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特許6981918基板処理方法、基板処理装置、およびコンピュータプログラム

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6981918

(24)【登録日】2021年11月22日

(45)【発行日】2021年12月17日

(54)【発明の名称】基板処理方法、基板処理装置、およびコンピュータプログラム

(51)【国際特許分類】

H01L 21/02 20060101AFI20211206BHJP

H01L 21/304 20060101ALI20211206BHJP

【ＦＩ】

H01L21/02 Z

H01L21/304 651B

H01L21/304 648H

【請求項の数】11

【全頁数】42

(21)【出願番号】特願2018-92485(P2018-92485)

(22)【出願日】2018年5月11日

(65)【公開番号】特開2019-197871(P2019-197871A)

(43)【公開日】2019年11月14日

【審査請求日】2020年12月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】110002310

【氏名又は名称】特許業務法人あい特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】森井俊樹

【審査官】杢哲次

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７−１８３５４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４−７８６７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７−１１０２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０−３３５４１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１−３５１８４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平７−２８３０９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１−２５３８９７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ２１／０２

Ｈ０１Ｌ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ロードポート上のキャリアから基板を処理する複数の処理ユニットまで基板搬送システムに前記基板を搬送させる基板処理装置によって実行される基板処理方法であって、
前記複数の処理ユニットのそれぞれが、前記ロードポート上の前記キャリアから前記処理ユニットに前記基板を搬送するのに要する搬送時間、または、前記ロードポートから前記処理ユニットまでの距離を表す搬送距離に基づいて分類された複数の処理区画のいずれに属するかを確認する所属確認ステップと、
前記処理ユニットが前記基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて取得するユニット最終使用時刻取得ステップと、
前記ユニット最終使用時刻取得ステップで取得された複数の前記ユニット最終使用時刻と前記複数の処理ユニットについての前記搬送時間とに基づいて、同じ前記処理ユニットにおいて前記ユニット最終使用時刻から前記搬送時間を引いた時刻を表す修正ユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて計算する修正ユニット最終使用時刻計算ステップと、
前記修正ユニット最終使用時刻計算ステップで得られた複数の前記修正ユニット最終使用時刻に基づいて、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの前記修正ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を、前記複数の処理区画のそれぞれについて特定する区画最終使用時刻特定ステップと、
前記区画最終使用時刻特定ステップで特定された複数の前記区画最終使用時刻に基づいて、前記区画最終使用時刻が最も古い１つの前記処理区画を、前記複数の処理区画の中から選択する区画選択ステップと、
前記区画選択ステップで選択した前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの中から１つの前記処理ユニットを選択するユニット選択ステップと、
前記基板搬送システムに前記基板を前記ロードポート上の前記キャリアから前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットまで搬送させる基板搬送ステップと、を含む、基板処理方法。

【請求項2】

ロードポート上のキャリアから基板を処理する複数の処理ユニットまで基板搬送システムに前記基板を搬送させる基板処理装置によって実行される基板処理方法であって、
前記複数の処理ユニットのそれぞれが、前記ロードポート上の前記キャリアから前記処理ユニットに前記基板を搬送するのに要する搬送時間、または、前記ロードポートから前記処理ユニットまでの距離を表す搬送距離に基づいて分類された複数の処理区画のいずれに属するかを確認する所属確認ステップと、
前記処理ユニットが前記基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて取得するユニット最終使用時刻取得ステップと、
前記ユニット最終使用時刻取得ステップで取得された複数の前記ユニット最終使用時刻に基づいて、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの前記ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を、前記複数の処理区画のそれぞれについて特定する区画最終使用時刻特定ステップと、
前記区画最終使用時刻特定ステップで特定された複数の前記区画最終使用時刻に基づいて、前記区画最終使用時刻が最も古い１つの前記処理区画を、前記複数の処理区画の中から選択する区画選択ステップと、
前記区画選択ステップで選択した前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの中から１つの前記処理ユニットを選択するユニット選択ステップと、
前記基板搬送システムに前記基板を前記ロードポート上の前記キャリアから前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットまで搬送させる基板搬送ステップと、を含む、基板処理方法。

【請求項3】

前記修正ユニット最終使用時刻計算ステップの前に、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットのための前記搬送時間として同じ値を登録する搬送時間登録ステップをさらに含む、請求項１に記載の基板処理方法。

【請求項4】

前記区画選択ステップは、前記区画最終使用時刻が最も古い前記処理区画を前記複数の処理区画の中で検索する第１検索ステップと、前記第１検索ステップで複数の前記処理区画が候補区画として見つかった場合、前記ユニット最終使用時刻が最も古い前記処理ユニットの数が最大の前記処理区画を、前記候補区画に含まれる複数の前記処理区画の中で検索する第２検索ステップと、前記第２検索ステップで見つかった少なくとも１つの前記処理区画の中から１つの前記処理区画を選択する選択ステップと、を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板処理方法。

【請求項5】

前記複数の処理ユニットのいずれかに搬送された直近の基板の処理時間よりも短い処理時間で、前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットに前記基板搬送ステップの後に前記基板を処理させる基板処理ステップをさらに含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板処理方法。

【請求項6】

基板を収容するキャリアが載置されるロードポートと、
前記ロードポート上の前記キャリアから搬送された前記基板を処理する複数の処理ユニットと、
前記ロードポート上の前記キャリアと前記複数の処理ユニットとの間で前記基板を搬送する基板搬送システムと、
前記基板搬送システムを制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記複数の処理ユニットのそれぞれが、前記ロードポート上の前記キャリアから前記処理ユニットに前記基板を搬送するのに要する搬送時間、または、前記ロードポートから前記処理ユニットまでの距離を表す搬送距離に基づいて分類された複数の処理区画のいずれに属するかを確認する所属確認ステップと、
前記処理ユニットが前記基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて取得するユニット最終使用時刻取得ステップと、
前記ユニット最終使用時刻取得ステップで取得された複数の前記ユニット最終使用時刻と前記複数の処理ユニットについての前記搬送時間とに基づいて、同じ前記処理ユニットにおいて前記ユニット最終使用時刻から前記搬送時間を引いた時刻を表す修正ユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて計算する修正ユニット最終使用時刻計算ステップと、
前記修正ユニット最終使用時刻計算ステップで得られた複数の前記修正ユニット最終使用時刻に基づいて、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの前記修正ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を、前記複数の処理区画のそれぞれについて特定する区画最終使用時刻特定ステップと、
前記区画最終使用時刻特定ステップで特定された複数の前記区画最終使用時刻に基づいて、前記区画最終使用時刻が最も古い１つの前記処理区画を、前記複数の処理区画の中から選択する区画選択ステップと、
前記区画選択ステップで選択した前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの中から１つの前記処理ユニットを選択するユニット選択ステップと、
前記基板搬送システムに前記基板を前記ロードポート上の前記キャリアから前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットまで搬送させる基板搬送ステップと、を実行する、基板処理装置。

【請求項7】

基板を収容するキャリアが載置されるロードポートと、
前記ロードポート上の前記キャリアから搬送された前記基板を処理する複数の処理ユニットと、
前記ロードポート上の前記キャリアと前記複数の処理ユニットとの間で前記基板を搬送する基板搬送システムと、
前記基板搬送システムを制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記複数の処理ユニットのそれぞれが、前記ロードポート上の前記キャリアから前記処理ユニットに前記基板を搬送するのに要する搬送時間、または、前記ロードポートから前記処理ユニットまでの距離を表す搬送距離に基づいて分類された複数の処理区画のいずれに属するかを確認する所属確認ステップと、
前記処理ユニットが前記基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて取得するユニット最終使用時刻取得ステップと、
前記ユニット最終使用時刻取得ステップで取得された複数の前記ユニット最終使用時刻に基づいて、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの前記ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を、前記複数の処理区画のそれぞれについて特定する区画最終使用時刻特定ステップと、
前記区画最終使用時刻特定ステップで特定された複数の前記区画最終使用時刻に基づいて、前記区画最終使用時刻が最も古い１つの前記処理区画を、前記複数の処理区画の中から選択する区画選択ステップと、
前記区画選択ステップで選択した前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの中から１つの前記処理ユニットを選択するユニット選択ステップと、
前記基板搬送システムに前記基板を前記ロードポート上の前記キャリアから前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットまで搬送させる基板搬送ステップと、を実行する、基板処理装置。

【請求項8】

前記制御装置は、前記修正ユニット最終使用時刻計算ステップの前に、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットのための前記搬送時間として同じ値を登録する搬送時間登録ステップをさらに実行する、請求項６に記載の基板処理装置。

【請求項9】

前記区画選択ステップは、前記区画最終使用時刻が最も古い前記処理区画を前記複数の処理区画の中で検索する第１検索ステップと、前記第１検索ステップで複数の前記処理区画が候補区画として見つかった場合、前記ユニット最終使用時刻が最も古い前記処理ユニットの数が最大の前記処理区画を、前記候補区画に含まれる複数の前記処理区画の中で検索する第２検索ステップと、前記第２検索ステップで見つかった少なくとも１つの前記処理区画の中から１つの前記処理区画を選択する選択ステップと、を含む、請求項６〜８のいずれか一項に記載の基板処理装置。

【請求項10】

前記制御装置は、前記複数の処理ユニットのいずれかに搬送された直近の基板の処理時間よりも短い処理時間で、前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットに前記基板搬送ステップの後に前記基板を処理させる基板処理ステップをさらに実行する、請求項６〜９のいずれか一項に記載の基板処理装置。

【請求項11】

ロードポート上のキャリアから基板を処理する複数の処理ユニットまで基板搬送システムに前記基板を搬送させる基板処理装置に備えられた制御装置によって実行されるコンピュータプログラムであって、
請求項１〜５のいずれか一項に記載の基板処理方法を前記制御装置としてのコンピュータに実行させるようにステップ群が組み込まれたコンピュータプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板を処理する基板処理方法および基板処理装置と、基板処理装置に備えられた制御装置によって実行されるコンピュータプログラムとに関する。処理対象の基板には、たとえば、半導体ウエハ、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板、液晶表示装置や有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置などのＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板などが含まれる。

【背景技術】

【0002】

半導体装置や液晶表示装置などの製造工程では、半導体ウエハや液晶表示装置用ガラス基板などの基板を処理する基板処理装置が用いられる。特許文献１には、複数の処理ユニットを備える基板処理装置のためのスケジューリングが開示されている。
特許文献１に記載のスケジューリングでは、複数の処理ユニットが搬送経路長または搬送時間に基づいて複数の処理区画に分類されている。基板を処理するスケジュールを作成するときは、複数の処理区画の中から１つの処理区画が選択される。その後、選択された処理区画に属する複数の処理ユニットの中から１つの処理ユニットが選択される。スケジュールは、選択された処理ユニットで基板が処理されるように作成される。このスケジュールが実行されることで、基板が実際に搬送および処理される。

【0003】

また、特許文献１に記載のスケジューリングでは、区画使用率の大小関係に基づいて処理区画を選択し、区画使用率が等しい複数の処理区画が存在する場合は、区画最終使用時刻に基づいて処理区画を選択することが開示されている。区画使用率は、基板の処理のために要する時間を当該基板を処理する処理区画における有効な（利用可能な）処理ユニットの数で除した値である。

【0004】

特許文献１の段落００５９には、「当該処理区画ＰＺに属する処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻のうちで最も遅いものを区画最終使用時刻として記憶部６３に登録する。」との記載がある。特許文献１の段落００９９には、「区画使用率に第１優先順位が与えられ、区画最終使用時刻に第２優先順位が与えられ、区画番号（搬送距離または搬送時間）に対して第３優先順位が与えられている。しかし、区画最終使用時刻と区画使用率の優先順位を反転してもよい。」との記載がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１７−１８３５４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１に記載のスケジューリングは、区画使用率の大小関係に基づいて処理区画を選択することで複数の処理区画を均等に選択し、基板処理装置に備えられた全ての処理ユニットが満遍なく使用されるようにスケジュールを作成している。
しかしながら、本発明者の研究によると、特許文献１に記載のスケジューリングでは、各処理区画における基板の投入状況を判断することができず、そのため、空いている処理ユニットが他の処理区画に存在するにもかかわらず、全ての処理ユニットが使用中の処理区画が選択される場合があることが分かった。

【0007】

具体的には、基板の処理時間が減少する場合にこのような処理区画が選択されることが分かった。たとえば、図１７に示すように、６枚目の基板Ｗ６は、第１処理区画ＰＺ１および第２処理区画ＰＺ１に空いている処理ユニットＭＰＣがあるにもかかわらず、第３処理区画ＰＺ３に属する処理ユニットＭＰＣ１７で処理される。この場合、処理ユニットＭＰＣ１７が空くまで基板Ｗ６の搬送を遅らせる必要があり、基板処理装置の稼働率が低下してしまう。したがって、特許文献１に記載の発明には改善の余地がある。

【0008】

そこで、本発明の目的の一つは、基板処理装置に備えられた全ての処理ユニットを満遍なく使用するとともに、基板処理装置の稼働率を高めることができる基板処理方法、基板処理装置、およびコンピュータプログラムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

前記目的を達成するための請求項１記載の発明は、ロードポート上のキャリアから基板を処理する複数の処理ユニットまで基板搬送システムに前記基板を搬送させる基板処理装置によって実行される基板処理方法であって、前記複数の処理ユニットのそれぞれが、前記ロードポート上の前記キャリアから前記処理ユニットに前記基板を搬送するのに要する搬送時間、または、前記ロードポートから前記処理ユニットまでの距離を表す搬送距離に基づいて分類された複数の処理区画のいずれに属するかを確認する所属確認ステップと、前記処理ユニットが前記基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて取得するユニット最終使用時刻取得ステップと、前記ユニット最終使用時刻取得ステップで取得された複数の前記ユニット最終使用時刻と前記複数の処理ユニットについての前記搬送時間とに基づいて、同じ前記処理ユニットにおいて前記ユニット最終使用時刻から前記搬送時間を引いた時刻を表す修正ユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて計算する修正ユニット最終使用時刻計算ステップと、前記修正ユニット最終使用時刻計算ステップで得られた複数の前記修正ユニット最終使用時刻に基づいて、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの前記修正ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を、前記複数の処理区画のそれぞれについて特定する区画最終使用時刻特定ステップと、前記区画最終使用時刻特定ステップで特定された複数の前記区画最終使用時刻に基づいて、前記区画最終使用時刻が最も古い１つの前記処理区画を、前記複数の処理区画の中から選択する区画選択ステップと、前記区画選択ステップで選択した前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの中から１つの前記処理ユニットを選択するユニット選択ステップと、前記基板搬送システムに前記基板を前記ロードポート上の前記キャリアから前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットまで搬送させる基板搬送ステップと、を含む、基板処理方法である。

【0010】

この構成によれば、区画使用率の大小関係に基づいて処理区画を選択するのではなく、区画最終使用時刻に基づいて複数の処理区画の中から１つの処理区画を選択する。そして、選択された処理区画に属する複数の処理ユニットの中から１つの処理ユニットを選択する。その後、基板が、基板搬送システムによって、ロードポート上のキャリアから、選択された処理ユニットに搬送される。したがって、基板の処理時間が変化しない場合だけでなく、基板の処理時間が減少する場合も、複数の処理区画を均等に選択でき、基板処理装置に備えられた全ての処理ユニットを満遍なく使用することができる。これにより、基板処理装置の稼働率を高めることができる。

【0011】

しかも、区画最終使用時刻は、最も古いユニット最終使用時刻ではなく、最も古い修正ユニット最終使用時刻に基づいて特定される。修正ユニット最終使用時刻は、処理ユニットが基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻から、ロードポート上のキャリアから処理ユニットに基板を搬送するのに要する搬送時間を引いた時刻である。したがって、複数の処理区画の間での搬送時間の差を減らすことができ、ロードポートに近い方の処理区画ばかりが選択されることを回避できる。これにより、複数の処理区画をさらに均等に選択できる。

【0012】

請求項２に記載の発明は、ロードポート上のキャリアから基板を処理する複数の処理ユニットまで基板搬送システムに前記基板を搬送させる基板処理装置によって実行される基板処理方法であって、前記複数の処理ユニットのそれぞれが、前記ロードポート上の前記キャリアから前記処理ユニットに前記基板を搬送するのに要する搬送時間、または、前記ロードポートから前記処理ユニットまでの距離を表す搬送距離に基づいて分類された複数の処理区画のいずれに属するかを確認する所属確認ステップと、前記処理ユニットが前記基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて取得するユニット最終使用時刻取得ステップと、前記ユニット最終使用時刻取得ステップで取得された複数の前記ユニット最終使用時刻に基づいて、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの前記ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を、前記複数の処理区画のそれぞれについて特定する区画最終使用時刻特定ステップと、前記区画最終使用時刻特定ステップで特定された複数の前記区画最終使用時刻に基づいて、前記区画最終使用時刻が最も古い１つの前記処理区画を、前記複数の処理区画の中から選択する区画選択ステップと、前記区画選択ステップで選択した前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの中から１つの前記処理ユニットを選択するユニット選択ステップと、前記基板搬送システムに前記基板を前記ロードポート上の前記キャリアから前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットまで搬送させる基板搬送ステップと、を含む、基板処理方法である。

【0013】

【0014】

基板処理の開始時刻は、基板が処理ユニット内に搬入される時刻であってもよいし、基板の回転を開始する時刻であってもよいし、これら以外であってもよい。基板処理の終了時刻、つまり、ユニット最終使用時刻は、基板が処理ユニットから搬出される時刻であってもよいし、基板の回転を停止する時刻であってもよいし、これら以外であってもよい。基板が処理ユニット内に搬入される時刻および処理ユニットから搬出される時刻は、たとえば、処理ユニットの処理チャンバに設けられた開口を開閉するシャッターが開位置（開口が開かれる位置）への移動を開始する時刻であってもよい。

【0015】

請求項３に記載の発明は、前記修正ユニット最終使用時刻計算ステップの前に、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットのための前記搬送時間として同じ値を登録する搬送時間登録ステップをさらに含む、請求項１に記載の基板処理方法である。
この構成によれば、同じ処理区画に属する複数の処理ユニットについては、同じ値が搬送時間として登録される。同じ処理区画に属する複数の処理ユニットであっても、搬送距離が厳密には異なるので、搬送時間も厳密には異なる。しかしながら、属する処理区画が同じであれば、搬送時間の差は僅かであり、搬送時間はこれらの処理ユニットの間で概ね等しい。したがって、同じ処理区画に属する複数の処理ユニットについて同じ値を搬送時間として登録すれば、これらの処理区画の間での搬送時間の差を減らしながら、搬送時間の設定を単純化できる。

【0016】

請求項４に記載の発明は、前記区画選択ステップは、前記区画最終使用時刻が最も古い前記処理区画を前記複数の処理区画の中で検索する第１検索ステップと、前記第１検索ステップで複数の前記処理区画が候補区画として見つかった場合、前記ユニット最終使用時刻が最も古い前記処理ユニットの数が最大の前記処理区画を、前記候補区画に含まれる複数の前記処理区画の中で検索する第２検索ステップと、前記第２検索ステップで見つかった少なくとも１つの前記処理区画の中から１つの前記処理区画を選択する選択ステップと、を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板処理方法である。

【0017】

この構成によれば、区画最終使用時刻が最も古い複数の処理区画があった場合は、ユニット最終使用時刻が最も古い処理ユニットの数が最大の処理区画が、それらの処理区画の中から選択される。選択された処理ユニットに基板を搬送する前や選択された処理ユニットに基板を搬送しているときに、その処理ユニットに異常が発生した場合は、別の処理ユニットを選択し直す必要がある。このような場合、同じ処理区画の中にユニット最終使用時刻が最も古い別の処理ユニットがあれば、その処理ユニットを新たな処理ユニットとして選択できる。したがって、比較的簡単な変更で基板の新たな搬送経路を設定できる。

【0018】

前記区画選択ステップは、前記第２検索ステップで複数の前記処理区画が見つかった場合、前記搬送時間または搬送距離が最小の前記処理区画を、前記第２検索ステップで見つかった複数の前記処理区画の中で検索する第３検索ステップをさらに含んでいてもよい。この場合、前記選択ステップは、前記第３検索ステップで見つかった少なくとも１つの前記処理区画の中から１つの前記処理区画を選択するステップであってもよい。

【0019】

前記基板処理方法は、前記ユニット最終使用時刻取得ステップの前に、全ての前記処理ユニットの前記ユニット最終使用時刻を同じ値（たとえば、０）に変更する最終使用時刻初期化ステップをさらに含んでいてもよい。
請求項５に記載の発明は、前記複数の処理ユニットのいずれかに搬送された直近の基板の処理時間よりも短い処理時間で、前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットに前記基板搬送ステップの後に前記基板を処理させる基板処理ステップをさらに含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板処理方法である。

【0020】

この構成によれば、基板の処理時間が直近の基板よりも減少している。このような場合でも、区画最終使用時刻に基づいて複数の処理区画の中から１つの処理区画を選択するので、区画使用率の大小関係に基づいて処理区画を選択する場合に比べて複数の処理区画を均等に選択できる。したがって、基板の搬送経路や処理時間が異なる場合でも、全ての処理ユニットを満遍なく使用することができ、基板処理装置の稼働率をさらに高めることができる。

【0021】

請求項６に記載の発明は、基板を収容するキャリアが載置されるロードポートと、前記ロードポート上の前記キャリアから搬送された前記基板を処理する複数の処理ユニットと、前記ロードポート上の前記キャリアと前記複数の処理ユニットとの間で前記基板を搬送する基板搬送システムと、前記基板搬送システムを制御する制御装置と、を備える、基板処理装置である。

【0022】

前記制御装置は、前記複数の処理ユニットのそれぞれが、前記ロードポート上の前記キャリアから前記処理ユニットに前記基板を搬送するのに要する搬送時間、または、前記ロードポートから前記処理ユニットまでの距離を表す搬送距離に基づいて分類された複数の処理区画のいずれに属するかを確認する所属確認ステップと、前記処理ユニットが前記基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて取得するユニット最終使用時刻取得ステップと、前記ユニット最終使用時刻取得ステップで取得された複数の前記ユニット最終使用時刻と前記複数の処理ユニットについての前記搬送時間とに基づいて、同じ前記処理ユニットにおいて前記ユニット最終使用時刻から前記搬送時間を引いた時刻を表す修正ユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて計算する修正ユニット最終使用時刻計算ステップと、前記修正ユニット最終使用時刻計算ステップで得られた複数の前記修正ユニット最終使用時刻に基づいて、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの前記修正ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を、前記複数の処理区画のそれぞれについて特定する区画最終使用時刻特定ステップと、前記区画最終使用時刻特定ステップで特定された複数の前記区画最終使用時刻に基づいて、前記区画最終使用時刻が最も古い１つの前記処理区画を、前記複数の処理区画の中から選択する区画選択ステップと、前記区画選択ステップで選択した前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの中から１つの前記処理ユニットを選択するユニット選択ステップと、前記基板搬送システムに前記基板を前記ロードポート上の前記キャリアから前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットまで搬送させる基板搬送ステップと、を実行する。この構成によれば、前述の効果と同様な効果を奏することができる。

【0023】

請求項７に記載の発明は、基板を収容するキャリアが載置されるロードポートと、前記ロードポート上の前記キャリアから搬送された前記基板を処理する複数の処理ユニットと、前記ロードポート上の前記キャリアと前記複数の処理ユニットとの間で前記基板を搬送する基板搬送システムと、前記基板搬送システムを制御する制御装置と、を備える、基板処理装置である。

【0024】

前記制御装置は、前記複数の処理ユニットのそれぞれが、前記ロードポート上の前記キャリアから前記処理ユニットに前記基板を搬送するのに要する搬送時間、または、前記ロードポートから前記処理ユニットまでの距離を表す搬送距離に基づいて分類された複数の処理区画のいずれに属するかを確認する所属確認ステップと、前記処理ユニットが前記基板の処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻を、前記複数の処理ユニットのそれぞれについて取得するユニット最終使用時刻取得ステップと、前記ユニット最終使用時刻取得ステップで取得された複数の前記ユニット最終使用時刻に基づいて、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの前記ユニット最終使用時刻のうちで最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を、前記複数の処理区画のそれぞれについて特定する区画最終使用時刻特定ステップと、前記区画最終使用時刻特定ステップで特定された複数の前記区画最終使用時刻に基づいて、前記区画最終使用時刻が最も古い１つの前記処理区画を、前記複数の処理区画の中から選択する区画選択ステップと、前記区画選択ステップで選択した前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットの中から１つの前記処理ユニットを選択するユニット選択ステップと、前記基板搬送システムに前記基板を前記ロードポート上の前記キャリアから前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットまで搬送させる基板搬送ステップと、を実行する。この構成によれば、前述の効果と同様な効果を奏することができる。

【0025】

請求項８に記載の発明は、前記制御装置は、前記修正ユニット最終使用時刻計算ステップの前に、同じ前記処理区画に属する複数の前記処理ユニットのための前記搬送時間として同じ値を登録する搬送時間登録ステップをさらに実行する、請求項６に記載の基板処理装置である。この構成によれば、前述の効果と同様な効果を奏することができる。
請求項９に記載の発明は、前記区画選択ステップは、前記区画最終使用時刻が最も古い前記処理区画を前記複数の処理区画の中で検索する第１検索ステップと、前記第１検索ステップで複数の前記処理区画が候補区画として見つかった場合、前記ユニット最終使用時刻が最も古い前記処理ユニットの数が最大の前記処理区画を、前記候補区画に含まれる複数の前記処理区画の中で検索する第２検索ステップと、前記第２検索ステップで見つかった少なくとも１つの前記処理区画の中から１つの前記処理区画を選択する選択ステップと、を含む、請求項６〜８のいずれか一項に記載の基板処理装置である。この構成によれば、前述の効果と同様な効果を奏することができる。

【0026】

請求項１０に記載の発明は、前記制御装置は、前記複数の処理ユニットのいずれかに搬送された直近の基板の処理時間よりも短い処理時間で、前記ユニット選択ステップで選択した前記処理ユニットに前記基板搬送ステップの後に前記基板を処理させる基板処理ステップをさらに実行する、請求項６〜９のいずれか一項に記載の基板処理装置である。この構成によれば、前述の効果と同様な効果を奏することができる。

【0027】

請求項１１に記載の発明は、ロードポート上のキャリアから基板を処理する複数の処理ユニットまで基板搬送システムに前記基板を搬送させる基板処理装置に備えられた制御装置によって実行されるコンピュータプログラムであって、請求項１〜５のいずれか一項に記載の基板処理方法を前記制御装置としてのコンピュータに実行させるようにステップ群が組み込まれたコンピュータプログラムである。前記コンピュータプログラムは、コンピュータ読取可能な記録媒体に記録されていてもよい。記録媒体は、コンパクトディスクなどの光ディスクであってもよいし、メモリーカードなどの半導体メモリーであってもよい。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の模式的な平面図である。

【図2】図１に示す切断線ＩＩ−ＩＩ線に沿う鉛直断面を示す基板処理装置の模式的な断面図である。

【図3】処理ユニットの構成例を説明するための模式的な断面図である。

【図4】処理ユニットの他の構成例を説明するための模式的な断面図である。

【図5】基板処理装置の電気的構成を説明するためのブロック図である。

【図6】基板処理装置に備えられたコンピュータによって実行される処理例を説明するためのフローチャートである。

【図7A】スケジューリングに際して作成される仮タイムテーブルを示すタイムチャートである。

【図7B】スケジューリングに際して作成される仮タイムテーブルを示すタイムチャートである。

【図7C】スケジューリングに際して作成される仮タイムテーブルを示すタイムチャートである。

【図8】処理区画選択処理（図６のステップＳ３）の一例を説明するためのフローチャートである。

【図9A】コンピュータの記憶部に記憶された処理区画データの一例を示す表である。

【図9B】コンピュータの記憶部に記憶された処理区画データの他の例を示す表である。

【図10A】１枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図10B】２枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図10C】３枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図10D】４枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図10E】５枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図11A】第１処理区画に属する４つの処理ユニットが無効な状態において、１枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図11B】第１処理区画に属する４つの処理ユニットが無効な状態において、２枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図11C】第１処理区画に属する４つの処理ユニットが無効な状態において、３枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図11D】第１処理区画に属する４つの処理ユニットが無効な状態において、４枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図11E】第１処理区画に属する４つの処理ユニットが無効な状態において、５枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図11F】第１処理区画に属する４つの処理ユニットが無効な状態において、６枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図12】全ての処理ユニットを使用するスケジュールが作成された後のユニット最終使用時刻、搬送時間、および修正ユニット最終使用時刻の一例を示す表である。

【図13A】全ての処理ユニットを使用するスケジュールが作成された後に、１枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図13B】全ての処理ユニットを使用するスケジュールが作成された後に、２枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図13C】全ての処理ユニットを使用するスケジュールが作成された後に、３枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図13D】全ての処理ユニットを使用するスケジュールが作成された後に、４枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図13E】全ての処理ユニットを使用するスケジュールが作成された後に、５枚目の基板のスケジュールを作成するときの投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。

【図14A】第１実施例に係る投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表であり、１枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図14B】第１実施例に係る投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表であり、２枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図14C】第１実施例に係る投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表であり、３枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図14D】第１実施例に係る投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表であり、４枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図14E】第１実施例に係る投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表であり、５枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図14F】第１実施例に係る投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表であり、６枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図15A】第１実施例に係るスケジュールを示すタイムチャートであり、基板を第１処理時間処理する第１レシピが適用された１〜２枚目の基板のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。

【図15B】第１実施例に係るスケジュールを示すタイムチャートであり、基板を第２処理時間処理する第２レシピが適用された３〜６枚目の基板のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。

【図16A】第１比較例に係る区画使用率、区画最終使用時刻、有効チャンバ数の一例を示す表であり、１枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図16B】第１比較例に係る区画使用率、区画最終使用時刻、有効チャンバ数の一例を示す表であり、２枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図16C】第１比較例に係る区画使用率、区画最終使用時刻、有効チャンバ数の一例を示す表であり、３枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図16D】第１比較例に係る区画使用率、区画最終使用時刻、有効チャンバ数の一例を示す表であり、４枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図16E】第１比較例に係る区画使用率、区画最終使用時刻、有効チャンバ数の一例を示す表であり、５枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図16F】第１比較例に係る区画使用率、区画最終使用時刻、有効チャンバ数の一例を示す表であり、６枚目の基板のスケジュールを作成する前の状態を示している。

【図17】第１比較例に係るスケジュールを示すタイムチャートであり、区画使用率を最初に優先して処理区画を選択し、３〜６枚目の基板のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。

【図18】第２実施例に係るユニット最終使用時刻、搬送時間、および修正ユニット最終使用時刻の一例を示す表である。

【図19A】第２実施例に係るスケジュールを示すタイムチャートであり、基板を第１処理時間処理する第１レシピが適用された１〜１１枚目の基板のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。

【図19B】第２実施例に係るスケジュールを示すタイムチャートであり、図１９Ａの続きを示している。

【図19C】第２実施例に係るスケジュールを示すタイムチャートであり、基板を第２処理時間処理する第２レシピが適用された１２枚目の基板のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。

【図19D】第２実施例に係るスケジュールを示すタイムチャートであり、基板を第２処理時間処理する第２レシピが適用された１３〜１５枚目の基板のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。

【図20】第２比較例に係るスケジュールを示すタイムチャートであり、区画使用率を最初に優先して処理区画を選択し、１２〜１５枚目の基板のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下では、本発明の実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置１の模式的な平面図である。図２は、図１に示す切断線ＩＩ−ＩＩ線に沿う鉛直断面を示す基板処理装置１の模式的な断面図である。
基板処理装置１は、半導体ウエハなどの円板状の基板Ｗを１枚ずつ処理する枚葉式の装置である。基板処理装置１は、キャリア保持部２と、インデクサ部３と、処理部４とを含む。

【0030】

キャリア保持部２は、複数枚の基板Ｗを収容可能な基板収容器であるキャリアＣをそれぞれ保持する複数のロードポートＬＰを含む。ロードポートＬＰは、キャリアＣを保持するキャリア保持ユニットである。ロードポートＬＰは、キャリアＣが基板処理装置１に投入される位置である。キャリアＣは、ロードポートＬＰによって開閉される。
インデクサ部３は、インデクサロボットＩＲを含む。インデクサロボットＩＲは、キャリア保持部２上に載置されたキャリアＣから未処理の基板Ｗを取り出して処理部４に渡す搬入動作と、処理部４から処理済みの基板Ｗを受け取ってキャリア保持部２に保持されたキャリアＣに収納する収納動作とを実行する。

【0031】

処理部４は、複数の処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４（以下総称するときには「処理ユニットＭＰＣ」という。）と、第１主搬送ロボットＣＲ１と、第２主搬送ロボットＣＲ２と、第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１と、第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２とを含む。インデクサロボットＩＲ、第１主搬送ロボットＣＲ１および第２主搬送ロボットＣＲ２は、キャリア保持部２と処理ユニットＭＰＣとの間で基板Ｗを搬送する基板搬送システムを構成している。

【0032】

処理部４内には、平面視において、インデクサ部３から直線状に延びた搬送路５が形成されている。この搬送路５内に、インデクサ部３側から順に、第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１、第１主搬送ロボットＣＲ１、第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２および第２主搬送ロボットＣＲ２が配置されている。第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１は、インデクサロボットＩＲと第１主搬送ロボットＣＲ１との間での基板Ｗの受け渡しを仲介するユニットである。第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２は、第１主搬送ロボットＣＲ１と第２主搬送ロボットＣＲ２との間での基板Ｗの受け渡しを仲介するユニットである。第１および第２受け渡しユニットＰＡＳＳ１，ＰＡＳＳ２は、基板Ｗを一時的に保持する複数の基板載置台１５を備えている。

【0033】

複数の処理ユニットＭＰＣは、複数のタワーＴＷ１〜ＴＷ６（以下総称するときには「タワーＴＷ」という。）を形成している。各タワーＴＷは、上下に積層された複数の処理ユニットＭＰＣ（たとえば、４つの処理ユニットＭＰＣ）を含む。複数のタワーＴＷは、搬送路５に沿って配列されている。３個のタワーＴＷ１，ＴＷ３，ＴＷ５は、搬送路５の一方側に配置されている。残り３個のタワーＴＷ２，ＴＷ４，ＴＷ６は、搬送路５の他方側に配置されている。

【0034】

複数の処理ユニットＭＰＣは、搬送路５を挟んで対向する３対のタワーＴＷを形成している。具体的には、タワーＴＷ１とタワーＴＷ２は、搬送路５を挟んで対向している。同様に、タワーＴＷ３とタワーＴＷ４は、搬送路５を挟んで対向しており、タワーＴＷ５とタワーＴＷ６は、搬送路５を挟んで対向している。
インデクサ部３からタワーＴＷ１までの距離は、インデクサ部３からタワーＴＷ２までの距離と等しいまたは概ね等しい。したがって、インデクサ部３からタワーＴＷ１に基板Ｗを搬送するのに要する搬送時間は、インデクサ部３からタワーＴＷ２に基板Ｗを搬送するのに要する搬送時間と等しいまたは概ね等しい。つまり、各対のタワー（ＴＷ１とＴＷ２、ＴＷ３とＴＷ４、ＴＷ５とＴＷ６）は、インデクサ部３からの距離が等しいまたは概ね等しい位置に配置されており、インデクサ部３から各対のタワーＴＷに基板Ｗを搬送するのに要する搬送時間は、等しいまたは概ね等しい。

【0035】

３対のタワー（ＴＷ１とＴＷ２、ＴＷ３とＴＷ４、ＴＷ５とＴＷ６）は、それぞれ、３つの処理区画ＰＺ１，ＰＺ２，ＰＺ３（以下総称するときには「処理区画ＰＺ」という。）を形成している。すなわち、インデクサ部３に最も近い位置で搬送路５を挟んで対向する一対のタワーＴＷ１，ＴＷ２は、第１処理区画ＰＺ１を形成している。次にインデクサ部３に近い位置で搬送路５を挟んで対向する一対のタワーＴＷ３，ＴＷ４は、第２処理区画ＰＺ２を形成している。次にインデクサ部３に近い位置で搬送路５を挟んで対向する一対のタワーＴＷ５，ＴＷ６は、第３処理区画ＰＺ３を形成している。

【0036】

第１処理区画ＰＺ１とインデクサ部３との間に第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１が配置されている。第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１に対してインデクサ部３とは反対側に第１主搬送ロボットＣＲ１が配置されている。第１主搬送ロボットＣＲ１は、平面視で一対のタワーＴＷ１，ＴＷ２の間に配置されている。第１主搬送ロボットＣＲ１に対して第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１とは反対側に第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２が配置されている。第１主搬送ロボットＣＲ１は、第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１、第１処理区画ＰＺ１のタワーＴＷ１，ＴＷ２、および第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２に対向するように配置されている。

【0037】

第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２に対して第１主搬送ロボットＣＲ１とは反対側に第２主搬送ロボットＣＲ２が配置されている。第２主搬送ロボットＣＲ２は、平面視で一対のタワーＴＷ３，ＴＷ４の間に配置されており、平面視で一対のタワーＴＷ５，ＴＷ６の間に配置されている。第２主搬送ロボットＣＲ２は、第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２、およびタワーＴＷ３〜ＴＷ６に対向するように配置されている。

【0038】

インデクサロボットＩＲは、この実施形態では水平多関節アーム型のロボットである。インデクサロボットＩＲは、基板Ｗを保持するハンド１１と、ハンド１１に結合された多関節アーム１２と、多関節アーム１２を鉛直な回転軸線１３まわりに回転させるアーム回転機構（図示せず）と、多関節アーム１２を上下動させるアーム昇降機構（図示せず）とを含む。このような構成によって、インデクサロボットＩＲは、任意のロードポートＬＰに保持されたキャリアＣおよび第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１にハンド１１をアクセスさせ、そのアクセス先に対して基板Ｗを搬入／搬出する。それにより、インデクサロボットＩＲは、処理部４（より正確には第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１）と任意のキャリアＣとの間で基板Ｗを搬送する。

【0039】

第１主搬送ロボットＣＲ１および第２主搬送ロボットＣＲ２には、ほぼ同様の構成を有する基板搬送ロボットを用いることができる。このような基板搬送ロボットは、好ましくは、基板Ｗを保持する一対のハンド２１，２２と、一対のハンド２１，２２を水平方向にそれぞれ進退させる一対のハンド進退機構２３，２４と、一対のハンド進退機構２３，２４を鉛直な回転軸線２５まわりに回転させるハンド回転機構（図示せず）と、ハンド進退機構２３，２４を上下動させるハンド昇降機構（図示せず）とを含む。

【0040】

このような構成によって、第１主搬送ロボットＣＲ１および第２主搬送ロボットＣＲ２は、一方のハンド２１，２２でアクセス先から基板Ｗを取り出し、他方のハンド２１，２２でアクセス先に対して基板Ｗを搬入できる。このような構成の基板搬送ロボットを第１主搬送ロボットＣＲ１に適用することにより、第１主搬送ロボットＣＲ１は、第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１、タワーＴＷ，ＴＷ２を形成する複数の処理ユニットＭＰＣ、および第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２に対して、ハンド２１，２２を直接アクセスさせ、そのアクセス先に対して基板Ｗを搬入／搬出することができる。また、上記のような構成の基板搬送ロボットを第２主搬送ロボットＣＲ２に適用することにより、第２主搬送ロボットＣＲ２は、第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２、ならびにタワーＴＷ３〜ＴＷ６を形成する複数の処理ユニットＭＰＣに対してハンド２１，２２を直接アクセスさせ、そのアクセス先に対して基板Ｗを搬入／搬出することができる。

【0041】

なお、図２は、インデクサロボットＩＲが１つのハンド１１を備えている例を示しているが、インデクサロボットＩＲは、２つのハンド１１を備えていてもよい。この場合、第１主搬送ロボットＣＲ１は、４つのハンド２１，２２を備えていてもよい。同様に、第２主搬送ロボットＣＲ２は、４つのハンド２１，２２を備えていてもよい。インデクサロボットＩＲが２つのハンド１１を備える場合、インデクサロボットＩＲは、２つのハンド１１を用いて２枚の基板Ｗを同時に保持することができる。したがって、インデクサロボットＩＲは、２枚の基板Ｗを同時に搬出する同時搬出動作と２枚の基板Ｗを同時に搬入する同時搬入動作を、ロードポートＬＰ上のキャリアＣや第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１に対して行うことができる。

【0042】

図３は、処理ユニットＭＰＣの構成例を説明するための模式的な断面図である。図３に示す処理ユニットＭＰＣは、基板の表面を薬液で洗浄する表面洗浄ユニットである。処理ユニットＭＰＣは、基板Ｗが通過する開口３１ａが設けられた処理チャンバ３１と、処理チャンバ３１内に配置された処理カップ３２と、処理カップ３２内に配置されたスピンチャック３３とを含む。処理チャンバ３１は、開口３１ａが設けられた隔壁３１ｂと、開口３１ａを開閉するシャッター３１ｃとを含む。

【0043】

処理ユニットＭＰＣは、さらに、基板Ｗに薬液を供給する薬液ノズル３４と、基板Ｗにリンス液（純水等）を供給するリンス液ノズル３５とを含む。スピンチャック３３は、１枚の基板Ｗを水平に保持しながら基板Ｗの中央部を通る鉛直な回転軸線３６まわりに回転させる。薬液ノズル３４およびリンス液ノズル３５は、処理チャンバ３１内に配置されており、スピンチャック３３に保持されている基板Ｗの上面に向けて薬液およびリンス液をそれぞれ吐出する。このような構成により、基板Ｗの上面に薬液を供給して当該薬液で基板Ｗの上面を処理する薬液処理（基板処理ステップ）と、基板Ｗの上面の薬液をリンス液で洗い流すリンス処理（基板処理ステップ）と、基板Ｗ上の液滴を遠心力で振り切るスピン乾燥処理（基板処理ステップ）とを実行することができる。

【0044】

図４は、処理ユニットＭＰＣの他の構成例を説明するための模式的な断面図である。図４に示す処理ユニットＭＰＣは、基板Ｗの周端面をスクラブ洗浄する端面洗浄ユニットである。処理ユニットＭＰＣは、処理チャンバ３１と、処理チャンバ３１内に配置されたスピンチャック３３と、薬液ノズル３４と、基板Ｗの端面をスクラブ洗浄するスクラブ部材３７とを含む。

【0045】

スピンチャック３３は、１枚の基板Ｗを水平に保持しながら基板Ｗの中央部を通る鉛直な回転軸線３６まわりに回転させる。薬液ノズル３４は、スピンチャック３３に保持された基板Ｗの表面に薬液を供給する。スピンチャック３３が基板Ｗを回転させている状態でスクラブ部材３７を基板Ｗの周端面に押し付けると、スクラブ部材３７が基板Ｗの周端面の全周に擦り付けられる。これにより、基板Ｗの周端面の全周がスクラブ洗浄される（基板処理ステップ）。

【0046】

図５は、基板処理装置１の電気的構成を説明するためのブロック図である。基板処理装置１は、制御装置としてのコンピュータ６０を備えている。コンピュータ６０は、処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４、主搬送ロボットＣＲ１，ＣＲ２およびインデクサロボットＩＲを制御する。コンピュータ６０は、パーソナルコンピュータ（ＦＡパソコン）であってもよい。

【0047】

コンピュータ６０は、制御部６１と、出入力部６２と、記憶部６３とを備えている。制御部６１は、ＣＰＵ等の演算ユニットを含む。出入力部６２は、表示ユニット等の出力機器と、キーボード、ポインティングデバイス、タッチパネル等の入力機器とを含む。さらに、出入力部６２は、外部コンピュータであるホストコンピュータ６４との通信のための通信モジュールを含む。記憶部６３は、固体メモリデバイス、ハードディスクドライブ等の記憶装置を含む。

【0048】

制御部６１は、スケジューリング機能部６５と、処理実行指示部６６とを含む。スケジューリング機能部６５は、基板ＷをキャリアＣから搬出し、処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４のうちの一つ以上でその基板Ｗを処理した後、その処理後の基板ＷをキャリアＣに収容するために、基板処理装置１のリソースを時系列に従って作動させるための計画（スケジュール）を作成する。処理実行指示部６６は、スケジューリング機能部６５によって作成されたスケジュールに従って、基板処理装置１のリソースを作動させる。リソースとは、基板処理装置１に備えられ、基板の処理のために用いられる各種のユニットである。具体的には、処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４、インデクサロボットＩＲ、主搬送ロボットＣＲ１，ＣＲ２、およびそれらの構成要素が、基板処理装置１のリソースに含まれる。

【0049】

記憶部６３は、各種データ等を記憶している。記憶部６３に記憶されたデータには、制御部６１が実行するプログラム７０と、ホストコンピュータ６４から受信したプロセスジョブデータ（プロセスジョブ情報）８０と、スケジューリング機能部６５によって作成されたスケジュールデータ８１と、各処理ユニットＭＰＣおよび各処理区画ＰＺの使用履歴データ８２と、各処理区画ＰＺの搬送時間データ８３とが含まれる。

【0050】

記憶部６３に記憶されたプログラム７０は、制御部６１をスケジューリング機能部６５として作動させるためのスケジュール作成プログラム７１と、制御部６１を処理実行指示部６６として作動させるための処理実行プログラム７２とを含む。プログラム７０は、コンピュータ６０に予めインストールされたものであってもよいし、記録媒体Ｍから記憶部６３に送られたものであってもよいし、出入力部６２の通信モジュールを通じて記憶部６３に送られたものであってもよい。記録媒体Ｍは、たとえば、コンパクトディスクなどの光ディスクまたはメモリーカードなどの半導体メモリーである。記録媒体Ｍは、一時的ではない有形の媒体の一例である。

【0051】

プロセスジョブデータ８０は、各基板Ｗに付与されたプロセスジョブ（ＰＪ）符号と、プロセスジョブ符号に対応付けられたレシピとを含む。レシピは、基板処理内容を定義したデータであり、基板処理条件および基板処理手順を含む。より具体的には、基板種情報、並行処理ユニット情報、使用処理液情報、処理時間情報等を含む。基板種情報は、処理対象の基板Ｗの種類を表す情報である。基板Ｗの種類の具体例は、製品を作り込むために使用される製品基板、処理ユニットＭＰＣのメンテナンス等のために使用され、製品の製造には使用されない非製品基板などである。並行処理ユニット情報とは、使用可能な処理ユニットＭＰＣを指定する処理ユニット指定情報であり、指定された処理ユニットＭＰＣによる並行処理が可能であることを表す。すなわち、指定処理ユニットのうちのいずれかで基板Ｗを処理すればよい。使用処理液情報とは、基板処理のために用いる処理液の種類を指定する情報である。具体例は、薬液の種類および薬液の温度を指定する情報である。処理時間情報とは、処理液を供給する継続時間などである。使用処理液情報および処理時間情報は、処理条件情報の一例である。

【0052】

プロセスジョブとは、共通の処理が施されるべき１枚または複数枚の基板Ｗに対して行われる当該処理をいう。プロセスジョブ符号とは、プロセスジョブを識別するための識別情報（基板群識別情報）である。すなわち、共通のプロセスジョブ符号が付与された複数枚の基板Ｗには、当該プロセスジョブ符号に対応付けられたレシピによる共通の処理が施される。たとえば、処理順序（キャリアＣからの払い出し順序）が連続している複数枚の基板Ｗに対して共通の処理が施されるとき、それらの複数枚の基板Ｗに対して共通のプロセスジョブ符号が付与される。ただし、異なるプロセスジョブ符号に対応する基板処理内容（レシピ）が同じである場合もあり得る。

【0053】

制御部６１は、各基板Ｗに対するプロセスジョブデータを、ホストコンピュータ６４から出入力部６２を介して取得し、記憶部６３に記憶させる。プロセスジョブデータの取得および記憶は、各基板Ｗに対するスケジューリングが実行されるよりも前に行われればよい。たとえば、キャリアＣがロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に保持された直後に、ホストコンピュータ６４から制御部６１に当該キャリアＣに収容された基板Ｗに対応するプロセスジョブデータが与えられてもよい。

【0054】

スケジューリング機能部６５は、記憶部６３に格納されたプロセスジョブデータ８０に基づいて各プロセスジョブを計画し、その計画を表すスケジュールデータ８１を記憶部６３に格納する。処理実行指示部６６は、記憶部６３に格納されたスケジュールデータ８１に基づいて、インデクサロボットＩＲ、主搬送ロボットＣＲ１，ＣＲ２、および処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４を制御することにより、基板処理装置１にプロセスジョブを実行させる。

【0055】

図６は、スケジューリング機能部６５によって実行される処理例を説明するためのフローチャートである。より具体的には、コンピュータ６０の制御部６１がスケジュール作成プログラム７１を実行することによって、所定の制御周期で繰り返し行われる処理が表されている。換言すれば、スケジュール作成プログラム７１には、図６に示す処理をコンピュータ６０に実行させるようにステップ群が組み込まれている。

【0056】

ホストコンピュータ６４は、プロセスジョブデータを制御部６１に与えて、そのプロセスジョブデータによって定義されるプロセスジョブの開始、すなわち基板処理の開始を制御部６１に指示する（ステップＳ１）。制御部６１は、そのプロセスジョブデータを受信して記憶部６３に格納する。そのプロセスジョブデータを用いて、スケジューリング機能部６５は、プロセスジョブを実行するためのスケジューリングを行う。プロセスジョブの開始は、作業者が、出入力部６２の操作部を操作して指示することもできる。

【0057】

スケジューリング機能部６５は、プロセスジョブデータに含まれるプロセスジョブ（ＰＪ）符号が付与された１枚以上の基板Ｗについて、１枚ずつ順にスケジューリングを実行する。まず、スケジューリング機能部６５は、プロセスジョブデータに対応するレシピを参照し、そのレシピの並行処理ユニット情報に基づいて、基板Ｗの処理のために使用可能な１つ以上の処理ユニットＭＰＣを特定する（ステップＳ２）。次いで、スケジューリング機能部６５は、基板処理に用いるべき１つの処理区画ＰＺを選択するための処理区画選択処理を実行する（ステップＳ３）。処理区画選択処理の詳細は、後述する。

【0058】

次に、スケジューリング機能部６５は、１枚の基板Ｗを処理するための仮タイムテーブルを作成する（ステップＳ４）。たとえば、処理区画選択処理において第１処理区画ＰＺ１が選択され、プロセスジョブデータに対応するレシピの並行処理ユニット情報に第１処理区画ＰＺ１の全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ８が含まれているとする。すなわち、当該レシピに従う基板処理が、８個の処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ８のいずれにおいても実行可能である場合を考える。この場合、当該基板Ｗが通る経路は、８通りである。すなわち、その基板Ｗの処理のために選択し得る経路は、処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ８のいずれかを通る８個の経路である。そこで、スケジューリング機能部６５は、その８個の経路に対応した仮タイムテーブルを当該１枚の基板Ｗに対して作成する。

【0059】

処理ユニットＭＰＣ１を通る経路に対応した仮タイムテーブルを図７Ａに示す。この仮タイムテーブルは、インデクサロボットＩＲによるキャリアＣからの基板Ｗの搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、インデクサロボットＩＲによる当該基板Ｗの第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１への搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックと、第１主搬送ロボットＣＲ１による第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１からの当該基板Ｗの搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、第１主搬送ロボットＣＲ１による当該基板Ｗの処理ユニットＭＰＣ１への搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックと、処理ユニットＭＰＣ１による当該基板Ｗに対する処理を表す処理ブロックと、第１主搬送ロボットＣＲ１による処理ユニットＭＰＣ１からの処理済みの基板Ｗの搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、第１主搬送ロボットＣＲ１による当該基板Ｗの第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１への搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックと、インデクサロボットＩＲによる当該基板Ｗの第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１からの搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、インデクサロボットＩＲによる当該基板ＷのキャリアＣへの搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックとを含む。スケジューリング機能部６５は、これらのブロックを時間軸上で重なり合いのないように順番に配置することによって、仮タイムテーブルを作成する。

【0060】

処理ユニットＭＰＣ１を使用する仮タイムテーブルが作成されると、スケジューリング機能部６５は、同じ基板Ｗに対して、処理ユニットＭＰＣ２〜ＭＰＣ８をそれぞれ通る７つの経路に対応した同様の７つの仮タイムテーブル（処理ブロックを処理ユニットＭＰＣ２〜ＭＰＣ８にそれぞれ配置した仮タイムテーブル）を作成する。こうして、１枚の基板Ｗに対して合計８つの仮タイムテーブルが作成される。そして、作成された仮タイムテーブルは、スケジュールデータ８１の一部として記憶部６３に格納される。仮タイムテーブルの作成段階では、別の基板Ｗに関するブロックとの干渉（時間軸上での重なり合い）は考慮されない。

【0061】

スケジューリング機能部６５は、１枚の基板Ｗに対応した全ての仮タイムテーブルを作成し終えると（ステップＳ５）、本スケジューリングを実行する（ステップＳ６〜Ｓ９）。本スケジューリングとは、作成された仮タイムテーブルのブロックを、各リソースの他のブロックと重複しないように、時間軸上に配置することである。本スケジューリングによって作成されたスケジュールデータは記憶部６３に格納される。

【0062】

さらに具体的に説明すると、スケジューリング機能部６５は、作成済みの複数の仮タイムテーブルのうちの一つを選択し、当該仮タイムテーブルを構成するブロックを一つ取得する（ステップＳ６）。このとき取得されるブロックは、未配置のブロックのうち仮タイムテーブルの時間軸上で最も早い位置に配置されているブロックである。さらに、スケジューリング機能部６５は、当該取得したブロックを配置できる位置を検索し（ステップＳ７）、その検索された位置に当該ブロックを配置する（ステップＳ８）。各ブロックは、同一リソースが同じ時間に重複して使用されないようにしながら、時間軸上で最も早い位置に配置される。同様の動作が、選択した仮タイムテーブルを構成する全てのブロックに関して繰り返し実行される（ステップＳ９）。こうして、選択した仮タイムテーブルを構成する全てのブロックが配置されることにより、その仮タイムテーブルに対応した本スケジューリングが完了する。この本スケジューリングが、作成された全ての仮タイムテーブルについて実行される（ステップＳ１０）。すなわち、８つの処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ８のいずれかで基板Ｗを処理する可能性がある場合、８通りの本スケジューリングが実行される。

【0063】

この８通りの本スケジューリングを終えると、ユニット選択処理が行われる（ステップＳ１１）。ユニット選択処理では、１つの本スケジューリング、すなわち、１つの処理ユニットＭＰＣを通る本スケジューリングが選択され、それによって１枚の基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣが選択される。ユニット選択処理では、その基板Ｗを処理してキャリアＣに戻す時刻が最も早い１つの本スケジューリングが選択される（ステップＳ１１。ユニット選択ステップ）。

【0064】

もしも、キャリアＣに基板Ｗが戻る時刻が等しい複数の本スケジューリングが存在するときには（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、前回の使用からの経過時間が最も長い処理ユニットＭＰＣ、すなわちユニット最終使用時刻が最も古い処理ユニットＭＰＣを用いる本スケジューリングが選択される（ステップＳ１３。ユニット選択ステップ）。これにより、１つの処理区画ＰＺ内の処理ユニットＭＰＣが均等に使用されるように、処理ユニットＭＰＣを選択できる。

【0065】

ユニット最終使用時刻が最も古い処理ユニットＭＰＣを使う本スケジューリングが複数存在するときには（ステップＳ１４：ＹＥＳ）、番号の小さい（すなわち、予め付した優先順の高い）処理ユニットＭＰＣを使う本スケジューリングが選択される（ステップＳ１５。ユニット選択ステップ）。たとえば、処理ユニットＭＰＣ１を使う本スケジューリングと処理ユニットＭＰＣ２を使う本スケジューリングとが候補として残る場合は、処理ユニットＭＰＣ１の方が処理ユニットＭＰＣ２よりも末尾の番号が小さいので、処理ユニットＭＰＣ１を使う本スケジューリングが選択される。

【0066】

こうして、１つの仮タイムテーブルに対応した１つの本スケジューリングが選択されると、当該１枚の基板Ｗに対するスケジューリングが完了する（ステップＳ１６）。そして、選択された本スケジューリングを表すスケジューリングデータは、記憶部６３に格納される。処理実行指示部６６は、その後の任意のタイミングで、当該基板Ｗに対する処理を実際に開始する（ステップＳ１７。基板搬送ステップおよび基板処理ステップ）。すなわち、インデクサロボットＩＲによってキャリアＣから基板Ｗを搬出し、主搬送ロボットＣＲ１，ＣＲ２によって処理ユニットＭＰＣへと基板Ｗを搬送する基板搬送動作が開始される。

【0067】

スケジューリング機能部６５は、１枚の基板Ｗに対するスケジューリングが完了すると、当該基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻を記憶部６３に登録する（ステップＳ１８）。さらに、スケジューリング機能部６５は、当該処理ユニットＭＰＣが属する処理区画ＰＺの投入可能率を求めて、記憶部６３に登録する（ステップＳ１９）。投入可能率の詳細は後述する。ユニット最終使用時刻および投入可能率は、使用履歴データ８２（図５参照）の一例である。そして、ステップＳ３からステップＳ２０までの一連の動作が、プロセスジョブを構成する全ての基板Ｗに対して、順に実行される（ステップＳ２０）。

【0068】

処理区画選択処理（ステップＳ３）において、第２処理区画ＰＺ２が選択されると、スケジューリング機能部６５は、１枚の基板Ｗに対して、処理ユニットＭＰＣ９〜ＭＰＣ１６をそれぞれ通る８つの経路に対応した８つの仮タイムテーブル（処理ブロックを処理ユニットＭＰＣ９〜ＭＰＣ１６にそれぞれ配置した仮タイムテーブル）を作成する。それにより、１枚の基板Ｗに対して合計８つの仮タイムテーブルが作成される。

【0069】

処理ユニットＭＰＣ９を通る経路に対応した仮タイムテーブルを図７Ｂに示す。この仮タイムテーブルは、インデクサロボットＩＲによるキャリアＣからの基板Ｗの搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、インデクサロボットＩＲによる当該基板Ｗの第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１への搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックと、第１主搬送ロボットＣＲ１による第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１からの当該基板Ｗの搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、第１主搬送ロボットＣＲ１による第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２への搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックと、第２主搬送ロボットＣＲ２による第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２からの当該基板Ｗの搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、第２主搬送ロボットＣＲ２による当該基板Ｗの処理ユニットＭＰＣ９への搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックと、処理ユニットＭＰＣ９による当該基板Ｗに対する処理を表す処理ブロックと、第２主搬送ロボットＣＲ２による処理ユニットＭＰＣ９からの処理済みの基板Ｗの搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、第２主搬送ロボットＣＲ２による当該基板Ｗの第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２への搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックと、第１主搬送ロボットＣＲ１による第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２からの当該基板の搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、第１主搬送ロボットＣＲ１による当該基板Ｗの第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１への搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックと、インデクサロボットＩＲによる当該基板Ｗの第１受け渡しユニットＰＡＳＳ１からの搬出（Ｇｅｔ）を表すブロックと、インデクサロボットＩＲによる当該基板ＷのキャリアＣへの搬入（Ｐｕｔ）を表すブロックとを含む。スケジューリング機能部６５は、これらのブロックを時間軸上で重なり合いのないように順番に配置することによって、仮タイムテーブルを作成する。

【0070】

処理区画選択処理（ステップＳ３）において、第３処理区画ＰＺ３が選択されると、スケジューリング機能部６５は、１枚の基板Ｗに対して、処理ユニットＭＰＣ１７〜ＭＰＣ２４をそれぞれ通る８つの経路に対応した８つの仮タイムテーブル（処理ブロックを処理ユニットＭＰＣ１７〜ＭＰＣ２４にそれぞれ配置した仮タイムテーブル）を作成する。それにより、１枚の基板Ｗに対して合計８つの仮タイムテーブルが作成される。処理ユニットＭＰＣ１７を通る経路に対応した仮タイムテーブルを図７Ｃに示す。この仮タイムテーブルは、図７Ｂの仮タイムテーブルとほぼ同様である。

【0071】

図８は、処理区画選択処理（図６のステップＳ３）の一例を説明するためのフローチャートである。図９Ａおよび図９Ｂは、記憶部６３（図５参照）に記憶された処理区画データの一例を示す。図１０Ａ〜図１０Ｅは、記憶部６３に記憶された投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す。
有効チャンバ数は、同じ処理区画ＰＺに属する複数の処理ユニットＭＰＣの中で使用可能（有効）な処理ユニットＭＰＣの数である。最古チャンバ数は、同じ処理区画ＰＺに属する複数の処理ユニットＭＰＣの中でユニット最終使用時刻が最も古い有効な処理ユニットＭＰＣの数である。投入可能率は、同一の処理区画ＰＺにおける有効チャンバ数に対する最古チャンバ数の割合を示す百分率である（（最古チャンバ数／有効チャンバ数）×１００）。処理区画データ、投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数は、使用履歴データ８２として処理区画ごとに記憶されている。

【0072】

記憶部６３には、図９Ａに示すように、全ての処理ユニットＭＰＣについて、処理区画ＰＺの設定を表す処理区画データが登録されている。この例では、処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ８については、第１処理区画ＰＺ１に属することを表す処理区画データ「１」が登録されている。また、処理ユニットＭＰＣ９〜ＭＰＣ１６については、第２処理区画ＰＺ２に属することを表す処理区画データ「２」が登録されている。さらに、処理ユニットＭＰＣ１７〜ＭＰＣ２４については、第３処理区画ＰＺ３に属することを表す処理区画データ「３」が登録されている。

【0073】

いずれかの処理ユニットＭＰＣがメンテナンス等のために基板処理に利用できないときは、図９Ｂに示すように、処理区画ＰＺを識別するデータ（番号）の代わりに、無効であることを表すデータ（たとえば「メンテナンス中」を表すデータなど）が登録される。メンテナンスとは、たとえば、定期的に計画される処理ユニットＭＰＣの洗浄等である。
スケジューリング機能部６５は、各基板Ｗの処理をすべき処理区画ＰＺを選択するときに、記憶部６３（図５参照）に記憶された処理区画データに基づいて、各処理ユニットＭＰＣがいずれの処理区画ＰＺに属するのか、および無効な処理ユニットＭＰＣが存在するかを判断する（図８のステップＳ３１。所属確認ステップ）。そして、スケジューリング機能部６５は、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４のユニット最終使用時刻を記憶部６３から読み出す（図８のステップＳ３２。ユニット最終使用時刻取得ステップ）。

【0074】

さらに、スケジューリング機能部６５は、ロードポートＬＰ上のキャリアＣから処理ユニットＭＰＣに基板Ｗを搬送するのに要する搬送時間を、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４について記憶部６３から読み出す。その後、スケジューリング機能部６５は、それぞれの処理ユニットＭＰＣについてユニット最終使用時刻から搬送時間を引いて、得られた値（時刻）を修正ユニット最終使用時刻として記憶部６３に登録する（図８のステップＳ３３。修正ユニット最終使用時刻計算ステップ）。修正ユニット最終使用時刻は、使用履歴データ８２に含まれる。修正ユニット最終使用時刻の詳細は後述する。

【0075】

図１０Ａ〜図１０Ｅは、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４が使用可能（有効）かつ初期化された状態で、同じレシピが適用された複数枚の基板Ｗのスケジューリングを行った場合における記憶部６３内の使用履歴データ８２の変遷の一例を示している。
図１０Ａに示すように、１枚目の基板Ｗのスケジューリングを行う前、各処理区画ＰＺの投入可能率（最古チャンバ数／有効チャンバ数×１００）は１００％であり、各処理区画ＰＺの区画最終使用時刻は、初期値（図１０では、０）であり、各処理区画ＰＺの最古チャンバ数は、８である。各処理区画ＰＺの有効チャンバ数は、８である。複数枚の基板Ｗに適用されたレシピでは、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４が並行処理ユニットとして指定されている。

【0076】

基板処理装置１が初期化されると、全てのユニット最終使用時刻も初期化され、初期値（たとえば、０）が全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４のユニット最終使用時刻として登録される。ユニット最終使用時刻が初期値以外の値である場合は、搬送時間を用いてユニット最終使用時刻が修正されるものの、ユニット最終使用時刻が初期値である場合は、初期値が修正ユニット最終使用時刻として登録される。図１０Ａに示す例では、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４の修正ユニット最終使用時刻が初期値であるため、全ての区画最終使用時刻が初期値（図１０Ａでは、０）である。

【0077】

１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、スケジューリング機能部６５は、全ての処理区画ＰＺ１〜ＰＺ３の中で区画最終使用時刻が最も古い処理区画ＰＺを検索し、複数の処理区画ＰＺが候補区画に含まれるかを確認する（図８のステップＳ３４。第１検索ステップ）。候補区画が１つである場合、つまり、区画最終使用時刻が最も古い処理区画ＰＺが１つしか見つからなかった場合（図８のステップＳ３４：ＮＯ）は、その処理区画ＰＺを１枚目の基板Ｗのために選択する（図８のステップＳ３５。区画選択ステップ）。図１０Ａに示す例では、全ての区画最終使用時刻が初期値であるため、全ての処理区画ＰＺ１〜ＰＺ３が、区画最終使用時刻が最も古い処理区画ＰＺに該当する。

【0078】

区画最終使用時刻が最も古い処理区画ＰＺが複数見つかった場合（図８のステップＳ３４：ＹＥＳ）、スケジューリング機能部６５は、投入可能率（（最古チャンバ数／有効チャンバ数）×１００）が最大の処理区画ＰＺを、候補区画に含まれる複数の処理区画ＰＺの中で検索し、この検索条件に該当する複数の処理区画ＰＺが候補区画に含まれるかを確認する（図８のステップＳ３６。第２検索ステップ）。見つかった処理区画ＰＺが１つである場合、つまり、投入可能率が最大の処理区画ＰＺが１つである場合（図８のステップＳ３６：ＮＯ）、その処理区画ＰＺを１枚目の基板Ｗのために選択する（図８のステップＳ３７。区画選択ステップおよび選択ステップ）。図１０Ａに示す例では、全てのユニット最終使用時刻が初期値であるため、全ての処理区画ＰＺ１〜ＰＺ３が、投入可能率が最大の処理区画ＰＺに該当する。

【0079】

投入可能率が最大の処理区画ＰＺが複数見つかった場合（図８のステップＳ３６：ＹＥＳ）、スケジューリング機能部６５は、候補区画に含まれる複数の処理区画ＰＺの中で区画番号が最も小さい（すなわち、予め付した優先順位が最も高い）処理区画ＰＺを１枚目の基板Ｗのために選択する（図８のステップＳ３８。区画選択ステップ、第３検索ステップ、および選択ステップ）。図１０Ａに示す例では、区画番号が最も小さい第１処理区画ＰＺ１が１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択される。そのため、図１０Ｂに示すように、第１処理区画ＰＺ１の最古チャンバ数が８から７に減少し、第１処理区画ＰＺ１の投入可能率が８７．５％（（７／８）×１００）に減少する。

【0080】

１枚目の基板Ｗに対するスケジューリングが完了すると、スケジューリング機能部６５は、１枚目の基板Ｗが終了する時刻を推定し、推定される時刻を１枚目の基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻として記憶部６３に登録する。その後、スケジューリング機能部６５は、１枚目の基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻から当該処理ユニットＭＰＣまでの搬送時間を引き、得られた値（時刻）を修正ユニット最終使用時刻として記憶部６３に登録する。つまり、１枚目の基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣについて、新たなユニット最終使用時刻および修正ユニット最終使用時刻が記憶部６３に登録される。２枚目以降の基板Ｗについても、スケジューリングが完了すると、基板Ｗの処理のために選択された処理ユニットＭＰＣについて、新たなユニット最終使用時刻および修正ユニット最終使用時刻が記憶部６３に登録される。

【0081】

１枚目の基板Ｗに対するスケジューリングが完了すると、１枚目の基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻および修正ユニット最終使用時刻が初期値以外に値に変更される。区画最終使用時刻は、同じ処理区画ＰＺに属する全ての処理ユニットＭＰＣの修正ユニット最終使用時刻の中で最も古い時刻である。１枚目の基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣの修正ユニット最終使用時刻が変更されても、この処理ユニットＭＰＣと同じ処理区画ＰＺに属する他の処理ユニットＭＰＣの修正ユニット最終使用時刻は、初期値のままである。そのため、１枚目の基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣが属する処理区画ＰＺの区画最終使用時刻は、初期値のまま変わらない。

【0082】

２枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するときは、前述と同様に、３つの処理区画ＰＺのうちのいずれかが選択される。図１０Ｂに示す例では、各処理区画ＰＺの区画最終使用時刻が初期値であるものの、第２処理区画ＰＺ２と第３処理区画ＰＺ３が投入可能率が最大の処理区画ＰＺに該当するため、区画番号が最も小さい第２処理区画ＰＺ２が２枚目の基板Ｗのために選択される。そのため、図１０Ｃに示すように、第２処理区画ＰＺ２の最古チャンバ数が８から７に減少し、第２処理区画ＰＺ２の投入可能率が８７．５％（（７／８）×１００）に減少する。

【0083】

３枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するときも、前述と同様に、３つの処理区画ＰＺのうちのいずれかが選択される。図１０Ｃに示す例では、各処理区画ＰＺの区画最終使用時刻が初期値であるものの、第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が最も高いので、第３処理区画ＰＺ３が３枚目の基板Ｗのために選択される。そのため、図１０Ｄに示すように、第３処理区画ＰＺ３の最古チャンバ数が８から７に減少し、第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が８７．５％（（７／８）×１００）に減少する。

【0084】

４枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するときも、前述と同様に、３つの処理区画ＰＺのうちのいずれかが選択される。図１０Ｄに示す例では、各処理区画ＰＺの区画最終使用時刻が初期値であり、投入可能率が３つの処理区画ＰＺの間で等しいので、区画番号が最も小さい第１処理区画ＰＺ１が４枚目の基板Ｗのために選択される。そのため、図１０Ｅに示すように、第１処理区画ＰＺ１の最古チャンバ数が７から６に減少し、第１処理区画ＰＺ１の投入可能率が７５％（（６／８）×１００）に減少する。

【0085】

５枚目以降の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺも、前述と同様に、３つの処理区画ＰＺのうちのいずれかが選択される。同じ処理区画ＰＺに属する全ての処理ユニットＭＰＣを使用するスケジュールが作成されると、その処理区画ＰＺに属するそれぞれの処理ユニットＭＰＣについて、ユニット最終使用時刻および修正ユニット最終使用時刻が初期値以外の値に変更される。この場合、スケジューリング機能部６５は、その処理区画ＰＺに属する全ての処理ユニットＭＰＣの修正ユニット最終使用時刻の中で最も古い時刻を区画最終使用時刻として記憶部６３に登録する。これにより、区画最終使用時刻が初期値以外の値に変更される。

【0086】

図１１Ａ〜図１１Ｅは、図９Ｂに示すように第１処理区画ＰＺ１に属する４つの処理ユニットＭＰＣ５〜ＭＰＣ８がメンテナンスのために無効（使用不可）とされており、他の全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ４およびＭＰＣ９〜ＭＰＣ２４が使用可能（有効）かつ初期化された状態で、同じレシピが適用された複数枚の基板Ｗのスケジューリングを行った場合における記憶部６３内の使用履歴データ８２の変遷の一例を示している。

【0087】

図１１Ａに示すように、１枚目の基板Ｗのスケジューリングを行う前、各処理区画ＰＺの投入可能率は１００％であり、各処理区画ＰＺの区画最終使用時刻は、初期値（図１１では、０）であり、第１処理区画ＰＺ１の最古チャンバ数は、４であり、第２処理区画ＰＺ２および第３処理区画ＰＺ３の最古チャンバ数は、８である。第１処理区画ＰＺ１の有効チャンバ数は、４であり、第２処理区画ＰＺ２および第３処理区画ＰＺ３の有効チャンバ数は、８である。複数枚の基板Ｗに適用されたレシピでは、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４が並行処理ユニットとして指定されている。

【0088】

１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１１Ａに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、投入可能率が３つの処理区画ＰＺの間で等しいので、スケジューリング機能部６５は、区画番号が最も小さい第１処理区画ＰＺ１を１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択し、第１処理区画ＰＺ１で１枚目の基板Ｗを処理するスケジューリングを行う。そのため、図１１Ｂに示すように、第１処理区画ＰＺ１の最古チャンバ数が４から３に減少し、第１処理区画ＰＺ１の投入可能率が７５％（（３／４）×１００）に減少する。

【0089】

２枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１１Ｂに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、第２処理区画ＰＺ２および第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が最も高いので、スケジューリング機能部６５は、区画番号が最も小さい第２処理区画ＰＺ２を２枚目の基板Ｗのために選択する。そのため、図１１Ｃに示すように、第２処理区画ＰＺ２の最古チャンバ数が８から７に減少し、第２処理区画ＰＺ２の投入可能率が８７．５％（（７／８）×１００）に減少する。

【0090】

３枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１１Ｃに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が最も高いので、スケジューリング機能部６５は、第３処理区画ＰＺ３を３枚目の基板Ｗのために選択する。そのため、図１１Ｄに示すように、第３処理区画ＰＺ３の最古チャンバ数が８から７に減少し、第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が８７．５％（（７／８）×１００）に減少する。

【0091】

４枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１１Ｄに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、第２処理区画ＰＺ２および第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が最も高いので、スケジューリング機能部６５は、区画番号が最も小さい第２処理区画ＰＺ２を４枚目の基板Ｗのために選択する。そのため、図１１Ｅに示すように、第２処理区画ＰＺ２の最古チャンバ数が７から６に減少し、第２処理区画ＰＺ２の投入可能率が７５％（（６／８）×１００）に減少する。

【0092】

５枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１１Ｅに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が最も高いので、スケジューリング機能部６５は、第３処理区画ＰＺ３を４枚目の基板Ｗのために選択する。そのため、図１１Ｆに示すように、第３処理区画ＰＺ３の最古チャンバ数が７から６に減少し、第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が７５％（（６／８）×１００）に減少する。

【0093】

図１２は、全てのユニット最終使用時刻が初期値以外の値に変更された後のユニット最終使用時刻、搬送時間、および修正ユニット最終使用時刻の一例を示している。
図１２は、１〜３枚目の基板Ｗが、処理ユニットＭＰＣ１、処理ユニットＭＰＣ９、処理ユニットＭＰＣ１７の順番で、これらの処理ユニットＭＰＣ１、ＭＰＣ９、およびＭＰＣ１７に搬入される例を示している。図１２に示す例では、処理ユニットＭＰＣ１のユニット最終使用時刻は、１２時００分００秒であり、処理ユニットＭＰＣ９のユニット最終使用時刻は、１２時００分１５秒であり、処理ユニットＭＰＣ１７のユニット最終使用時刻は、１２時００分３０秒である。

【0094】

また、図１２は、第１処理区画ＰＺ１の搬送時間は１０秒であり、第２処理区画ＰＺ２の搬送時間は１５秒であり、第３処理区画ＰＺ３の搬送時間は１５秒である例を示している。各処理区画ＰＺの搬送時間は、搬送時間データ８３（図５参照）に登録されている（搬送時間登録ステップ）。処理ユニットＭＰＣ１および処理ユニットＭＰＣ２は、第１処理区画ＰＺ１に属しているものの、ロードポートＬＰから処理ユニットＭＰＣ１までの距離は、厳密には、ロードポートＬＰから処理ユニットＭＰＣ２までの距離とは異なる。そのため、処理ユニットＭＰＣ１までの基板Ｗの搬送時間は、厳密には、処理ユニットＭＰＣ２までの基板Ｗの搬送時間とは異なる。しかしながら、図１２に示す例では、同じ処理区画ＰＺに属する処理ユニットＭＰＣであれば搬送時間が概ね等しいと見なして、１つの搬送時間を同じ処理区画ＰＺに属する全ての処理ユニットＭＰＣに登録している。

【0095】

スケジューリング機能部６５は、処理ユニットＭＰＣ１のユニット最終使用時刻から第１処理区画ＰＺ１の搬送時間を引き、得られた値（時刻）を処理ユニットＭＰＣ１の修正ユニット最終使用時刻として登録する。具体的には、スケジューリング機能部６５は、処理ユニットＭＰＣ１の修正ユニット最終使用時刻に１１時５９分５０秒（１２時００分００秒−１０秒）を登録する。同様に、スケジューリング機能部６５は、処理ユニットＭＰＣ９の修正ユニット最終使用時刻に１２時００分００秒（１２時００分１５秒−１５秒）を登録し、処理ユニットＭＰＣ１７の修正ユニット最終使用時刻に１２時００分１５秒（１２時００分３０秒−１５秒）を登録する。

【0096】

次に、スケジューリング機能部６５は、同じ処理区画ＰＺに属する全ての有効な処理ユニットＭＰＣの修正ユニット最終使用時刻の中で最も古い時刻を、その処理区画ＰＺの区画最終使用時刻として記憶部６３に登録する（区画最終使用時刻特定ステップ）。図１２に示す例の場合、処理ユニットＭＰＣ１の修正ユニット最終使用時刻が、処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ８の修正ユニット最終使用時刻の中で最も古い。また、図１２に示す例の場合、処理ユニットＭＰＣ９の修正ユニット最終使用時刻が、処理ユニットＭＰＣ９〜ＭＰＣ１６の修正ユニット最終使用時刻の中で最も古く、処理ユニットＭＰＣ１７の修正ユニット最終使用時刻が、処理ユニットＭＰＣ１７〜ＭＰＣ２４の修正ユニット最終使用時刻の中で最も古い。したがって、スケジューリング機能部６５は、処理ユニットＭＰＣ１の修正ユニット最終使用時刻を第１処理区画ＰＺ１の区画最終使用時刻として登録し、処理ユニットＭＰＣ９の修正ユニット最終使用時刻を第２処理区画ＰＺ２の区画最終使用時刻として登録し、処理ユニットＭＰＣ１７の修正ユニット最終使用時刻を第１処理区画ＰＺ１の区画最終使用時刻として登録する。

【0097】

図１３Ａ〜図１３Ｅは、全てのユニット最終使用時刻が初期値以外の値に変更された後に、同じレシピが適用された複数枚の基板Ｗのスケジューリングを行った場合における記憶部６３内の使用履歴データ８２の変遷の一例を示している。
図１３Ａに示すように、１枚目の基板Ｗのスケジューリングを行う前、各処理区画ＰＺの投入可能率は１２．５％（（１／８）×１００）であり、各処理区画ＰＺの区画最終使用時刻は、初期値以外のそれぞれ異なる値であり、各処理区画ＰＺの最古チャンバ数は、１である。各処理区画ＰＺの有効チャンバ数は、８である。複数枚の基板Ｗに適用されたレシピでは、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４が並行処理ユニットとして指定されている。

【0098】

図１３Ａは、第１処理区画ＰＺ１の区画最終使用時刻が１２時００分００秒であり、第２処理区画ＰＺ２の区画最終使用時刻は、１２時００分３０秒であり、第３処理区画ＰＺ３の区画最終使用時刻は、１２時０１分００秒である例を示している。１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１３Ａに示すように、第１処理区画ＰＺ１の区画最終使用時刻が最も古いので、スケジューリング機能部６５は、第１処理区画ＰＺ１を１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択する。

【0099】

図１３Ｂは、第１処理区画ＰＺ１に属する全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ８の中で修正ユニット最終使用時刻が最も古い処理ユニットＭＰＣに１枚目の基板Ｗを処理させる例を示している。そのため、第１処理区画ＰＺ１の区画最終使用時刻は、１枚目の基板Ｗのスケジューリングを行う前の時刻とは異なる時刻に変更される。図１３Ｂは、第１処理区画ＰＺ１の区画最終使用時刻が、１２時００分００秒から１２時０１分３０秒に更新された例を示している。

【0100】

２枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１３Ｂに示すように、第２処理区画ＰＺ２の区画最終使用時刻（１２時００分３０秒）が最も古いので、スケジューリング機能部６５は、第２処理区画ＰＺ２を２枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択し、第２処理区画ＰＺ２に属する全ての処理ユニットＭＰＣ９〜ＭＰＣ１６の中で修正ユニット最終使用時刻が最も古い処理ユニットＭＰＣに基板Ｗを処理させるスケジュールを作成する。そのため、図１３Ｃに示すように、第２処理区画ＰＺ２の区画最終使用時刻が、１２時００分３０秒から１２時０２分００秒に更新される。

【0101】

３枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１３Ｃに示すように、第３処理区画ＰＺ３の区画最終使用時刻（１２時０１分００秒）が最も古いので、スケジューリング機能部６５は、第３処理区画ＰＺ３を３枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択し、第３処理区画ＰＺ３に属する全ての処理ユニットＭＰＣ１７〜ＭＰＣ２４の中で修正ユニット最終使用時刻が最も古い処理ユニットＭＰＣに基板Ｗを処理させるスケジュールを作成する。そのため、図１３Ｄに示すように、第３処理区画ＰＺ３の区画最終使用時刻が、１２時０１分００秒から１２時０２分３０秒に更新される。

【0102】

４枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１３Ｄに示すように、第１処理区画ＰＺ１の区画最終使用時刻（１２時０１分３０秒）が最も古いので、スケジューリング機能部６５は、第１処理区画ＰＺ１を４枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択し、第１処理区画ＰＺ１に属する全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ８の中で修正ユニット最終使用時刻が最も古い処理ユニットＭＰＣに基板Ｗを処理させるスケジュールを作成する。そのため、図１３Ｅに示すように、第１処理区画ＰＺ１の区画最終使用時刻が、１２時０１分３０秒から１２時０３分００秒に更新される。

【0103】

５枚目以降の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺも、前述と同様に、区画最終使用時刻が最も古い処理区画ＰＺが３つの処理区画ＰＺの中から選択される。もしも区画最終使用時刻が最も古い処理区画ＰＺが複数あった場合は、投入可能率が最大の処理区画ＰＺがその中から選択される。それでも、複数の処理区画ＰＺが残る場合は、残った複数の処理区画ＰＺの中で区画番号が最も小さい処理区画ＰＺが選択される。

【0104】

次に、基板Ｗの処理時間が減少する場合のスケジューリングについて説明する。
最初に、図１４Ａ〜図１４Ｆおよび図１５Ａ〜図１５Ｂを参照して第１実施例に係るスケジューリングについて説明し、その後、図１６Ａ〜図１６Ｆおよび図１７を参照して第１比較例に係るスケジューリングについて説明する。
図１４Ａ〜図１４Ｆは、第１実施例に係る投入可能率、区画最終使用時刻、最古チャンバ数、および有効チャンバ数の一例を示す表である。図１４Ａ〜図１４Ｆは、基板Ｗを第１処理時間処理する第１レシピが適用された複数枚の基板Ｗのスケジューリングを行った後に、基板Ｗを第１処理時間よりも短い第２処理時間する第２レシピが適用された複数枚の基板Ｗのスケジューリングを行った場合における記憶部６３内の使用履歴データ８２の変遷の一例を示している。

【0105】

図１４Ａに示すように、１枚目の基板Ｗのスケジューリングを行う前、各処理区画ＰＺの投入可能率は１００％（（８／８）×１００）であり、各処理区画ＰＺの区画最終使用時刻は、初期値（図１４Ａでは、０）であり、各処理区画ＰＺの最古チャンバ数は、８である。各処理区画ＰＺの有効チャンバ数は、８である。各ユニット最終使用時刻は、初期値である。第１レシピおよび第２レシピでは、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４が並行処理ユニットとして指定されている。第１レシピで指定された第１処理時間は、たとえば２４０秒であり、第２レシピで指定された第２処理時間は、たとえば６０秒である。

【0106】

第１レシピが適用された１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１４Ａに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、投入可能率が３つの処理区画ＰＺの間で等しいので、スケジューリング機能部６５は、区画番号が最も小さい第１処理区画ＰＺ１を１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択する。そのため、図１４Ｂに示すように、第１処理区画ＰＺ１の最古チャンバ数が８から７に減少し、第１処理区画ＰＺ１の投入可能率が８７．５％（（７／８）×１００）に減少する。

【0107】

第１レシピが適用された２枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１４Ｂに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、第２処理区画ＰＺ２および第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が最も高いので、スケジューリング機能部６５は、区画番号が最も小さい第２処理区画ＰＺ２を２枚目の基板Ｗのために選択する。そのため、図１４Ｃに示すように、第２処理区画ＰＺ２の最古チャンバ数が８から７に減少し、第２処理区画ＰＺ２の投入可能率が８７．５％（（７／８）×１００）に減少する。

【0108】

第１レシピとは処理時間が異なる第２レシピが適用された３枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１４Ｃに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が最も高いので、スケジューリング機能部６５は、第３処理区画ＰＺ３を３枚目の基板Ｗのために選択する。そのため、図１４Ｄに示すように、第３処理区画ＰＺ３の最古チャンバ数が８から７に減少し、第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が８７．５％（（７／８）×１００）に減少する。

【0109】

第２レシピが適用された４枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１４Ｄに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、投入可能率が３つの処理区画ＰＺの間で等しいので、スケジューリング機能部６５は、区画番号が最も小さい第１処理区画ＰＺ１を４枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択する。そのため、図１４Ｅに示すように、第１処理区画ＰＺ１の最古チャンバ数が６から７に減少し、第１処理区画ＰＺ１の投入可能率が７５％（（６／８）×１００）に減少する。

【0110】

第２レシピが適用された５枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１４Ｅに示すように、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であり、第２処理区画ＰＺ２および第３処理区画ＰＺ３の投入可能率が最も高いので、スケジューリング機能部６５は、区画番号が最も小さい第２処理区画ＰＺ２を５枚目の基板Ｗのために選択する。そのため、図１４Ｆに示すように、第２処理区画ＰＺ２の最古チャンバ数が７から６に減少し、第２処理区画ＰＺ２の投入可能率が７５％（（６／８）×１００）に減少する。

【0111】

図１５Ａおよび図１５Ｂは、第１実施例に係るスケジュールを示すタイムチャートである。図１５Ａは、基板Ｗを第１処理時間処理する第１レシピが適用された１〜２枚目の基板Ｗ１〜Ｗ２のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。図１５Ａに示す例では、１枚目の基板Ｗ１が第１処理区画ＰＺ１の処理ユニットＭＰＣ１で処理され、２枚目の基板Ｗ２が第２処理区画ＰＺ２の処理ユニットＭＰＣ９で処理されるように、スケジュールが作成されている。

【0112】

図１５Ｂは、基板Ｗを第２処理時間処理する第２レシピが適用された３〜６枚目の基板Ｗ３〜Ｗ６のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。図１５Ｂに示す例では、３枚目の基板Ｗ３が第３処理区画ＰＺ３の処理ユニットＭＰＣ１７で処理され、４枚目の基板Ｗ４が第１処理区画ＰＺ１の処理ユニットＭＰＣ２で処理されるように、スケジュールが作成されている。また、図１５Ｂに示す例では、５枚目の基板Ｗ５が第２処理区画ＰＺ２の処理ユニットＭＰＣ１０で処理され、６枚目の基板Ｗ６が第３処理区画ＰＺ３の処理ユニットＭＰＣ１８で処理されるように、スケジュールが作成されている。

【0113】

図１５Ｂに示すように、同じ処理区画ＰＺに属する全ての処理ユニットＭＰＣの修正ユニット最終使用時刻の中で最も古い時刻を表す区画最終使用時刻を最初に優先して処理区画ＰＺを選択すれば、基板Ｗの処理時間が変化しない場合だけでなく、基板Ｗの処理時間が減少する場合も、全ての処理区画ＰＺ１〜ＰＺ３を均等に選択でき、空いている処理ユニットＭＰＣを効率的に選択できる。したがって、後述するような区画使用率を最初に優先して処理区画ＰＺを選択する場合に比べて、基板処理装置１の稼働率を高めることができる。

【0114】

次に、図１６Ａ〜図１６Ｆおよび図１７を参照して、第１比較例に係るスケジューリングについて説明する。
以下では、基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを、区画最終使用時刻ではなく、区画使用率を基準に選択する例について説明する。区画使用率は、基板Ｗの処理のために要する時間を当該基板Ｗを処理する処理区画ＰＺにおける有効な（利用可能な）処理ユニットＭＰＣの数で除した値である。基板Ｗの処理のために要する時間が２４０秒であり、当該基板Ｗを処理する処理区画ＰＺに属する有効な処理ユニットＭＰＣの数が３であれば、区画使用率は、８０（＝２４０／３）である。

【0115】

図１６Ａ〜図１６Ｆに示す区画最終使用時刻は、ある処理区画ＰＺに属する全ての処理ユニットＭＰＣの修正ユニット最終使用時刻の中で最も古い時刻ではなく、ある処理区画ＰＺに属する全ての処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻の中で最も遅い時刻を意味している。したがって、ある処理区画ＰＺに属する１つの処理ユニットＭＰＣで基板Ｗを処理させるスケジュールが作成されると、その処理区画ＰＺに属する他の処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻が初期値であっても、その処理区画ＰＺの区画最終使用時刻は、基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻に変更される。

【0116】

図１６Ａ〜図１６Ｆは、第１比較例に係る区画使用率、区画最終使用時刻、有効チャンバ数の一例を示す表である。図１６Ａ〜図１６Ｆは、基板Ｗを第１処理時間処理する第１レシピが適用された複数枚の基板Ｗのスケジューリングを行った後に、基板Ｗを第１処理時間よりも短い第２処理時間する第２レシピが適用された複数枚の基板Ｗのスケジューリングを行った場合における記憶部６３内の使用履歴データ８２の変遷の一例を示している。

【0117】

図１６Ａに示すように、１枚目の基板Ｗのスケジューリングを行う前、各処理区画ＰＺの区画使用率は、０であり、区画最終使用時刻は、初期値（図１６Ａでは、０）であり、各処理区画ＰＺの有効チャンバ数は、３である。第１レシピおよび第２レシピでは、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４が並行処理ユニットとして指定されている。第１レシピで指定された第１処理時間は、たとえば２４０秒であり、第２レシピで指定された第２処理時間は、たとえば６０秒である。

【0118】

第１レシピが適用された１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１６Ａに示すように、区画使用率がいずれの処理区画ＰＺも０であり、区画最終使用時刻がいずれの処理区画ＰＺも初期値であるので、スケジューリング機能部６５は、区画番号が最も小さい第１処理区画ＰＺ１を１枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択する。そのため、図１６Ｂに示すように、第１処理区画ＰＺ１の区画使用率が増加する。図１６Ｂでは、第１処理時間が２４０秒であり、第１処理区画ＰＺ１の区画使用率が０から８０（＝２４０／３）に増加した例を示している。

【0119】

第１レシピが適用された２枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１６Ｂに示すように、第２処理区画ＰＺ２および第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が０であり、第２処理区画ＰＺ２および第３処理区画ＰＺ３の区画最終使用時刻が初期値であるので、スケジューリング機能部６５は、区画番号が最も小さい第２処理区画ＰＺ２を２枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択する。そのため、図１６Ｃに示すように、第２処理区画ＰＺ２の区画使用率が増加する。図１６Ｃでは、第１処理時間が２４０秒であり、第２処理区画ＰＺ２の区画使用率が０から８０（＝２４０／３）に増加した例を示している。

【0120】

第１レシピとは処理時間が異なる第２レシピが適用された３枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１６Ｃに示すように、第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が最も小さいので、スケジューリング機能部６５は、第３処理区画ＰＺ３を３枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択する。そのため、図１６Ｄに示すように、第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が増加する。図１６Ｄでは、第２処理時間が６０秒であり、第２処理区画ＰＺ２の区画使用率が０から２０（＝６０／３）に増加した例を示している。

【0121】

第２レシピが適用された４枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１６Ｄに示すように、依然として第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が最も小さいので、スケジューリング機能部６５は、第３処理区画ＰＺ３を４枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択する。そのため、図１６Ｅに示すように、第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が増加する。図１６Ｅでは、第２処理区画ＰＺ２の区画使用率が４０（＝１２０／３）に増加した例を示している。

【0122】

第２レシピが適用された５枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１６Ｅに示すように、依然として第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が最も小さいので、スケジューリング機能部６５は、第３処理区画ＰＺ３を５枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択する。そのため、図１６Ｆに示すように、第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が増加する。図１６Ｆでは、第２処理区画ＰＺ２の区画使用率が６０（＝１８０／３）に増加した例を示している。

【0123】

第２レシピが適用された６枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺを選択するとき、図１６Ｆに示すように、依然として第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が最も小さいので、スケジューリング機能部６５は、第３処理区画ＰＺ３を６枚目の基板Ｗを処理する処理区画ＰＺとして選択する。そのため、第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が増加する。具体的には、第２処理区画ＰＺ２の区画使用率は、８０（＝２４０／３）に増加する。これにより、第３処理区画ＰＺ３の区画使用率が、第１処理区画ＰＺ１および第２処理区画ＰＺ２の区画使用率と等しくなる。

【0124】

図１７は、区画使用率を最初に優先して処理区画ＰＺを選択し、３〜６枚目の基板Ｗ３〜Ｗ６のスケジューリングを行った後のスケジュールを示すタイムチャートである。
前述のように、区画使用率を基準に処理区画ＰＺを選択する場合、第３処理区画ＰＺ３が６枚目の基板Ｗ６のために選択される。したがって、図１７に示すように、第１処理区画ＰＺ１および第２処理区画ＰＺ２に空いている処理ユニットＭＰＣがあるにもかかわらず、６枚目の基板Ｗ６は第３処理区画ＰＺ３に属する処理ユニットＭＰＣ１７で処理されるようにスケジュールが作成される。そのため、６枚目の基板Ｗ６を第１処理区画ＰＺ１または第２処理区画ＰＺ２で処理する場合は、６枚目の基板Ｗ６の搬送を直ぐに開始できるのに、６枚目の基板Ｗ６を第３処理区画ＰＺ３で処理する場合は、処理ユニットＭＰＣ１７が３枚目の基板Ｗ３を処理し終えるまで搬送の開始を遅らせる必要がある。

【0125】

図１７と図１５Ｂとを比較すると分かるように、いずれの場合も、３枚目の基板Ｗ３は、処理ユニットＭＰＣ１７で処理されるようにスケジューリングされるものの、図１５Ｂに示す例では、４枚目の基板Ｗ４が処理ユニットＭＰＣ２で処理され、５枚目の基板Ｗ５が処理ユニットＭＰＣ１０で処理されるようにスケジュールが作成される。さらに、図１５Ｂに示す例では、６枚目の基板Ｗ６が処理ユニットＭＰＣ１７で処理されるようにスケジュールが作成される。したがって、図１５Ｂに示す例では、空いている処理ユニットＭＰＣが効率的に選択されるので、図１７に示すような搬送の遅延を防止でき、基板処理装置１の稼働率を高めることができる。

【0126】

次に、全ての有効な処理ユニットＭＰＣで基板Ｗの処理がスケジュールされた後に、基板Ｗの処理時間が減少する場合のスケジューリングについて説明する。
最初に、第２実施例に係るスケジューリングについて説明し、その後、第２比較例に係るスケジューリングについて説明する。
図１８は、第２実施例に係るユニット最終使用時刻、搬送時間、および修正ユニット最終使用時刻の一例を示す表である。図１９Ａ〜図１９Ｄは、第２実施例に係るスケジュールを示すタイムチャートである。

【0127】

図１９Ａ〜図１９Ｂは、基板Ｗを第１処理時間処理する第１レシピが適用された１〜１１枚目の基板Ｗ１〜Ｗ１１のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。図１９Ａは、１枚目の基板Ｗ１の処理が終了する時刻までのスケジュールを示しており、図１９Ｂは、図１９Ａの続きを示している。
図１９Ｃは、基板Ｗを第２処理時間処理する第２レシピが適用された１２枚目の基板Ｗ１２のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。図１９Ｄは、基板Ｗを第２処理時間処理する第２レシピが適用された１３〜１５枚目の基板Ｗ１３〜Ｗ１５のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。

【0128】

図１９Ａ〜図１９Ｄは、処理ユニットＭＰＣ１、ＭＰＣ２、ＭＰＣ３、ＭＰＣ９、ＭＰＣ１０、ＭＰＣ１１、ＭＰＣ１７、ＭＰＣ１８、およびＭＰＣ１９が、有効な処理ユニットＭＰＣである例を示している。したがって、各処理区画ＰＺの有効チャンバ数は、３である。第１レシピおよび第２レシピでは、全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４が並行処理ユニットとして指定されている。第１レシピで指定された第１処理時間は、たとえば２４０秒であり、第２レシピで指定された第２処理時間は、たとえば６０秒である。

【0129】

１枚目の基板Ｗのスケジューリングを行う前、各処理区画ＰＺの投入可能率は１００％（（３／３）×１００）であり、各処理区画ＰＺの区画最終使用時刻は、初期値であり、各処理区画ＰＺの最古チャンバ数は、３である。１枚目の基板Ｗのスケジューリングを行う前の状況は、図１０Ａ〜図１０Ｅを参照して説明した例と概ね同じである。したがって、１〜１１枚目の基板Ｗ１〜Ｗ１１のスケジューリングは、図１０Ａ〜図１０Ｅを参照して説明した例と同様に行われる。

【0130】

具体的には、図１９Ａに示すように、１枚目の基板Ｗ１が処理ユニットＭＰＣ１で処理され、２枚目の基板Ｗ２が処理ユニットＭＰＣ９で処理され、３枚目の基板Ｗ３が処理ユニットＭＰＣ１７で処理されるように、スケジュールが作成される。また、４枚目の基板Ｗ４が処理ユニットＭＰＣ２で処理され、５枚目の基板Ｗ５が処理ユニットＭＰＣ１０で処理され、６枚目の基板Ｗ６が処理ユニットＭＰＣ１８で処理されるように、スケジュールが作成される。また、７枚目の基板Ｗ７が処理ユニットＭＰＣ１で処理され、８枚目の基板Ｗ８が処理ユニットＭＰＣ９で処理され、９枚目の基板Ｗ９が処理ユニットＭＰＣ１７で処理されるように、スケジュールが作成される。

【0131】

また、図１９Ｂに示すように、１０枚目の基板Ｗ１０が処理ユニットＭＰＣ１で処理され、１１枚目の基板Ｗ１１が処理ユニットＭＰＣ９で処理されるように、スケジュールが作成される。つまり、１０枚目の基板Ｗ１０は、１枚目の基板Ｗ１が処理ユニットＭＰＣ１で処理された後に、処理ユニットＭＰＣ１で処理される。１１枚目の基板Ｗ１１は、２枚目の基板Ｗ２が処理ユニットＭＰＣ９で処理された後に、処理ユニットＭＰＣ９で処理される。このようにして、１〜１１枚目の基板Ｗ１〜Ｗ１１を処理するスケジュールが作成される。

【0132】

図１９Ｂの下部には、１１枚目の基板Ｗ１１を処理するスケジュールが作成された後の各処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻（時刻Ｔ１〜Ｔ７）が示されている。１１枚目の基板Ｗ１１を処理するスケジュールが作成された時点の処理ユニットＭＰＣ１のユニット最終使用時刻は時刻Ｔ６であり、この時点の処理ユニットＭＰＣ２のユニット最終使用時刻は時刻Ｔ１であり、この時点の処理ユニットＭＰＣ３のユニット最終使用時刻は時刻Ｔ３である。これらのうちで最も前の時刻は、時刻Ｔ１である。

【0133】

図１８は、１１枚目の基板Ｗ１１を処理するスケジュールが作成された時点の全ての有効な処理ユニットＭＰＣのユニット最終使用時刻、搬送時間、および修正ユニット最終使用時刻を示している。処理ユニットＭＰＣ１、ＭＰＣ２、およびＭＰＣ３が属する第１処理区画ＰＺ１の搬送時間は、搬送時間ｔ１である。したがって、処理ユニットＭＰＣ１の修正ユニット最終使用時刻は時刻Ｔ６−搬送時間ｔ１であり、処理ユニットＭＰＣ２の修正ユニット最終使用時刻は時刻Ｔ１−搬送時間ｔ１であり、処理ユニットＭＰＣ３の修正ユニット最終使用時刻は時刻Ｔ３−搬送時間ｔ１である。これらのうちで最も前の時刻は、時刻Ｔ１−搬送時間ｔ１である。

【0134】

処理ユニットＭＰＣ９のユニット最終使用時刻は時刻Ｔ７であり、処理ユニットＭＰＣ１０のユニット最終使用時刻は時刻Ｔ２であり、処理ユニットＭＰＣ１１のユニット最終使用時刻は時刻Ｔ４である。図１９Ｂに示すように、これらのうちで最も前の時刻は、時刻Ｔ２である。処理ユニットＭＰＣ９、処理ユニットＭＰＣ１０、および処理ユニットＭＰＣ１１が属する第２処理区画ＰＺ２の搬送時間は、搬送時間ｔ２である。したがって、処理ユニットＭＰＣ９の修正ユニット最終使用時刻は時刻Ｔ７−搬送時間ｔ２であり、処理ユニットＭＰＣ１０の修正ユニット最終使用時刻は時刻Ｔ２−搬送時間ｔ２であり、処理ユニットＭＰＣ１１の修正ユニット最終使用時刻は時刻Ｔ４−搬送時間ｔ２である。これらのうちで最も前の時刻は、時刻Ｔ２−搬送時間ｔ２である。

【0135】

処理ユニットＭＰＣ１７のユニット最終使用時刻は時刻Ｔ１であり、処理ユニットＭＰＣ１８のユニット最終使用時刻は時刻Ｔ３であり、処理ユニットＭＰＣ１９のユニット最終使用時刻は時刻Ｔ５である。図１９Ｂに示すように、これらのうちで最も前の時刻は、時刻Ｔ２である。処理ユニットＭＰＣ１７、処理ユニットＭＰＣ１８、および処理ユニットＭＰＣ１９が属する第２処理区画ＰＺ２の搬送時間は、搬送時間ｔ２である。したがって、処理ユニットＭＰＣ１７の修正ユニット最終使用時刻は時刻Ｔ１−搬送時間ｔ２であり、処理ユニットＭＰＣ１８の修正ユニット最終使用時刻は時刻Ｔ３−搬送時間ｔ２であり、処理ユニットＭＰＣ１９の修正ユニット最終使用時刻は時刻Ｔ５−搬送時間ｔ２である。これらのうちで最も前の時刻は、時刻Ｔ１−搬送時間ｔ２である。

【0136】

図１８に示すように、１１枚目の基板Ｗ１１を処理するスケジュールが作成された時点の第１処理区画ＰＺ１の区画最終使用時刻は、時刻Ｔ１−搬送時間ｔ１である。この時点の第２処理区画ＰＺ２の区画最終使用時刻は、時刻Ｔ２−搬送時間ｔ２である。この時点の第３処理区画ＰＺ３の区画最終使用時刻は、時刻Ｔ１−搬送時間ｔ２である。図１９Ａの左端付近に示すように、搬送時間ｔ１は、搬送時間ｔ２よりも短い。したがって、第３処理区画ＰＺ３の区画最終使用時刻（Ｔ１−Ｓ２）が、３つの処理区画ＰＺの区画最終使用時刻の中で最も古い。

【0137】

第３処理区画ＰＺ３の区画最終使用時刻が、３つの処理区画ＰＺの区画最終使用時刻の中で最も古いので、スケジューリング機能部６５は、１２枚目の基板Ｗのために第３処理区画ＰＺ３を選択する。図１９Ｃは、１２枚目の基板Ｗ１２が第３処理区画ＰＺ３に属する処理ユニットＭＰＣ１７で処理されるように、スケジュールされた例を示している。この例の場合、１２枚目の基板Ｗ１２を処理するスケジュールが作成されると、処理ユニットＭＰＣ１７のユニット最終使用時刻および修正ユニット最終使用時刻が更新され、第３処理区画ＰＺ３の区画最終使用時刻が更新される。

【0138】

図１９Ｃを見ると分かるように、１２枚目の基板Ｗ１２の処理時間（第２処理時間）は、１〜１１枚目の基板Ｗ１〜Ｗ１１の処理時間（第１処理時間）よりも短い。つまり、１２枚目の基板Ｗ１２には、基板Ｗを第１処理時間よりも短い第２処理時間する第２レシピが適用されている。同様に、１３〜１５枚目の基板Ｗ１３〜Ｗ１５にも第２レシピが適用されている。図１９Ｄは、１３枚目の基板Ｗ１３が処理ユニットＭＰＣ２で処理され、１４枚目の基板Ｗ１４が処理ユニットＭＰＣ１０で処理され、１５枚目の基板Ｗ１５が処理ユニットＭＰＣ１８で処理されるように、スケジュールされた例を示している。

【0139】

次に、図２０を参照して、第２比較例に係るスケジューリングについて説明する。
図２０は、第２比較例に係るスケジュールを示すタイムチャートであり、区画使用率を最初に優先して処理区画ＰＺを選択し、１２〜１５枚目の基板Ｗ１２〜Ｗ１５のスケジューリングを行った後のスケジュールの一例を示している。
第２比較例において、各処理区画ＰＺの有効チャンバ数や並行処理ユニットは、第２実施例と同様である。１〜１１枚目の基板Ｗ１〜Ｗ１１には、第１レシピが適用されており、１２〜１５枚目の基板Ｗ１２〜Ｗ１５には、第２レシピが適用されている。１１枚目の基板Ｗ１１までのスケジュールは、第２実施例と同様である。

【0140】

図２０に示すように、区画最終使用時刻ではなく、区画使用率を基準に選択する処理区画ＰＺを選択すると、１２枚目の基板Ｗ１２は、第２実施例と同様に、第３処理区画ＰＺ３で処理されるようにスケジュールが作成される。図２０は、１２枚目の基板Ｗ１２が処理ユニットＭＰＣ１７で処理されるように、スケジュールされた例を示している。
その一方で、１３枚目の基板Ｗ１３のための処理区画ＰＺの選択を開始する時点で空いている処理ユニットＭＰＣ（たとえば、処理ユニットＭＰＣ２および処理ユニットＭＰＣ１０）が第１処理区画ＰＺ１および第２処理区画ＰＺ２に存在するのに、１３枚目の基板Ｗ１３は、第３処理区画ＰＺ３に属する処理ユニットＭＰＣ１８で処理されるようにスケジュールされる。同様に、１４枚目の基板Ｗ１４は第３処理区画ＰＺ３に属する処理ユニットＭＰＣ１９で処理され、１５枚目の基板Ｗ１５は第３処理区画ＰＺ３に属する処理ユニットＭＰＣ１７で処理されるようにスケジュールされる。

【0141】

図２０は、インデクサロボットＩＲ（図１参照）が１４〜１５枚目の基板Ｗ１４〜Ｗ１５をロードポートＬＰ上のキャリアＣから同時に搬出し、１４〜１５枚目の基板Ｗ１４〜Ｗ１５をロードポートＬＰ上のキャリアＣに同時に搬入する例を示している。図１９Ａ〜図１９Ｄについても同様である。図１９Ｄに示す例では、１４〜１５枚目の基板Ｗ１４〜Ｗ１５は、搬出時刻Ｘ１にキャリアＣから搬出され、搬入時刻Ｙ１にキャリアＣに搬入される。図２０に示す例では、１４〜１５枚目の基板Ｗ１４〜Ｗ１５は、搬出時刻Ｘ２にキャリアＣから搬出され、搬入時刻Ｙ２にキャリアＣに搬入される。

【0142】

第２実施例および第２比較例では、１２〜１５枚目の基板Ｗ１２〜Ｗ１５を同じ条件で複数の処理ユニットＭＰＣに処理させるにもかかわらず、図１９Ｄに示すように、第２実施例に係る搬出時刻Ｘ１は、第２比較例に係る搬出時刻Ｘ２よりも時間Ｚ１だけ早く、第２実施例に係る搬入時刻Ｙ１は、第２比較例に係る搬入時刻Ｙ２よりも時間Ｚ１だけ早い。したがって、第２実施例では、３つの処理区画ＰＺを均等に選択でき、基板処理装置１の稼働率を高めることができるだけでなく、第２比較例に比べて単位時間当たりの基板Ｗの処理枚数を増やすことができる。これにより、基板処理装置１のスループットを高めることができる。

【0143】

以上のように本実施形態では、区画使用率の大小関係に基づいて処理区画ＰＺを選択するのではなく、区画最終使用時刻に基づいて複数の処理区画ＰＺの中から１つの処理区画ＰＺを選択する。そして、選択された処理区画ＰＺに属する複数の処理ユニットＭＰＣの中から１つの処理ユニットＭＰＣを選択する。その後、基板Ｗが、基板搬送システムに含まれるインデクサロボットＩＲ、第１主搬送ロボットＣＲ１および第２主搬送ロボットＣＲ２によって、ロードポートＬＰ上のキャリアＣから、選択された処理ユニットＭＰＣに搬送される。したがって、基板Ｗの処理時間が変化しない場合だけでなく、基板Ｗの処理時間が減少する場合も、複数の処理区画ＰＺを均等に選択でき、基板処理装置１に備えられた全ての処理ユニットＭＰＣ１〜ＭＰＣ２４を満遍なく使用することができる。これにより、基板処理装置１の稼働率を高めることができる。

【0144】

しかも、区画最終使用時刻は、最も古いユニット最終使用時刻ではなく、最も古い修正ユニット最終使用時刻に基づいて特定される。修正ユニット最終使用時刻は、処理ユニットＭＰＣが基板Ｗの処理のために最後に使用される時刻を表すユニット最終使用時刻から、ロードポートＬＰ上のキャリアＣから処理ユニットＭＰＣに基板Ｗを搬送するのに要する搬送時間を引いた時刻である。したがって、複数の処理区画ＰＺの間での搬送時間の差を減らすことができ、ロードポートＬＰに近い方の処理区画ＰＺばかりが選択されることを回避できる。これにより、複数の処理区画ＰＺをさらに均等に選択できる。

【0145】

本実施形態では、同じ処理区画ＰＺに属する複数の処理ユニットＭＰＣについては、同じ値が搬送時間として登録される。同じ処理区画ＰＺに属する複数の処理ユニットＭＰＣであっても、搬送距離が厳密には異なるので、搬送時間も厳密には異なる。しかしながら、属する処理区画ＰＺが同じであれば、搬送時間の差は僅かであり、搬送時間はこれらの処理ユニットＭＰＣの間で概ね等しい。したがって、同じ処理区画ＰＺに属する複数の処理ユニットＭＰＣについて同じ値を搬送時間として登録すれば、これらの処理区画ＰＺの間での搬送時間の差を減らしながら、搬送時間の設定を単純化できる。

【0146】

本実施形態では、区画最終使用時刻が最も古い複数の処理区画ＰＺがあった場合は、投入可能率が最大の処理区画ＰＺが、それらの処理区画ＰＺの中から選択される。これは、多くの場合で、ユニット最終使用時刻が最も古い処理ユニットＭＰＣの数が最大の処理区画ＰＺを選択することを意味する。選択された処理ユニットＭＰＣに基板Ｗを搬送する前や選択された処理ユニットＭＰＣに基板Ｗを搬送しているときに、その処理ユニットＭＰＣに異常が発生した場合は、別の処理ユニットＭＰＣを選択し直す必要がある。このような場合、同じ処理区画ＰＺの中にユニット最終使用時刻が最も古い別の処理ユニットＭＰＣがあれば、その処理ユニットＭＰＣを新たな処理ユニットＭＰＣとして選択できる。したがって、比較的簡単な変更で基板Ｗの新たな搬送経路を設定できる。

【0147】

本実施形態では、全ての処理ユニットＭＰＣを満遍なく使用できるので、スピンチャック３３やスクラブ部材３７などの処理ユニットＭＰＣに備えられた装置等や、薬液ノズル３４に薬液を送るポンプなどの処理ユニットＭＰＣに関連する装置等を均等に使用できる。したがって、これらの消耗品の消耗度合いを平準化でき、メンテナンスの頻度を減らすことができる。これにより、基板処理装置１の稼働率をさらに高めることができる。

【0148】

第１および第２実施例では、基板Ｗの処理時間が第１処理時間から第２処理時間に減少する例について説明した。このような場合でも、区画最終使用時刻に基づいて複数の処理区画ＰＺの中から１つの処理区画ＰＺを選択するので、区画使用率の大小関係に基づいて処理区画ＰＺを選択する場合に比べて複数の処理区画ＰＺを均等に選択できる。したがって、基板Ｗの搬送経路や処理時間が異なる場合でも、全ての処理ユニットＭＰＣを満遍なく使用することができ、基板処理装置１の稼働率をさらに高めることができる。

【0149】

他の実施形態
本発明は、前述の実施形態の内容に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。
たとえば、処理区画ＰＺは、搬送時間ではなく搬送距離に基づいて分類されてもよい。
同じ処理区画ＰＺに属する処理ユニットＭＰＣの数は、３つの処理区画ＰＺの間で異なっていてもよい。

【0150】

基板処理装置１に設けられる処理区画ＰＺの数は、２つまたは５つ以上であってもよい。たとえば、第２処理区画ＰＺ２および第３処理区画ＰＺ３を１つの処理区画ＰＺとして扱ってもよい。もしくは、第３処理区画ＰＺ３を省略してもよい。
第３処理区画ＰＺ３を省略する場合、第１主搬送ロボットＣＲ１が、第１処理区画ＰＺ１および第２処理区画ＰＺ２に属する全ての処理ユニットＭＰＣに対して基板Ｗの搬入および搬出を行ってもよい。この場合、第２主搬送ロボットＣＲ２および第２受け渡しユニットＰＡＳＳ２は不要である。

【0151】

第２処理区画ＰＺ２の搬送時間は、第３処理区画ＰＺ３の搬送時間と異なっていてもよいし、第１処理区画ＰＺ１の搬送時間と等しくてもよい。
同じ処理区画ＰＺに属する複数の処理ユニットＭＰＣに対して同じ値が搬送時間として登録されるのではなく、処理ユニットＭＰＣごとに搬送時間が登録されてもよい。すなわち、同じ処理区画ＰＺに属する複数の処理ユニットＭＰＣに対して登録された搬送時間が互いに異なっていてもよい。

【0152】

区画最終使用時刻が最も古い処理区画が複数見つかった場合（図８のステップＳ３４：ＹＥＳ）、スケジューリング機能部は、投入可能率が最大の処理区画ＰＺではなく、最古チャンバ数が最大の処理区画ＰＺを、候補区画に含まれる複数の処理区画の中で検索してもよい。
区画最終使用時刻が最も古い処理区画が複数見つかった場合（図８のステップＳ３４：ＹＥＳ）、投入可能率に基づいて処理区画ＰＺを選択するのではなく、区画番号に基づいて処理区画ＰＺを選択してもよい。もしくは、区画最終使用時刻が最も古い複数の処理区画ＰＺの中から任意の処理区画ＰＺを選択してもよい。

【0153】

修正ユニット最終使用時刻の代わりに、ユニット最終使用時刻を用いてもよい。もしくは、ユニット最終使用時刻の代わりに、修正ユニット最終使用時刻を用いてもよい。たとえば、区画最終使用時刻は、最も古い修正ユニット最終使用時刻ではなく、最も古いユニット最終使用時刻に基づいて特定されてもよい。基板Ｗを処理する処理ユニットＭＰＣを選択する際に、最も古い区画最終使用時刻を最初に優先するのではなく、最も古い修正ユニット最終使用時刻を最初に優先してもよい。

【0154】

処理ユニットＭＰＣは、図３に示す表面洗浄ユニットおよび図４に示す端面洗浄ユニットに限らず、基板Ｗの表面をスクラブ部材で洗浄する表面スクラブ洗浄ユニット、基板Ｗの裏面を洗浄する裏面洗浄ユニットなどの他の種類の処理ユニットであってもよい。複数種類の処理ユニットが１つの基板処理装置１に備えられていてもよい。
前述の全ての構成の２つ以上が組み合わされてもよい。前述の全てのステップの２つ以上が組み合わされてもよい。

【0155】

その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。

【符号の説明】

【0156】

１：基板処理装置
６０：コンピュータ（制御装置）
７１：スケジュール作成プログラム
７２：処理実行プログラム
Ｃ：キャリア
ＣＲ１：第１主搬送ロボット（基板搬送システム）
ＣＲ２：第２主搬送ロボット（基板搬送システム）
ＩＲ：インデクサロボット（基板搬送システム）
ＬＰ：ロードポート
ＭＰＣ：処理ユニット
Ｗ：基板

【図1】