため、管状部分１０４においてノズル部１０２の端部に対応する部分の側面の厚さをそれ以外の部分より大きくしておくことも可能である。

【0052】

以上説明したように、本実施形態では、薬液チューブ１０を塗工室まで搬送し、閉塞部１０３を取り除いて液溜部１０１とノズル部１０２が一体となった薬液チューブ１０を塗布システム１に用いることにより、塗布システム１において配管の継ぎ目をなくすことができる。また外部に設けた加圧機構１１、１２により吐出制御を行って液溜部１０１内の薬液４０を液溜部１０１と一体となったノズル部１０２内を通して基材２１上に直接吐出できるので、薬液４０がこれらの加圧機構１１、１２に触れたり、外気に触れたりすることもない。また薬液チューブ１０は使い捨てとし、使用後の薬液チューブ１０を新たな薬液チューブ１０に交換して常にクリーンな状態で薬液４０の塗布ができる。そのため、薬液４０に異物が混入するのを防止できる。使用後の薬液チューブ１０は工場等で洗浄して再利用することも可能であり、この場合の洗浄も容易である。

【0053】

また、本実施形態では、液溜部１０１とノズル部１０２を樹脂製のものとすることで、これらを一体として形成するのが容易になる。また、ノズル部１０２が可とう性を有することで様々な態様の塗布システム１に薬液チューブ１０を容易にセットできる。

【0054】

薬液チューブ１０の閉塞部１０３は、前記したように管状部分１０４の溶融圧着によって容易に形成できる。溶融圧着時には、管状部分１０４を板材３０によって挟み薬液４０を側方に逃がした後、板材３０の中央部付近から加熱を行うことにより、熱による薬液４０の変性を防ぐことができる。

【0055】

また、ノズル部１０２の端部に切込み１０２１を設けて適宜カットして用いたり、ノズル部１０２の先端の内径を4mm程度以下の極細のものとすることで、薬液塗布の中断時にノズル部１０２の端部に残留した薬液４０が乾燥して固化し、異物として薬液４０に混入するのを防ぐことができる。

【0056】

また、薬液チューブ１０は、液溜部１０１と当該液溜部１０１から延びる管状部分１０４を有する連続体５０から製造することができ、ノズル部１０２となる管状部分１０４に閉塞部１０３を設けて薬液チューブ１０を容易に製造できる。この連続体５０は、複数の液溜部１０１および隣り合う液溜部１０１同士を繋ぐ管状部分１０４を一体に形成したものとすることで、薬液チューブ１０の大量生産に適したものとなり、管状部分１０４を溶融圧着して閉塞部１０３とし、閉塞部１０３で切断を行うことで個々の薬液チューブ１０を製造できる。

【0057】

しかしながら、本発明がこれに限ることはない。例えば図９（ａ）の薬液チューブ１０’に示すように、ノズル部１０２の一部をばね状に屈曲した伸縮部１０５としてもよい。この場合、図９（ｂ）に示すように伸縮部１０５を伸縮可能とすることができ、塗布システム１においてノズル部１０２をセットしたアームが移動する場合など、塗布システム１の様々な動作に追随できる。例えば液溜部１０１は別室に配置するが、ノズル部１０２は塗工室内でアーム等の動作に追随する、といった構成も可能である。なお、伸縮部１０５の屈曲形状はばね状のものに限らない。

【0058】

次に、本発明の第２、第３の実施形態について説明する。これらの実施形態は第１の実施形態と異なる点について主に説明し、同様の点については図等で同じ符号を付すなどして説明を省略する。

【0059】

［第２の実施形態］
第２の実施形態は、薬液チューブの構成が第１の実施形態と異なる例である。

【0060】

図１０（ａ）は本発明の第２の実施形態に係る薬液チューブ１０ａの概略を示す図である。図に示すように、薬液チューブ１０ａは、液溜部１０１ａの形状において第１の実施形態と異なっている。

【0061】

すなわち、液溜部１０１ａは前記のように蛇腹状の側面を有する筒体ではなく、袋状のものとなっている。また液溜部１０１ａの内空部分はノズル部１０２に向かってテーパー状に窄まっており、液溜部１０１ａの薬液がノズル部１０２に送り出し易く、薬液４０の滞留を防止できる構成となっている。

【0062】

図１０（ｂ）は薬液チューブ１０ａを用いた塗布システム１ａの概略を示す図である。塗布システム１ａは、薬液４０の吐出量を制御する加圧機構１１ａの構成において前記した塗布システム１と異なる。

【0063】

すなわち、加圧機構１１ａは、薬液チューブ１０ａの外部に設けられ、液溜部１０１ａを両側から押圧し液溜部１０１ａ内の薬液４０を送り出すようになっている。加圧機構１１ａには、前記と同様モーター等を用いることができるが、これに限ることはない。

【0064】

塗布システム１ａにおける薬液４０の塗布方法については前記と略同様である。ただし、薬液４０の吐出時には、加圧機構１２によるノズル部１０２の押圧が解除された状態で、加圧機構１１ａを矢印ｄに示すように液溜部１０１ａ側に移動させ、液溜部１０１ａを両側から押圧する。すると液溜部１０１ａ内の薬液４０が送り出され、ノズル部１０２を通ってその先端から基材２１へと吐出される。吐出量は加圧機構１１ａの移動幅によって制御できる。

【0065】

第２の実施形態でも第１の実施形態と同様の効果が得られる。また液溜部１０１ａが袋状なので、スペースを取らず薬液チューブ１０ａの運搬等がしやすい利点がある。一方、第１の実施形態では、液溜部１０１を側面に蛇腹部分を有する筒体とし、蛇腹部分を縮めるように押圧することで、薬液４０の吐出量の制御が容易になる利点がある。

【0066】

［第３の実施形態］
第３の実施形態は、薬液チューブの製造方法において第１の実施形態と異なる。

【0067】

すなわち、本実施形態では、まず、図１１（ａ）に示すように液溜部１０１と当該液溜部１０１から延びる管状部分１０４を一体に形成した連続体５０ａを製造する。連続体５０ａは、前記と同様、例えばモールドを用いて一体成型することもできるし、個別に形成した液溜部１０１と管状部分１０４を接着してもよい。

【0068】

連続体５０ａの洗浄やフラッシングを前記と同様に行った後、図１１（ｂ）に示すように注射針６０等を用いて連続体５０ａに薬液４０を充填する。そして、管状部分１０４の先端に図１１（ｃ）に示すように栓７０（閉塞部）を設け、栓７０によって当該先端を塞ぐことで薬液チューブ１０ｂが製造される。上記の管状部分１０４はそのままノズル部１０２を構成する。

【0069】

栓７０の形状等は特に限定されず、この種の栓として通常用いられるもの、例えばテーパー状の部材の先端部分を管状部分１０４（ノズル部１０２）の先端に挿入し、当該管状部分１０４の周囲に配置したネジ部とカバーキャップを螺合させるタイプのもの等を用いることができる。

【0070】

本実施形態では、管状部分１０４の先端を栓７０によって塞ぐので、前記のように溶融圧着する必要が無く熱により薬液４０が変性することもない。

【0071】

ただし、図１２（ａ）に示すように管状部分１０４の端部を溶融圧着して閉塞部１０３とし、管状部分１０４の残りの部分をノズル部１０２としてもよい。この場合は図１２（ｂ）に示すように管状部分１０４の端部を金属板等の板材３０で両側から挟んで薬液４０を側方に逃がし、管状部分１０４の先端に当たる位置でヒーター３１から熱を加えればよい。これにより、薬液４０から遠い位置でヒーター３１による熱を管状部分１０４に加え、ヒーター３１の熱によって薬液４０が変性するのを防止できる。

【0072】

以上、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

【符号の説明】

【0073】

１、１ａ、１００；塗布システム
１０、１０’、１０ａ、１０ｂ；薬液チューブ
１１、１１ａ、１２；加圧機構
２０；ステージ
２１；基材
３０；板材
３１；ヒーター
４０；薬液
５０、５０ａ；連続体
６０；注射針
７０；栓
１０１、１０１ａ；液溜部
１０２；ノズル部
１０３；閉塞部
１０４；管状部分
１０５；伸縮部
１１０；ボトル
１２０；配管
１３０；ポンプ
１４０；フィルター
１５０；バルブ
１０２１；切込み

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】