【図1A】図１Ａは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1B】図１Ｂは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1C】図１Ｃは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1D】図１Ｄは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1E】図１Ｅは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1F】図１Ｆは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1G】図１Ｇは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1H】図１Ｈは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1I】図１Ｉは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1J】図１Ｊは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図1K】図１Ｋは、本発明の実施の形態１におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図2A】図２Ａは、本発明の実施の形態２におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図2B】図２Ｂは、本発明の実施の形態２におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図2C】図２Ｃは、本発明の実施の形態２におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図2D】図２Ｄは、本発明の実施の形態２におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図2E】図２Ｅは、本発明の実施の形態２におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図2F】図２Ｆは、本発明の実施の形態２におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図2G】図２Ｇは、本発明の実施の形態２におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図2H】図２Ｈは、本発明の実施の形態２におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図2I】図２Ｉは、本発明の実施の形態２におけるトランジスタの作製方法を説明するための途中工程におけるトランジスタの断面を示す断面図である。

【図3】図３は、高電子移動度トランジスタの構成を示す断面図である。