特許6982549炭化ケイ素半導体装置の製造方法および炭化ケイ素半導体検査装置

発明の名称　炭化ケイ素半導体装置の製造方法および炭化ケイ素半導体検査装置

出願人　株式会社　日立パワーデバイス　（識別番号 233273）

　　　　特許公開件数ランキング 320 位（96件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1160 位（16件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6982549

公報発行日　2021年12月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6982549

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6982549「炭化ケイ素半導体装置の製造方法および炭化ケイ素半導体検査装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録