発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、透過型電子顕微鏡による観察に用いられる試料内において、評価対象の供試材（即ち、試料が採取されるもとの部材や部品など）のうち観察対象として選定・指定された箇所が的確に薄膜化されていないと、適当な観察を行うことができないという問題がある。 このため、試料内における観察対象の箇所の位置及び薄膜化させる位置を適確に制御し得るような、透過型電子顕微鏡による観察に適した試料の作製の手法を確立することが望まれる。 そこで、本発明は、透過型電子顕微鏡による観察に用いられる試料における、評価対象の供試材のうちの観察対象の箇所の位置及び薄膜化させる位置を高い精度で制御することができる試料作製方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の試料作製方法によれば、供試材／試料における観察対象箇所の位置を正確に特定し把握することができるので、観察対象として狙った箇所を高い精度で試料として切り出して採取したり薄膜化させたりすることが可能になり、延いては試料作製手法としての有用性及び信頼性を向上させることが可能になる。 本発明の試料作製方法によれば、また、観察対象箇所の位置を優先的に薄膜化させることができるので、観察対象として狙った箇所を確実に薄膜化させることが可能になり、延いては試料作製手法としての有用性及び信頼性を向上させることが可能になる。 本発明の試料作製方法は、試料の円形の周縁部の一部が欠けているようにした場合には、採取された試料がもとの供試材においてどのような向きで含まれていたかを特定し把握することができるので、もとの供試材と試料との配置関係が明確になって分析・評価に際して試料の属性について詳細で正確な情報を提供することが可能になり、延いては試料作製手法としての有用性を一層向上させることが可能になる。 本発明の試料作製方法は、供試材が高クロム鋼であるようにした場合には、高クロム鋼が分析・評価対象である場合の透過型電子顕微鏡による観察に用いられる試料の作製において上述の作用効果を奏することが可能になる。