特許第6982614号(P6982614)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6982614イオン源内における炭素の堆積を最小限にするために、一次ドーパント又はパージガスへの補助ガスとして過酸化水素を使用するインサイチュクリーニング
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  • 特許6982614-イオン源内における炭素の堆積を最小限にするために、一次ドーパント又はパージガスへの補助ガスとして過酸化水素を使用するインサイチュクリーニング 図000002
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