【図1】本発明の一実施形態に従った波長変調器を含むリソグラフィ装置を示す。

【図2】基板のエッジ部分及び既知のリソグラフィ装置の投影システムの焦点面の一部を概略的に示す。

【図3】本発明の一実施形態における波長変調器として使用できる音響光学変調器を概略的に示す。

【図4】本発明の一実施形態に従った波長変調器を含むリソグラフィ装置の一部を概略的に示す。

【図5A】本発明の一実施形態に従った波長変調器及び偏向器を含むリソグラフィ装置の一部を概略的に示す。

【図5B】本発明の一実施形態に従った波長変調器及び偏向器を含むリソグラフィ装置の一部を概略的に示す。

【図6】本発明の一実施形態に従った、放射源、投影システム、波長変調器、及び偏向器を含むリソグラフィ装置の一部を概略的に示す。

【図7】本発明の一実施形態に従った、放射源、投影システム、波長変調器、及び偏向器を含む異なるリソグラフィ装置の一部を概略的に示す。

【図8】本発明の一実施形態に従った、トポグラフィ測定システム、プロセッサ、コントローラ、及び波長変調器を含むリソグラフィ装置の一部を概略的に示す。