特許6982951赤外線用機能性膜付シリコン基板

発明の名称　赤外線用機能性膜付シリコン基板

出願人　株式会社ニデック　（識別番号 135184）

　　　　特許公開件数ランキング 464 位（59件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 378 位（66件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6982951

公報発行日　2021年12月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6982951

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