公報発行日 2021年12月17
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【図1】実施例1に係る半導体装置100を説明するための図である。
【図2】実施例1に係る半導体装置100の断面図の一例である。
【図3】実施例2に係る半導体パッケージ10の構成の一例を示す。
【図4】実施例3に係る半導体パッケージ10の構成の一例を示す。
【図5】実施例4に係る半導体パッケージ10の構成の一例を示す。
【図6】実施例5に係る半導体パッケージ10の構成の一例を示す。
【図7】実施例6に係る半導体パッケージ10の構成の一例を示す。
【図8】半導体装置100の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図9】比較例1に係る半導体装置500を説明するための図である。
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