特許 6979004 流体供給ユニット、流体供給集積ユニット、及び、流路ブロック

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6979004

(24)【登録日】2021年11月16日

(45)【発行日】2021年12月8日

(54)【発明の名称】流体供給ユニット、流体供給集積ユニット、及び、流路ブロック

(51)【国際特許分類】

   F16K 27/00 20060101AFI20211125BHJP

【ＦＩ】

   F16K27/00 B

【請求項の数】6

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2018-219796(P2018-219796)

(22)【出願日】2018年11月23日

(65)【公開番号】特開2020-85116(P2020-85116A)

(43)【公開日】2020年6月4日

【審査請求日】2020年6月29日

(73)【特許権者】

【識別番号】000106760

【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000291

【氏名又は名称】特許業務法人コスモス国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】小池 和彦

【審査官】 笹岡 友陽

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０７−１２２５００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２１０９８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１７８８９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２９２４８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２０８９００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１３９１９６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｋ ２７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体を供給する供給ラインに沿って配設される複数の流体機器と、前記複数の流体機器が取り付けられる流路ブロックとを備える流体供給ユニットにおいて、
前記複数の流体機器が、前記流路ブロックの取付面に、上流側の流体機器から交互に列を変えて２列に並んで取り付けられていること、
前記流路ブロックは、
１列目に配置される流体機器毎に設けられ、対応する流体機器に連通する第１接続ポートと、
１列目の列方向に対して前記第１接続ポートの両側にそれぞれ設けられ、前記流体機器を前記流路ブロックに取り付けるためのねじが締結される第１ネジ孔と、
２列目に配置される流体機器毎に設けられ、対応する流体機器に連通する第２接続ポートと、
２列目の列方向に対して前記第２接続ポートの両側にそれぞれ設けられ、前記流体機器を前記流路ブロックに取り付けるためのねじが締結される第２ネジ孔と、
前記第１接続ポートと前記第２接続ポートとを接続し、一方の列に配置される上流側の流体機器と、他方の列に配置される下流側の流体機器とを連通させる接続流路と、
を有すること、
前記接続流路は、少なくとも一つが、取付面側から見て、列方向に対して斜めに設けられていること、
を特徴とする流体供給ユニット。

【請求項2】

請求項１に記載する流体供給ユニットにおいて、
前記第１接続ポートと前記第２接続ポートの配置が、列方向に沿ってずれていること、
前記接続流路は、前記第１ネジ孔と前記第２ネジ孔を迂回してＶ字形に形成され、さらに、前記取付面側から見て、前記列方向に対して斜めに設けられていること、
を特徴とする流体供給ユニット。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載する流体供給ユニットにおいて、
前記複数の流体機器は、配管継手と、バルブと、マスフローコントローラとを含むこと、
を特徴とする流体供給ユニット。

【請求項4】

請求項１乃至請求項３の何れか１つに記載する流体供給ユニットを複数個有することを特徴とする流体供給集積ユニット。

【請求項5】

請求項４に記載する流体供給集積ユニットにおいて、
前記複数の流体機器の一つが、先端部にナット部を備える配管継手であること、
隣り合う流体供給ユニットに取り付けられる前記配管継手は、前記ナット部の高さが異なること、
を特徴とする流体供給集積ユニット。

【請求項6】

流体を供給する供給ラインに沿って配設される複数の流体機器が取付面に取り付けられる流路ブロックにおいて、
前記複数の流体機器が、前記取付面に、上流側の流体機器から交互に列を変えて２列に並んで取り付けられていること、
前記複数の流体機器を取り付けるねじが締結される複数のネジ孔と、
１列目に配置される流体機器毎に設けられ、対応する流体機器に連通する第１接続ポートと、
２列目に配置される流体機器毎に設けられ、対応する流体機器に連通する第２接続ポートと、
前記第１接続ポートと前記第２接続ポートとを接続し、一方の列に配置される上流側の流体機器と、他方の列に配置される下流側の流体機器とを連通させる接続流路と、を有すること、
前記接続流路は、少なくとも一つが、取付面側から見て、列方向に対して斜めに設けられていること、
を特徴とする流路ブロック。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の流体機器が流路ブロックに取り付けられた流体供給ユニット、流体供給集積ユニット、及び、流路ブロックに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、半導体製造工程では、ウエハがセットされた処理室に１種又は２種以上のガスを切り替えて供給し、ウエハにエッチング処理を施す。処理室には、例えば、図７に示す流体供給集積ユニット１００が接続される。流体供給集積ユニット１００は、複数の流体供給ユニット１１０によって、ガスを供給するガスラインが構成されている。流体供給ユニット１１０は、第１バルブ１１１と、第２バルブ１１２と、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）１１３と、第３バルブ１１４とを備える。

【0003】

図８は、従来の流体供給集積ユニット１００の側面図である。図９は、従来の流体供給集積ユニット１００の平面図である。図８では、流路の説明のため、流路ブロック１２０を断面で記載している。

【0004】

図８及び図９に示すように、流体供給ユニット１１０は、流路ブロック１２０の図中上側に位置する取付面１２１に、流体の流れ方向の上流側（図中左側）から下流側（図中右側）に向かって順番に、入力側配管継手３１と、第１バルブ１１１と、第２バルブ１１２と、ＭＦＣ１１３と、第３バルブ１１４と、出力側配管継手３２が一列に並べて配置され、それぞれ２本のねじ１４１，１４１を用いて流路ブロック１２０に取り付けられている。

【0005】

図８に示すように、流路ブロック１２０の取付面１２１には、入力側配管継手３１に接続する接続ポート６１の図中左右方向の両側に、ねじ１４１，１４１を締結するためのネジ孔５１，５１が形成されている。そして、取付面１２１には、第１バルブ１１１の入力ポートに接続する接続ポート６２と、第１バルブ１１１の出力ポートに接続する接続ポート６２が開設され、ねじ１４１を締結するためのネジ孔５２，５２が開設されている。接続ポート６１と接続ポート６２は、Ｕ字流路１７１を介して連通している。Ｕ字流路１７１は、接続ポート６１と接続ポート６２との間に設けられたネジ孔５１，５２を迂回して、流路ブロック１２０の長手方向（図中左右方向）の軸線に沿って設けられている。尚、他の接続ポート６４〜７０、ネジ孔５３〜５６、Ｕ字流路１７２〜１７５も、接続ポート６１〜６３、ネジ孔５１，５２、Ｕ字流路１７１と同様に設けられている。

【0006】

流体供給集積ユニット１００は、複数の流体供給ユニット１１０が、それぞれ、固定ねじ１８１，１８２を用いて取付パネル１３０に固定されている。各流体供給ユニット１１０は、出力側配管継手３２が相互に結合され、共通配管１８５を形成する（例えば特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特許第６４０４１０１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、従来技術には以下の問題があった。従来の流体供給ユニット１１０は、図９に示すように、入力側配管継手３１と、第１バルブ１１１と、第２バルブ１１２と、ＭＦＣ１１３と、第３バルブ１１４と、出力側配管継手３２を流路ブロック１２０に一列に並べて配置していた。そのため、流体供給ユニット１１０の全長Ｌ１１が長くなってしまっていた。

【0009】

また、図９に示すように、流路ブロック１２０の幅Ｗ１１は、第１バルブ１１１、第２バルブ１１２、ＭＦＣ１１３、第３バルブ１１４の幅Ｗ１０と同程度、つまり、１０ｍｍにされていた。一方、入力側配管継手３１の最大幅Ｗ１２と出力側配管継手３２の最大幅Ｗ１３は、流路ブロック１２０の幅Ｗ１１より大きい。そのため、流体供給ユニット１１０は、図９の図中Ｐ１１、Ｐ１２に示すように、入力側配管継手３１のナット部３１１が流路ブロック１２０の側方に張り出したり、図９の図中Ｐ１３，Ｐ１４に示すように、出力側配管継手３２の結合部３２２，３２３が流路ブロック１２０の側方に張り出したりしていた。このような流体供給ユニット１１０を集積する場合、隣り合う流体供給ユニット１１０の間に、入力側配管継手３１と出力側配管継手３２の取り合いスペースを確保しなければならなかった。しかも、入力側配管継手３１は、スパナを使用して他の配管に接続するタイプが多く、スパナを使うためのスペースを確保する場合、ライン間のピッチが２０ｍｍ以上必要であった。よって、従来の流体供給ユニット１１０を集積した場合、流体供給ユニット１１０の間に、第１バルブ１１１等の幅Ｗ１０と同程度、つまり、１０ｍｍ程度の無駄なスペースＳができてしまっていた。

【0010】

流体供給ユニット１１０の全長や、集積時の無駄なスペースＳは、流体供給集積ユニット１００の設置面積に影響するので、できるだけ小さくすることが好ましい。

【0011】

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、全長を短くすることができ、集積時にライン間に形成される無駄なスペースを抑制できる流体供給ユニット、流体供給集積ユニット、及び、流路ブロックを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明の一態様は、次のような構成を有している。（１）複数の流体機器と、前記複数の流体機器が取り付けられる流路ブロックとを備える流体供給ユニットにおいて、前記複数の流体機器が、前記流路ブロックの取付面に、２列に並んで交互に取り付けられていること、前記流路ブロックは、１列目に配置される流体機器に連通する第１接続ポートと、１列目の列方向に対して前記第１接続ポートの両側に設けられ、前記流体機器を前記流路ブロックに取り付けるためのねじが締結される第１ネジ孔と、２列目に配置される流体機器に連通する第２接続ポートと、２列目の列方向に対して前記第２接続ポートの両側に設けられ、前記流体機器を前記流路ブロックに取り付けるためのねじが締結される第２ネジ孔と、前記第１接続ポートと前記第２接続ポートとを接続する接続流路と、を有すること、を特徴とする。

【0013】

上記構成の流体供給ユニットは、複数の流体機器を交互に列を変えて２列に並べて配置し、流路ブロックにネジ止めするので、複数の流体機器を一列に配置して流路ブロックにネジ止めする場合より、全長が短くなる。また、流体供給ユニットは、集積時に、流体機器が流路ブロックに取り付けられていないスペースを利用して取り合いスペースや作業スペースなどを確保できるので、流路ブロックを極力近づけて集積し、ライン間に形成される無駄なスペースを抑制できる。

【0014】

（２）（１）に記載する流体供給ユニットにおいて、前記第１接続ポートと前記第２接続ポートの配置が、列方向に沿ってずれていること、前記接続流路は、前記第１ネジ孔と前記第２ネジ孔を迂回してＶ字形に形成されていること、が好ましい。

【0015】

上記構成の流体供給ユニットは、Ｖ字形の接続流路をネジ孔を迂回しながらジグザグ状に形成するので、流路ブロックの全長を短くできる。また、流体供給ユニットは、例えばドリルを用いてＶ字形の接続流路を流路ブロックに形成するので、流路加工の手間を軽減できる。

【0016】

（３）（１）又は（２）に記載する流体供給ユニットにおいて、前記複数の流体機器は、配管継手と、バルブと、マスフローコントローラとを含むこと、が好ましい。

【0017】

上記構成の流体供給ユニットは、配管継手の幅がバルブやマスフローコントローラの幅より大きい場合でも、配管継手をバルブとＭＦＣの少なくとも一方と列をずらして配置することにより、流路ブロック上に配管継手の取り合いスペースや作業スペースを確保できるので、ライン管に形成される無駄なスペースを抑制して集積することができる。

【0018】

（４）本発明の別態様は、（１）乃至（３）の何れか１つに記載する流体供給ユニットを複数個有することを特徴とする流体供給集積ユニットである。

【0019】

上記構成の流体供給集積ユニットは、全長が短く、集積時にライン間に無駄なスペースが形成されることを抑制できる流体供給ユニットを集積したものであるので、複数の流体機器を一列に並べて配置した流体供給ユニットを集積した場合より、設置面積を小さくすることができる。

【0020】

（５）（４）に記載する流体供給集積ユニットにおいて、前記複数の流体機器の一つが、先端部にナット部を備える配管継手であること、隣り合う流体供給ユニットに取り付けられる前記配管継手は、前記ナット部の高さが異なること、が好ましい。

【0021】

上記構成の流体供給集積ユニットは、流路ブロックを近接させて流体供給ユニットを集積した場合でも、各流体供給ユニットのナット部をスパナ等で回すスペースを確保することができる。

【0022】

（６）本発明の別態様は、更に、複数の流体機器が取付面に取り付けられる流路ブロックにおいて、前記複数の流体機器が、前記取付面に２列に並んで交互に取り付けられること、前記複数の流体機器を取り付けるねじが締結される複数のネジ孔と、１列目に配置される流体機器に連通する第１接続ポートと、２列目に配置される流体機器に連通する第２接続ポートと、前記第１接続ポートと前記第２接続ポートとを接続する接続流路と、を有すること、を特徴とする。

【発明の効果】

【0023】

本発明によれば、全長を短くすることができ、集積時にライン間に形成される無駄なスペースを抑制できる流体供給ユニット、流体供給集積ユニット、及び、流路ブロックを実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の実施形態に係る流体供給ユニットの斜視図である。

【図2】流体供給ユニットの平面図である。

【図3】流体供給ユニットの側面図である。

【図4】流路ブロックの平面図である。

【図5】流体供給集積ユニットの平面図である。

【図6】流体供給集積ユニットの正面図である。

【図7】流体供給集積ユニットの回路図である。

【図8】従来の流体供給集積ユニットの側面図である。

【図9】従来の流体供給集積ユニットの上面図である。

【図10】接続流路の変形例を示す図である。

【図11】図１０の部分拡大斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下に、本発明に係る流体供給ユニット、流体供給集積ユニット、及び、流路ブロックの実施形態について図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る流体供給ユニット１０の斜視図である。図２は、流体供給ユニット１０の平面図である。図３は、流体供給ユニット１０の側面図である。図４は、流路ブロック２０の平面図である。図５は、流体供給集積ユニット１の平面図である。図６は、流体供給集積ユニット１の正面図である。図１〜図３に示す流体供給ユニット１０、及び、図５〜図６に示す流体供給集積ユニット１は、図７に記載する回路図を具体化したものである。

【0026】

（流体供給ユニットの構成）
図１に示すように、流体供給ユニット１０は、流路ブロック２０の図中上側に位置する取付面２１に、入力側配管継手３１と第１バルブ１１１と第２バルブ１１２とＭＦＣ１１３と第３バルブ１１４と出力側配管継手３２が、２列に並んで交互に位置をずらして取り付けられ、千鳥配列で配置されている。入力側配管継手３１と第１バルブ１１１と第２バルブ１１２とＭＦＣ１１３と第３バルブ１１４と出力側配管継手３２は、「複数の流体機器」の一例である。

【0027】

第１バルブ１１１と第２バルブ１１２と第３バルブ１１４は、空気圧に応じて開閉するエアオペレイトバルブである。ＭＦＣ１１３は、流体の流量を計測する。

【0028】

第１バルブ１１１と、第２バルブ１１２と、ＭＦＣ１１３と、第３バルブ１１４は、それぞれ、流体の流れ方向である図中Ｘ方向に対して上流側（図中左側）と下流側（図中右側）に位置する部分に挿通されたねじ１４１を流路ブロック２０に締結することにより、流路ブロック２０に取り付けられている。このような第１バルブ１１１と、第２バルブ１１２と、ＭＦＣ１１３と、第３バルブ１１４は、４隅がネジ止めされるものと比べ、幅Ｗ１０が狭く、小型である。本形態では、幅Ｗ１０は、１０ｍｍとする。

【0029】

図１に示すように、入力側配管継手３１は、流路ブロック２０に固定される固定部３１３と、流体を入力する管部３１２と、管部３１２の先端部に設けられたナット部３１１とを備える。固定部３１３は、幅Ｗ１０と同程度の幅で設けられている。図２に示すように、入力側配管継手３１は、ナット部３１１の幅Ｗ１２が幅Ｗ１０より大きく、ナット部３１１が固定部３１３より側方に張り出している。

【0030】

図１に示すように、出力側配管継手３２は、流路ブロック２０に固定される固定部３２４と、流体を出力する管部３２１と、管部３２１の先端部に反対向きに設けられた一対の結合部３２２，３２３とを備える。固定部３２４は、幅Ｗ１０と同程度の幅で設けられている。図２に示すように、出力側配管継手３２は、結合部３２２，３２３の幅Ｗ１３が幅Ｗ１０より大きく、結合部３２２，３２３が固定部３２４より側方に張り出している。

【0031】

図１に示すように、流路ブロック２０は、例えば、ＳＵＳなどの腐食性の高い金属を直方体形状に形成したものである。図２に示すように、図中上側の１列目に配置される入力側配管継手３１、第２バルブ１１２、及び、第３バルブ１１４と、図中下側の２列目に配置される第１バルブ１１１、ＭＦＣ１１３、及び、出力側配管継手３２とは、上流側と下流側の機器同士で部分的に重なり合って配置されている。そのため、図１に示す流路ブロック２０の全長Ｌ１は、図８に示すように、入力側配管継手３１と第１バルブ１１１と第２バルブ１１２とＭＦＣ１１３と第３バルブ１１４と出力側配管継手３２を一列に並べて取付面１２１に取り付けられる流路ブロック１２０の全長Ｌ１１より、短くなっている。

【0032】

図１に示すように、流路ブロック２０の幅Ｗ１は、第１バルブ１１１の幅Ｗ１０の２倍以上２．１倍以下に設定され、１列目に配置される入力側配管継手３１、第２バルブ１１２、及び、第３バルブ１１４と、２列目に配置される第１バルブ１１１、ＭＦＣ１１３、及び、出力側配管継手３２とが図中Ｙ方向に近接して配置されている。本形態では、幅Ｗ１は、２１ｍｍとする。

【0033】

図４に示すように、流路ブロック２０の取付面１２１には、複数の接続ポート６１、６２，６３，６４，６５，６６，６７，６８，６９，７０と、複数のネジ孔５１，５１，５２，５２，５３，５３，５４，５４，５５，５５，５６，５６が開設されている。接続ポート６１，６４，６５，６８，６９は、「第１接続ポート」の一例であり、接続ポート６２，６３，６６，６７，７０は、「第２接続ポート」の一例である。ネジ孔５１，５１，５３，５３，５５，５５は、「第１ネジ孔」の一例であり、ネジ孔５２，５２，５４，５４，５６，５６は、「第２ネジ孔」の一例である。

【0034】

図２に示すように、接続ポート６１は、入力側配管継手３１に連通する。接続ポート６２は、第１バルブ１１１の入力ポートに連通し、接続ポート６３は、第１バルブ１１１の出力ポートに連通する。接続ポート６４は、第２バルブ１１２の入力ポートに連通し、接続ポート６５は、第２バルブ１１２の出力ポートに連通する。接続ポート６６は、ＭＦＣ１１３の入力ポートに連通し、接続ポート６７は、ＭＦＣ１１３の出力ポートに連通する。接続ポート６８は、第３バルブ１１４の入力ポートに連通し、接続ポート６９は、第３バルブ１１４の出力ポートに連通する。接続ポート７０は、出力側配管継手に連通する。

【0035】

接続ポート６１，６４，６５，６８，６９は、図中上側の１列目に配置される入力側配管継手３１と第２バルブ１１２と第３バルブ１１４の配列に従って、図中Ｘ方向に一列に並んで設けられている。接続ポート６２，６３，６６，６７，７０は、図中下側の２列目に配置される第１バルブ１１１、ＭＦＣ１１３、出力側配管継手３２の配列に従って、図中Ｘ方向に一例に並んで設けられている。

【0036】

図４に示すように、流路ブロック２０の取付面２１は、図中上側の１列目の列方向（図中左右方向）に対して接続ポート６１の両側となる位置に、入力側配管継手３１を流路ブロック２０に取り付けるためのねじ１４１，１４１が締結されるネジ孔５１，５１が開設されている。また、取付面２１には、図中下側の２列目の列方向（図中左右方向）に対して接続ポート６２，６３の両側となる位置に、第１バルブ１１１を流路ブロック２０に取り付けるためのねじ１４１，１４１が締結されるネジ孔５２，５２が開設されている。また、取付面２１には、１列目の列方向に対して接続ポート６４，６５の両側となる位置に、第２バルブ１１２を流路ブロック２０に取り付けるためのねじ１４１，１４１が締結されるネジ孔５３，５３が開設されている。また、取付面２１には、２列目の列方向に対して接続ポート６６，６７の両側となる位置に、ＭＦＣ１１３を流路ブロック２０に取り付けるためのねじ１４１，１４１が締結されるネジ孔５４，５４が開設されている。また、取付面２１には、１列目の列方向に対して接続ポート６８，６９の両側となる位置に、第３バルブ１１４を流路ブロック２０に取り付けるためのねじ１４１，１４１が締結されるネジ孔５５，５５が開設されている。取付面２１は、２列目の列方向に対して接続ポート７０の両側となる位置に、出力側配管継手３２を流路ブロック２０に取り付けるためのねじ１４１，１４１が締結されるネジ孔５６，５６が開設されている。

【0037】

よって、図４に示すように、流路ブロック２０の取付面２１は、接続ポート６１，６４，６５，６８，６９とネジ孔５１，５１，５３，５３，５５，５５が一列に並んで設けられている。また、取付面２１は、接続ポート６２，６３，６６，６７，７０とネジ孔５２，５２，５４，５４，５６，５６が一列に並んで設けられている。

【0038】

流路ブロック２０は、図中上側の１列目に沿って設けられた接続ポート６１，６４，６５，６８，６９と、図中下側の２列目に沿って設けられた接続ポート６２，６３，６６，６７，７０が、列方向（図中Ｘ方向）に沿って相互にずれて設けられている。そして、流路ブロック２０は、１列目の接続ポート６１，６４，６５，６８，６９の横（図中下側の位置）に、２列目のネジ孔５２，５２，５４，５４，５６，５６がそれぞれ設けられている。また、流路ブロック２０は、２列目の接続ポート６２，６３，６６，６７，７０の横（図中上側の位置）に、１列目のネジ孔５１，５１，５３，５３，５５，５５がそれぞれ設けられている。

【0039】

流路ブロック２０は、接続ポート６１〜７０を連通させる接続流路７１〜７５が形成されている。接続流路７１〜７５は、ネジ孔５１〜５６を迂回して、Ｖ字形状に形成されている。

【0040】

すなわち、図３及び図４に示すように、流路ブロック２０は、上流側斜め流路７１ａが、接続ポート６１からネジ孔５１とネジ孔５２との間に向かって斜め下向きに形成されている。また、流路ブロック２０は、下流側斜め流路７１ｂが、接続ポート６２からネジ孔５１とネジ孔５２との間に向かって斜め下向きに形成されている。上流側斜め流路７１ａと下流側斜め流路７１ｂは、ネジ孔５１とネジ孔５２との間で連通し、接続ポート６１と接続ポート６２とを連通させるＶ字形の接続流路７１を構成する。尚、これと同様にして、流路ブロック２０は、上流側斜め流路７２ａ，７３ａ，７４ａ，７５ａと下流側斜め流路７２ｂ，７３ｂ，７４ｂ，７５ｂにより、Ｖ字形の接続流路７２，７３，７４，７５が形成されている。

【0041】

図４に示すように、接続流路７１〜７５は、流路ブロック２０の流体が流れる方向（図中Ｘ方向）の軸線に対して斜めに形成され、ネジ孔５１〜５６の間を縫うようにジグザグ状に形成されている。よって、流路ブロック２０は、図８に示すように、流体が流れる方向の軸線に沿ってＵ字流路１７１〜１７５が形成された流路ブロック１２０と比べ、全長Ｌ１を短くできる。

【0042】

また、図３及び図４に示す接続流路７１〜７５は、例えば、上流側斜め流路７１ａ〜７５ａと下流側斜め流路７１ｂ〜７５ｂを流路ブロック２０にドリルで形成することにより、設けられる。一方、図８に示すＵ字流路１７１〜１７５は、例えば、貫通穴１７１ａ〜１７５ａ、１７１ｂ〜１７５ｂをドリルで形成し、貫通孔１７１ａ〜１７５ａと貫通孔１７１ｂ〜１７５ｂをそれぞれ連通させるように連通凹部１７１ｃ〜１７５ｃを切削等により開設し、蓋１９１，１９２を流路ブロック１２０に溶接して連通凹部１７１ｃ〜１７５ｃを気密に塞ぐことにより、設けられる。よって、接続流路７１〜７５は、Ｕ字流路１７１〜１７５より手間をかけず、簡単に、流路ブロック２０に形成できる。

【0043】

尚、図３に示すように、流路ブロック２０の長手方向両端には、ボルト１８１，１８２が貫き通される挿通穴２３，２４が形成されている。

【0044】

（流体供給集積ユニットの構成）
上記流体供給集積ユニット１は、例えば図５及び図６に示すように、複数の流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂを集積したものである。図５、図６において、流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂは構成が同じであるが、説明の便宜上、管部３１２の短い入力側配管継手３１を備える流体供給ユニット１０とその構成部品の符号に添え字「Ａ」を付記し、管部３１２の長い入力側配管継手３１を備える流体供給ユニット１０とその構成部品の符号に添え字「Ｂ」を付記している。尚、以下の説明において、部品を区別する必要がない場合には、添え字「Ａ」、「Ｂ」を適宜省略する。

【0045】

図５に示すように、流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂは、それぞれ、隣り合う流路ブロック２０Ａ，２０Ｂ同士を近接させるように配置され、ボルト１８１Ａ，１８２Ａ，１８１Ｂ，１８２Ｂを用いて取付パネル３０に固定されている。流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂは、出力側配管継手３２Ａの結合部３２２Ａ，３２３Ａと出力側配管継手３２Ｂの結合部３２２Ｂ，３２３Ｂが溶接等により相互に結合され、共通配管１８５を形成する。共通配管１８５は、例えば、半導体製造装置の処理室に接続される。

【0046】

流体供給ユニット１０の全長Ｌ１は、図８に示す従来の流体供給ユニット１１０の全長Ｌ１１より短い。そのため、図５及び図６に示す流体供給集積ユニット１は、取付パネル３０のパネル面積を、例えば図９に示す従来の流体供給集積ユニット１００の取付パネル１３０のパネル面積より小さくして、流体供給集積ユニット１００より設置面積を小さくできる。

【0047】

図５に示すように、流体供給ユニット１０Ａは、入力側配管継手３１Ａと第１バルブ１１１Ａを千鳥配列で配置している。そのため、流体供給ユニット１０Ａは、入力側配管継手３１Ａの図中右側において流路ブロック２０Ａの上方が空いている。流体供給ユニット１０Ｂも同様である。そのため、例えば、流体供給ユニット１０Ａは、図中Ｐ５に示すように、入力側配管継手３１Ａのナット部３１１Ａが固定部３１３Ａより図中右側に張り出す部分を流路ブロック２０Ａの上方に配置すると共に、図中Ｐ１に示すように、ナット部３１１Ａが固定部３１３Ａより図中左側に張り出す部分を、隣の流体供給ユニット１０Ｂの流路ブロック２０Ｂ上に配置できる。このように、隣り合う流体供給ユニット１０Ａは、流路ブロック２０Ａを隣の流体供給ユニット１０Ｂの流路ブロック２０Ｂに極力近づけて配置しても、流路ブロック２０Ａ，２０Ｂ上に入力側配管継手３１Ａ，３１Ｂの取り合いスペースを確保できるので、ライン間の無駄なスペースＳｘを省いたり、極力小さくしたりすることができる。尚、流体供給ユニット１０Ｂも同様である。

【0048】

ここで、図６に示すように、隣り合う流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂは、入力側配管継手３１Ａの管部３１２Ａが入力側配管継手３１Ｂの管部３１２Ｂより短いため、入力側配管継手３１Ａの先端部に設けたナット部３１１Ａが、入力側配管継手３１Ｂの先端部に設けたナット部３１１Ｂより低い位置に配置されている。流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂは、ナット部３１１Ａ，３１１Ｂの高さ（図１の図中Ｚ方向における位置）が異なっている。管部３１２Ｂの外径は、ナット部３１１Ｂの外径より小さい。そのため、図中Ｐ６に示すように、流体供給ユニット１０Ａのナット部３１１Ａは、隣の流体供給ユニット１０Ｂの管部３１２Ｂとの間に、ナット部３１１Ｂの隣に配置される場合より広いスペースを確保できる。このスペースを利用して、ユーザは、ナット部３１１Ａにスパナを装着し、ナット部３１１Ａを回すことができる。一方、図中Ｐ２に示すように、流体供給ユニット１０Ｂは、ナット部３１１Ａより高い位置にあるナット部３１１Ｂの周りにスパナを用いるスペースが形成される。

【0049】

よって、流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂは、図８に示す流体供給集積ユニット１００のようにライン間に無駄なスペースＳを設けなくても、ナット部３１１Ａ，３１１Ｂをスパナで回すのに必要なスペースを確保でき、流路ブロック２０Ａ，２０Ｂを近接させるように配置して無駄なスペースＳｘを省いたり、極力小さくしたりすることができる。

【0050】

図５に示すように、例えば、流体供給ユニット１０Ｂは、図中Ｐ４に示すように、固定部３２４Ｂより図中右側に張り出している結合部３２３Ｂは、図中右隣の流体供給ユニット１０Ａの流路ブロック２０Ａ上に配置され、出力側配管継手３２Ａの結合部３２２Ａに結合される。また、流体供給ユニット１０Ｂは、図中Ｐ３に示すように、固定部３２４Ｂより図中左側に張り出す結合部３２２Ｂが、流路ブロック２０Ｂ上に配置されている。結合部３２２Ｂは、流路ブロック２０の上方にて、図中左隣の流体供給ユニット１０Ａから流体供給ユニット１０Ｂ側に張り出している結合部３２３Ａに結合される。よって、流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂは、出力側配管継手３２の結合部３２２Ｂ，３２３Ｂを配置する取り合いスペースを流路ブロック２０Ａ，２０Ｂの間に確保する必要がなく、ライン間に形成される無駄なスペースＳｘを省いたり、極力小さくしたりすることができる。

【0051】

（流体供給集積ユニットの動作説明）
流体供給集積ユニット１は、それぞれ、流体供給ユニット１０の入力側配管継手３１が各種ガスの供給源に接続される。第１バルブ１１１は、それぞれ、手動弁１１６に接続されている。手動弁１１６は、通常、弁開され、第１バルブ１１１を弁開させる。手動弁１１６は、例えばメンテナンス時に弁閉され、第１バルブ１１１を弁閉させる。

【0052】

流体供給集積ユニット１は、半導体製造装置の図示しない処理室に特定のガスを供給する場合、特定のガスの供給源に接続する流体供給ユニット１０の第２バルブ１１２と第３バルブ１１４が弁開される。ＭＦＣ１１３は、第２バルブ１１２から入力したガスの流量を目標値に一致させるように流量を制御する。流量制御された特定のガスは、出力側配管継手３２から共通配管１８５に出力され、図示しない処理室に供給される。第２バルブ１１２と第３バルブ１１４は、特定のガスが図示しない処理室に所定量供給されると、弁閉される。

【0053】

（まとめ）
以上説明したように、本形態の流体供給ユニット１０は、入力側配管継手３１，第１バルブ１１１、第２バルブ１１２、ＭＦＣ１１３、第３バルブ１１４、出力側配管継手３２（以下、「複数の流体機器３１，１１１，１１２，１１３，１１４，３２」ともいう）と、複数の流体機器３１，１１１，１１２，１１３，１１４，３２が取り付けられる流路ブロック２０とを備える流体供給ユニット１０において、複数の流体機器３１，１１１，１１２，１１３，１１４，３２が、流路ブロック２０の取付面２１に、２列に並んで交互に取り付けられていること、流路ブロック２０は、１列目に配置される入力側配管継手３１、第２バルブ１１２、第３バルブ１１４に連通する接続ポート６１，６４，６５，６８，６９（以下、「第１接続ポート６１，６４，６５，６８，６９」ともいう）と、１列目の列方向に対して第１接続ポート６１，６４，６５，６８，６９の両側に設けられ、入力側配管継手３１、第２バルブ１１２、第３バルブ１１４を流路ブロック２０に取り付けるためのねじ１４１が締結されるネジ孔５１，５１，５３，５３，５５，５５（以下「第１ネジ孔５１，５１，５３，５３，５５，５５」ともいう）と、２列目に配置される第１バルブ１１１、ＭＦＣ１１３、出力側配管継手３２に連通する接続ポート６２，６３，６６，６７，７０（以下「第２接続ポート６２，６３，６６，６７，７０」ともいう）と、２列目の列方向に対して第２接続ポート６２，６３，６６，６７，７０の両側に設けられ、第１バルブ１１１、ＭＦＣ１１３、出力側配管継手３２を流路ブロック２０に取り付けるためのねじ１４１が締結されるネジ孔５２，５２，５４，５４，５６，５６（以下「第２ネジ孔５２，５２，５４，５４，５６，５６」ともいう）と、第１接続ポート６１，６４，６５，６８，６９と第２接続ポート６２，６３，６６，６７，７０とを接続する接続流路７１，７２，７３，７４，７５と、を有すること、を特徴とする。

【0054】

上記構成の流体供給ユニット１０は、複数の流体機器３１，１１１，１１２，１１３，１１４，３２を交互に列を変えて２列に並べて配置し、流路ブロック２０にネジ止めするので、複数の流体機器３１，１１１，１１２，１１３，１１４，３２を一列に配置して流路ブロック１２０にネジ止めする場合より全長が短くなる。また、流体供給ユニット１０は、集積時に、流体機器３１，１１１，１１２，１１３，１１４，３２が流路ブロック２０に取り付けられていないスペースを利用して取り合いスペースや作業スペースなどを確保できるので、流路ブロック２０を極力近づけて集積し、ライン間に形成される無駄なスペースＳｘを抑制できる。

【0055】

また、本形態の流体供給ユニット１０は、第１接続ポート６１，６４，６５，６８，６９と第２接続ポート６２，６３，６６，６７，７０の配置が、列方向に沿ってずれており、接続流路７１〜７５は、第１ネジ孔５１，５１，５３，５３，５５，５５と第２ネジ孔５２，５２，５４，５４，５６，５６を迂回してＶ字形に形成されている。

【0056】

上記構成の流体供給ユニット１０は、Ｖ字形の接続流路７１〜７５をネジ孔５１〜５６の間を迂回しながらジグザグ状に形成するので、流路ブロック２０の全長Ｌ１を短くできる。また、流体供給ユニット１０は、例えばドリルを用いてＶ字形の接続流路７１〜７５を流路ブロック２０に形成するので、流路加工の手間を軽減できる。

【0057】

また、本形態の流体供給ユニット１０は、複数の流体機器３１，１１１，１１２，１１３，１１４，３２は、入力側配管継手３１と、出力側配管継手３２と、第１〜第３バルブ１１１，１１２，１１４と、ＭＦＣ１１３とを含む。

【0058】

上記構成の流体供給ユニット１０は、入力側配管継手３１と出力側配管継手３２の幅Ｗ１２，Ｗ１３が第１〜第３バルブ１１１，１１２，１１４やＭＦＣ１１３の幅Ｗ１０より大きい場合でも、入力側配管継手３１を第１バルブ１１１やＭＦＣ１１３と列をずらして配置したり、出力側配管継手３２を第３バルブ１１４と列をずらして配置したりすることにより、流路ブロック２０上に入力側配管継手３１と出力側配管継手３２の取り合いスペースや作業スペースを確保できる。よって、本形態の流体供給ユニット１０によれば、ライン間に無駄なスペースＳｘを抑制して集積することができる。

【0059】

本形態の流体供給集積ユニット１は、流体供給ユニット１０を複数個有することを特徴とする。

【0060】

上記構成の流体供給集積ユニット１は、全長が短く、集積時にライン間に無駄なスペースＳｘが形成されることを抑制できる流体供給ユニット１０を集積したものであるので、複数の流体機器３１，１１１，１１２，１１３，１１４，３２を一列に並べて配置した従来の流体供給ユニット１１０を集積した場合より、設置面積を小さくすることができる。

【0061】

また、本形態の流体供給集積ユニット１において、複数の流体機器３１，１１１，１１２，１１３，１１４，３２の一つが、先端部にナット部３１１を備える入力側配管継手３１であり、隣り合う流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂに取り付けられる入力側配管継手３１Ａ，３１Ｂは、ナット部３１１Ａ，３１１Ｂの高さが異なる。

【0062】

このような流体供給集積ユニット１は、流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂを近接して配置しても、各流体供給ユニット１０Ａ，１０Ｂのナット部３１１Ａ，３１１Ｂをスパナ等で回すスペースを確保することができる。

【0063】

尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。

【0064】

例えば図１０に示す流体供給ユニット２１０のように、接続ポート６１〜７０をＸ方向に対して直角に設けた接続流路７６〜８０により接続しても良い。すなわち、流路ブロック２００は、入力側配管継手３１と第１バルブ１１１ｘと第２バルブ１１２ｘとＭＦＣ１１３と第３バルブ１１４ｘと出力側配管継手３２が取付面２００ａに２列に並んで配置され、ねじ１４１をネジ孔５１に締結することにより、取付面２００ａに固定されている。図１０及び図１１に示すように、流路ブロック２００は、接続ポート６１〜７０がＸ方向に対して直交するＹ方向に並んで設けられ、接続ポート６１〜７０を接続する接続流路７６〜８０がＹ方向に沿ってＶ字形に形成されている。但し、図２に示す流路ブロック２０のように、接続流路７１〜７５がＸ方向に対して斜めに形成される場合、第１〜第３バルブ１１１，１１２，１１４は、図９に示す第１〜第３バルブ１１１ｘ，１１２ｘ，１１４ｘより、入力ポートと出力ポートとの間隔が狭く、Ｘ方向の面間寸法が小さい。そのため、図２に示す流路ブロック２０は、図９に示す流路ブロック２００よりＸ方向の全長Ｌ１が短くなり、図２に示す流体供給ユニット１０は、図９に示す流体供給ユニット２１０より設置面積が小さくなる。その結果、流体供給ユニット１０を集積した流体供給集積ユニット１は、流体供給ユニット２１０を集積した流体供給集積ユニットより設置面積を小さくできる。

【0065】

流路ブロック２０に取り付けられる機器の種類や数は、上記形態に限定されない。

【0066】

上記流体供給ユニット１０、流体供給集積ユニット１、及び、流路ブロック２０は、半導体製造装置以外の装置に用いても良い。また、流体は、ガスだけなく、薬液等の液体であっても良い。

【0067】

流路ブロック２０は、樹脂など、金属以外の材料で形成されても良い。

【0068】

接続流路７１〜７５は、Ｖ字形状に限定されず、Ｕ字形などに形成しても良い。但し、接続流路７１〜７５をＶ字形に形成することにより、流路の長さを短くしたり、流路加工の手間を軽減したりすることができる。

【符号の説明】

【0069】

１ 流体供給集積ユニット
１０ 流体供給ユニット
２０ 流路ブロック
２１ 取付面
５１〜５６ ネジ孔
６１〜７０ 接続ポート
３１ 入力側配管継手
１１１ 第１バルブ
１１２ 第２バルブ
１１３ ＭＦＣ
１１４ 第３バルブ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】