特許 6984748 保管棚

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6984748

(24)【登録日】2021年11月29日

(45)【発行日】2021年12月22日

(54)【発明の名称】保管棚

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20211213BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20211213BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65G1/00 521D

【請求項の数】7

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2020-525273(P2020-525273)

(86)(22)【出願日】2019年3月22日

(86)【国際出願番号】JP2019012222

(87)【国際公開番号】WO2019239672

(87)【国際公開日】20191219

【審査請求日】2020年9月30日

(31)【優先権主張番号】特願2018-114816(P2018-114816)

(32)【優先日】2018年6月15日

(33)【優先権主張国】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(74)【代理人】

【識別番号】100180851

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼口 誠

(72)【発明者】

【氏名】椿 達雄

(72)【発明者】

【氏名】大西 真司

【審査官】 湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１７／０２２３３０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１０−１８２７４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１３９３１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−３３８９７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１６６９５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／１２６１０６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 実開平１−９２２４０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２０１６−５０６８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／１７４６０６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１７−２２７２１６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｇ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状のベース部材を有する本体フレームと、前記ベース部材に弾性体を介して取り付けられる板状の棚板と、を備え、被格納物が格納される容器を保管する保管棚であって、
前記棚板に設けられ、前記容器にガスを供給する供給ノズルと、
前記供給ノズルに連通する一端と、前記棚板とは別体の支持部によって支持されると共に前記容器に供給するガスの供給源に接続されている主管に連通する他端と、を有する供給管と、を備え、
前記供給管は、前記一端から前記他端までの間の少なくとも一部に可撓性のある可撓部を有しており、板状の前記ベース部材と板状の前記棚板との間に形成される空間に配置されている、保管棚。

【請求項2】

前記支持部は、前記本体フレームである、請求項１記載の保管棚。

【請求項3】

前記棚板は、平面視において矩形形状を有しており、
前記供給ノズルは、前記棚板の一のコーナー部に配置されており、
前記供給管の他端は、前記棚板の一のコーナー部の対角に相当する他のコーナー部に配置されている、請求項１又は２記載の保管棚。

【請求項4】

前記供給管は、前記一端の軸方向と前記他端の軸方向とが互いに直交すると共に、前記一端と前記他端との間に曲線部を有している、請求項１〜３の何れか一項記載の保管棚。

【請求項5】

前記供給管は、水平方向に沿って配置されている、請求項１〜４の何れか一項記載の保管棚。

【請求項6】

前記本体フレームに支持されると共に、前記主管と前記供給管の他端との間に設けられるフィルタを更に備える、請求項１又は２記載の保管棚。

【請求項7】

前記本体フレームは、天井搬送車のレール、前記レールを支持する支持部材、又は天井のいずれかに取り付けられて下方に延在する吊下部材と、前記吊下部材の下端を連結する連結部材と、を更に有し、
前記ベース部材は、前記連結部材に掛け渡されており、
前記棚板は、前記供給ノズルと、前記容器を位置決めするピンと、を有し、
前記主管は、前記ベース部材によって支持されている、請求項１〜６の何れか一項記載の保管棚。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の一側面は、保管棚に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置又は液晶製造装置等で処理されるウエハを収容するＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod)、及び半導体製造装置又は液晶製造装置等で用いられるレチクルを収容するレチクルポッド等の容器を保管する保管棚が知られている。保管棚は、天井搬送車の軌道又は天井等の被支持部から吊り下げられた状態で設置されたり、地面に立設した状態で設置されたりする。このような保管棚では、天井搬送車又は地上搬送車の走行によって振動が伝わることがある。例えば、特許文献１には、容器を載置する棚板（載置部）と当該棚板を支持する本体フレーム（枠部）とを備え、上記棚板は、弾性体を介して本体フレームに支持されている保管棚が開示されている。この保管棚では、棚板に伝達される振動の影響を低減することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第６０６１０２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

被格納物の清浄度を維持するため、上述した保管棚に、不活性気体又は清浄乾燥空気等のパージガスを容器に供給するパージ設備を設けたい場合がある。しかしながら、棚板にパージ設備を設けた場合、容器にパージガスを供給する供給管によって、棚板の防振が阻害されたり、供給管を介して棚板に振動が伝達されたりするおそれがある。

【0005】

そこで、本発明の一側面の目的は、棚板にパージ設備が設けられる場合にも、容器に振動が伝達されることを抑制できる保管棚を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面に係る保管棚は、本体フレームと、本体フレームに弾性体を介して取り付けられる棚板と、を備え、被格納物が格納される容器を保管する保管棚であって、棚板に設けられ、容器にガスを供給する供給ノズルと、供給ノズルに連通する一端と、棚板とは別体の支持部によって支持されると共に容器に供給するガスの供給源に接続されている主管に連通する他端と、を有する供給管と、を備え、供給管は、一端から他端までの間の少なくとも一部に可撓性のある可撓部を有している。

【0007】

この構成の保管棚では、棚板に設けられる供給ノズルに接続される供給管の全長方向における少なくとも一部が可撓性を有する。これにより、供給管は、棚板と本体フレームとの間の相対的な移動を許容できるので、棚板の防振が阻害されたり、供給管を介して棚板に振動が伝達されたりすることが抑制される。この結果、棚板にパージ設備が設けられる場合にも、容器に振動が伝達されることを抑制できる。

【0008】

本発明の一側面に係る保管棚では、支持部は、本体フレームであってもよい。これにより、主管が本体フレームに固定されている構成の保管棚であっても、容器に振動が伝達されることを抑制できる。

【0009】

本発明の一側面に係る保管棚では、棚板は、平面視において矩形形状を有しており、供給ノズルは、棚板の一のコーナー部に配置されており、供給管の他端は、棚板の一のコーナー部の対角に相当する他のコーナー部に配置されていてもよい。この構成では、一端及び他端の位置が、棚板の一の辺に平行な第一方向及び当該一の辺に直交する辺に平行な第二方向の両方に互いにずれているので、ベース部材と棚板との間の第一方向及び第二方向への相対的な移動を容易にすることができる。

【0010】

本発明の一側面に係る保管棚では、供給管は、一端の軸方向と他端の軸方向とが互いに直交すると共に、一端と他端との間に曲線部を有していてもよい。この構成では、供給管は、棚板における第一方向及び第二方向のどちらの動きもより一層容易にすることができる。

【0011】

本発明の一側面に係る保管棚では、前記供給管は、水平方向に沿って配置され、曲線部を有していてもよい。この構成では、本体フレームと本体フレームの上方に弾性体を介して配置される棚板との間隔が狭い場合であっても、本体フレームと棚板との間に供給管を配置することができる。言い換えれば、保管棚の鉛直方向におけるサイズが増大化することを抑制できる。

【0012】

本発明の一側面に係る保管棚では、本体フレームに支持されると共に、主管と供給管の他端との間に設けられるフィルタを更に備えていてもよい。この構成では、供給管へガスを供給する最終端でガスを浄化することができるので、より上質なガスを容器に供給することができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明の一側面によれば、棚板にパージ設備が設けられる場合にも、容器に振動が伝達されることを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、一実施形態に係る保管棚を示す斜視図である。

【図2】図２は、棚板を斜め上方から見たときの示す斜視図である。

【図3】図３は、棚板を斜め下方から見たときの示す斜視図である。

【図4】図４は、棚板を上方から見たときの示す平面図である。

【図5】図５は、変形例１に係る棚板を上方から見たときの平面図である。

【図6】図６は、変形例２に係る棚板を上方から見たときの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「Ｘ方向」、「Ｙ方向」及び「Ｚ方向」の語は、図示する方向に基づいており便宜的なものである。図２及び図４は、棚板２０を透明化して示し、図３は、ベース部材７を透明化して示している。

【0016】

図１に示す保管棚１は、例えば、半導体製造工場の半導体搬送システムに設置される。保管棚１は、レチクルポッド又はＦＯＵＰ（図示せず）等の容器（被格納物）を一時的に保管する。保管棚１は、本体フレーム１０と、棚板２０と、主管５０と、パージ設備３０と、を備えている。本体フレーム１０は、弾性体９を介して棚板２０を支持する。弾性体９の例には、ゴム材、シリコーンゲル材、ウレタンゲル、及び金属バネ等が含まれる。本体フレーム１０は、吊下部材３ａ〜３ｄと、連結部材５ａ，５ｂと、ベース部材７と、を有している。

【0017】

吊下部材３ａ〜３ｄは、上下方向（Ｚ方向）に延在する柱部材であり、複数本（本実施形態では四本）設けられている。吊下部材３ａ〜３ｄは、Ｘ方向及びＹ方向で所定の間隔をあけて対向して配置されている。吊下部材３ａ〜３ｄは、天井搬送車のレール、このレールを支持する支持部材、又は、天井のいずれかに取り付けられている。吊下部材３ａ，３ｂの下端側には、Ｘ方向に延在する柵部材６が横架されている。吊下部材３ｃ，３ｄの下端側には、Ｘ方向に延在する柵部材６が横架されている。柵部材６，６は、ＦＯＵＰの落下を防止する。なお、図１では、説明の便宜のため、吊下部材３ａ，３ｂに横架される柵部材の一方の図示を省略している。

【0018】

連結部材５ａは、Ｙ方向に延在する部材であり、吊下部材３ａと吊下部材３ｃとの下端部を連結している。連結部材５ｂは、Ｙ方向に延在する部材であり、吊下部材３ｂと吊下部材３ｄとの下端部を連結している。ベース部材７は、Ｘ方向に延在する板状部材であって、複数の連結部材５ａ，５ｂに架け渡されている。

【0019】

棚板２０は、Ｚ方向から見た平面視において、略矩形形状を呈する板状の部材であり、ＦＯＵＰが載置される。棚板２０は、ベース部材７の上面７ａに配置された弾性体９によって支持されている。棚板２０は、ＦＯＵＰが載置される載置面２１ａと、載置面２１ａとは反対側の下面２１ｂ（図２参照）と、有する。棚板２０には、ピンＰ１，Ｐ２，Ｐ３と、後段にて詳述する供給ノズル３１と、が設けられている。ピンＰ１〜Ｐ３は、棚板２０の載置面２１ａから上方に突出している。ピンＰ１〜Ｐ３は、ＦＯＵＰの底部に設けられた位置決め穴（図示せず）に対応する位置に配置されている。また、棚板２０の載置面２１ａには、在荷センサＳＷが設けられている。

【0020】

主管５０は、パージ設備３０に供給するガスの供給源に接続されている。パージ設備３０に供給されるガスの例は、窒素ガス、及び乾燥空気等が含まれる。主管５０は、ステンレス鋼等の金属又はフッ素樹脂等の樹脂から形成される管部材である。主管５０は、ベース部材７に固定された配管支持ブラケット１１によって支持されている。主管５０は、分岐部５１を有している。分岐部５１には、パージ設備３０を構成する第二配管４１が接続されている。

【0021】

図２〜図４に示されるように、パージ設備３０は、供給ノズル３１と、供給管３３と、フィルタ部３５と、第一配管３７と、ＭＦＣ（Mass Flow Controller）３９と、第二配管４１と、を有している。供給ノズル３１は、ＦＯＵＰの内部にガスを供給するノズルであって、ＦＯＵＰにガスを供給するノズル部３１ａと、供給管３３が接続される接続部３１ｂと、を有している。ノズル部３１ａは、棚板２０の載置面２１ａから上方に突出しており、ＦＯＵＰがノズル部３１ａに載置されることによってＦＯＵＰの底面に設けられた導入孔に接続される。接続部３１ｂは、棚板２０の下面２１ｂに設けられている。供給ノズル３１は、棚板２０の一のコーナー部Ｃ１に配置されている。

【0022】

供給管３３は、供給ノズル３１に連通する一端３３ａと、ベース部材（棚板２０とは別体の支持部）７によって支持されると共にＦＯＵＰに供給するガスの供給源に接続されている主管５０に連通する他端３３ｂと、を有する。本実施形態では、他端３３ｂは、フィルタ部３５、第一配管３７、ＭＦＣ３９、及び第二配管４１を介して主管５０に連通している。供給管３３は、例えば、フッ素樹脂等の樹脂から形成される管部材であって、全長方向において全体的に可撓性を有している。供給管３３は、一端３３ａと他端３３ｂとの間において、支持部材に支持されない状態において、水平方向に延在する状態を維持できる。

【0023】

供給管３３は、一端３３ａの軸方向ｄ１と他端３３ｂの軸方向ｄ２とが互いに直交すると共に、一端３３ａと他端３３ｂとの間に曲線部３３ｃを有している。当該曲線部３３ｃは、供給管３３の可撓部でもある。曲線部３３ｃの半径Ｒの例は、２００ｍｍ〜２５０ｍｍである。可撓性のある供給管３３は、一端３３ａが供給ノズル３１に接続され、他端３３ｂがフィルタ部３５に接続された状態において、上記の半径Ｒが取り得る最大の曲率半径となるように曲げられている。

【0024】

フィルタ部３５は、フィルタ部３５を通過するガスに含まれる異物を取り除くフィルタが収容された部材であって、ガスの供給源から主管５０を介して供給されるガスに含まれる異物を取り除く。供給管３３の他端３３ｂは、フィルタ部３５に接続されている。フィルタ部３５は、ベース部材７に適宜の部材によって固定されている。フィルタ部３５は、棚板２０の一のコーナー部Ｃ１の対角に相当する他のコーナー部Ｃ２に配置されている。

【0025】

第一配管３７は、フィルタ部３５とＭＦＣ３９との間を接続する管部材である。第一配管３７は、ステンレス鋼等の金属から形成される管部材である。第一配管３７は、フィルタ部３５及びＭＦＣ３９との接続部以外、どこにも支持されていない。

【0026】

ＭＦＣ３９は、主管５０から供給されるガスの流量を計測すると共に流量の制御を行う機器である。ＭＦＣ３９は、図示しないコントローラによって制御される。コントローラは、棚板２０に設けられた在荷センサＳＷによってＦＯＵＰが検知されるときに、ＦＯＵＰに所定の流量のガスを供給するようにＭＦＣ３９を制御し、棚板２０に設けられた在荷センサＳＷによってＦＯＵＰが検知されないときに、ＦＯＵＰにガスを供給しないようにＭＦＣ３９を制御する。ＭＦＣ３９は、ベース部材７の下面７ｂに適宜の方法にて固定されている。

【0027】

第二配管４１は、ＭＦＣ３９と分岐部５１との間を接続する管部材である。第二配管４１は、ステンレス鋼等の金属又はフッ素樹脂等の樹脂から形成される管部材である。

【0028】

次に、上記実施形態の保管棚１の作用効果について説明する。上記実施形態の保管棚１では、棚板２０に設けられる供給ノズル３１に接続される供給管３３が変形する。これにより、供給管３３は、棚板２０と本体フレーム１０との間の相対的な移動（Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向への移動）を許容できるので、棚板２０の防振が阻害されたり、供給管３３を介して棚板２０に振動が伝達されたりすることが抑制される。この結果、棚板２０にパージ設備３０が設けられる場合でも、ＦＯＵＰに振動が伝達されることを抑制できる。

【0029】

上記実施形態の保管棚１では、主管５０が本体フレーム１０に固定されている構成の保管棚１であっても、ＦＯＵＰに振動が伝達されることを抑制できる。

【0030】

上記実施形態の保管棚１では、供給管３３の一端３３ａ及び他端３３ｂの位置が、棚板２０の一の辺に平行なＸ方向及び当該一の辺に直交する辺に平行なＹ方向の両方に互いにずれている。これにより、供給管３３は、ベース部材７と棚板２０との間のＸ方向及びＹ方向への相対的な移動を容易にすることができる。

【0031】

上記実施形態の保管棚１では、供給管３３は、一端３３ａの軸方向ｄ１と他端３３ｂの軸方向ｄ２とが互いに直交すると共に、一端３３ａと他端３３ｂとの間に曲線部３３ｃを有している。この構成では、供給管３３は、棚板２０におけるＸ方向及びＹ方向のどちらの動き（変形）も、より一層容易にすることができる。

【0032】

上記実施形態の保管棚１では、供給管３３は、水平方向（ＸＹ平面）に沿って配置される曲線部３３ｃを有している。この構成では、ベース部材７とベース部材７の上方に弾性体９を介して配置される棚板２０との間隔が狭い場合であっても、ベース部材７と棚板２０との間に供給管３３を配置することができる。この結果、保管棚１の鉛直方向におけるサイズが増大化することを抑制できる。また、単位面積当たりのＦＯＵＰの集積能力を高めることができる。

【0033】

上記実施形態の保管棚１では、ベース部材７に支持されると共に、主管５０と供給管３３の他端３３ｂとの間にフィルタ部３５を備えるので、供給管３３へガスを供給する最終端（供給管３３の他端３３ｂ）でガスを浄化することができる。これにより、より上質なガスをＦＯＵＰに供給することができる。

【0034】

以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0035】

＜変形例１＞
上記実施形態では、一つの棚板２０に一つの供給ノズル３１が設けられている構成の保管棚１を例に挙げて説明したが、一つの棚板２０に複数の供給ノズルと複数の供給管とが設けられる構成の保管棚１であってもよい。例えば、図５に示されるように、変形例１に係る保管棚１の棚板２０には、三つの供給ノズル３１，１３１，２３１と、当該三つの供給ノズル３１，１３１，２３１のそれぞれにガスを供給する三つの供給管３３，１３３，２３３が設けられてもよい。Ｚ方向から見た平面視において、三つの供給管３３，１３３，２３３は、平面的に重ならないように配置されている。

【0036】

変形例１に係る保管棚１のパージ設備１３０では、ＭＦＣ３９の下流側に分岐部１０１が設けられ、分岐部１０１の一方には金属管１０２を介してフィルタ部３５に接続され、分岐部１０１の他方には金属管１０３、分岐部１０５、金属管１０６、金属管１０７を介して、フィルタ部１３５及びフィルタ部２３５がそれぞれ接続されている。フィルタ部３５，１３５，２３５は、ベース部材７に適宜の方法によって固定されている。

【0037】

供給管３３は、一端３３ａが供給ノズル３１に接続され、他端３３ｂがフィルタ部３５に接続されている。供給管１３３は、一端１３３ａが供給ノズル１３１に接続され、他端１３３ｂがフィルタ部１３５に接続されている。供給管２３３は、一端２３３ａが供給ノズル２３１に連通され、他端２３３ｂがフィルタ部２３５に接続されている。供給管２３３の一端２３３ａは、エルボ継手１０８及び金属管１０９を介して供給ノズル３１に接続されている。エルボ継手１０８は、棚板２０に固定されている。供給管３３，１３３，２３３は、樹脂性の可撓管によって形成されている。

【0038】

上記変形例１に係る保管棚１では、棚板２０に設けられる供給ノズル３１，２３１にそれぞれ接続される供給管３３，２３３が変形する。また、供給管３３，２３３のそれぞれは曲線部３１ｃ，２３１ｃを有している。これにより、供給管３３，２３３は、棚板２０と本体フレーム１０との間の相対的な移動を許容する。また、棚板２０に設けられる供給ノズル１３１に接続される金属管１０９は、エルボ継手１０８に接続されている。そして、当該エルボ継手１０８に接続される供給管２３３が変形する。また、供給管２３３は曲線部２３３ｃを有している。これらの供給管３３，１３３，２３３の接続構成によって、棚板２０の防振が阻害されたり、供給管３３，１３３，２３３を介して棚板２０に振動が伝達されたりすることが抑制される。この結果、棚板２０にパージ設備が設けられている場合であっても、ＦＯＵＰに振動が伝達されることを抑制できる。

【0039】

上記変形例１に係る保管棚１では、Ｚ方向から見た平面視において、三つの供給管３３，１３３，２３３は、平面的に重ならないように配置されているので、保管棚１のＺ方向（鉛直方向）のサイズが増大することを抑制できる。また、上記変形例１に係る保管棚１では、曲線部３３ｃを有する供給管３３と、曲線部１３３ｃ，２３３ｃを有する供給管１３３，２３３とが互いに凹状に曲げられた状態で対向するように配置されている。これにより、平面視において限られた空間に、複数の供給管３３，１３３，２３３を可撓させた状態で配置することができる。

【0040】

＜変形例２＞
上記変形例１では、三つの供給ノズル３１，１３１，２３１を配置する場合、三つの供給ノズル３１，１３１，２３１にそれぞれ接続される可撓性の供給管３３，１３３，２３３を設ける例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、図６に示されるように、変形例２に係る保管棚１の棚板２０には、三つの供給ノズル３１，１３１，２３１と、供給ノズル３１にガスを供給する供給管３３と、二つの供給ノズル１３１，２３１にガスを供給する供給管１３３が設けられてもよい。Ｚ方向から見た平面視において、二つの供給管３３，１３３は、平面的に重ならないように配置されている。

【0041】

変形例２に係るパージ設備２３０では、ＭＦＣ３９の下流側に分岐部１０１が設けられ、分岐部１０１の一方には金属管１０２を介してフィルタ部３５に接続され、分岐部１０１の他方には金属管１０３を介して、フィルタ部１３５が接続されている。フィルタ部３５，１３５は、ベース部材７に適宜の方法によって固定されている。

【0042】

供給管３３は、一端３３ａが供給ノズル３１に接続され、他端３３ｂがフィルタ部３５に接続されている。供給管１３３は、一端１３３ａが供給ノズル１３１，２３１にそれぞれ連通し、他端１３３ｂがフィルタ部１３５に接続されている。供給管１３３の一端１３３ａは、棚板２０に固定された分岐部２０８に接続されている。分岐部２０８の一方は、金属管２１０を介して供給ノズル１３１に接続され、分岐部２０８の他方は、金属管２０９を介して供給ノズル２３１に接続されている。供給管３３，１３３は、樹脂性の可撓管によって形成されている。

【0043】

上記変形例２に係る保管棚１では、棚板２０に設けられる供給ノズル３１に接続される供給管３３が変形する。また、供給管３３は曲線部３３ｃを有している。これにより、供給管３３は、棚板２０と本体フレーム１０との間の相対的な移動を許容する。また、棚板２０に設けられる供給ノズル１３１，２３１にそれぞれ接続される金属管２０９，２１０は、分岐部２０８に接続されている。そして、当該分岐部２０８に接続される供給管１３３が変形する。また、供給管１３３は曲線部１３３ｃを有している。これらの供給管３３，１３３の接続構成によって、棚板２０の防振が阻害されたり、供給管３３，１３３を介して棚板２０に振動が伝達されたりすることが抑制される。この結果、棚板２０にパージ設備が設けられる場合であっても、ＦＯＵＰに振動が伝達されることを抑制できる。

【0044】

上記変形例２に係る保管棚１では、Ｚ方向から見た平面視において、二つの供給管３３，１３３は、平面的に重ならないように配置されているので、保管棚１のＺ方向（鉛直方向）のサイズが増大することを抑制できる。また、上記変形例２に係る保管棚１では、曲線部３３ｃを有する供給管３３と、曲線部１３３ｃを有する供給管１３３とが互いに凹状に曲げられた状態で対向するように配置されている。これにより、平面視において限られた空間に、複数の供給管３３，１３３を湾曲させた状態で配置することができる。

【0045】

＜その他の変形例＞
上記実施形態では、供給管３３の一端３３ａを供給ノズル３１の接続部３１ｂに直接接続する例を挙げて説明したが、任意の角度（例えば、９０度）に曲がるエルボ継手を介して接続してもよい。これにより、可撓性の供給管３３では対応できないような配置にも対応することが可能になる。

【0046】

上記実施形態及び変形例では、フィルタ部３５が、供給管３３の他端３３ｂ側に配置される構成、すなわち、フィルタ部３５と供給ノズル３１との間には供給管３３が介在する構成を例に挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、フィルタ部３５が、供給管３３の一端３３ａ側に配置される構成、すなわち、供給管３３と供給ノズル３１との間にはフィルタ部３５が介在する構成であってもよい。

【0047】

上記実施形態及び変形例では、供給管３３，１３３，２３３が水平面内において曲げられた状態で配置されている例を挙げて説明したが、例えば、供給管３３，１３３，２３３は、延直面内において曲げられた状態で配置されてもよい。言い換えれば、供給管３３，１３３，２３３は、下方に弛んだ状態で配置されてもよい。

【0048】

上記実施形態及び変形例では、主管５０は、ベース部材７に固定された配管支持ブラケット１１によって支持されている例を挙げて説明したが、例えば、天井搬送車が走行する走行レールに支持されたり、クリーンルーム等の天井等に取り付けられた支持部材に支持されたり、又は、天井に直接支持されたりしてもよい。

【0049】

上記実施形態及び変形例では、保管棚１は、天井から吊り下げられる構成を例に挙げて説明したが、床面に設置される構成であってもよい。すなわち、本体フレーム１０が床面から立設する構成であってもよい。

【0050】

上記実施形態及び変形例では、供給管３３，１３３，２３３の全長の全てが可撓性を有している例を挙げて説明したが、全長の一部のみが可撓性を有していてもよい。また、樹脂性の供給管３３，１３３，２３３に代えて、樹脂又は金属からなる蛇腹管等を採用してもよい。

【符号の説明】

【0051】

１…保管棚、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ…吊下部材、５ａ，５ｂ…連結部材、６…柵部材、７…ベース部材、１０…本体フレーム、２０…棚板、２１ａ…載置面、３０，１３０，２３０…パージ設備、３１，１３１，２３１…供給ノズル、３１ａ…ノズル部、３１ｂ…接続部、３３，１３３，２３３…供給管、３３ａ，１３３ａ，２３３ａ…一端、３３ｂ，１３３ｂ，２３３ｂ…他端、３３ｃ，１３３ｃ，２３３ｃ…曲線部、３５，１３５，２３５…フィルタ部、５０…主管、５１…分岐部、Ｃ１，Ｃ２…コーナー部、ｄ１…軸方向、ｄ２…軸方向、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…ピン。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】