特許6981460バッフルユニット、これを含む基板処理装置

発明の名称　バッフルユニット、これを含む基板処理装置

出願人　ピーエスケー　インコーポレイテッド　（識別番号 519362963）

　　　　特許公開件数ランキング 6928 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4065 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6981460

公報発行日　2021年12月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6981460

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