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公報発行日 2021年12月22
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【図1】本実施形態の金属皮膜の成膜方法の工程を説明するフロー図である。
【図2】図1に示すエッチング処理工程を説明するための模式的概念図である。
【図3】(a)は、図1に示す置換処理工程前の基板および成膜装置の模式的断面図であり、(b)は、図1に示す置換処理工程時の基板および成膜装置の模式的断面図であり、(c)は、図1に示す成膜工程時の基板および成膜装置の模式的断面図である。
【図4】実施例1に係るエッチング処理工程後かつ置換処理工程前の試験片の表面写真の画像である。
【図5】実施例1に係る置換処理工程後かつ成膜工程前の試験片の表面写真である。
【図6】実施例1に係る成膜工程後の試験片の断面写真である。
【図7】実施例1、2および比較例1、2の破断強度の結果を示したグラフである。
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