特許6980101耐プラズマ特性が向上したプラズマエッチング装置用部材及びその製造方法

発明の名称　耐プラズマ特性が向上したプラズマエッチング装置用部材及びその製造方法

出願人　コミコ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 516020581）

　　　　特許公開件数ランキング 12243 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 10267 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6980101

公報発行日　2021年12月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6980101

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